JPH11320390A

JPH11320390A - 面加工装置用定盤及びその使用方法

Info

Publication number: JPH11320390A
Application number: JP13994798A
Authority: JP
Inventors: Naoyuki Jinbo; 直幸神保
Original assignee: Ibiden Co Ltd
Current assignee: Ibiden Co Ltd
Priority date: 1998-05-21
Filing date: 1998-05-21
Publication date: 1999-11-24

Abstract

(57)【要約】【課題】面形状の制御を簡単にかつ確実に行うことが
でき、しかも低コストな面加工装置用定盤を提供するこ
と。【解決手段】この面加工装置用定盤１は、被加工物Ｗ
1 の特定面と接触する複数の研削部３を加工面２ａに備
える。研削部３は加工面２ａ内にて位置変更可能に配設
されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、面加工装置用定盤
及びそれを使用する方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、大型の円盤状の被加工物Ｗ1 （例
えばラップ盤やポリッシュ盤等の定盤等）を製造する
際、その特定の面を所望形状の面（例えば図５(a) のよ
うな平坦面や、図５(b),(c) のような中凹状や中凸状の
アール面）に仕上げたい場合がある。この場合、被加工
物Ｗ1 の特定面に対して研削加工を行う必要がある。

【０００３】かかる面加工を達成する手法の１つとして
は、平面加工装置の一種であるロータリ方式の平面研削
盤を用いた研削加工がある。その際、回転するロータリ
テーブル上に被加工物Ｗ1 をあらかじめ固定しておく。
このような状態で、回転する砥石の一部をその被加工物
Ｗ1 の上面に対して接触させる。その結果、当該面の研
削加工が行われるようになっている。

【０００４】また、それと別の手法としては、加工面に
ダイヤモンドペレットが貼着された定盤を備える固定砥
粒方式の平面加工装置を用いた研削加工がある。その
際、定盤の加工面にあらかじめ凹部または凸部を形成し
ておく。この状態で定盤を回転させるともに、その回転
する定盤の加工面に対して被加工物Ｗ1 の特定面をプッ
シャプレートにより圧接させる。その結果、当該面の研
削加工が行われるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記２つの
従来技術には以下のような問題がある。ロータリ方式の
平面研削盤では、加工時に砥石を微妙に上下動させる必
要があるので、被加工物Ｗ1 の特定面をミクロン単位で
正確に仕上げることが殆ど不可能である。従って、ロー
タリ方式の平面研削盤を単純に用いたとしても、高精度
のアール面を得ることができなかった。

【０００６】なお、ロータリ方式の平面研削盤を用いて
転写加工（定盤の加工面の形状を凹状または凸状にして
おきそれを被加工物Ｗ1 に転写する加工法）を行えば、
ある程度はアール面仕上げを達成することができる。し
かしながら、この加工方法ですら、被加工物Ｗ1 の面形
状を制御できるまでには至っていなかったので、高精度
のアール面を得るためには依然として高度の技能が必要
とされていた。

【０００７】同様に固定砥粒方式の平面加工装置を用い
た加工においても、被加工物Ｗ1 の面形状を制御できる
までには至っていなかったので、やはり高精度のアール
面を得ることは困難であった。

【０００８】また、以上のような既存かつ汎用の装置を
用いることなく、多軸ロボット等のような専用の平面加
工装置を用いてアール面仕上げを行えばよいとも考えら
れる。ところが、この場合には高価な装置が要ることか
ら設備投資額が増大するため、高コスト化が避けられな
い。

【０００９】本発明は上記の課題を解決するためなされ
たものであり、その目的は、面形状の制御を簡単にかつ
確実に行うことができ、しかも低コストな面加工装置用
定盤を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明では、被加工物の特定面と
接触する複数の研削部を加工面に備えた面加工装置用定
盤において、前記研削部が前記加工面内にて位置変更可
能に配設されていることを特徴とする面加工装置用定盤
をその要旨とする。

