JP6682252B2 - 研磨具と研磨装置 - Google Patents
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Description
30:チャックテーブル 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体
31:カバー
5:研磨送り手段 50:ボールネジ 51:一対のガイドレール 52:モータ
53:可動板 54:ホルダ
6:研磨手段
60:研磨具 600:研磨部 601:ベースプレート 601c:円形の空孔
601a:ベースプレートの上面 601b:ベースプレートの下面
602:連結筒 604:超音波振動子 609:導電線 608:凸型コネクタ
603:マウント装着プレート 603a:マウント装着プレートの中心穴
603b:ボルト穴
62:スピンドル 62a:回転軸心 62b:貫通孔 62c:モータ装着部
62d:先端小径部 69:スピンドルハウジング
68:モータ 680:ローター 681:ステータコイル 682:リード線
64:高周波電源 640:調整手段
66:電力供給手段
66A:ロータリートランス 660:受電手段 661:給電手段 66B:導電線
Claims (2)
- 板状ワークを研磨する研磨装置のスピンドル先端に固定される円板状のマウントに装着される研磨具であって、
一方の面に円環状に研磨部を装着し中心部に空孔を有する円環状のベースプレートと、
該ベースプレートの他方の面の外周部から立設する連結筒と、
該連結筒の上端面に下面の外周側の領域を接続し上面が該マウントに装着される円環状のマウント装着プレートと、
該ベースプレートの他方の面の中心部に該空孔を囲繞させ該空孔の中心と中心を一致させ配設され、外径が該ベースプレートの外径に比べて小さく、内径が該空孔の外径より大きく、該ベースプレートの中心部から外周部に向かう径方向に超音波を伝播させる円環状の超音波振動子と、を備え、
該マウント装着プレートに形成されたボルト穴に、該マウントに形成された丸穴に挿入させたボルトを螺合させて、該連結筒の内側で該マウントと該マウント装着プレートとを連結させ、
該超音波振動子から発振させた超音波を該ベースプレートの外周部に向かうにつれて減衰させ、該研磨部の中央部分が当接している板状ワークの上面の研磨量と該研磨部の外周部が当接している板状ワークの上面の研磨量とを同程度とすることが可能な研磨具。 - 板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される板状ワークを請求項1記載の研磨具で研磨する研磨手段と、を備える研磨装置であって、
該研磨手段は、
該研磨具の回転中心を回転軸心と一致させ該研磨具を装着する前記マウントを有するスピンドルと、該スピンドルに装着される該研磨具の前記超音波振動子に高周波電力を供給し超音波を発振させる高周波電源と、を備え、
該超音波振動子から発振される超音波を前記ベースプレートの中央部から外周部に向かって径方向に伝播させ該チャックテーブルが保持する板状ワークを研磨する研磨装置。
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