KR940703729A - 연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프휠(polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel) - Google Patents

연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프휠(polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel)

Info

Publication number
KR940703729A
KR940703729A KR1019940702271A KR19940702271A KR940703729A KR 940703729 A KR940703729 A KR 940703729A KR 1019940702271 A KR1019940702271 A KR 1019940702271A KR 19940702271 A KR19940702271 A KR 19940702271A KR 940703729 A KR940703729 A KR 940703729A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
workpiece
polishing
buff
polished
wheel
Prior art date
Application number
KR1019940702271A
Other languages
English (en)
Other versions
KR0167000B1 (ko
Inventor
슈지 가와사키
Original Assignee
슈지 가와사키
가부시키가이샤 비비에프 야마케
오카 이치노스케
아사히 텍 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP4315644A external-priority patent/JPH0752053A/ja
Priority claimed from JP4315643A external-priority patent/JPH06198556A/ja
Priority claimed from JP4359980A external-priority patent/JPH06198558A/ja
Priority claimed from JP4359981A external-priority patent/JPH06198559A/ja
Priority claimed from JP05215179A external-priority patent/JP3094355B2/ja
Application filed by 슈지 가와사키, 가부시키가이샤 비비에프 야마케, 오카 이치노스케, 아사히 텍 가부시키가이샤 filed Critical 슈지 가와사키
Publication of KR940703729A publication Critical patent/KR940703729A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0167000B1 publication Critical patent/KR0167000B1/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B29/00—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Abstract

회전 버프 휠(12)에 가공물(W)을 연마하는 방법에서 연마제(B)는 연마되는 가공물(W)의 표면과 버프휠(12)의 연마 표면(121) 사이에 공급되고, 연마되는 가공물(W)의 표면이 연마되는 한편 버프 휠(12)의 연마 표면은 연마되는 가공물(W)의 표면에 대하여 전후진 운동한다.

Description

연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프휠(POLISHING METHOD, APPARATUS FOR THE SAME AND BUFF POLISHING WHEEL)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 연마 장치의 사시도, 제 2 도는 다른 실시예의 사시도, 제 3 도는 연마 휠의 부분 단면 사시도, 제 4 도는 연마 휠의 다른 실시예의 부분 단면 사시도, 제 5 도는 본 발명의 연마 장치의 다른 실시예의 전개도면, 제 6 도는 본 발명의 연마 장치의 다른 실시예의 사시도, 제 7 도는 제 6 도에 도시된 것과 유사한 다른 실시예의 평면도, 제 8 도는 제 7 도에 도시된 것과 유사한 다른 실시예의 평면도.

Claims (29)

