JP5209378B2 - ラップ装置 - Google Patents
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Description
該砥粒埋設手段は、該定盤の表面と対向する円形の押圧面と該押圧面と反対側の取付面を有する押圧部材と、該押圧部材の該取付面が装着される支持部と該支持部から立設して設けられた支持軸部とを有する支持部材と、該支持部材の支持軸部に配設された超音波振動子と、該支持部材に配設される錘部材とを備えた砥粒埋設機構と、該砥粒埋設機構の該超音波振動子に超音波振動を発生させるための交流電力を印加する交流電力供給手段とを具備し、
該押圧部材は、該円形の押圧面全面を該定盤の表面に接触するように形成されている、
ことを特徴とするラップ装置が提供される。
図1には、本発明に従って構成されたラップ装置の斜視図が示されている。図1に示すラップ装置は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。この装置ハウジング2を構成するテーブルプレート21には、円盤状の定盤3が回転可能に支持されている。この定盤3は錫等の金属材料によって形成されており、その下面には回転軸31が設けられている。このように構成された定盤3は、回転軸31に伝動連結された回転駆動手段としての電動モータ32によって回転せしめられるようになっている。
先ず、定盤3の表面(上面)30に砥粒を埋設する砥粒埋設作業について、図9を参照して説明する。砥粒埋設作業を実施するには、砥粒埋設手段6を構成する砥粒埋設機構60を定盤3の表面(上面)に載置し、錘部材63の外周面をロータリー支持手段5の駆動ローラ52と従動ローラ53に接触させる。このようにして砥粒埋設機構60をロータリー支持手段5の駆動ローラ52と従動ローラ53によって支持したならば、砥粒埋設機構60を構成する支持部材62の電極端子取付部622cに交流電力供給手段69のロータリーコネクター692を嵌合する。次に、定盤3の回転駆動手段としての電動モータ32を作動して定盤3を矢印3aで示す方向に例えば10rpmの回転速度で回転するとともに、砥液供給手段4を作動して砥粒40aを含む砥液40を定盤3の表面(上面)30に供給する。そして、ロータリー支持手段5の電動モータ541を作動して駆動ローラ52を矢印52aで示す方向に回転する。この結果、駆動ローラ52と錘部材63の外周面が接触している砥粒埋設機構60は、矢印60aで示す方向に回転せしめられる。このように砥液供給手段4を作動し定盤3を回転するとともに砥粒埋設機構60を回転することにより、定盤3の表面(上面)30に供給された砥粒40aを含む砥液40は砥粒埋設機構60を構成する押圧部材61の押圧面611と定盤3の表面(上面)との間に侵入する。
ラッピング作業を実施するには、図11に示すように上記砥粒埋設作業に用いた砥液供給手段4と砥粒埋設機構60および交流電力供給手段69を取り除き、上記図8に示すように被加工物としてのウエーハWが装着された被加工物保持部材7を定盤3の表面(上面)にウエーハW側を載置し、被加工物保持部材7の外周面をロータリー支持手段5の駆動ローラ52と従動ローラ53に接触させる。このようにして被加工物保持部材7をロータリー支持手段5の駆動ローラ52と従動ローラ53によって支持したならば、定盤3の回転駆動手段としての電動モータ32を作動して定盤3を矢印3aで示す方向に例えば10rpmの回転速度で回転するとともに、ロータリー支持手段5の電動モータ531を作動して駆動ローラ52を矢印52aで示す方向に回転し被加工物保持部材7を矢印7aで示す方向に回転せしめる。このとき、被加工物保持部材7を回転可能に支持するロータリー支持手段5の図示しない作動手段を作動して支持レバー51を矢印Xで示す方向に移動する。この結果、被加工物保持部材7の下面に装着された被加工物としてのウエーハWは、被研磨面が定盤3の表面(上面)30に埋設された砥粒40aで研磨される。
図12および図13に示す砥粒埋設機構60は、押圧部材61をそれぞれ装着した複数(図示の実施形態においては3個)の支持部材62を錘部材63に装着して構成したものである。押圧部材61および支持部材62は、上記図2および図3に示す押圧部材61および支持部材62に比して径は小さいが実質的に同様の構成であり、従って同一部材には同一符号を付してその説明は省略する。なお、図12および図13に示す支持部材62の支持部621には、上記図2および図3に示す支持部材62の支持部621に形成されているボルト挿通穴621aは設けられていない。一方、錘部材63には、上記3個の支持部材62をそれぞれ配設するための3個の嵌合穴633が設けられている。また、錘部材63の上面中心部には、共通の電極端子取付部634が突出して設けられており、この共通の電極端子取付部634の外周面に2個のスリップリング635aと635bが配設されている。このように構成された共通の電極端子取付部634に上記交流電力供給手段69のロータリーコネクター692が嵌合するようになっている。このように構成された錘部材63の嵌合穴633に図13に示すように下面側から砥粒埋設機構60の支持部材62を嵌合し、支持部材62を構成する支持部621上面と錘部材63の下面との間にウレタンゴムリング8を介在させて適宜の接着剤によって支持部621を錘部材63の下面に装着する。そして、上記共通の電極端子取付部634に配設されたスリップリング635aと635bと、3個の支持部材62にそれぞれ配設された各超音波振動子65を構成する電極652a、652bを電気的に接続する。
21:テーブルプレート
3:定盤
4:砥液供給手段
41:砥液タンク
42:ポンプ
43:ポンプ
5:ロータリー支持手段
51:支持レバー
52:駆動ローラ
53:従動ローラ
54:回転駆動手段
6:砥粒埋設手段
60:砥粒埋設機構
61:押圧部材
62:支持部材
63:錘部材
65:超音波振動子
66:スペーサー
69:交流電力供給手段
692:ロータリーコネクター
8:被加工物保持部材
W:ウエーハ
Claims (2)
- 回転可能に支持された定盤と、該定盤を回転せしめる回転駆動手段と、該定盤の表面に砥粒を含む砥液を供給する砥液供給手段と、該砥液供給手段によって供給された砥液に含まれる砥粒を該定盤の表面に埋設する砥粒埋設手段と、被加工物を保持し該定盤の表面に接触せしめる被加工物保持部材と、を具備するラップ装置において、
該砥粒埋設手段は、該定盤の表面と対向する円形の押圧面と該押圧面と反対側の取付面を有する押圧部材と、該押圧部材の該取付面が装着される支持部と該支持部から立設して設けられた支持軸部とを有する支持部材と、該支持部材の支持軸部に配設された超音波振動子と、該支持部材に配設される錘部材とを備えた砥粒埋設機構と、該砥粒埋設機構の該超音波振動子に超音波振動を発生させるための交流電力を印加する交流電力供給手段とを具備し、
該押圧部材は、該円形の押圧面全面を該定盤の表面に接触するように形成されている、
ことを特徴とするラップ装置。 - 該押圧部材の円形の押圧面には、複数の溝が形成されている、請求項1記載のラップ装置。
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