WO1994009945A1 - Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel - Google Patents

Description

明 細 書

研磨方法、 その装置および研磨周バフホイ ル

技術分野

この発明は、 バフホイ 一ルを使用する研磨方法、 その装 置およびかかるバフホイ 一ルに関する ものである。

技術背景

従来におけるバフホイ ールを使用する研磨装置は、 回転 駆動手段によってバフホイ ールを回転させ、 研磨剤を供給 しながら、 このバフ *ィ 一ルによってワークの被研磨面を ^磨していた。

しかしながら、 かかる従来の研磨装置にあっては、 パフ ホイ ールの研磨面がワークの被研磨面に常時接触していた ため、 バフホイ ールの研磨面とワーク の被研磨面との間に 前記研磨剤が浸入しに く く 、 よって、 ワークの被研磨面を 能率良く 研磨しに く いという不都合を有した。

そして、 かかる従来のバフホイ ールにあっては、 ホイ一 ル自体が一つのバフになっていたため、 研磨目的に応じて 適宜ホイ ールを選択しなければならず、 この結果、 研磨作 業の作業能率を向上させに く いという不都合を有した。

また、 従来の研磨装置にあっては、 バフホイ ールがーつ だけしか設けられていなかつたため、 ワーク の被研磨面を 研磨する場合、 往復研磨をする必要上、 バフホイ ールの回 転方向を変えなければならないという不都合を有した。 更に、 かかる従来の研磨装置にあっては、 バフホイ ール の研磨面がワークの被研磨面に常時接触していたため、 'ベ フホィ 一ルの研磨面とワークの被研磨面との間に前記研磨 剤が浸入しに く いとともに均一に研磨しに く つマ ワークの被研磨面を能率良 く 研磨しに く いという不都合を 有した。

なお、 かかる従来の研磨装置にあっては、 単に研磨剤を 供給していたにすぎないため、 研磨剤と しての機能を充分 発揮しに く いという不都合を有した。

この発明の第一の目的は、 ワークの被^磨面を能率良 く 研磨しやすい研磨方法および研磨装置を提供する こ とであ る。

そして、 第二の目的は、 ワーク の被研磨面を互いに逆方 向から研磨でき る研磨装置を提供する こ とである。

そして、 第三の目的は、 ワークの被研磨面を均一な状態 で能率良く 研磨しやすい研磨方法および研磨装置を提供す る こ とである。

そして、 第四の目的は、 研磨剤と しての機能を充分発揮 しゃすい研磨方法および研磨装置を提供する こ とである。 そして、 第五の目的は、 研磨目的に応じてホイ ールを取 り替える必要のないバフホイ ールを提供する こ とである。 発明の開示

第一の目的を達成するために、 本発明に係る研磨方法は、 回転するバフホ イ ールの研磨面とワーク の被研磨面との間 に研磨剤を供給しながら、 前記パフホイ ールによ って前記 ワークを研磨する研磨方法において、 前記パフホイ ールの 研磨面を前記ワーク の被研磨面に対して進退させながら前 記ワークの被研磨面を研磨する ものであるため、 研磨中に おいて、 バフホイ ールの研磨面とワークの被研磨面との間 に研磨剤を浸入させやすいものである。

第一の目的を達成するために、 本発明に係る研磨装置は、 回転駆動手段とパフホイ一ルとを備え、 前記回転駆動手段 によって前記パフホイ ールを回転させ、 その研磨面によつ てワークを研磨する研磨装置において、 前記バフホイ 一ル の研磨面を前記ワーク の被砑磨面に対して進退可能にした ため、 前記研磨方法を容易に実施でき る ものである。