【００１１】請求項２に記載の発明では、被加工物の特
定面と接触する複数の研削用ペレットを加工面に備えた
面加工装置用定盤において、前記加工面に前記研削用ペ
レットが差抜可能なペレット保持穴が複数形成され、前
記ペレット保持穴のうちの少なくとも一部のものに前記
研削用ペレットが差し込まれて保持されていることを特
徴とする面加工装置用定盤をその要旨とする。

【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項２におい
て、前記ペレット保持穴は前記加工面における加工領域
のほぼ全域にわたって多数かつ隙間なく形成されている
とした。

【００１３】請求項４に記載の発明では、回転中心領域
に近くなるほど前記研削用ペレットを密に配置した請求
項２または３に記載の定盤を用い、前記被加工物の特定
面を中凸状に面加工することを特徴とする面加工装置用
定盤の使用方法をその要旨とする。

【００１４】請求項５に記載の発明では、回転中心領域
に近くなるほど前記研削用ペレットを疎に配置した請求
項２または３に記載の定盤を用い、前記被加工物の特定
面を中凹状に面加工することを特徴とする面加工装置用
定盤の使用方法をその要旨とする。

【００１５】以下、本発明の「作用」を説明する。請求
項１に記載の発明によると、加工面に配設された複数の
研削部が被加工物の特定面に接触した状態で定盤が回転
する結果、前記特定面が各研削部によって削り取られ
る。本発明の定盤では、所望とする面形状に応じて研削
部のレイアウトを変更することが可能なため、面形状の
制御を行うことができる。また、本発明の定盤であれ
ば、既存かつ汎用の装置の定盤と交換するだけで足りる
ので、専用の平面加工装置を購入する必要がなく、低コ
スト化に有利となる。さらに、転写加工のような高度な
技能を要する作業を行わなくても面形状を制御できるの
で、高精度のアール面であっても比較的簡単にかつ確実
に得ることができる。

【００１６】請求項２に記載の発明によると、加工面に
保持された複数の研削用ペレットが被加工物の特定面に
接触した状態で定盤が回転する結果、前記特定面が各研
削用ペレットによって削り取られる。本発明の定盤の場
合、研削用ペレットを抜いて別の位置にあるペレット保
持穴に差し込んで保持させることができる。このよう
に、所望とする面形状に応じて研削用ペレットのレイア
ウトを変更することが可能なため、面形状の制御を行う
ことができる。また、本発明の定盤であれば、既存かつ
汎用の装置の定盤と交換するだけで足りるので、専用の
平面加工装置を購入する必要がなく、低コスト化に有利
となる。さらに、転写加工のような高度な技能を要する
作業を行わなくても面形状を制御できるので、高精度の
アール面であっても比較的簡単にかつ確実に得ることが
できる。

【００１７】請求項３に記載の発明によると、ペレット
保持穴を加工面における加工領域のほぼ全域にわたって
多数かつ隙間なく形成したことにより、研削用ペレット
の保持位置を加工面内において任意に選択することがで
きる。従って、所望とする面形状に応じて研削用ペレッ
トのレイアウトを変更することを、よりいっそう簡単に
行うことができる。

【００１８】請求項４に記載の発明によると、中凸状の
アール面仕上げを確実にかつ高精度で行うことができ
る。請求項５に記載の発明によると、中凹状のアール面
仕上げを確実にかつ高精度で行うことができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態の平面研削装置１を図１〜図４（ａ）に基づき詳細
に説明する。

【００２０】図１には、定盤２の加工面２ａに研削部と
しての研削用ペレット３が配設される前の状態が示され
ている。本実施形態の平面研削装置１は、いわゆる固定
砥粒方式の平面研削装置１である。

【００２１】図１（ｂ）に示されるように、平面研削装
置１を構成する図示しない回転駆動装置は、上方に向か
って垂直に延びる回転軸４を備えている。この回転軸４
の上端面には、例えば図示しないボルト等によって、定
盤２が水平にかつ一体回転可能に固定されている。

