JPH06198559A - 湿式研磨方法およびその装置 - Google Patents

湿式研磨方法およびその装置

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Publication number
JPH06198559A
JPH06198559A JP4359981A JP35998192A JPH06198559A JP H06198559 A JPH06198559 A JP H06198559A JP 4359981 A JP4359981 A JP 4359981A JP 35998192 A JP35998192 A JP 35998192A JP H06198559 A JPH06198559 A JP H06198559A
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JP
Japan
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polishing
work
polishing liquid
liquid
polished
Prior art date
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Pending
Application number
JP4359981A
Other languages
English (en)
Inventor
Shuji Kawasaki
修司 川崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
B B F YAMATE KK
Original Assignee
B B F YAMATE KK
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Publication date
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Priority to DE69323178T priority patent/DE69323178T2/de
Priority to CA002127098A priority patent/CA2127098C/en
Priority to ES93923661T priority patent/ES2127838T3/es
Priority to AT93923661T priority patent/ATE175916T1/de
Priority to AU53448/94A priority patent/AU672653B2/en
Priority to EP93923661A priority patent/EP0624432B1/en
Priority to PCT/JP1993/001566 priority patent/WO1994009945A1/ja
Priority to MYPI93002850A priority patent/MY108912A/en
Priority to CN93121397A priority patent/CN1089050C/zh
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  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 回転するバフホイールの研磨面とワークの被
研磨面との間に研磨液を供給しながら、前記バフホイー
ルによって前記ワークを研磨する湿式研磨方法におい
て、前記研磨液を加熱しながら前記ワークを研磨する湿
式研磨装置である。 【効果】 研磨液に対流をさせることによって攪拌する
ことができるため、研磨液が貯留槽から流出した後も、
研磨剤は分離しにくく、この結果、研磨液としての機能
が充分発揮されるものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は湿式研磨方法およびそ
の装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来における湿式研磨装置にあっては、
ワークの被研磨面と回転するバフとの間に研磨液を供給
しながら前記バフによって前記ワークの被研磨面を研磨
していた。そして、貯留槽中において前記研磨液を攪拌
し、研磨液中に分散した研磨剤が分離するのを防止して
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来の研磨装置にあっては、研磨液は貯留槽中において
のみ攪拌されるにすぎないため、この貯留槽から流出
し、被研磨面に供給する過程においては分離されやす
く、この結果、研磨液としての機能を充分発揮しにくい
という不都合を有した。
【０００４】この発明の課題はかかる不都合を解消する
ことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を達成するため
に、この発明に係る湿式研磨方法においては、回転する
バフホイールの研磨面とワークの被研磨面との間に研磨
液を供給しながら、前記バフホイールによって前記ワー
クを研磨する湿式研磨方法において、
【０００６】前記研磨液を加熱しながら前記ワークを研
磨するものである。
【０００７】また、前記課題を達成するために、この発
明に係る湿式研磨装置においては、回転するバフホイー
ルの研磨面とワークの被研磨面との間に研磨液を供給し
