JP4121086B2 - ラッピング装置向け砥粒埋め込み具 - Google Patents
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Description
Claims (13)
- 支持部材と、支持部材の表面に張り合わせられる弾性部材と、背面で弾性部材の表面に受け止められ、平坦面で定盤に受け止められる押し当てパッドと、押し当てパッドの背面に固定され、支持部材および弾性部材を貫通する貫通孔に受け入れられる取り付け軸とを備え、貫通孔と取り付け軸との間には所定の遊びが確保されることを特徴とするラッピング装置向け砥粒埋め込み具。
- 請求項1に記載のラッピング装置向け砥粒埋め込み具において、前記支持部材から突き出る前記取り付け軸の先端に取り付けられて、前記押し当てパッドの落下を防止する係止め具をさらに備えることを特徴とするラッピング装置向け砥粒埋め込み具。
- 請求項1または2に記載のラッピング装置向け砥粒埋め込み具において、前記平坦面には溝が刻まれることを特徴とするラッピング装置向け砥粒埋め込み具。
- 請求項3に記載のラッピング装置向け砥粒埋め込み具において、前記溝は格子状に配置されることを特徴とするラッピング装置向け砥粒埋め込み具。
- 表面で定盤に向き合わせられる支持部材と、支持部材の表面に張り合わせられる弾性部材と、少なくとも第1幅のギャップで相互に隔てられ、背面で弾性部材の表面に受け止められつつ弾性部材上で平坦面を規定する複数のブロック体と、ブロック体の背面に固定され、支持部材および弾性部材を貫通する貫通孔に受け入れられる取り付け軸と、第1幅よりも狭い第2幅でブロック体の平坦面に刻まれる溝とを備え、貫通孔と取り付け軸との間には所定の遊びが確保されることを特徴とするラッピング装置向け砥粒埋め込み具。
- 請求項5に記載のラッピング装置向け砥粒埋め込み具において、前記溝は格子状に配置されることを特徴とするラッピング装置向け砥粒埋め込み具。
- 表面で研磨面を規定する定盤と、研磨面に対して相対変位自在に支持される支持部材と、支持部材の表面に張り合わせられる弾性部材と、背面で弾性部材の表面に受け止められ、平坦面で研磨面に押し付けられる押し当てパッドと、押し当てパッドの背面に固定され、支持部材および弾性部材を貫通する貫通孔に受け入れられる取り付け軸とを備え、貫通孔と取り付け軸との間には所定の遊びが確保されることを特徴とするラッピング装置。
- 請求項7に記載のラッピング装置において、研磨処理の対象物を保持し、研磨面に対して相対変位自在に支持される治具をさらに備えることを特徴とするラッピング装置
- 請求項7または8に記載のラッピング装置において、前記支持部材から突き出る前記取り付け軸の先端に取り付けられて、前記押し当てパッドの落下を防止する係止め具をさらに備えることを特徴とするラッピング装置。
- 請求項9に記載のラッピング装置において、前記平坦面には溝が刻まれることを特徴とするラッピング装置。
- 請求項10に記載のラッピング装置において、前記溝は格子状に配置されることを特徴とするラッピング装置。
- 請求項7〜11のいずれかに記載のラッピング装置において、回転軸回りに前記定盤を回転させる回転駆動機構と、定盤上の1直線に沿って前記治具を往復移動させる往復駆動機構とをさらに備えることを特徴とするラッピング装置。
- 請求項7〜12のいずれかに記載のラッピング装置で研磨されたことを特徴とするヘッドスライダ。
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