第二の目的を達成するために、 本発明に係る研磨装置は、 被研磨面を有するワーク と適宜手段によ って回転するバフ ホイ一ルとを備え、 前記ワークを前記被研磨面の 由心を Φ 心と して回転可能に設置する とと もに前記バフホイ一ルの 底面によって前記ワーク の被趼磨面を研磨する研磨装置に おいて、 前記バフホイ ールを一対設ける とと もにその軸心 を中心と して各々逆方向に回転させる力、、 または、 裱研磨 面を有する ワーク と適宜手段によって回転するバフホイ 一 ルとを備え、 前記ワークを前記被研磨-面の鈾心を中心と し て回転可能に設置する とともに前記バフホイ ールの外周面 によ って前記ワーク の被研磨面を研磨する研磨装置におい て、 前記バフホイ ールを一対設け、 片方のバフホイ ールを 前記ワーク の回転方向に対して順方向の状態で前記被研磨 面に接するよう に回転させる とともに他方のバフホイ ール を前記ワーク の回転方向に対して逆方向の状態で前記被硏 磨面に接するよう に回転させるよう にしたため、 ワークを 前記被研磨面の軸心を中心と して画転させながら各々のバ フホイールによって前記ワークの被研磨面を互いに逆方向 から研磨できる ものである。

第三の目的を達成するために、 本発明に係る研磨方法は、 回転するパフホイ ールの研磨面とワーク の被硏磨面との間 に研磨剤を供給しながら、 前記バフホ イ ールによ って前記 ワークを研磨する研磨方法において、 前記パフホイ 一ルの 回転軸を前記ワーク の被研磨面に対して揺動させながらこ の被研磨面を研磨するため、 研磨中において、 バフホイ 一 ルの研磨面とワーク の被研磨面との間に^磨剤を滑らかに 浸入させやすいとともに簡単な機構でワーク の被^磨面を 均一に研磨しやすいものである。 よって、 この研磨方法を 使招すれば、 ワークの被研磨面を均一な状態で能率良 く 研 磨しやすいものである。

第三の目的を達成するために、 本発明に係る ^磨装置 、 回転駆動手段とパフホ イ ールとを備え、 前記回転駆動手段 によって前記バフホイ ールを回転させ、 その研磨面によつ てワークを研磨する研磨装置において、 前記バフホィ 一ル の回転軸を前記ワークの被研磨面に対して揺動可能にした ため、 研磨中において、 バフホイ ールの研磨面とワークの 被研磨面との間に研磨剤を滑らかに浸入させやすいとと も に簡単な機構でワークの被研磨面を均一に研磨しやすいも のである。

第四の目的を達成するために、 本発明に係る研磨方法に おいては、 回転するバフホイ ールの研磨面とワークの被^ 磨面との間に研磨剤を供給しながら、 前記バフホイ ールに よって前記ワークを研磨する研磨方法において、 前記研磨 剤を加熱しながら前記ワークを研磨するか加熱された前記 ワークを研磨し、 研磨剤の機能を十分発揮させる こ とがで き る。

第四の目的を達成す ために、 この発明に係る研磨装置 は、 回転するパフホィ 一ルの研磨面とワーク の被研磨面と の間に研磨剤を供給しながら、 前記バフホイ ールによって 前記ワークを研磨する研磨装置において、 前記研磨剤の貯 留槽を設け、 この貯留槽に加熱手段を設けるか前記ワーク を加熱するための加熱手段を設けたため、 研磨剤の機能を 十分発揮させる こ とができる。

第五の目的を達成するために、 本発明に係る^磨 ホイ 一ルにおいては、 弾性円盤体の軸心部にボス部材を着脱可 能に設置する とと もに前記円盤体の外周面に研磨用シー ト を着脱可能に設置したため、 研磨目的に応じて、 弾性円盤 体および研磨用シー トを適宜選択する こ とができる。 図面の簡単な説明

第 1 図はこの発明に係る研磨装置の斜視図である 第 2 図は同他の実施例の斜視図である。 第 3図は研磨用ホイ ールの部分断面斜視図である。

第 4 図は他の研磨用ホイールの部分断面斜視図である。 第 5図はこの発明に係る他の研磨装置の説明図である。 第 6図はこの発明に係る他の研磨装置の斜視図である。 第 7図は第 6図の平面図に相当する他の研磨装置図であ る