ながら、前記バフホイールによって前記ワークを研磨す
る湿式研磨装置において、
【０００８】前記研磨液の貯留槽を設け、この貯留槽に
加熱手段を設けたものである。
【０００９】
【作用】この発明に係る湿式研磨方法は上記のように構
成されているため、研磨液に対流をさせることによって
攪拌することができる。
【００１０】なお、前記研磨液を３７°Ｃ〜６０°Ｃに
加熱すれば、研磨液の対流を維持しながらワークに吹き
つけられた際の乾燥を防止することができる。
【００１１】また、この発明に係る湿式研磨装置は上記
のように構成されているため、研磨液を簡易に加熱しや
すいものである。
【００１２】
【実施例】図１において、１は支持盤、11はこの支持盤
１の軸心に設置された支軸である。この支持盤１はこの
支軸11を中心として適宜手段によって矢印方向に回転さ
れる。Ｗは盤状のワークであり、前記支持盤１に載置さ
れている。このワークＷは上面を被研磨面としている。
【００１３】次に、２は第一回転駆動装置であり、モー
ター等の駆動原を有している。21は回転軸であり、前記
回転駆動装置２に設置されている。この回転軸21は前記
モーター等の動力によって軸心を中心として回転する。
22は第一バフホイールであり、前記回転軸21の先端に固
定されている。このバフホイール22は回転しながらその
底面である研磨面221 によってワークＷを研磨する。
【００１４】また、３は第二回転駆動装置であり、前記
第一回転駆動装置２と同様に、モーター等の駆動原を有
している。31は回転軸であり、前記回転駆動装置３に設
置されている。この回転軸31は前記モーター等の動力に
よって軸心を中心として回転する。32は第二バフホイー
ルであり、前記回転軸31の先端に固定されている。この
バフホイール32は回転しながらその底面である研磨面32
1 によってワークＷを研磨する。
【００１５】なお、第一バフホイール22と第二バフホイ
ール32とは互いに逆方向に回転するため、ワークＷの被
研磨面は往復方向に研磨されることになる。
【００１６】次に、４は研磨液用パンであり、前記支持
盤１の下方に設置されている。この研磨液用パン４はワ
ークＷの被研磨面から流下する研磨液（含塵研磨液）を
集めるためのものである。41は研磨液排出管であり、前
記研磨液用パン４に設置されている。この研磨液排出管
41はストレーナ411 を介して集められた研磨液を下方に
排出する。なお、このストレーナ411 を通過する際に研
磨液中の大きな粉塵が除去される。
【００１７】次に、５は研磨液貯留槽であり、前記研磨
液用パン４の下方に配置されている。この研磨液貯留槽
５は研磨液Ｂを貯留するためのものであり、前記研磨液
用パン４から研磨液排出管41を介して研磨液が流入す
る。貯留槽５に流入した研磨液ＢはポンプＰの作動によ
って流路51を介して、前記バフホイール22,32 の研磨面
221,321 とワークＷの被研磨面との間に再度供給され
る。すなわち、研磨液Ｂは流路51等を介して還流してい
る。なお、52は流路５に設置されたストレーナであり、
微細な粉塵を除去するためのものである。
【００１８】また、６は電気ヒータであり、前記研磨液
貯留槽５内に設置されている。このヒータ６は研磨液Ｂ
を加熱するためのものである。なお、研磨液Ｂは３７°
Ｃ〜６０°Ｃに加熱するのがよい。なぜならば、３７°
Ｃ以下では研磨液Ｂに対流が発生しにくく、また、６０
°Ｃ以上ではワークＷの被研磨面に吹きつけ際に乾燥
し、研磨液Ｂとしての機能を失うからである。
【００１９】なお、８はモータ81によって駆動する攪拌
翼、９は気泡供給管であり、両者８，９とも研磨液貯留
槽５に設置されている。前記攪拌翼８は回転することに
よって研磨液Ｂの攪拌を、前記気泡供給管９は気泡を研
磨液Ｂ中に供給することによってかかる研磨液Ｂの攪拌
を補助している。
【００２０】
【発明の効果】前記課題を達成するために、この発明に
係る湿式研磨方法においては、回転するバフホイールの
研磨面とワークの被研磨面との間に研磨液を供給しなが
ら、前記バフホイールによって前記ワークを研磨する湿
式研磨方法において、
【００２１】前記研磨液を加熱しながら前記ワークを研
磨するものであるため、研磨液に対流をさせることによ
って攪拌することができる。
【００２２】よって、この湿式研磨方法を使用すれば、
研磨液が貯留槽から流出した後も、研磨剤は分離しにく
く、この結果、研磨液としての機能が充分発揮されるも
のである。
【００２３】なお、前記研磨液を３７°Ｃ〜６０°Ｃに
加熱すれば、研磨液の対流を維持しながらワークに吹き
つけられた際の乾燥を防止することができる。
【００２４】また、前記課題を達成するために、この発
明に係る湿式研磨装置においては、回転するバフホイー
ルの研磨面とワークの被研磨面との間に研磨液を供給し
ながら、前記バフホイールによって前記ワークを研磨す
る湿式研磨装置において、
【００２５】前記研磨液の貯留槽を設け、この貯留槽に
加熱手段を設けたため、研磨液を簡易に加熱しやすいも
のである。
【００２６】よって、この湿式研磨装置を使用すれば、
上記湿式研磨方法を使用しやすいものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る湿式研磨装置の説明図である。
【符号の説明】
22 … 第一バフホイール 221 … 研磨面 32 … 第二バフホイール 321 … 研磨面 ５ … 研磨液貯留槽（貯留槽） ６ … 電気ヒータ（加熱手段） Ｂ … 研磨液 Ｗ … ワーク

