JPH06198558A - 研磨装置 - Google Patents

研磨装置

Info

Publication number
JPH06198558A
JPH06198558A JP4359980A JP35998092A JPH06198558A JP H06198558 A JPH06198558 A JP H06198558A JP 4359980 A JP4359980 A JP 4359980A JP 35998092 A JP35998092 A JP 35998092A JP H06198558 A JPH06198558 A JP H06198558A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
work
polished
buff
rotated
polishing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4359980A
Other languages
English (en)
Inventor
Shuji Kawasaki
修司 川崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
B B F YAMATE KK
Original Assignee
B B F YAMATE KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by B B F YAMATE KK filed Critical B B F YAMATE KK
Priority to JP4359980A priority Critical patent/JPH06198558A/ja
Priority to AU53448/94A priority patent/AU672653B2/en
Priority to AT93923661T priority patent/ATE175916T1/de
Priority to PCT/JP1993/001566 priority patent/WO1994009945A1/ja
Priority to ES93923661T priority patent/ES2127838T3/es
Priority to EP93923661A priority patent/EP0624432B1/en
Priority to CA002127098A priority patent/CA2127098C/en
Priority to KR1019940702271A priority patent/KR0167000B1/ko
Priority to DE69323178T priority patent/DE69323178T2/de
Priority to MYPI93002850A priority patent/MY108912A/en
Priority to CN93121397A priority patent/CN1089050C/zh
Priority to MX9400124A priority patent/MX9400124A/es
Priority to US08/275,824 priority patent/US5516327A/en
Publication of JPH06198558A publication Critical patent/JPH06198558A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 被研磨面を有するワークと適宜手段によって
回転するバフホイールとを備え、前記ワークを前記被研
磨面の軸心を中心として回転可能に設置するとともに前
記バフホイールの底面によって前記ワークの被研磨面を
研磨する研磨装置において、前記バフホイールを一対設
けるとともにその軸心を中心として各々逆方向に回転さ
せるようにした研磨装置である。 【効果】 ワークを前記被研磨面の軸心を中心として回
転させながら各々のバフホイールによって前記ワークの
被研磨面を互いに逆方向から研磨できるものであるた
め、従来に比し、研磨作業がしやすいものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は研磨装置に関し、乾式
研磨又は湿式研磨に使用されるものである。
【0002】
【従来の技術】従来における研磨装置にあっては、被研
磨面を有するワークと適宜手段によって回転するバフホ
イールとを備え、前記ワークを前記被研磨面の軸心を中
心として回転させながら前記バフホイールによって前記
ワークの被研磨面を研磨していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
研磨装置にあっては、バフホイールが一つだけしか設け
られていなかったため、ワークの被研磨面を研磨する場
合、往復研磨をする必要上、バフホイールの回転方向を
変えなければならないという不都合を有した。
【0004】この発明の課題はかかる不都合を解消する
