JPH06198556A - 湿式研磨方法およびその装置 - Google Patents

湿式研磨方法およびその装置

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JPH06198556A
JPH06198556A JP4315643A JP31564392A JPH06198556A JP H06198556 A JPH06198556 A JP H06198556A JP 4315643 A JP4315643 A JP 4315643A JP 31564392 A JP31564392 A JP 31564392A JP H06198556 A JPH06198556 A JP H06198556A
Authority
JP
Japan
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polishing
work
buff wheel
polished
face
Prior art date
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Pending
Application number
JP4315643A
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English (en)
Inventor
Shuji Kawasaki
修司 川崎
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B B F YAMATE KK
Original Assignee
B B F YAMATE KK
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Publication date
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Priority to AT93923661T priority patent/ATE175916T1/de
Priority to AU53448/94A priority patent/AU672653B2/en
Priority to EP93923661A priority patent/EP0624432B1/en
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 回転するバフホイールの研磨面とワークの被
研磨面との間に液体研磨剤を供給しながら、前記バフホ
イールによって前記ワークを研磨する湿式研磨方法にお
いて、前記バフホイールの研磨面を前記ワークの被研磨
面に対して進退させながら前記ワークの被研磨面を研磨
する湿式研磨方法である。 【効果】研磨中において、バフホイールの研磨面とワー
クの被研磨面との間に液体研磨剤を浸入させやすいた
め、この方法を使用すれば、ワークの被研磨面を能率良
く研磨しやすいものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、バフホイールを使用
する湿式研磨方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来におけるバフホイールを使用する湿
式研磨装置は、回転駆動手段によってバフホイールを回
転させ、液体研磨剤を供給しながら、このバフホイール
によってワークの被研磨面を研磨していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の湿式研磨装置にあっては、バフホイールの研磨面
がワークの被研磨面に常時接触していたため、バフホイ
ールの研磨面とワークの被研磨面との間に前記液体研磨
剤が浸入しにくく、よって、ワークの被研磨面を能率良
く研磨しにくいという不都合を有した。
【０００４】この発明の課題はかかる不都合を解消する
ことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を達成するため
に、この発明に係る湿式研磨方法においては、回転する
バフホイールの研磨面とワークの被研磨面との間に液体
研磨剤を供給しながら、前記バフホイールによって前記
ワークを研磨する湿式研磨方法において、
【０００６】前記バフホイールの研磨面を前記ワークの
被研磨面に対して進退させながら前記ワークの被研磨面
を研磨するものである。
【０００７】また、前記課題を達成するために、この発
明に係る湿式研磨装置においては、回転駆動手段とバフ
ホイールとを備え、前記回転駆動手段によって前記バフ
ホイールを回転させ、その研磨面によってワークを研磨
する湿式研磨装置において、前記バフホイールの研磨面
を前記ワークの被研磨面に対して進退可能にしたもので
ある。
【０００８】
【作用】この発明に係る湿式研磨方法は上記のように構
成されているため、研磨中において、バフホイールの研
磨面とワークの被研磨面との間に液体研磨剤を浸入させ
やすいものである。
【０００９】また、この発明に係る湿式研磨装置は上記
のように構成されているため、前記湿式研磨方法を容易
に実施できるものである。
【００１０】
【実施例】図１において、１は回転駆動装置であり、モ
ーター等の駆動原を有している。11は回転軸であり、前
記回転駆動装置１に設置されている。この回転軸11は前
記モーター等の動力によって軸心を中心として回転す
る。そして、この回転軸11は適宜手段によってその軸方
向に沿って進退できる。２はバフホイールであり、前記
回転軸11の先端に固定されている。このバフホイール２
は回転しながらその先端側の研磨面21によってワークＷ
を研磨する。このとき、前記回転軸11をその軸方向に沿
って進退させれば、研磨面21とワークＷとの間に隙間を
設けることができるため液体研磨剤を浸入させやすいも
のである。
【００１１】図２は他の実施例であり、バフホイール２
の周側に研磨面21が設けられ、回転軸11の軸心が適宜手
段によってワークＷに対して近接したり離隔したりする
ものである。
【００１２】
【発明の効果】この発明に係る湿式研磨方法は、回転す
るバフホイールの研磨面とワークの被研磨面との間に液
体研磨剤を供給しながら、前記バフホイールによって前
記ワークを研磨する湿式研磨方法において、
【００１３】前記バフホイールの研磨面を前記ワークの
被研磨面に対して進退させながら前記ワークの被研磨面
を研磨するものであるため、研磨中において、バフホイ
ールの研磨面とワークの被研磨面との間に液体研磨剤を
浸入させやすいものである。
【００１４】よって、この湿式研磨方法を使用すれば、
ワークの被研磨面を能率良く研磨しやすいものである。
【００１５】また、前記課題を達成するために、この発
明に係る湿式研磨装置においては、回転駆動手段とバフ
ホイールとを備え、前記回転駆動手段によって前記バフ
ホイールを回転させ、その研磨面によってワークを研磨
する湿式研磨装置において、前記バフホイールの研磨面
を前記ワークの被研磨面に対して進退可能にしたため、
前記湿式研磨方法を容易に実施できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る湿式研磨装置の斜視図である。
【図２】同他の実施例の斜視図である。
【符号の説明】
１ … 回転駆動装置（回転駆動手段） ２ … バフホイール 21 … 研磨面（バフホイールの） Ｗ … ワーク

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 回転するバフホイールの研磨面とワーク
    の被研磨面との間に液体研磨剤を供給しながら、前記バ
    フホイールによって前記ワークを研磨する湿式研磨方法
    において、 前記バフホイールの研磨面を前記ワークの被研磨面に対
    して進退させながら前記ワークの被研磨面を研磨するこ
    とを特徴とする湿式研磨方法。
  2. 【請求項２】 前記バフホイールを前記回転駆動手段と
    ともに進退可能にしたことを特徴とする請求項１の湿式
    研磨方法
  3. 【請求項３】 回転駆動手段とバフホイールとを備え、
    前記回転駆動手段によって前記バフホイールを回転さ
    せ、その研磨面によってワークを研磨する湿式研磨装置
    において、前記バフホイールの研磨面を前記ワークの被
    研磨面に対して進退可能にしたことを特徴とする湿式研
    磨装置
  4. 【請求項４】 前記バフホイールを前記回転駆動手段と
    ともに進退可能にしたことを特徴とする請求項３の湿式
    研磨装置
JP4315643A 1992-10-30 1992-10-30 湿式研磨方法およびその装置 Pending JPH06198556A (ja)

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DE69323178T DE69323178T2 (de) 1992-10-30 1993-10-29 Polierverfahren, hierzu bestimmte vorrichtung und schwabbel-/polierscheibe
CA002127098A CA2127098C (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, device and buff wheel therefor
KR1019940702271A KR0167000B1 (ko) 1992-10-30 1993-10-29 연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프 휠
ES93923661T ES2127838T3 (es) 1992-10-30 1993-10-29 Metodo pulidor y aparato para el mismo y rueda pulidora.
AT93923661T ATE175916T1 (de) 1992-10-30 1993-10-29 Polierverfahren, hierzu bestimmte vorrichtung und schwabbel-/polierscheibe
AU53448/94A AU672653B2 (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel
EP93923661A EP0624432B1 (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel
PCT/JP1993/001566 WO1994009945A1 (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel
US08/275,824 US5516327A (en) 1992-10-30 1994-06-30 Polishing method, device and buff wheel therefor

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