【００２２】図１（ａ）に示されるように、定盤２は円
盤状を呈した金属製部材であって、その上面が加工面２
ａとなっている。加工面２ａの中央には取付用凹部５が
設けられており、この取付用凹部５を除く領域が加工領
域となっている。加工領域の幅は、ここでは円盤状をし
た被加工物Ｗ1 の直径にほぼ等しくなるように設計され
ている。なお、本装置１により研削される被加工物Ｗ1
としては、例えば１）工作機械のロータリテーブル、
２）ラップ盤、ポリッシュ盤、ウェハ研磨装置の定盤ま
たはプッシャプレート、３）大型レンズなど、即ち各種
の大型製品が挙げられる。

【００２３】定盤２の回転中心から偏心した位置の上方
には、被加工物支持体であるプッシャプレート６が加工
面２ａから所定間隔を隔てて水平に支持されている。こ
のプッシャプレート６の下面には、被加工物Ｗ1 が特定
面を下側に向けた状態で固定されるようになっている。
なお、本実施形態のプッシャプレート６は積極的に回転
する機構を持たず、定盤２との摺接により追従して回転
するように構成されている。

【００２４】図４（ａ）に示されるように、研削用ペレ
ット３としては、例えばダイヤモンド等の硬質材料から
なる固定砥粒を金属製のマトリクス中に均一に分散した
成形体を焼結してなるもの（ダイヤモンドペレット）が
用いられる。本実施形態の研削用ペレット３は円柱状を
呈したものとなっている。

【００２５】また、この定盤２は加工面２ａの加工領域
内にペレット保持穴７を備えている。個々のペレット保
持穴７はともに等しい断面形状を備え、本実施形態では
断面円形状が採用されている。なお、各ペレット保持穴
７の直径及び深さも等しくなっている。また、各ペレッ
ト保持穴７の直径は、定盤２の直径の１／１０〜１／１
００程度（ここでは約１／３０）に設定されている。こ
の比が１／１０よりも大きいと、結果的に研削ペレット
３及び研削用ペレット７の数が少なくなり、場合によっ
ては面形状の制御を充分に行えなくなるおそれがある。
逆に、この比が１／１００よりも小さいと、研削ペレッ
ト３及び研削用ペレット７の数は多くなる。その反面、
それら３，７を小さく形成せざるを得なくなり、場合に
よっては差し抜き作業が煩雑になるおそれがある。

【００２６】図１（ａ）に示されるように、ペレット保
持穴７は前記研削用ペレット３とほぼ同径であり、加工
領域の全域にわたって極めて多数かつ隙間なく形成され
ている。これらのペレット保持穴７に対しては、円柱状
をした前記研削用ペレット３が差抜可能になっている。
ペレット保持穴７の深さは、研削用ペレット３の長さよ
り小さくなるように設計されている。従って、研削用ペ
レット３を差し込んだ場合には、上端部をペレット保持
穴７からいくぶん突出させた状態で研削用ペレット３が
保持されるようになっている。

【００２７】図２には、定盤２の加工面２ａに研削用ペ
レット３を配設した後の状態が示されている。図２
（ａ），図２（ｂ）においては、ともにペレット保持穴
７のうちの一部のものに研削用ペレット３が差し込まれ
て保持されている。従って、加工面２ａの所々には、研
削用ペレット３が差し込まれていないペレット保持穴７
が存在している。

【００２８】なお、図２（ａ）においては、被加工物Ｗ
1 の特定面を中凸状にアール面仕上げすべく、回転中心
領域に近くなるほど研削用ペレット３が密に配置されて
いる。一方、図２（ｂ）においては、被加工物Ｗ1 の特
定面を中凹状にアール面仕上げすべく、回転中心領域に
近くなるほど研削用ペレット３が疎に配置されている。
勿論、上記２つのものにおける研削用ペレット３のレイ
アウトはほんの一例にすぎないため、これら以外のレイ
アウトを採用しても何ら差し支えない。

