JP3094355B2 - 湿式研磨方法およびその装置 - Google Patents
湿式研磨方法およびその装置Info
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- JP3094355B2 JP3094355B2 JP05215179A JP21517993A JP3094355B2 JP 3094355 B2 JP3094355 B2 JP 3094355B2 JP 05215179 A JP05215179 A JP 05215179A JP 21517993 A JP21517993 A JP 21517993A JP 3094355 B2 JP3094355 B2 JP 3094355B2
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- polished
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、バフホイールを使用
する湿式研磨方法およびその装置に関する。
する湿式研磨方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来におけるバフホイールを使用した湿
式研磨装置は、回転駆動手段によってバフホイールを回
転させ、液体研磨剤を供給しながら、このバフホイール
によってワークの被研磨面を研磨していた。
式研磨装置は、回転駆動手段によってバフホイールを回
転させ、液体研磨剤を供給しながら、このバフホイール
によってワークの被研磨面を研磨していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の湿式研磨装置にあっては、バフホイールの研磨面
がワークの被研磨面に常時接触していたため、バフホイ
ールの研磨面とワークの被研磨面との間に前記液体研磨
剤が浸入しにくいとともに均一に研磨しにくく、よっ
て、ワークの被研磨面を能率良く研磨しにくいという不
都合を有した。
従来の湿式研磨装置にあっては、バフホイールの研磨面
がワークの被研磨面に常時接触していたため、バフホイ
ールの研磨面とワークの被研磨面との間に前記液体研磨
剤が浸入しにくいとともに均一に研磨しにくく、よっ
て、ワークの被研磨面を能率良く研磨しにくいという不
都合を有した。
【０００４】この発明の課題はかかる不都合を解消する
ことである。
ことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を達成するため
に、この発明に係る湿式研磨方法においては、回転する
バフホイールの外周の研磨面とワークの被研磨面との間
に液体研磨剤を供給しながら、前記バフホイールによっ
て前記ワークを研磨する湿式研磨方法において、前記ワ
ークを回転させつつ、前記バフホイールの回転軸を該バ
フホイールの研磨面が前記ワークの被研磨面に沿うよう
に揺動往復させながらこの被研磨面を研磨するようにし
たものである。
に、この発明に係る湿式研磨方法においては、回転する
バフホイールの外周の研磨面とワークの被研磨面との間
に液体研磨剤を供給しながら、前記バフホイールによっ
て前記ワークを研磨する湿式研磨方法において、前記ワ
ークを回転させつつ、前記バフホイールの回転軸を該バ
フホイールの研磨面が前記ワークの被研磨面に沿うよう
に揺動往復させながらこの被研磨面を研磨するようにし
たものである。
【０００６】また、前記課題を達成するために、この発
明に係る湿式研磨装置においては、バフホイールとバフ
ホイール回転駆動手段とを備え、前記バフホイール回転
駆動手段によって前記バフホイールを回転させ、その外
周の研磨面によってワークを研磨する湿式研磨装置にお
いて、前記ワークを回転させるワーク回転駆動手段を有
し、そのワーク回転駆動手段によって前記ワークを回転
させながら前記バフホイールの回転軸を該バフホイール
の研磨面が前記ワークの被研磨面に沿うように揺動可能
にしたものである。
明に係る湿式研磨装置においては、バフホイールとバフ
ホイール回転駆動手段とを備え、前記バフホイール回転
駆動手段によって前記バフホイールを回転させ、その外
周の研磨面によってワークを研磨する湿式研磨装置にお
いて、前記ワークを回転させるワーク回転駆動手段を有
し、そのワーク回転駆動手段によって前記ワークを回転
させながら前記バフホイールの回転軸を該バフホイール
の研磨面が前記ワークの被研磨面に沿うように揺動可能
にしたものである。
【０００７】
【作用】この発明に係る湿式研磨方法は上記のように構
成されているため、研磨中において、バフホイールの研
磨面とワークの被研磨面との間に液体研磨剤を滑らかに
浸入させやすく、且つ、ワークが回転しているため、ワ
ークの回転方向とバフホイールの揺動方向が逆であって