第 8図は第 7 図に相当する他の実施例の図である。 発明を実施するための最良の形態

本発明をより詳細に説明するために、 実施例と して湿式 研磨方法を採り上げ、 添付の図面に従ってこれを説明する , 第 1 図において、 1 は回転駆動装置であり、 モーター等 の駆動原を有している。 1 1は回転軸であり、 前記回転駆動 装置 1 に設置されている。 この回転軸 1 1は前記モーター等 の動力によって軸心を中心と して回転する。 そして、 この 回転軸 1 1は適宜手段によ ってその軸方向に沿って進退でき る。 12はパフホイ ールであり、 前記回転軸 1 1の先端に固定 されている。 このバフホイ 一ル 1 2は回転しながらその先端 側の研磨面 121 によってワーク Wを研磨する。 このとき、 前記回転軸 1 1をその軸方向に沿って進退させれば、 研磨面 121 とワーク Wとの間に隙間を設ける こ とができるため液 体研磨剤を浸入させやすいものである。

次に、 第 2 図に基づいて、 前記バフホイ ール 12を詳述す る。

図において、 15はホイ ール 12のボス部材であり、 アルミ ニゥム製である。 このボス部材 15を介してホイ ール 12は前 記屈転駆動装置 1 の回転軸 1 1に嵌揷固定される。 16は弾性 円盤体であり、 前記ボス部材 15に着脱可能に外嵌めされて いる。 この弾性円盤体 16はスポンジ等によつて形成され、 その片側面を前記ボス部材 1 5より も突岀させている。 17は 研磨用シー トであり、 前記弾性円盤体 16の突出した片側面 に補助弾性体 18を介してマジ ッ クテープ等によつて着脱可 能に固定されている。 こ の研磨用シー ト Πは、 フヱル ト、 ネル、 皮等によって形成され、 前記ワーク Wを研磨するた めの研磨面 121 を構成レている。 なお、 前記弾性円 ¾俸1 6 より もこ の補助弾性体 18の弾性力を小さ く すれば、 ワーク Wの被研磨面に研磨用シ一 ト 17がなじみやすいものである。 さ らに、 前記補助弾性体 1 8を前記研磨用シー ト 17に固着さ せる とと もに前記円盤体 26に着脱可能に設置すれば、 補助 弾性体 18を適宜取り替える こ とができ る。

なお、 前記弾性円盤体 16より も前記補助弾性体 18の弾性 力を小さ く すれば、 ワーク （被研磨部材） Wの被^磨面に 研磨用シ一 ト Πがなじみやすいものである。 また、 前記 補助弾性体 1 8を前記研磨用シー ト 1 7に固着する と ともに前 記補助弾性体 18を前記円盤体 16に着脱可能に設置すれば、 補助弾性体 18を適宜取り替える こ とができ るため、 バフホ ィール自体 12の弾性を研磨目的に合わせて調節しやすい。 第 3 図は他の実施例であり、 バフホイ一ル 1 2の周側に研 磨面 121 が設けられ、 回転軸 1 1の軸心が適宜手段によって ワーク Wに対して近接したり離隔したりする ものである。 この実施例におけるバフホィ ール 12は第 4 図に示すよう に、 中心部にボス部材 1 5を有し、 その周囲に弾性円盤体 1 6 が着脱可能に設置され、 その外周囲に弾性シー ト 1 7が補助 弾性材 18を介して着脱可能に設置されている ものである。 こ の実施例における弾性円盤体 16の材料、 弾性シー ト 17の 材料、 その弾性力の相互関係等は前記実施例と同様である _£ 次に、 第 5 図はこの発明の他の実施例を示すものである _c 図において、 7 は支持盤、 71はこの支持盤 7 の軸心に設 置された支軸である。 こ の支持盤 7 はこ の支輔 71を Φ心と して適宜手段によって矢印方向に回転される。 支持盤 1 に 愨状のワーク Wが載置されている。 このワーク Wは上面を 被研磨面と している。

1 は第一回転駆動装置であり、 モーター等の駆動原を有 している。 1 1は回転 由であり、 前記回転駆動装置 i に設置 されている。 この回転軸 1 1は前記モーター等の動力によつ て鈾心を中心と して回転する。 12は第一パフホイ ールであ り、 前記回転軸 1 1の先端に固定されている。 こ のバフホイ —ル 12は回転しながらその底面である研磨面 121 によって ワーク Wを研磨する。