  1. 가공물(W)이 로타리 구동수단(1)에 의해 회전하는 버프 휠(12)에 의해 연마되는 한편 연마제(B)가 버프 휠(12)의 연마 표면(121)과 연마되는 가공물(W)의 표면 사이의 갭에 공급되는 연마 방법에 있어서, 버프 휠(12)의 연마 표면(121)은 연마되는 가공물(W)의 표면에 대하여 왕복가능한 한편 연마가 수행되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 로타리 구동장치(21)와 함께 버프 휠(12)은 왕복운동 가능한 것을 특징으로 하는 연마방법.
  3. 버프 휠(12)의 연마 표면(121)으로 가공물(W)을 염마하기 위해 버프 휠(12)과 로타리 구동수단(1)으로 구성된 한편 버프 휠(12)은 로타리 구동수단에 의해 회전하는 연마장치에 있어서, 버프 휠(12)의 연마 표면(121)은 연마되는 가공물(W)의 표면에 대하여 왕복운동 가능한 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 장치는 연마제(B)를 위한 저장소로 더 구비되어 있고 저장소(5)는 가열수단으로 구비된 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  5. 제 3 항에 있어서, 로타리 구동장치(1)와 함께 버프 휠(12)은 왕복운동 가능한 것을 특징으로 하는 연마장치.
  6. 연마되는 표면을 갖춘 가공물(W)과, 버프 휠(12)의 바닥표면에 의해 연마되는 표면의 중앙에서축선에 대하여 회전할 수 있도록 장치된 가공물(W)을 연마하기 위해 적절한 수단에 의해 회전되는 버프 휠(12)로 구성된 연마 장치에 있어서, 버프 휠(12)은 쌍으로 구비되어 있고, 버프 휠(12)은 서로 반대방향으로 각각 회전하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  7. 연마되는 표면을 갖춘 가공물(W)과, 버프 휠(12,22)의 외주표면에 의해 연마되는 표면의 중앙에서 축선에 대하여 회전할 수 있도록 장치된 가공물(W)을 연마하기 위해 적절한 수단에 의해 회전되는 버프휠(12)로 구성된 연마 장치에 있어서, 버프 휠(12,22)은 쌍으로 구비되어 있고, 버프 휠중의 하나(12)는 가공물(W)의 회전방향과 동일한 방향으로 회전하고 연마되는 가공물(W)의 표면과 접촉하는 한편 버프 휠중의 다른 하나(22)는 가공물(W)의 회전방향과 반대방향으로 회전하며 연마되는 가공물(W)의 표면과 접촉하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  8. 가공물(W)이 회전 버프 휠(12,22)에 의해 연마되는 한편 연마제(B)가 연마되는 가공물(W)의 표면과 버프 휠(12,22)의 연마표면과의 사이의 갭에 공급되는 연마방법에 있어서, 버프 휠(12,22)의 각각의 로타리 축(11,21)은 연마되는 가공물(W)의 표면을 따라 진동하는 한편 연마가 수행되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 로타리 축(11,21)의 진동의 센터는 로타리 축(11,21)의 축선상에 배열되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  10. 제 8 항에 있어서, 로타리 축(11,21)은 그 축선에 법선 방향으로 왕복운동 가능하게 장치된 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  11. 로타리 구동수단(1,2)과, 로타리 구동수단(11,21)에 의해 회전되는 버프 휠(12,22)의 연마 표면에 의해 연마되는 가공물(W)의 표면을 연마하기 위한 버프 휠(12,22)로 구성된 연마 장치에 있어서, 버프 휠(12,22)의 로타리 축(11,21)은 연마되는 가공물(W)의 표면을 따라 진동할 수 있게 만들어진 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  12. 제11항에 있어서, 로타리 축(11,21)의 진동의 센터는 로타리 축(11,21)의 축선상에 배열되는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  13. 제11항에 있어서, 로타리 축(11,21)은 로타리 축(11,21)의 축선에 법선방향으로 왕복운동 가능하게 장치된 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  14. 제11항에 있어서, 장치는 연마제(B)를 위한 저장소(5)로 구성되어 있고 저장소(5)는 가열수단으로 구비된 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  15. 가공물(W)이 회전 버프 휠(12,22)에 의해 연마되는 한편 연마제(B)는 연마되는 가공물(W)의 표면과 버프 휠(12,22)의 연마표면(121,221) 사이의 갭에 공급되는 연마방법에 있어서, 가공물(W)이 연마되는 한편 연마제(B)가 가열되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  16. 가공물(W)이 회전 버프 휠(12,22)에 의해 연마되는 한편 연마제(B)는 연마되는 가공물(W)의 표면과 버프 휠(12,22)의 연마표면(121,221) 사이의 갭에 공급되는 연마방법에 있어서, 가공물(W)은 가공물(W)이 가열된 후 연마되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  17. 제15항에 있어서, 연마제(B)는 37℃ 내지 60℃의 온도범위로 가열되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  18. 제15항에 있어서, 가공물(W)은 37℃ 내지 60℃의 온도범위로 가열되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  19. 제18항에 있어서, 가공물(W)은 가공물이 제위치에 세트된 후 뜨거운 공기에 의해 가열되는 것을 특징으로 하는 연마 방법.
  20. 가공물(W)이 회전 버프 휠(12,22)에 의해 연마되는 한편 연마제(B)가 연마되는 가공물(W)의 표면과 버프 휠(12,22)의 연마표면(121,221) 사이의 갭에 공급되는 연마 장치에 있어서, 장치는 연마제(B)를 위한 저장소(5)로 구성되어 있으며 저장소(5)는 가열 수단으로 구비된 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  21. 가공물(W)이 회전 버프 휠(12,22)에 의해 연마되는 한편 연마제(B)가 연마되는 가공물(W)의 표면과 버프 휠(12,22)의 연마표면(121,221) 사이의 갭에 공급되는 연마장치에 있어서, 장치는 가공물(W)을 가열하기 위한 수단으로 구비된 것을 특징으로 하는 연마 장치.
  22. 보스부재(15)가 탄성 디스크 몸체(16)의 축선 중앙부분에 탈착가능하게 장치되어 있고 그리고 탈착가능한 연마 쉬트(17)는 디스크 몸체(16)의 외주 표면상에 구비된 것을 특징으로 하는 연마용 버퍼 휠.
  23. 제22항에 있어서, 보조 탄성 몸체(18)가 디스크 몸체(16)와 연마 쉬트(17) 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 연마용 버퍼 휠.
  24. 제23항에 있어서, 보조 탄성 몸체(18)의 탄력은 탄성 디스크 몸체(16)의 탄력보다 작게 만들어진 것을 특징으로 하는 연마용 버퍼 휠.
  25. 제22항 또는 제24항에 있어서, 보조 탄성 몸체(18)는 연마 쉬트(17)에 체결되어 있고 보조 탄성 몸체(18)는 탄성 디스크 몸체(16)상에 탈착가능하게 배치된 것을 특징으로 하는 연마용 버퍼 휠.
  26. 보스부재(15)는 탄성 디스크 몸체(16)의 축선 중앙부분에 탈착가능하게 장치되어 있고 디스크 몸체(16)의 한쪽 표면은 보스부제(15)를 넘어 돌출하도록 만들어져 있으며 디스크 몸체(16)의 돌출하 한쪽 표면을 탈착가능한 연마쉬트(17)로 구비된 것을 특징으로 하는 연마용 버퍼 휠.
  27. 제26항에 있어서, 보스 탄성 몸체(18)가 탄성 디스크 몸체(16)와 연마 쉬트(17) 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 연마용 버퍼 휠.
  28. 제27항에 있어서, 보조 탄성 몸체(18)의 탄력은 탄성 디스크 몸체(16)의 탄력보다 작게 만들어진 것을 특징으로 하는 연마용 버퍼 휠.
  29. 제22항 또는 제24항에 있어서, 보조 탄성 몸체(18)는 연마 쉬트(17)에 체결되어 있고 보조 탄성 몸체(18)는 탄성 디스크 몸체(16)상에 탈착가능하게 배치된 것을 특징으로 하는 연마용 버퍼 휠.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940702271A 1992-10-30 1993-10-29 연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프 휠 KR0167000B1 (ko)