互いに抗するかたちとなる時には平坦度を向上させる研
磨が行われ、ワークの回転方向とバフホイールの揺動方
向が一致した時は滑らかさを確保するための研磨を行う
ことができる。
成されているため、研磨中において、バフホイールの研
磨面とワークの被研磨面との間に液体研磨剤を滑らかに
浸入させやすく、且つ、ワークが回転しているため、ワ
ークの回転方向とバフホイールの揺動方向が逆であって
互いに抗するかたちとなる時には平坦度を向上させる研
磨が行われ、ワークの回転方向とバフホイールの揺動方
向が一致した時は滑らかさを確保するための研磨を行う
ことができる。
【０００８】また、この発明に係る湿式研磨装置は上記
のように構成されているため、前記湿式研磨方法を容易
に実施できるものである。
のように構成されているため、前記湿式研磨方法を容易
に実施できるものである。
【０００９】
【実施例】図１において、１は支持盤、11はこの支持盤
１の軸心に設置された支軸である。この支持盤１はこの
支軸11を中心として適宜手段によって矢印方向に回転さ
れる。Ｗは盤状のワークであり、前記支持盤１に載置さ
れている。このワークＷは上面を被研磨面としている。
１の軸心に設置された支軸である。この支持盤１はこの
支軸11を中心として適宜手段によって矢印方向に回転さ
れる。Ｗは盤状のワークであり、前記支持盤１に載置さ
れている。このワークＷは上面を被研磨面としている。
【００１０】次に、２は第一回転駆動装置であり、モー
ター等の駆動原を有している。21は揺動中心であり、前
記第一回転駆動装置２の略中心部に設置されている。こ
の揺動中心21を中心として第一回転駆動装置２は適宜手
段（クランク機構、ラック・ピニオン機構等）を介して
水平方向に揺動する（図２を参照のこと）。22は回転軸
であり、前記回転駆動装置２において前記揺動中心21に
重なるように設置されている。この回転軸22は前記モー
ター等の動力によって軸心を中心として回転する。23は
第一バフホイールであり、前記回転軸21の先端に固定さ
れている。このバフホイール23は回転しながらその外周
である研磨面231 によってワークＷを研磨する。このた
め、第一回転駆動装置２が適宜手段（クランク機構、ラ
ック・ピニオン機構等）を介して水平方向に揺動する
と、バフホイール23は図２の仮想線が示すように揺動す
る。
ター等の駆動原を有している。21は揺動中心であり、前
記第一回転駆動装置２の略中心部に設置されている。こ
の揺動中心21を中心として第一回転駆動装置２は適宜手
段（クランク機構、ラック・ピニオン機構等）を介して
水平方向に揺動する（図２を参照のこと）。22は回転軸
であり、前記回転駆動装置２において前記揺動中心21に
重なるように設置されている。この回転軸22は前記モー
ター等の動力によって軸心を中心として回転する。23は
第一バフホイールであり、前記回転軸21の先端に固定さ
れている。このバフホイール23は回転しながらその外周
である研磨面231 によってワークＷを研磨する。このた
め、第一回転駆動装置２が適宜手段（クランク機構、ラ
ック・ピニオン機構等）を介して水平方向に揺動する
と、バフホイール23は図２の仮想線が示すように揺動す
る。
【００１１】また、３は第二回転駆動装置であり、前記
第一回転駆動装置２と同様に、モーター等の駆動原を有
している。31は揺動中心であり、前記第二回転駆動装置
３の略中心部に設置されている。この揺動中心31を中心
として第二回転駆動装置３は適宜手段（クランク機構、
ラック・ピニオン機構等）を介して水平方向に揺動する
（図２を参照のこと）。32は回転軸であり、前記回転駆
動装置３において前記揺動中心31に重なるように設置さ
れている。この回転軸32は前記モーター等の動力によっ
て軸心を中心として回転する。33は第二バフホイールで
あり、前記回転軸32の先端に固定されている。このバフ
ホイール33は回転しながらその外周である研磨面331 に
よってワークＷを研磨する。このため、第二回転駆動装
置３が適宜手段（クランク機構、ラック・ピニオン機構
等）を介して水平方向に揺動すると、バフホイール22は
図２の仮想線が示すように揺動する。なお、第二バフホ
イール33は第一バフホイール23と逆方向に回転してい
る。また、第二バフホイール33の揺動方向は第一バフホ
イール23と同方向でも逆方向でもよい。
第一回転駆動装置２と同様に、モーター等の駆動原を有
している。31は揺動中心であり、前記第二回転駆動装置
３の略中心部に設置されている。この揺動中心31を中心
として第二回転駆動装置３は適宜手段（クランク機構、
ラック・ピニオン機構等）を介して水平方向に揺動する
（図２を参照のこと）。32は回転軸であり、前記回転駆
動装置３において前記揺動中心31に重なるように設置さ
れている。この回転軸32は前記モーター等の動力によっ