また、 2 は第二回転駆動装置であり、 前記第一回転駆動 装置 1 と同様に、 モ一ター等の駆動原を有している。 21は 回転鈾であり、 前記回転駆動装置 2 に設置されている。 こ の回転 由 21は前記モーター等の動力によって軸心を中心と して回転する。 22は第二バフホイ ールであり、 前記回転家由 21の先端に固定されている。 こ のバフ ホ イ ール 22は P!転し ながらその底面である研磨面 221 によってワーク Wを研磨 する。

なお、 第一パフ ホ イ ール 12と第二バフホイ ール 22とは互 いに逆方向に回転するため、 ワーク Wの被砑磨面は往復方 向に研磨される こ とになる。

次に、 第 5図において、 4 は研磨剤用パンであり、 前記 支持盤 7 の下方に設置されている。 こ の研磨剤用パ ン 4 は ワーク Wの被研磨面から排岀する研磨剤 （舍塵研磨液） を 集めるためのものである。 41は研磨剤排岀管であり、 前記 研磨剤用パ ン 4 に設置されている。 こ の研磨剤排出管 41は ス ト レーナ 41 1 を介して集められた研磨剤 （研磨液） を下 方に排出する。 なお、 このス ト レーナ 4 1 1 を通過する際に 研磨剤 （研磨液） 中の大きな粉塵が除まされる。

次に、 5 は研磨剤貯留楦であり、 前記研磨剤^パ ン 4 の 下方に配置されている。 こ の^磨剤貯留橹 5 は^磨剤 （ f 磨液） Bを貯留するためのものであり、 前記研磨剤用パン 4 から研磨剤排出管 41を介して妍磨剤 （研磨液） が排出す る。 貯留槽 5 に排出した研磨剤 （研磨液） B はポ ンプ P の 作動によって流路 51を介して、 前記パフホイ ール 22 , 32 の 研磨面 221 , 321 とワーク Wの被研磨面との間に再度供,袷さ れる。 すなわち、 研磨剤 （研磨液） B は流路 51等を介して 還流している。 なお、 52は流路 5 に設置されたス ト レ一ナ であり、 微細な粉塵を除まするためのものである。

また、 6 は電気ヒータであり、 前記研磨剤貯留楦 5 内に 設置されている。 こ の ヒータ 6 は研磨剤 （研磨液'） Bを加 熱するためのものである。 なお、 研磨剤 （研磨液） Bは 3 7 ° C〜 6 0 ° Cに加熱するのがよい。 なぜならば、 3 7 ° C以下では研磨剤 （研磨液） Bに対流が発生しに く く 、 ま た、 6 0 ° C以上ではワーク Wの被研磨面に吹きつけ際に 乾燥し、 研磨剤 （研磨液） B と しての機能を失うからであ る。 なお、 乾式研磨方法に用いられる研磨剤 （固形研磨剤） についても同じこ とがいえる。

また、 8 はモータ 8 1によって駆動する攪拌翼、 9 は気泡 供給管であり、 両者 8 , 9 とも研磨剤貯留槽 5 に設置され ている。 前記攪拌翼 8 ,は回転する こ とによって研磨剤 （¾if 磨液） Bの攪拌を、 前記気泡供給管 9 は気泡を研磨剤 （¾f 磨液） B中に供給する こ とによってかかる研磨剤 （研磨液） Bの攪拌を補助している。

なお、 前記研磨液 Bを 3 7 ° C〜 6 0 ° Cに加熱したの は、 研磨液 Bの対流を維持しながらワーク Wに吹きつけら れた際の乾燥を防止するためである。

また、 前記研磨液 Bを加熱するかわり に、 ワーク Wを設 置した後、 温風を吹きつけて当該ワーク Wを 3 7 ° C〜 6 0 ° Cに加熱する こ ともできる。

次に、 第 6図は、 更に他の実施例を示したものである。 この実施例にあっては、 各バフホイ ール 12 , 22 の外周を 研磨面と したものである。 この場合、 第一バフホイ ール 1 2 は前記ワーク Wの面転方向に対して逆方向の状態で前記被 研磨面 （ワーク Wの） に接するよ う に回転し、 第二バフホ ィ ール 22は前記ワーク Wの回転方向に対して順方向の状態 で前記被研磨面 （ワーク wの） に接するよう に回転してい る。

