KR970000448A - 연마 패드를 갖는 회전 연마 휠로 가공품을 연마하는 방법 - Google Patents

연마 패드를 갖는 회전 연마 휠로 가공품을 연마하는 방법 Download PDF

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KR970000448A
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Abstract

본 발명은 진동 이동의 범위가 가공품이 연마 패드의 엣지 넘어로 뻗기에 충분한 정도로 가공품 및 연마패드가 서로에 대해 방사상으로 진동하게 하므로써 연마 패드의 마모에 있어서 균일성을 성취하고 표면 형상을 조절하기 위한 연마패드의 조절에 관한 것이다.

Description

연마 패드를 갖는 회전 연마 휠로 가공품을 연마하는 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실행을 위한 모범적인 장치의 개략도이다. 제2도는 연마될 6-in 직경 가공품의 바람직한 범위의 방사상 진동을 보이는 연마 패드의 평면도이다, 제3도는 연마될 8-in 직경 가공품의 바람직한 범위의 방사상 진동을 보이는 연마 패드의 평면도이다.

Claims (10)

  1. 표면으로부터 불규칙성을 제거하기 위해 그위에 연마패드를 갖는 회전 연마 휠로 가공품을 연마하는 방법으로서: 연마될 가공품을 연마 패드와 접촉시키고, 그들사이에 압력을 적용시키는 단계:연마패드를 회전시키고, 가공품을 동시에 회전시키는 단계: 및 연마 패드의 표면에 마모를 분배시키기 위해 연마 패드의 모든 노출된 엣지 넘어 가공품이 뻗어있는 정도로 서로에 대해 가공품 및 연마패드를 방사상으로 회전시키는 단계로 구성되는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 가공품을 연마하기 위해, 방사상 진동의 범위가 가공품 영역의 적어도 약1/6이 연마 패드의 엣지 넘어로 뻗어있는 정도인 방법.
  3. 연마될 표면으로부터 불규칙성을 제거하기 위해 연마 패드를 갖는 회전 연마 휠로 가공품을 연마하는 방법으로서 : 연마될 가공품을 연마 패드와 접촉시키고 그들 사이에 압력을 적용시키는 단계 : 내부 및 외부 원형 엣지를 갖는 환상 연마패드를 회전시키고, 가공품을 동시에 회전시키는 단계: 및 연마 패드의 표면에 마모를 분배시키기 위해 가공품이 연마 패드의 내부 및 외부 엣지넘어 뻗어있는 정도로 서로에 대해 가공품 및 마모패드를 방사상으로 진동시키는 단계로 구성되는 방법.
  4. 제3항에 있어서, 가공품을 연마하기 위해, 방사상 진동의 범위가 가공품 영역의 적어도 약1/6이 연마 패드의 엣지 넘어로 뻗어있는 정도인 방법.
  5. 제1항에 있어서, 가공품이 얇은 원형 웨이퍼이고, 연마 패드가 고리 모양을 갖는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 방사상 진동의 범위가 가공품 직경의 적어도 약 1/6이 연마 패드의 엣지 넘어로 뻗어있는 정도인 방법.
  7. 표면 불규칙성을 제거하여, 그위에 일반적으로 평평한 표면을 제공하기 위해 가공품을 연마하기 위한 장치로서 : 예비결정된 축 주위를 회전하도록 연마 기계에 장착된 연마 패드 : 예비결정된 축 주위를 연마 패드가 회전하게 하기 위한 패드 구동 도구 : 연마될 적어도 한 가공품을 운반하기 위한 캐리어 헤드 : 및 가공품이 연마 패드의 전체 노출된 엣지넘어 이동하도록 캐리어 및 가공품에 대해 캐리어 헤드 및 가공품을 회전시키고 진동시키기 위한 캐리어 헤드 구동 도구로 구성되는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 연마 패드가 내부 직경 엣지 및 외부 직경 엣지를 갖는 환상인 장치.
  9. 제7항에 있어서, 캐리어 헤드가 회전가능한 장치.
  10. 제7항에 있어서, 캐리어 헤드가 다수의 가공품을 운반하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960019483A 1995-06-02 1996-06-01 연마 패드를 갖는 회전 연마 휠로 가공품을 연마하는 방법 KR970000448A (ko)

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