JP5848640B2 - 研磨定盤およびラッピング装置 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 261
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 21
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 claims description 12
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
図1および図2は、一実施形態に係る研磨定盤を具備したラッピング装置1のそれぞれ斜視図、平面図である。このラッピング装置1は、被加工物保持手段40で保持した被加工物Wを研磨定盤20で研磨するものである。被加工物Wは、この場合、円板状のものであって、例えば半導体ウェーハ等であるが、この他には、シリコンカーバイドやサファイア等からなる硬質の円板状部材が適用可能である。
20…研磨定盤
22…回転駆動手段
30…砥液供給手段
40…被加工物保持手段
41…保持面
201…支持部
202…研磨材部
210,202a…研磨面
220…貫通孔
221…第1の円形孔
222…第2の円形孔
225…第1の円形孔の底部
300,400…振動体
310…研磨作用部材
320…研磨作用部材装着部
330…振動部
333…超音波振動子
340…弾性部材
350…電力供給手段
W…被加工物
Claims (5)
- 被加工物を研磨する研磨面を有し、被加工物を該研磨面に当接させて研磨する研磨定盤であって、
該研磨定盤の前記研磨面には該研磨定盤を貫通する複数の貫通孔が形成され、
該複数の貫通孔には超音波振動子を備えた振動体が挿入されており、
該振動体の上部には、該振動体が前記貫通孔に挿入された状態で、該貫通孔を該研磨定盤の前記研磨面との段差が生じない状態で塞ぐ研磨作用部材が配設され、
前記超音波振動子に電力を供給する電力供給手段を備え、
該電力供給手段から前記超音波振動子に電力が供給され、該超音波振動子の駆動に伴って前記研磨作用部材が振動すること
を特徴とする研磨定盤。 - 前記貫通孔は、前記研磨面に形成された所定の深さを有する第1の円形孔と、該第1の円形孔の底部に該第1の円形孔と同心円状に形成され、該第1の円形孔よりも小さい直径を有するとともに前記研磨定盤を貫通する第2の円形孔と、から構成され、
前記振動体は、前記第1の円形孔と同じ直径を有する円板状に形成された前記研磨作用部材と、上面に該研磨作用部材が同心状に装着され該研磨作用部材と同じ直径を有し、その下面の外周縁部に、前記第1の円形孔の底部に載置されるリング状の弾性部材が装着された研磨作用部材装着部と、該研磨作用部材装着部の下面に前記第2の円形孔より小さい直径を有する円柱状に形成されているとともに前記超音波振動子が装着されており、前記第2の円形孔に挿入された振動部と、から少なくとも構成されていること
を特徴とする請求項1に記載の研磨定盤。 - 被加工物を研磨する研磨面を有し回転可能に支持された研磨定盤と、該研磨定盤を回転させる回転駆動手段と、被加工物を保持する保持面を有し被加工物を該研磨定盤に当接させた状態に保持する被加工物保持手段と、該研磨定盤の表面に砥液を供給する砥液供給手段と、を備え、該被加工物保持手段と該研磨定盤とを摺動させて被加工物保持手段に保持された被加工物を研磨するラッピング装置であって、
前記研磨定盤は請求項1または2に記載の研磨定盤であり、
被加工物を研磨する際には前記電力供給手段から前記超音波振動子に電力が供給され、該超音波振動子の駆動に伴って前記研磨作用部材が振動した状態で研磨が行われること
を特徴とするラッピング装置。 - 被加工物を研磨する研磨面を有し、被加工物を該研磨面に当接させて研磨する研磨定盤であって、
被加工物を研磨する研磨面を有する板状の研磨材部と、
該研磨材部を支持する支持部と、
該支持部を貫通する複数の貫通孔と、
該複数の貫通孔の開口の外周縁に該開口を囲繞する状態に配設され、かつ、その上面が前記支持部の上面より所定量上方に位置し、該上面に前記研磨材部が載置されるリング状の弾性部材と、
前記研磨材部の前記研磨面の裏面側の前記複数の貫通孔に対応する位置に配設され、その一端が該位置に接着されるとともに他端が該貫通孔に挿入された超音波振動子を有する円柱状の振動体と、
該超音波振動子に電力を供給する電力供給手段と、
を備え、
該電力供給手段から前記超音波振動子に電力が供給され、該超音波振動子の駆動に伴って前記研磨材部が振動した状態で研磨が行われること
を特徴とする研磨定盤。 - 被加工物を研磨する研磨面を有し回転可能に支持された研磨定盤と、該研磨定盤を回転させる回転駆動手段と、被加工物を保持する保持面を有し被加工物を該研磨定盤に当接させた状態に保持する被加工物保持手段と、該研磨定盤の表面に砥液を供給する砥液供給手段と、を備え、該被加工物保持手段と該研磨定盤とを摺動させて被加工物保持手段に保持された被加工物を研磨するラッピング装置であって、
前記研磨定盤は請求項4に記載の研磨定盤であり、
被加工物を研磨する際には前記電力供給手段から前記超音波振動子に電力が供給され、該超音波振動子の駆動に伴って前記研磨材部が振動した状態で研磨が行われること
を特徴とするラッピング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012051628A JP5848640B2 (ja) | 2012-03-08 | 2012-03-08 | 研磨定盤およびラッピング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012051628A JP5848640B2 (ja) | 2012-03-08 | 2012-03-08 | 研磨定盤およびラッピング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013184256A JP2013184256A (ja) | 2013-09-19 |
JP5848640B2 true JP5848640B2 (ja) | 2016-01-27 |
Family
ID=49386160
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012051628A Active JP5848640B2 (ja) | 2012-03-08 | 2012-03-08 | 研磨定盤およびラッピング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5848640B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106826413B (zh) * | 2017-01-03 | 2019-05-24 | 山东理工大学 | 一种非直异形盲孔光整加工方法及其装置 |
KR102116510B1 (ko) * | 2019-03-08 | 2020-05-28 | 에스케이실트론 주식회사 | 웨이퍼 랩핑 장치 |
KR102285219B1 (ko) * | 2021-01-21 | 2021-08-03 | 주식회사 에이씨엘 | 휴대 단말기 액정 연마장치 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02212071A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-23 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 水晶素板ポリッシュ加工装置 |
JP3112542B2 (ja) * | 1992-01-24 | 2000-11-27 | オリンパス光学工業株式会社 | 超音波研磨装置 |
US20100087125A1 (en) * | 2007-03-07 | 2010-04-08 | Kazumasa Ohnishi | Polishing tool and polishing device |
JP5209378B2 (ja) * | 2008-06-06 | 2013-06-12 | 株式会社ディスコ | ラップ装置 |
JP2012011518A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Toshiba Corp | 研磨装置、研磨パッドおよび研磨方法 |
-
2012
- 2012-03-08 JP JP2012051628A patent/JP5848640B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013184256A (ja) | 2013-09-19 |
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