【００２９】次に、図３に基づいて、被加工物Ｗ1 が中
凹状や中凸状のアール面に仕上がる原理について述べ
る。図中において、Ｖは定盤２の接線速度（即ち、回転
中心Ｃ1 から最も離間した箇所における速度）、Ｒは定
盤２の半径、Ｗは定盤２の角速度、Ｎは定盤２の回転数
をそれぞれ表わしている。接線速度ＶはＲ×Ｗであり、
角速度Ｗは２π・Ｎ／６０である。従って、接線速度Ｖ
は２π・Ｎ・Ｒ／６０ということになる。

【００３０】ここで定盤２においてＡ点とＢ点とを仮想
する。Ａ点は回転中心Ｃ1 からｒ1だけ離間しており、
外周部寄りにある。Ｂ点は回転中心Ｃ1 からｒ2 （＜ｒ
1 ）だけ離間しており、中心部寄りにある。なお、前式
からすると、回転中心からの離間距離が小さくなるほど
速度Ｖが小さくなる関係にある。また、Ａ点における速
度ＶＡは２π・Ｎ・ｒ1 ／６０となり、Ｂ点における速
度ＶＢは２π・Ｎ・ｒ2 ／６０となる。

【００３１】被加工物Ｗ1 を加工領域に押圧した状態で
定盤２を矢印ａ1 の方向に回転駆動すると、特定面に加
わる摺接力の作用によって、被加工物Ｗ1 が矢印ａ2 の
方向に連れ回りを起こすようになる。このとき、連れ回
りのスピードはＶＡ−ＶＢとなる。

【００３２】ところで、Ａ点が存在する定盤２の外周部
付近においては、被加工物Ｗ1 の移動方向と定盤２の移
動方向とがほぼ同じ向きとなるため、両者２，Ｗ1 の相
対速度差は比較的小さくなる。従って、定盤２の外周部
付近に保持された研削用ペレット３の場合、上端面が被
加工物Ｗ1 の特定面に摺接する際の速度は相対的に遅く
なる。ゆえに、単位時間あたりで１つの研削用ペレット
３が特定面を切り込む量は相対的に小さいものとなる。

【００３３】それとは逆に、Ｂ点が存在する定盤２の中
心部付近においては、被加工物Ｗ1の移動方向と定盤２
の移動方向とがほぼ反対向きとなるため、両者２，Ｗ1
の相対速度差は比較的大きくなる。従って、定盤２の中
心部付近に保持された研削用ペレット３の場合、上端面
が被加工物Ｗ1 の特定面に摺接する際の速度は相対的に
速くなる。ゆえに、単位時間あたりで１つの研削用ペレ
ット３が特定面を切り込む量は相対的に大きいものとな
る。なお、Ａ点とＢ点との中間点（被加工物Ｗ1 の回転
中心）の切り込み量は、定盤２の中心部付近における切
り込み量、及び定盤２の外周部付近における切り込み量
のほぼ中間値となる。

【００３４】以上のことを総合すると、この定盤２で
は、外周部付近の研削用ペレット３の配置状態よりもむ
しろ中心部付近の研削用ペレット３の配置状態が、研削
に対してより大きな影響を及ぼすことがわかる。

【００３５】それゆえ、図２（ａ）のように回転中心領
域に近くなるほど研削用ペレット３を密に配置した場
合、研削用ペレット３との摺接によって、被加工物Ｗ1
の特定面における外周部のほうが中心部に比べて速く切
り込まれる。その結果、アール面仕上げが達成され、所
望の中凸状（具体的には平坦度が１μｍ〜１０μｍ程
度）の特定面を得ることができる。

【００３６】また、図２（ｂ）のように回転中心領域に
近くなるほど研削用ペレット３を疎に配置した場合、研
削用ペレット３との摺接によって、被加工物Ｗ1 の特定
面における中心部のほうが外周部に比べて速く切り込ま
れる。その結果、同様にアール面仕上げが達成され、所
望の中凹状（具体的には平坦度が１μｍ〜１０μｍ程
度）の特定面を得ることができる。