このため、 ワーク wの被研磨面は往復方向に研磨される こ とになる。

なお、 第 7図はこの実施例を更に改良したものである。 第 7図において、 第一回転駆動装置 1 は揺動中心 1 1 1 をそ の略中心部に有している。 こ の揺動中心 111 を中心として 前記第一回転駆動装置 1 は適宜手段 （ク ラ ンク機構、 ラ ッ ク · ピニオ ン機構等） を介して水平方向に揺動する。 回転 軸 11は前記揺動中心 1 U に重なるよう に設置されている。 このように、 前記回転軸 11の揺動中心をこの回転軸 11の軸 心上に設置すれば、 かかる揺動をスムーズにする こ とがで き る。 また、 こ の回転軸 11は前記モータ一等の動力によつ て軸心を中心と して面転する。 12は第一バフホイ 一ルであ り、 前記回転軸 1 1の先端に固定されている。 こ のバフホイ —ル 12は回転しながらその外周である研磨面 12 1 によって ワーク Wを研磨する。 こ のため、 第一回転駆動装置 1 が適 宜手段 （ク ラ ンク機構、 ラ ッ ク · ピニォ ン機構等） を介し て水平方向に揺動する と、 バフホイ 一ル 12は第 7 図の仮想 線が示すよう に揺動する。

また、 第二回転駆動装置 2 は前記第一回転駆動装置 1 と 同様に、 モータ一等の駆動原を有している。 21 1 は揺動中 心であり、 前記第二回転駆動装置 2 の略中心部に設置され ている。 この揺動中心 21 1 を中心と して第二回転駆動装置 2 は適宜手段 （ ク ラ ンク機構、 ラ ッ ク · ピニオ ン機構等） を介して水平方向に揺動する。 回転軸 21は前記回転駆動装 置 2 において前記揺動中心 21 1 に重なるように設置されて いる。 この面転軸 21は前記モーター等の動力によつて軸心 を中心と して回転する。 22は第二バフホイ ールであり、 前 記回転軸 21の先端に固定されている。 こ のバフホイ 一ル 22 は回転しながらその外周である研磨面 221 によってワーク Wを研磨する。 このため、 第二回転躯動装置 2 が適宜手段 (ク ラ ンク機構、 ラ ッ ク ♦ ピニオ ン機構等） を介して水平 方向に揺動すると、 パフホィ 一ル 22は第 7 図の仮想線が示 すよ う に揺動する。 なお、 第二パフホイ ール 22は第一バフ ホイ ール 12と逆方向に回転している。 また、 第二バフホイ —ル 22の揺動方向は第一バフホイ ール 12と同方向でも逆方 向でもよい。

第 8図はこ の実施例を更に改良したものであり、 前記回 転軸 1 1を第一回転躯勣装置 1 とともにその軸方向に対して 垂直方向に往復動可能 （矢印方向を参照のこ と） に設置し、 第一バフホィ 一ル 1 2を同方向に移動可能にした.ものである。 こ の往復動は、 前記支持盤 7 、 即ち、 前記ワーク Wに対し て略平行に行われる （第 8図の二点鎖線の図を参照のこ と） こ のよ う にする とワーク全体をむらな く 研磨する こ とがで き る

なお、 第二回転躯動装置 2 の場合も第一駆動装置 1 と同 様に往復動可能に設置する こ ともでき る。 産業上の利用可能性 以上のよう に、 本発明に係る研磨方法、 その装置および ノ フホイ 一ルは、 面転するバフホイ 一ルの研磨面と ワーク の被研磨面との間に液体研磨剤を供給しながら前記ワーク を研磨するための手段と して有用である。

Claims

清 求 の 範 囲

1 . 回転躯動手段（1) によって回転するバフホイ ール（12) の研磨面（121) とワーク （ ) の被研磨面との間に研磨剤 (B) を供給しながら、 前記パフホイ 一ル（12)によって前 記ワーク （W) を研磨する研磨方法において、

前記パフホイ ール（12)の研磨面（121) を前記ワーク （ ) の被研磨面に対して進退させながら前記ワーク り の被 研磨面を研磨する こ とを特徵とする研磨方法。

