JP2006068851A - ペレット貼付研磨定盤及びそのペレット配置の最適化方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ペレットをある規則に従って配置した研磨定盤上でワークに所定の相対運動、例えば4ウェイラップ盤や枚葉ラップ盤で実現されている相対運動をさせたとき、加工されるワークの全表面ないし半径方向の各位置における相対摩擦距離が均一となるように、あるいは、ワーク表面の各位置における摩擦距離の分布を所望の加工面形状に近づけるように、各ペレットの要否を判定して不要なペレットを除去した形態の配置態様とする。
【選択図】 図7
Description
(a) 定盤の中心を基準として複数の同心円を描くように、半径方向、円周方向のそれぞれにおいて等間隔となるように配置する「円周状配置」
(b) 定盤中心を基準として放射状となるように配置する「放射状配置」
(c) 縦横等間隔に配置する「格子状配置」
の3種類の配置態様が一般的である。個々のペレット形状は、一般的には円形であるが、矩形のものもある。
畝田道雄、外3名、「遺伝的アルゴリズムを用いた4way方式定盤における半径方向溝割合の最適化」、精密工学会誌、社団法人精密工学会、2004年5月、第70巻、第5号、p.651‐655
1) ペレットを定盤上に配置する際、格子状に配置した方が円周状、放射状に比較して研磨距離の偏倚を小さくすることができる。
2) 遺伝的アルゴリズム(GA)を用いることでペレット配置の最適化を図ることができる。
3) 格子状配置の場合における研磨距離の偏倚は、円周状や放射状に配置する場合に比較すると、ペレット直径の影響を受けにくい。
4) GAの効果は格子状配置の場合が最も大きく、この場合には、溝無し定盤を用いたラッピングの場合よりも研磨距離の偏倚を小さくすることができる。
νwork(r)=ωworkr (1)
であり、時刻tにおけるワーク上の半径rの点N(r,t)におけるX軸、Y軸の速度成分をそれぞれνxwork(r,t)、νywork(r,t)とすると、
νxwork(r,t)=‐νwork(r)sinωworkt
νywork(r,t)=‐νwork(r)cosωworkt ・・・・(2)
となる
νlap(r,t)=R(r,t)ωlap ・・・・(4)
となる。
νxlap(r,t)=‐νlap(r,t)sinθlap(r,t)
νylap(r,t)=νlap(r,t)cosθ(r,t) ・・・・(5)
となる。ただし、θlap(r,t)は
Claims (4)
- 定盤上の規則性ある仮想位置に配置した多数のペレットのそれぞれについて、研磨装置で実現されるワークと定盤との相対運動に基づき、ワーク全表面ないし各半径位置における摩擦距離を求め、定盤上のすべてのペレットについての上記摩擦距離の総和のワーク全表面ないしワーク半径方向の分布を所望の分布とするのに必要なペレットの組み合わせを演算し、不要なペレットを仮想位置から除去する、ペレット貼付研磨定盤のペレット配置の最適化方法。
- 前記演算に、遺伝的アルゴリズムを用いる請求項1記載のペレット配置の最適化方法。
- 定盤表面に多数の研磨ペレットを配置したラッピング、ポリシングないしスムージング加工用の研磨定盤において、前記多数の研磨ペレットの配置が、規則的に配置したペレットの一部がそのあるべき位置から除去された配置である、ペレット貼付研磨定盤。
- 前記多数の研磨ペレットの配置が、定盤表面上の格子点に配置したペレットの一部をそのあるべき格子点から除去した配置である、請求項3記載の研磨定盤。
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---|---|---|---|---|
JPH11207632A (ja) * | 1998-01-21 | 1999-08-03 | Mitsui Kensaku Toishi Kk | ポリシャ及びその製造方法並びに研磨工具 |
JPH11320390A (ja) * | 1998-05-21 | 1999-11-24 | Ibiden Co Ltd | 面加工装置用定盤及びその使用方法 |
JP2003205454A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-22 | Nagano Denshi Kogyo Kk | 薄板の研磨方法とその装置 |
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