Applications Claiming Priority (11)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4315644A JPH0752053A (ja) 1992-10-30 1992-10-30 湿式研磨用バフホイール
JP92-315644 1992-10-30
JP92-315643 1992-10-30
JP4315643A JPH06198556A (ja) 1992-10-30 1992-10-30 湿式研磨方法およびその装置
JP92-359980 1992-12-31
JP4359980A JPH06198558A (ja) 1992-12-31 1992-12-31 研磨装置
JP4359981A JPH06198559A (ja) 1992-12-31 1992-12-31 湿式研磨方法およびその装置
JP92-359981 1992-12-31
JP05215179A JP3094355B2 (ja) 1993-08-05 1993-08-05 湿式研磨方法およびその装置
JP93-215179 1993-08-05
PCT/JP1993/001566 WO1994009945A1 (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR940703729A true KR940703729A (ko) 1994-12-12
KR0167000B1 KR0167000B1 (ko) 1999-02-01

Family

ID=27529597

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019940702271A KR0167000B1 (ko) 1992-10-30 1993-10-29 연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프 휠

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5516327A (ko)
EP (1) EP0624432B1 (ko)
KR (1) KR0167000B1 (ko)
AT (1) ATE175916T1 (ko)
AU (1) AU672653B2 (ko)
CA (1) CA2127098C (ko)
DE (1) DE69323178T2 (ko)
ES (1) ES2127838T3 (ko)
WO (1) WO1994009945A1 (ko)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2882458B2 (ja) * 1994-11-28 1999-04-12 株式会社東京精密 ウェーハ面取り機
JP3438383B2 (ja) * 1995-03-03 2003-08-18 ソニー株式会社 研磨方法およびこれに用いる研磨装置
US5954566A (en) * 1995-04-03 1999-09-21 Bauer; Jason Method and apparatus for reconditioning digital recording discs
US5593343A (en) * 1995-04-03 1997-01-14 Bauer; Jason Apparatus for reconditioning digital recording discs
JPH0985737A (ja) * 1995-09-22 1997-03-31 Toray Eng Co Ltd ワイヤ式切断装置
US5954570A (en) * 1996-05-31 1999-09-21 Kabushiki Kaisha Toshiba Conditioner for a polishing tool
US5957759A (en) * 1997-04-17 1999-09-28 Advanced Micro Devices, Inc. Slurry distribution system that continuously circulates slurry through a distribution loop
DE69940566D1 (de) * 1998-12-01 2009-04-23 Univ London Poliervorrichtung mit Antriebsvorrichtungen zum Führen des Schleifwerkzeugs entlang einer Präzessionsbahn und Verfahren zu deren Verwendung
US6488565B1 (en) * 2000-08-29 2002-12-03 Applied Materials, Inc. Apparatus for chemical mechanical planarization having nested load cups
KR101583521B1 (ko) 2015-07-31 2016-01-08 (주) 엘림비엠에스 내오염, 내마모 성능과 시공 작업성 및 광도 성능이 개선된 피브이씨 타일 바닥의 코팅방법