2. 前記バフホイ ール（12)を前記回転駆勛手段（1) とと も に進退可能にしたこ とを特徵とする特許請求の範囲第 1 項記載の研磨方法

3 . 回転駆動手段（1) とバフホイ ール（12)とを備え、 前記 回転駆動手段（1) によ って前記パフホイ ール（12)を回辠云 させ、 その研磨面（121) によってワーク （ ) を ^磨する 研磨装置において、 前記バフホィ 一ル（12)の研瞎面（121 ) を前記ワーク （W) の被研磨面に対して進退可能にしたこ とを特徵とする研磨装置

4 , 研磨剤（B) の貯留槽（5) を更に設け、 こ の貯留槽（5) に加熱手段を設けたこ とを特徵とする特許請求の範囲第 3 項記載の研磨装置。

5 . 前記バフホイ ール（12)を前記回転駆動手段（1) と と も に進退可能にしたこ とを特徵とする特許請求の範囲第 3 . 項記載の研磨装置

6 . 被研磨面を有するワーク （W) と適宜手段によ って回転 するパフホイ ール（12)とを備え、 前記ワーク （( を前記 被研磨面の軸心を中心と して回転可能に設置する と も に前記バフホイ ール（12)の底面によって前記ワーク ') の被研磨面を研磨する研磨装置において、

前記バフホイ ール（12)を一対設ける とと もにその鈾心 を中心と して各々逆方向に回転する こ とを特徴とする研 . 被研磨面を有するワーク （ ) と適宜手段によって回転 するパフホイ ール（12) , (22) とを備え、 前記ワーク （½) を前記被研磨面の軸心を中心と して回転可能に設置する とともに前記バフホイ 一ル（1 52) , (22) の外周面によって 前記ワーク （W) の被研磨面を研磨する研磨装置において、 前記バフホイ ール（12)，（22) を一対設け、 片方のバフ ホイ ール (12)を前記ワーク （W) の回転方向に対して順方向 の状態で前記被研磨面に接するよう に回転させる とと も に他方のバフホイ 一ル（22)を前記ワーク （W) の回転方向 に対して逆方向の状態で前記被研磨面に接するよう に回 転させる こ とを特徵とする研磨装置。

. 回転するパフホイ ール（12) , (22) の研磨面とワーク （W) の被研磨面との間に研磨剤（Β) を供辁しながら、 前記バ フホイ ール（12) , (22) によって前記ワーク （ ) を 5开磨す る研磨方法において、

前記パフホ イ ール（12) , (22) の回転 由（11) _: (21) を前 記ワーク （W) の被研磨面に対して揺動させながらこ の被 研磨面を研磨する こ とを特 i とする研磨方法。

9. 前記回転軸（11) , (21) の揺動中心をこの回転軸（11) , ( 21) の拿由心上に設置したこ とを特徴とする特許請求の範 囲第 8 項記載の研磨方法。

10. 前記回転軸（11) , (21) をその 由方向に対して垂直方向 δ に往復動可能に設置する とともにこの往復動を前記ヮー ク （W) に対して略平行にしたこ とを特徴とする特許請求 の範囲第 8項記載の研磨方法

11. 画転駆動手段（1) , (2) とパフホイ ール（12) , (22) とを 備え、 前記回転駆動手段（1) , (2) によって前記バフホイ0 ール（12) , (22) を回転させ、 その^磨面によ ってワーク

(W) を研磨する研磨装置において、 前記バフホイ ール（1 2) , (22) の回転軸（11)， （21) を前記ワーク （ ) の被研磨 面に対して揺動可能にしたこ とを特徵とする研磨装置

12. 前記回転轴（11) , (21) の揺動 Φ心をこの回転軸（11) , (5 21) の蝕心上に設置したこ とを特 i とする特許請求の範 囲第 11項記載の研磨装置

13. 前記回転軸（11) , (21) をその铀方向に対して垂直方向 に往復動可能に設置する とと もにこの往復動を前記ヮー ク （ ) に対して骆平行にしたこ とを特 itとする特許請求0 の範囲第 11項記載の研磨装置。