て軸心を中心として回転する。33は第二バフホイールで
あり、前記回転軸32の先端に固定されている。このバフ
ホイール33は回転しながらその外周である研磨面331 に
よってワークＷを研磨する。このため、第二回転駆動装
置３が適宜手段（クランク機構、ラック・ピニオン機構
等）を介して水平方向に揺動すると、バフホイール22は
図２の仮想線が示すように揺動する。なお、第二バフホ
イール33は第一バフホイール23と逆方向に回転してい
る。また、第二バフホイール33の揺動方向は第一バフホ
イール23と同方向でも逆方向でもよい。
【００１２】図３は他の実施例を示したものである。
【００１３】この実施例にあっては、前記回転軸22を第
一回転駆動装置２とともにその軸方向に対して垂直方向
に往復動可能（矢印方向を参照のこと）に設置し、第一
バフホイール23を同方向に移動可能にしたものである。
この往復動は、前記支持盤１、即ち、前記ワークＷに対
して略平行に行われる（図３の二点鎖線の図を参照のこ
と）。
一回転駆動装置２とともにその軸方向に対して垂直方向
に往復動可能（矢印方向を参照のこと）に設置し、第一
バフホイール23を同方向に移動可能にしたものである。
この往復動は、前記支持盤１、即ち、前記ワークＷに対
して略平行に行われる（図３の二点鎖線の図を参照のこ
と）。
【００１４】なお、第二回転駆動装置３の場合も第一駆
動装置２と同様に往復動可能に設置することもできる。
動装置２と同様に往復動可能に設置することもできる。
【００１５】また、前記回転軸22を第一回転駆動装置２
とともにその軸方向に対して垂直方向に往復動可能に設
置する代わりに、前記支持盤１を水平方向に往復動させ
ることもできる（一点鎖線の図を参照のこと）。
とともにその軸方向に対して垂直方向に往復動可能に設
置する代わりに、前記支持盤１を水平方向に往復動させ
ることもできる（一点鎖線の図を参照のこと）。
【００１６】
【発明の効果】この発明に係る湿式研磨方法は、回転す
るバフホイールの外周の研磨面とワークの被研磨面との
間に液体研磨剤を供給しながら、前記バフホイールによ
って前記ワークを研磨する湿式研磨方法において、前記
ワークを回転させつつ、前記バフホイールの回転軸を該
バフホイールの研磨面が前記ワークの被研磨面に沿うよ
うに揺動往復させながらこの被研磨面を研磨するように
したため、研磨中において、バフホイールの研磨面とワ
ークの被研磨面との間に液体研磨剤を滑らかに浸入させ
やすく、且つ、ワークが回転しているため、ワークの回
転方向とバフホイールの揺動方向が逆であって互いが抗
するかたちとなる時には平坦度を向上させる研磨が行わ
れ、ワークの回転方向とバフホイールの揺動方向が一致
した時は滑らかさを確保するための研磨を行うことがで
きる。
るバフホイールの外周の研磨面とワークの被研磨面との
間に液体研磨剤を供給しながら、前記バフホイールによ
って前記ワークを研磨する湿式研磨方法において、前記
ワークを回転させつつ、前記バフホイールの回転軸を該
バフホイールの研磨面が前記ワークの被研磨面に沿うよ
うに揺動往復させながらこの被研磨面を研磨するように
したため、研磨中において、バフホイールの研磨面とワ
ークの被研磨面との間に液体研磨剤を滑らかに浸入させ
やすく、且つ、ワークが回転しているため、ワークの回
転方向とバフホイールの揺動方向が逆であって互いが抗
するかたちとなる時には平坦度を向上させる研磨が行わ
れ、ワークの回転方向とバフホイールの揺動方向が一致
した時は滑らかさを確保するための研磨を行うことがで
きる。
【００１７】よって、この湿式研磨方法を使用すれば、
湿式研磨によってワークの表面に鏡面を得ることがで
き、その上、ワークが三次元曲率面を有する場合には、
バフホイールの揺動往復によって、ワークの上下方向の
凹凸に起因してできる研磨ムラを消すことができるばか
りか、ワーク自体が回転しているため、揺動方向を垂直
（上下方向）にとることも可能であり、三次元曲率面に
バフホイールを追従させることができ、前記効果をより
一層発揮させることができる。さらに、ワークとバフホ
イールの両者を回転させることによって研磨力の向上及
び研磨時間の短縮等の研磨効率を向上させることができ
るものである。
湿式研磨によってワークの表面に鏡面を得ることがで
き、その上、ワークが三次元曲率面を有する場合には、
バフホイールの揺動往復によって、ワークの上下方向の
凹凸に起因してできる研磨ムラを消すことができるばか
りか、ワーク自体が回転しているため、揺動方向を垂直
（上下方向）にとることも可能であり、三次元曲率面に
バフホイールを追従させることができ、前記効果をより
一層発揮させることができる。さらに、ワークとバフホ
イールの両者を回転させることによって研磨力の向上及
び研磨時間の短縮等の研磨効率を向上させることができ
るものである。
【００１８】また、この発明に係る湿式研磨装置は、バ