【００３７】従って、本実施形態によれば以下のような
効果を得ることができる。（１）本実施形態の平面研削装置用定盤２では、加工面
２ａに研削用ペレット３が差抜可能なペレット保持穴７
が複数形成され、そのうちの少なくとも一部のものに研
削用ペレット３が差し込まれて保持されている。即ち、
研削部である研削用ペレット３が加工面２ａ内にて位置
変更可能に配設されていると把握することができる。従
って、複数の研削用ペレット３が被加工物Ｗ1 の特定面
に接触した状態で定盤２を回転させれば、上記のごとく
特定面が各研削用ペレット３によって削り取られる。

【００３８】そして、本実施形態の定盤２の場合、研削
用ペレット３を抜いて別の位置にあるペレット保持穴７
に差し込んで保持できるような構造になっている。つま
り、図２（ａ）の状態から図２（ｂ）の状態に研削用ペ
レット３のレイアウトを変更すること等ができる。この
ように、所望とする面形状に応じて研削用ペレット３の
レイアウトを変更することが可能なため、従来成し得な
かった面形状の制御を行うことができる。また、本実施
形態の定盤２であれば、既存かつ汎用の装置の定盤と交
換するだけで足りるので、専用の平面加工装置を購入す
る必要がなく、低コスト化に有利となる。さらに、転写
加工のような高度な技能を要する作業を行わなくても面
形状を制御できるので、高精度のアール面であっても比
較的簡単にかつ確実に得ることができる。

【００３９】（２）本実施形態の平面研削装置１は研削
用ペレット３を利用した固定砥粒方式であるため、仮に
定盤２を大型化したい場合でもその困難性は比較的小さ
く、その点において大型製品の研削加工に好適なものと
なっている。つまり、研削用ペレット３を用いた構成の
場合、被加工物Ｗ1 に接触するのは研削用ペレット３で
あるので、加工面２ａ自体には高い加工精度が要求され
ないからである。

【００４０】（３）本実施形態の平面研削装置用定盤２
では、ペレット保持穴７が加工面２ａにおける加工領域
のほぼ全域にわたって多数かつ隙間なく形成されてい
る。このため、研削用ペレット３の保持位置を加工面２
ａ内において任意に選択することができる。従って、所
望とする面形状に応じて研削用ペレット３のレイアウト
を変更することを、よりいっそう簡単に行うことができ
る。

【００４１】（４）この定盤２では、各ペレット保持穴
７がともに等しく断面円形状かつ同径になっている。従
って、１種類の研削用ペレット３さえ複数用意しておけ
ば、その研削用ペレット３をどの位置にあるペレット保
持穴７に対しても確実に差抜することが可能となる。ま
た、断面円形状のペレット保持穴７であれば、断面非円
形状のものに比べて研削用ペレット３の差抜作業を簡単
に行うことができる。

【００４２】（５）本実施形態では、被加工物Ｗ1 の特
定面を中凸状にする面加工を行うにあたり、回転中心領
域に近くなるほど研削用ペレット３を密に配置した定盤
２を用いている。その結果、上述したごとく中凸状のア
ール面仕上げを確実にかつ高精度で行うことができる。
また、被加工物Ｗ1 の特定面を中凹状にする面加工を行
うにあたり、回転中心領域に近くなるほど研削用ペレッ
ト３を疎に配置した定盤２を用いている。その結果、上
述したごとく中凹状のアール面仕上げを確実にかつ高精
度で行うことができる。

【００４３】なお、本発明の実施形態は以下のように変
更してもよい。・研削用ペレット３は、前記実施形態のような径の等
しい円柱状に限定されない。例えば、図４（ｂ）に示さ
れる別例のように、上半部が大径かつ下半部が小径の円
柱状の研削用ペレット３Ａを用い、それを断面円形状の
ペレット保持穴７Ａに差し込んでもよい。また、図４
（ｃ）に示される別例のように、上半部が先細りした円
柱状の研削用ペレット３Ｂを用い、それを断面円形状の
ペレット保持穴７Ｂに差し込んでもよい。さらに、図４
（ｃ）に示される別例のように、半円柱状の研削用ペレ
ット３Ｃを用い、それを断面円形状のペレット保持穴７
Ｃに差し込んでもよい。勿論、研削用ペレット３，３
Ａ，３Ｂ，３Ｃ以外の形状を採用しても構わない。ま
た、ペレット保持穴７〜７Ｃは必ずしも断面円形状に限
定されることはなく、非断面円形状のもの、例えば断面
三角形状、断面四角形状、断面半円形状等にすることが
許容される。

【００４４】・ペレット保持穴７，７Ａ，７Ｂ，７Ｃ
は、必ずしも、加工面２ａの加工領域の全域に隙間なく
形成されていなくてもよい。従って、加工面２ａにペレ
ット保持穴７，７Ａ，７Ｂ，７Ｃが形成されておらず、
若干隙間がある構成を採用することも勿論許容される。

【００４５】・１種類の形状の研削用ペレット３のみ
を用いた前記実施形態に代え、複数種の形状の研削用ペ
レットを用いて疎密を調整したうえで、面加工を行うこ
ととしてもよい。

【００４６】例えば、図４（ｂ）の研削用ペレット３Ａ
を定盤２の中心部付近に配置し、図４（ｃ）の研削用ペ
レット３Ｂを定盤２の外周部付近に配置し、それらの中
間部に図４（ａ）の研削用ペレット３を配置する。この
ように３種のものを用いた場合には、見掛け上、回転中
心領域に近くなるほど研削部が密になる。そのため、被
加工物Ｗ1 の特定面を中凸状にするアール面仕上げを確
実にかつ高精度で行うことができる。

【００４７】逆に、図４（ｂ）の研削用ペレット３Ａを
定盤２の外周部付近に配置し、図４（ｃ）の研削用ペレ
ット３Ｂを定盤２の中央部付近に配置し、それらの中間
部に図４（ａ）の研削用ペレット３を配置する。このよ
うにした場合には、見掛け上、回転中心領域に近くなる
ほど研削部が疎になる。そのため、被加工物Ｗ1 の特定
面を中凹状にするアール面仕上げを確実にかつ高精度で
行うことができる。

【００４８】・複数あるペレット保持穴７〜７Ｃのう
ちの一部のものに研削用ペレット３〜３Ｃを差し込んで
保持させた定盤２を用いる前記実施形態及び別例に代
え、全部のペレット保持穴７〜７Ｃにそれら３〜３Ｃを
保持させて用いることも勿論許容される。このようなも
のを用いて研削加工を行うと、被加工物Ｗ1 の特定面を
高精度な平坦面に仕上げること等が可能となる。

【００４９】・前記実施形態及び別例では、研削部で
ある研削用ペレット３〜３Ｃをペレット保持穴７〜７Ｃ
に差し込んで保持させる方式を採用していた。これに代
えて、例えば研削用ペレット３〜３Ｃを加工面２ａに軟
接着可能な接着剤等により貼着して保持させ、必要に応
じそれを剥離して別の位置に貼着してもよい。即ち、ペ
レット保持穴７〜７Ｃを設けることなく、研削用ペレッ
ト３〜３Ｃの保持・位置変更を図ることで、その疎密を
調整することも可能である。また、研削用ペレット３〜
３Ｃ以外の形態を有するものを研削部として用いてもよ
い。さらに、加工面２ａの加工領域の全体にあらかじめ
形成された複数の研削部のうちの一部を部分的にマスク
で隠すようにして、実質的にその疎密を調整してもよ
い。

【００５０】・なお、本発明は大型製品の面加工のみ
ならず、小型製品の面加工に適用されても勿論構わな
い。次に、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほ
かに、前述した実施形態によって把握される技術的思想
をその効果とともに以下に列挙する。

【００５１】（１）請求項２，３において、前記各ペ
レット保持穴は等断面形状であること。従って、この技
術的思想１に記載の発明によれば、１種類の研削用ペレ
ットさえ複数用意しておけば、それをどの位置にあるペ
レット保持穴に対しても確実に差抜することが可能とな
る。

【００５２】（２）技術的思想１において、前記各ペ
レット保持穴は断面円形状かつ同径であること。従っ
て、この技術的思想２に記載の発明によれば、上記作用
効果に加え、研削用ペレットの差抜作業を簡単に行うこ
とができる。

【００５３】（３）請求項２，３、技術的思想１，２
において、各ペレット保持穴の直径は、前記定盤の直径
の１／１０〜１／１００程度に設定されていること。

【００５４】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１，２に記
載の発明によれば、面形状の制御を簡単にかつ確実に行
うことができ、しかも低コストな面加工装置用定盤を提
供することができる。

【００５５】請求項３に記載の発明によれば、面形状の
制御を行うにあたって、研削用ペレットのレイアウト変
更をよりいっそう簡単に行うことができる。請求項４に
記載の発明によれば、中凸状のアール面仕上げを確実に
かつ高精度で行うことができる。

【００５６】請求項５に記載の発明によれば、中凹状の
アール面仕上げを確実にかつ高精度で行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明を具体化した一実施形態におけ
る平面研削装置（定盤に研削用ペレットを配設する前の
状態）の平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線における概
略断面図。

【図２】（ａ）は回転中心領域に近くなるほど研削用ペ
レットを密に配置した定盤を示す平面図、（ｂ）は回転
中心領域に近くなるほど研削用ペレットを疎に配置した
定盤を示す平面図。

【図３】被加工物が中凹状や中凸状のアール面に仕上が
る原理を説明するための図。

【図４】（ａ）は実施形態の研削用ペレット及びペレッ
ト保持穴を示す部分拡大斜視図、（ｂ）〜（ｄ）は別例
の研削用ペレット及びペレット保持穴を示す部分拡大斜
視図。

【図５】（ａ）は特定面が平坦状に仕上げられた被加工
物の断面図、（ｂ）は特定面が中凸状にアール仕上げさ
れた被加工物の断面図、（ｃ）は特定面が中凹状にアー
ル仕上げされた被加工物の断面図。

【符号の説明】

１…面加工装置としての平面研削装置、２…面加工装置
用定盤、２ａ…加工面、３，３Ａ，３Ｂ，３Ｃ…研削部
としての研削用ペレット、７，７Ａ，７Ｂ，７Ｃ…ペレ
ット保持穴、Ｗ1 …被加工物。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被加工物の特定面と接触する複数の研削部
を加工面に備えた面加工装置用定盤において、前記研削
部が前記加工面内にて位置変更可能に配設されているこ
とを特徴とする面加工装置用定盤。
【請求項２】被加工物の特定面と接触する複数の研削用
ペレットを加工面に備えた面加工装置用定盤において、
前記加工面に前記研削用ペレットが差抜可能なペレット
保持穴が複数形成され、前記ペレット保持穴のうちの少
なくとも一部のものに前記研削用ペレットが差し込まれ
て保持されていることを特徴とする面加工装置用定盤。
【請求項３】前記ペレット保持穴は前記加工面における
加工領域のほぼ全域にわたって多数かつ隙間なく形成さ
れていることを特徴とする請求項２に記載の面加工装置
用定盤。
【請求項４】回転中心領域に近くなるほど前記研削用ペ
レットを密に配置した請求項２または３に記載の定盤を
用い、前記被加工物の特定面を中凸状に面加工すること
を特徴とする面加工装置用定盤の使用方法。
【請求項５】回転中心領域に近くなるほど前記研削用ペ
レットを疎に配置した請求項２または３に記載の定盤を
用い、前記被加工物の特定面を中凹状に面加工すること
を特徴とする面加工装置用定盤の使用方法。