14. 研磨剤（B) の貯留槽（5) を更に設け、 この貯留橹（5) に加熱手段を設けたこ とを特徴とする特許請求の範囲第 11項記載の研磨装置。

15. 回転するバフホイ ール（12) , (22) の研磨面（121)，（221 ) とワーク ;） の被研磨面との間に研磨剤（B) を供辁しな がら、 前記バフホイ ール（12) , (22) によ って前記ワーク (W) を研磨する研磨方法において、

前記研磨剤（Β) を加熱しながら前記ワーク を研磨 する こ とを特徵とする研磨方法。

δ 16. 回転するバフホ イ ール（12) , (22) の研磨面（121) , (221 ) とワーク （W) の被研磨面との間に研磨剤（Β) を供給しな がら、 前記バフホ イ ール（12) , (22) によ って前記ワーク (W) を研磨する研磨方法において、

加熱された前記ワーク （W) を研磨する こ とを特徵とする0 研磨方法。 ，

17. 前記研磨剤（Β) を 3 7 ° C〜 6 0 ° Cに加熱する こ と を特徴とする特許請求の範囲第 15項記載の ^磨方法

18. 前記ワーク （W) を 3 7 。 C〜 6 0 ° Cに加熱する こ と を特徵とする特許請求の範囲第 15項記載の研磨方法5 19. 前記ワーク （W) を設置してから温風で当該ワーク ） を加熱する こ とを特徵とする特許請求の範囲第 18項記載 の研磨方法。

20, 回転するバフホ イ ール（12) , (22) の研磨面（121) , (221 ) とワーク （W) の被研磨面との間に研磨剤（B) を供給しな0 がら、 前記バフホ イ ールバフホ イ ール（12) , (22) によ つ てワーク （ ) を研磨する研磨装置において、

前記研磨剤（B) の貯留槽 (5)を設け、 こ の貯留槽 (5)に加 熱手段を設けたこ とを特徵とする研磨装置。

21. 回転するバフホ イ ール（12) , (22) の研磨面（121) , (221 ) とワーク （ ) の被研磨面との間に研磨剤（B) を供給しな がら、 前記バフホ イ 一ル（12) , (22) によ って前記ワーク (W) を研磨する研磨装置において、

前記ワーク （W) を加熱するための加熱手段（6) を設け たこ とを特徴とする研磨装置。

22. 弾性円盤体（16)の軸心部にボス部材（15)を着脱可能に 設置する とともに前記円盤体（16)の外周面に研磨用シー ト （17)を着脱可能に設置したこ とを特徴とする研磨用バ フホ イ ール。

23. 前記円盤体（16)と前記研磨用シー ト （17)との間に補助 弾性体（18)を介在させたこ とを特徴とする特許請求の範 囲第 22項記載の研磨甩バフホィ 一ル。

24. 前記弾性円盤体（16)より も前記補助弾性体（18)の弾性 力を小さ く したこ とを特徵とする特許請求の範囲第 23項 記載の^磨用パフホイール。

25. 前記補助弾性体（18)を前記研磨用シー ト （17)に固着す る とともに前記補助弾性体（18)を前記円盤体（16)に着脱 可能に設置したこ とを特徴とする特許請求の範園第 22項 または特許請求の範囲第 24項記載の研磨周バフホィ ール。

26. 弾性円盤体（16)の軸心部にボス部材（15)を着脱可能に 設置する とともに こ の円盤体（16)の片側面を前記ボス部 材（15)より も突出させ、 この突出させた円蓥体（16)の片 側面に研磨用シー ト （17)を着脱可能に設置したこ とを特 徵とする研磨周バフホイ ール。

27. 前記円盤体（16)と前記研磨用シー ト （17)との間に補助 弾性体（18)を介在させたこ とを特徴とする特許請求の範 囲第 26項記載の研磨用バフホィ 一ル。

28. 前記弾性円盤体（16)より も前記襦助弾性体（18)の弾性 力を小さ く したこ とを特徵とする特許請求の範囲第 27項 記載の研磨用バフホイ ール。

29. 前記補助弾性体（18)を前記研磨用シー ト （17)に固着す る と ともに前記補助弾性体（18)を前記円盤体（16)に着脱 可能に設置したこ とを特徵とする特許請求の範囲第 26項 または特許請求の範囲第 28項記載の研磨用バフホィ一ル₅