フホイールとバフホイール回転駆動手段とを備え、前記
バフホイール回転駆動手段によって前記バフホイールを
回転させ、その外周の研磨面によってワークを研磨する
湿式研磨装置において、前記ワークを回転させるワーク
回転駆動手段を有し、そのワーク回転駆動手段によって
前記ワークを回転させながら前記バフホイールの回転軸
を該バフホイールの研磨面が前記ワークの被研磨面に沿
うように揺動可能にしたため、前記湿式研磨方法を容易
に実施できるものである。
フホイールとバフホイール回転駆動手段とを備え、前記
バフホイール回転駆動手段によって前記バフホイールを
回転させ、その外周の研磨面によってワークを研磨する
湿式研磨装置において、前記ワークを回転させるワーク
回転駆動手段を有し、そのワーク回転駆動手段によって
前記ワークを回転させながら前記バフホイールの回転軸
を該バフホイールの研磨面が前記ワークの被研磨面に沿
うように揺動可能にしたため、前記湿式研磨方法を容易
に実施できるものである。
【図１】この発明に係る湿式研磨装置の斜視図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図２に相当する他の実施例の図である。
２ … 第一回転駆動装置（回転駆動手段） 21 … 揺動中心 22 … 回転軸 23 … 第一バフホイール（バフホイール） 231 … 研磨面（バフホイールの） ３ … 第二回転駆動装置（回転駆動手段） 31 … 揺動中心 32 … 回転軸 33 … 第二バフホイール（バフホイール） 331 … 研磨面（バフホイールの） Ｗ … ワーク
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−146072（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−69161（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−125055（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−125056（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 29/00 B24B 57/02
Claims (2)
- 【請求項１】 回転するバフホイールの外周の研磨面と
ワークの被研磨面との間に液体研磨剤を供給しながら、
前記バフホイールによって前記ワークを研磨する湿式研
磨方法において、 前記ワークを回転させつつ、前記バフホイールの回転軸
を該バフホイー ルの研磨面が前記ワークの被研磨面に沿
うように揺動往復させながらこの被研磨面を研磨するこ
とを特徴とする湿式研磨方法。 - 【請求項２】 バフホイールとバフホイール回転駆動手
段とを備え、前記バフホイール回転駆動手段によって前
記バフホイールを回転させ、その外周の研磨面によって
ワークを研磨する湿式研磨装置において、 前記ワークを回転させるワーク回転駆動手段を有し、そ
のワーク回転駆動手段によって前記ワークを回転させな
がら前記バフホイールの回転軸を該バフホイールの研磨
面が前記ワークの被研磨面に沿うように揺動可能にした
ことを特徴とする湿式研磨装置
Priority Applications (13)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05215179A JP3094355B2 (ja) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | 湿式研磨方法およびその装置 |
| EP93923661A EP0624432B1 (en) | 1992-10-30 | 1993-10-29 | Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel |
| PCT/JP1993/001566 WO1994009945A1 (en) | 1992-10-30 | 1993-10-29 | Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel |
| ES93923661T ES2127838T3 (es) | 1992-10-30 | 1993-10-29 | Metodo pulidor y aparato para el mismo y rueda pulidora. |
| DE69323178T DE69323178T2 (de) | 1992-10-30 | 1993-10-29 | Polierverfahren, hierzu bestimmte vorrichtung und schwabbel-/polierscheibe |
| KR1019940702271A KR0167000B1 (ko) | 1992-10-30 | 1993-10-29 | 연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프 휠 |
| CA002127098A CA2127098C (en) | 1992-10-30 | 1993-10-29 | Polishing method, device and buff wheel therefor |
| AU53448/94A AU672653B2 (en) | 1992-10-30 | 1993-10-29 | Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel |
| AT93923661T ATE175916T1 (de) | 1992-10-30 | 1993-10-29 | Polierverfahren, hierzu bestimmte vorrichtung und schwabbel-/polierscheibe |
| MYPI93002850A MY108912A (en) | 1992-12-31 | 1993-12-28 | Polishing method, device and buff wheel therefor |
| CN93121397A CN1089050C (zh) | 1992-12-31 | 1993-12-29 | 研磨方法,装置及其研磨轮 |
| MX9400124A MX9400124A (es) | 1992-12-31 | 1994-01-03 | Metodo para pulir, dispositivo y disco pulidor para el mismo. |
| US08/275,824 US5516327A (en) | 1992-10-30 | 1994-06-30 | Polishing method, device and buff wheel therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05215179A JP3094355B2 (ja) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | 湿式研磨方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0752020A JPH0752020A (ja) | 1995-02-28 |
| JP3094355B2 true JP3094355B2 (ja) | 2000-10-03 |
Family
ID=16667984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05215179A Expired - Fee Related JP3094355B2 (ja) | 1992-10-30 | 1993-08-05 | 湿式研磨方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3094355B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6805607B2 (ja) * | 2016-07-27 | 2020-12-23 | 住友ゴム工業株式会社 | タイヤ研磨装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60125056U (ja) * | 1984-02-01 | 1985-08-23 | 株式会社フジクラ | 銅張積層板の整面装置 |
| JPS60125055U (ja) * | 1984-02-01 | 1985-08-23 | 株式会社フジクラ | 銅張積層板の整面装置 |
| JPH04146072A (ja) * | 1990-10-04 | 1992-05-20 | Noritake Co Ltd | ステンレスコイルの鏡面研磨装置および鏡面研磨方法 |
| JPH04146027A (ja) * | 1990-10-08 | 1992-05-20 | Nec Corp | ワイヤ電極断線検出方法 |
-
1993
- 1993-08-05 JP JP05215179A patent/JP3094355B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0752020A (ja) | 1995-02-28 |
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Legal Events
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