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4930797B1 (ko) * 1964-05-06 1974-08-15
US3568371A (en) * 1969-03-12 1971-03-09 Spitfire Tool & Machine Co Inc Lapping and polishing machine
US3631634A (en) * 1970-01-26 1972-01-04 John L Weber Polishing machine
US3651604A (en) * 1970-11-25 1972-03-28 Mill Polishing Corp Process for improving surface finish on clad aluminum sheets
FR2350924A1 (fr) * 1976-05-14 1977-12-09 Shc Machine pour le polissage de la surface interieure d'un moule
DE2813091C2 (de) * 1978-03-25 1980-02-07 Prontor-Werk Alfred Gauthier Gmbh, 7547 Wildbad Einrichtung zum Zuführen von Kühl- und/oder Polierflüssigkeit, insbesondere zur Verwendung an Maschinen zum Schleifen und/oder Polieren von optischen Linsen
US4268999A (en) * 1978-05-17 1981-05-26 Hitachi, Ltd. Automatic polishing apparatus
JPS5630024A (en) * 1979-08-21 1981-03-26 Mitsui Petrochem Ind Ltd Surface treating method for aluminum sheet body
US4450652A (en) * 1981-09-04 1984-05-29 Monsanto Company Temperature control for wafer polishing
JPS58114857A (ja) * 1981-12-26 1983-07-08 Inoue Japax Res Inc 表面研磨方法
EP0100648A3 (en) * 1982-07-29 1985-08-07 Yoshiaki Nagaura Holding a workpiece
JPS59182057A (ja) * 1983-03-29 1984-10-16 Mitsubishi Rayon Co Ltd 平面板の研摩方法
JPS6374563A (ja) * 1986-09-16 1988-04-05 Kobe Steel Ltd 鏡面加工方法
JPS63196223U (ko) * 1987-06-09 1988-12-16
US4910155A (en) * 1988-10-28 1990-03-20 International Business Machines Corporation Wafer flood polishing
US4951420A (en) * 1989-05-16 1990-08-28 Sorg Volkmar R Polishing apparatus
US5203121A (en) * 1991-05-09 1993-04-20 Metzger George L Method for filtering and cooling surface finishing compounds
JP3073261B2 (ja) * 1991-06-03 2000-08-07 株式会社ジェイエスイー 石材表面の加工処理方法とその装置
US5216843A (en) * 1992-09-24 1993-06-08 Intel Corporation Polishing pad conditioning apparatus for wafer planarization process

Also Published As

Publication number Publication date
AU672653B2 (en) 1996-10-10
WO1994009945A1 (en) 1994-05-11
EP0624432A4 (en) 1995-04-19
ATE175916T1 (de) 1999-02-15
AU5344894A (en) 1994-05-24
DE69323178D1 (de) 1999-03-04
EP0624432B1 (en) 1999-01-20
US5516327A (en) 1996-05-14
CA2127098A1 (en) 1994-05-11
EP0624432A1 (en) 1994-11-17
DE69323178T2 (de) 1999-09-02
KR0167000B1 (ko) 1999-02-01
CA2127098C (en) 1998-06-16
ES2127838T3 (es) 1999-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR890001692A (ko) 로커 아암의 슬리퍼면의 아알 가공방법과 그 장치
KR940703729A (ko) 연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프휠(polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel)
KR970000448A (ko) 연마 패드를 갖는 회전 연마 휠로 가공품을 연마하는 방법
JP2000218482A (ja) 枚葉式端面研磨機
KR200401367Y1 (ko) 곡면 연마가 가능한 연마휠
KR20190007867A (ko) 연마 장치
JPS6320673B2 (ko)
US4583328A (en) Apparatus for high tolerance polishing of a workpiece surface
JPS61192460A (ja) 光コネクタ中子の端面凸球面状研磨方法
WO2013111384A1 (ja) 刃研ぎ機及び研磨機
KR870006957A (ko) 회전 탄성 연마숯돌
US1749860A (en) Stone buffer
TH16019A (th) กรรมวิธีการขัดอุปกรณ์ และล้อหุ้มแผ่นหนังสำหรับใช้งานกับอุปกรณ์นี้
TH15930B (th) กรรมวิธีการขัดอุปกรณ์ และล้อหุ้มแผ่นหนังสำหรับใช้งานกับอุปกรณ์นี้
KR940013726A (ko) 구면 연삭장치 및 연삭방법
JP2000198068A (ja) 枚葉式研磨機
JP2863809B2 (ja) ドレッシング装置
JPH1157073A (ja) ボーリングボール研磨装置
SU1465270A1 (ru) Устройство дл абразивной обработки плоских поверхностей
JPH0351065Y2 (ko)
JPH03221362A (ja) トーリック面研磨装置
SU1713789A1 (ru) Приспособление дл заточки бритвенных лезвий
JPS6034258A (ja) 心無送り込み研削における振動研削方法
JPH0271718A (ja) 電動ポリッシャー
JPS6090674A (ja) 研麿用スポンジホイ−ル

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20050907

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee