JP3848643B2 - ラップ定盤製造装置 - Google Patents
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Description
本発明のラップ定盤製造装置は、定盤と、該定盤を回転駆動する駆動手段と、砥粒を含む砥液を前記定盤の上面に供給する砥液供給手段と、前記定盤の上面に対向配置されて超音波振動する振動面を有する固定用冶具と、前記固定用冶具に内蔵されて前記振動面を超音波振動させる超音波振動発生手段とを具備してなり、前記固定用治具が、前記定盤と対向する前記振動面を有するドーナッツ状の振動体と、前記振動体に重ねられたプレートと、前記プレートの中央に載置された超音波振動装置と、前記プレートの周辺部に重ねられた管状の荷重材とから構成されていることを特徴とする。
また、本発明のラップ定盤製造装置は、定盤と、該定盤を回転駆動する駆動手段と、砥粒を含む砥液を前記定盤の上面に供給する砥液供給手段と、前記定盤の上面に対向配置されて超音波振動する振動面を有する固定用冶具と、前記固定用冶具に内蔵されて前記振動面を超音波振動させる超音波振動発生手段とを具備してなり、前記固定用治具が、前記定盤と対向する前記振動面を有するドーナッツ状の振動体と、前記振動体に重ねられたプレートと、前記プレートの周辺部に沿って載置された複数の超音波振動装置と、前記プレートの周辺部に重ねられた管状の荷重材とから構成されていることを特徴とする。
また、本発明においては、砥粒としてはダイヤモンド砥粒を用いることが好ましい。
また、超音波振動によって砥粒が効率よく埋め込まれるので、砥粒の固定に要する時間を短縮することができ、ラップ加工の作業効率を高めることができる。
また、ラップ定盤製造装置1には、定盤2の上に設けられて浮上式磁気ヘッドのラップ加工に用いられる加工用治具3と、加工用冶具3を揺動するための揺動手段10と、定盤2の背後側に立設された制御盤Sと、この制御盤Sに支持された揺動板11とが備えられている。
また、駆動手段17は、ラップ定盤2を回転駆動させるものであればどのようなものであっても良く、例えば、図1に示すように定盤2の中央に連結され、定盤2を矢印A方向に回転させるモータ7を例示できる。
揺動板11の背面側には支持面19が設けられ、支持面19の定盤2側の前面には、図示略の揺動機構が備えられており、この揺動機構によって揺動板11が図1中左右方向に揺動できるように構成されている。
次に、図1及び図7Bに示すように、駆動手段17(モータ7)により定盤2を図1中矢印A方向に回転駆動しつつ、砥液噴出ノズル16bから定盤2の上面2aに砥液60を噴出させる。定盤2が回転駆動されると、固定用冶具15が上面2a上で図1中矢印B方向に回転する。また、固定用冶具15の振動面15aと定盤2の上面2aとの間に砥液60が入り込む。
そして、定盤2の回転駆動及び砥液60の供給並びに超音波振動の印加を30分〜90分程度続けることで、図7Dに示すように、定盤2の上面2aに砥粒61が埋め込まれる。即ち、振動面15aと定盤2の上面2aとの間に砥粒61が入り込み、固定用冶具15の自重により砥粒61が上面2aに埋め込まれる。また、振動面15aの振動が砥粒61に伝わり、砥粒61が上面2aに効率よく埋め込まれる。
まず、ラップ定盤2を回転させ、加工用治具3に取り付けられたバー21、21をラップ定盤の研磨面2bに押し当てる。次に、揺動手段10を駆動させて、加工用治具3をラップ定盤2の回転方向の直交方向に揺動させて、バー21、21の上面(被加工面)24と研磨面2bとを互いに摺動させて、バー21、21の上面24、24にラップ処理を施す。
また、超音波振動によって砥粒61が効率よく埋め込まれるので、砥粒61の固定に要する時間を短縮することができ、ラップ加工の作業効率を高めることができる。
その結果、実験例1のラップ定盤では、ラップ定盤の寿命が尽きるまでに48バッチのバーの加工が可能であったのに対し、実験例2では27バッチしか加工できなかった。また、実験例1のラップ定盤では砥粒の固定化に60分間を要したのに対し、実験例2では90分間を要した。
Claims (2)
- 定盤と、該定盤を回転駆動する駆動手段と、砥粒を含む砥液を前記定盤の上面に供給する砥液供給手段と、前記定盤の上面に対向配置されて超音波振動する振動面を有する固定用冶具と、前記固定用冶具に内蔵されて前記振動面を超音波振動させる超音波振動発生手段とを具備してなり、
前記固定用治具が、前記定盤と対向する前記振動面を有するドーナッツ状の振動体と、前記振動体に重ねられたプレートと、前記プレートの中央に載置された超音波振動装置と、前記プレートの周辺部に重ねられた管状の荷重材とから構成されていることを特徴とするラップ定盤製造装置。 - 定盤と、該定盤を回転駆動する駆動手段と、砥粒を含む砥液を前記定盤の上面に供給する砥液供給手段と、前記定盤の上面に対向配置されて超音波振動する振動面を有する固定用冶具と、前記固定用冶具に内蔵されて前記振動面を超音波振動させる超音波振動発生手段とを具備してなり、
前記固定用治具が、前記定盤と対向する前記振動面を有するドーナッツ状の振動体と、前記振動体に重ねられたプレートと、前記プレートの周辺部に沿って載置された複数の超音波振動装置と、前記プレートの周辺部に重ねられた管状の荷重材とから構成されていることを特徴とするラップ定盤製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003285964A JP3848643B2 (ja) | 2003-08-04 | 2003-08-04 | ラップ定盤製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003285964A JP3848643B2 (ja) | 2003-08-04 | 2003-08-04 | ラップ定盤製造装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2005052928A JP2005052928A (ja) | 2005-03-03 |
JP3848643B2 true JP3848643B2 (ja) | 2006-11-22 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP3848643B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009291911A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | ラップ装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6267916B2 (ja) * | 2013-10-08 | 2018-01-24 | 株式会社ディスコ | チャージング装置 |
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JP2009291911A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | ラップ装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005052928A (ja) | 2005-03-03 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050726 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060509 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060704 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060825 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090901 Year of fee payment: 3 |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090901 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100901 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110901 Year of fee payment: 5 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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