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 回転するバフホイールの研磨面とワーク
    の被研磨面との間に研磨液を供給しながら、前記バフホ
    イールによって前記ワークを研磨する湿式研磨方法にお
    いて、 前記研磨液を加熱しながら前記ワークを研磨することを
    特徴とする湿式研磨方法。
  2. 【請求項２】 前記研磨液を３７°Ｃ〜６０°Ｃに加熱
    することを特徴とする請求項１の湿式研磨方法
  3. 【請求項３】 回転するバフホイールの研磨面とワーク
    の被研磨面との間に研磨液を供給しながら、前記バフホ
    イールによって前記ワークを研磨する湿式研磨装置にお
    いて、 前記研磨液の貯留槽を設け、この貯留槽に加熱手段を設
    けたことを特徴とする湿式研磨装置。
JP4359981A 1992-10-30 1992-12-31 湿式研磨方法およびその装置 Pending JPH06198559A (ja)

Priority Applications (13)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4359981A JPH06198559A (ja) 1992-12-31 1992-12-31 湿式研磨方法およびその装置
KR1019940702271A KR0167000B1 (ko) 1992-10-30 1993-10-29 연마 방법, 그 장치 및 연마용 버프 휠
DE69323178T DE69323178T2 (de) 1992-10-30 1993-10-29 Polierverfahren, hierzu bestimmte vorrichtung und schwabbel-/polierscheibe
CA002127098A CA2127098C (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, device and buff wheel therefor
ES93923661T ES2127838T3 (es) 1992-10-30 1993-10-29 Metodo pulidor y aparato para el mismo y rueda pulidora.
AT93923661T ATE175916T1 (de) 1992-10-30 1993-10-29 Polierverfahren, hierzu bestimmte vorrichtung und schwabbel-/polierscheibe
AU53448/94A AU672653B2 (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel
EP93923661A EP0624432B1 (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel
PCT/JP1993/001566 WO1994009945A1 (en) 1992-10-30 1993-10-29 Polishing method, apparatus for the same and buff polishing wheel
MYPI93002850A MY108912A (en) 1992-12-31 1993-12-28 Polishing method, device and buff wheel therefor
CN93121397A CN1089050C (zh) 1992-12-31 1993-12-29 研磨方法,装置及其研磨轮
MX9400124A MX9400124A (es) 1992-12-31 1994-01-03 Metodo para pulir, dispositivo y disco pulidor para el mismo.
US08/275,824 US5516327A (en) 1992-10-30 1994-06-30 Polishing method, device and buff wheel therefor

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JPH06198559A true JPH06198559A (ja) 1994-07-19

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JP (1) JPH06198559A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI426001B (ja) * 2010-05-27 2014-02-11
JP2015122465A (ja) * 2013-12-25 2015-07-02 株式会社荏原製作所 排水構造および基板処理装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI426001B (ja) * 2010-05-27 2014-02-11
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