ことである。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記課題を達成するため
に、この発明に係る研磨装置においては、被研磨面を有
するワークと適宜手段によって回転するバフホイールと
を備え、前記ワークを前記被研磨面の軸心を中心として
回転可能に設置するとともに前記バフホイールの底面に
よって前記ワークの被研磨面を研磨する研磨装置におい
て、
【0006】前記バフホイールを一対設けるとともにそ
の軸心を中心として各々逆方向に回転させるか、
【0007】または、被研磨面を有するワークと適宜手
段によって回転するバフホイールとを備え、前記ワーク
を前記被研磨面の軸心を中心として回転可能に設置する
とともに前記バフホイールの外周面によって前記ワーク
の被研磨面を研磨する研磨装置において、
【0008】前記バフホイールを一対設け、片方のバフ
ホイールを前記ワークの回転方向に対して順方向の状態
で前記被研磨面に接するように回転させるとともに他方
のバフホイールを前記ワークの回転方向に対して逆方向
の状態で前記被研磨面に接するように回転させるように
したものである。
【0009】
【作用】この発明に係る研磨装置は上記のように構成さ
れているため、ワークを前記被研磨面の軸心を中心とし
て回転させながら各々のバフホイールによって前記ワー
クの被研磨面を互いに逆方向から研磨できるものであ
る。
【0010】
【実施例】図1において、1は支持盤、11はこの支持盤
1の軸心に設置された支軸である。この支持盤1はこの
支軸11を中心として適宜手段によって矢印方向に回転さ
れる。Wは盤状のワークであり、前記支持盤1に載置さ
れている。このワークWは上面を被研磨面としている。
【0011】次に、2は第一回転駆動装置であり、モー
ター等の駆動原を有している。21は回転軸であり、前記
回転駆動装置2に設置されている。この回転軸21は前記
モーター等の動力によって軸心を中心として回転する。
22は第一バフホイールであり、前記回転軸21の先端に固
定されている。このバフホイール22は回転しながらその
底面である研磨面221 によってワークWを研磨する。
【0012】また、3は第二回転駆動装置であり、前記
第一回転駆動装置2と同様に、モーター等の駆動原を有
している。31は回転軸であり、前記回転駆動装置3に設
置されている。この回転軸31は前記モーター等の動力に
よって軸心を中心として回転する。32は第二バフホイー
ルであり、前記回転軸31の先端に固定されている。この
バフホイール32は回転しながらその底面である研磨面32
1 によってワークWを研磨する。
【0013】なお、第一バフホイール22と第二バフホイ
ール32とは互いに逆方向に回転するため、ワークWの被
研磨面は往復方向に研磨されることになる。
【0014】また、図2に他の実施例を示したものであ
る。
【0015】この実施例にあっては、各バフホイール2
2,32 の外周を研磨面としたものである。この場合、第
一バフホイール22は前記ワークWの回転方向に対して逆
方向の状態で前記被研磨面(ワークWの)に接するよう
に回転し、第二バフホイール32は前記ワークWの回転方
向に対して順方向の状態で前記被研磨面(ワークWの)
に接するように回転している。
【0016】このため、ワークWの被研磨面は往復方向
に研磨されることになる。
【0017】
【発明の効果】この発明に係る研磨装置は、被研磨面を
有するワークと適宜手段によって回転するバフホイール
とを備え、前記ワークを前記被研磨面の軸心を中心とし
て回転可能に設置するとともに前記バフホイールの底面
によって前記ワークの被研磨面を研磨する研磨装置にお
いて、
【0018】前記バフホイールを一対設けるとともにそ
の軸心を中心として各々逆方向に回転させるようにした
か、
【0019】または、被研磨面を有するワークと適宜手
段によって回転するバフホイールとを備え、前記ワーク
を前記被研磨面の軸心を中心として回転可能に設置する
とともに前記バフホイールの外周面によって前記ワーク
の被研磨面を研磨する研磨装置において、
【0020】前記バフホイールを一対設け、片方のバフ
ホイールを前記ワークの回転方向に対して順方向の状態
で前記被研磨面に接するように回転させるとともに他方
のバフホイールを前記ワークの回転方向に対して逆方向
の状態で前記被研磨面に接するように回転させるように
したため、
【0021】ワークを前記被研磨面の軸心を中心として
回転させながら各々のバフホイールによって前記ワーク
の被研磨面を互いに逆方向から研磨できるものである。
【0022】よって、この研磨装置を使用すれば、従来
に比し、研磨作業がしやすいものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係る研磨装置の斜視図である。
【図2】同他の実施例の斜視図である。
【符号の説明】
W … ワーク 22 … 第一バフホイール(バフホイール) 221 … 研磨面 32 … 第二バフホイール(バフホイール) 321 … 研磨面

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被研磨面を有するワークと適宜手段によ
    って回転するバフホイールとを備え、前記ワークを前記
    被研磨面の軸心を中心として回転可能に設置するととも
    に前記バフホイールの底面によって前記ワークの被研磨
    面を研磨する研磨装置において、 前記バフホイールを一対設けるとともにその軸心を中心
    として各々逆方向に回転することを特徴とする研磨装
    置。
  2. 【請求項2】 被研磨面を有するワークと適宜手段によ
    って回転するバフホイールとを備え、前記ワークを前記
    被研磨面の軸心を中心として回転可能に設置するととも
    に前記バフホイールの外周面によって前記ワークの被研
    磨面を研磨する研磨装置において、 前記バフホイールを一対設け、片方のバフホイールを前
    記ワークの回転方向に対して順方向の状態で前記被研磨
    面に接するように回転させるとともに他方のバフホイー
    ルを前記ワークの回転方向に対して逆方向の状態で前記
    被研磨面に接するように回転させることを特徴とする研
    磨装置。
JP4359980A 1992-10-30 1992-12-31 研磨装置 Pending JPH06198558A (ja)

Priority Applications (13)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4359980A JPH06198558A (ja) 1992-12-31 1992-12-31 研磨装置
AU53448/94A AU672653B2 (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel
AT93923661T ATE175916T1 (de) 1992-10-30 1993-10-29 Polierverfahren, hierzu bestimmte vorrichtung und schwabbel-/polierscheibe
PCT/JP1993/001566 WO1994009945A1 (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel
ES93923661T ES2127838T3 (es) 1992-10-30 1993-10-29 Metodo pulidor y aparato para el mismo y rueda pulidora.
EP93923661A EP0624432B1 (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel
CA002127098A CA2127098C (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, device and buff wheel therefor
KR1019940702271A KR0167000B1 (ko) 1992-10-30 1993-10-29 연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프 휠
DE69323178T DE69323178T2 (de) 1992-10-30 1993-10-29 Polierverfahren, hierzu bestimmte vorrichtung und schwabbel-/polierscheibe
MYPI93002850A MY108912A (en) 1992-12-31 1993-12-28 Polishing method, device and buff wheel therefor
CN93121397A CN1089050C (zh) 1992-12-31 1993-12-29 研磨方法,装置及其研磨轮
MX9400124A MX9400124A (es) 1992-12-31 1994-01-03 Metodo para pulir, dispositivo y disco pulidor para el mismo.
US08/275,824 US5516327A (en) 1992-10-30 1994-06-30 Polishing method, device and buff wheel therefor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4359980A JPH06198558A (ja) 1992-12-31 1992-12-31 研磨装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06198558A true JPH06198558A (ja) 1994-07-19

Family

ID=18467285

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4359980A Pending JPH06198558A (ja) 1992-10-30 1992-12-31 研磨装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06198558A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014097551A (ja) * 2012-11-15 2014-05-29 Disco Abrasive Syst Ltd 研削方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014097551A (ja) * 2012-11-15 2014-05-29 Disco Abrasive Syst Ltd 研削方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH04346429A (ja) ウエーハ外周の鏡面面取り装置
JP2000218482A (ja) 枚葉式端面研磨機
JP2000317835A5 (ja)
JPH1133888A (ja) ウェーハの鏡面面取り装置
JPH06198558A (ja) 研磨装置
JPS61192460A (ja) 光コネクタ中子の端面凸球面状研磨方法
CA2127098A1 (en) Polishing Method, Device and Buff Wheel Therefor
JPS6320673B2 (ja)
JPH0752020A (ja) 湿式研磨方法およびその装置
JPH0242625B2 (ja)
JPH02301135A (ja) ウェハ面取り部の研磨方法
JP2001179600A (ja) ドレッサ
JPH09155724A (ja) 湿式研磨方法
JPH085002B2 (ja) 球面ホーニング加工方法
JPS5828759Y2 (ja) ケンマバンノ ジ コウテンウンドウソウチ
JPS6320535Y2 (ja)
JP3411202B2 (ja) 円盤状ワーク外周部の研磨方法
JP2002066897A (ja) 携帯用電動工具
KR200220691Y1 (ko) 구면 연마장치
JP3009406U (ja) 回転砥石と研磨装置
JP2001259980A (ja) レンズ芯取り加工装置
JPH061317Y2 (ja) 弁座すり合せ研摩装置
JP3012663U (ja) 刃物研ぎ機
JPH06198556A (ja) 湿式研磨方法およびその装置
JPH029577A (ja) 研削砥石ドレッシング装置