JPH0847857A - ワーク回転式処理装置における廃液分離方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 作業処理時に遠心力を利用して廃液を分離す
ることにより、大きな沈澱槽などの処理設備を不要と
し、コスト及び廃液処理時間の短縮化を可能したワーク
回転式処理装置における廃液分離方法を提供すること。 【構成】 ２種類以上の薬液を順次供給しながらワーク
１１を回転させて各種の作業処理を行なうワーク回転式
処理装置１において、前記２種類以上の薬液の使用によ
り生ずる廃液を分離する分離方法であって、前記各々の
薬液に対応した異なる回転速度で前記ワーク１１を回転
させて作業処理を行ない、前記ワーク１１の周縁から飛
ばされる各々の廃液を、前記ワーク１１の周囲の前記各
々の廃液が落下する異なる位置に設置された各々のトレ
イ４１、５５により集めて排出するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の薬液を順次供給
しながらワークの処理作業を行なう際に、上記複数の薬
液の使用により発生する廃液を効率よく分離するワーク
回転式処理装置における廃液分離方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ワークを回転させて複数の薬液を
順次供給しながら所定の作業処理を行なう装置として
は、例えば、光ディスク用のスタンパー製造工程のポリ
ッシング工程で用いられる研磨処理装置が知られてい
る。このような研磨処理装置には、真空チャックを備え
た回転テーブルと、回転テーブル上方に移動可能に設け
られ下面に研磨パッドが装着された回転円板と、研磨材
を供給する研磨材用のノズルと、洗浄水を供給する洗浄
用のノズルなどが設けられている。そして、回転テーブ
ルの上面にワークをセットし、回転テーブルおよび回転
円板を回転させながら、回転テーブル上のワークの上面
の研磨が行なわれる。また、ワークの研磨時には、ワー
ク上に研磨材用のノズルにより酸化セリュームなどの研
磨材を供給しながら行なわれ、研磨後には、洗浄用のノ
ズルにより洗浄水をワーク上に供給することにより、洗
浄が行なわれる。さらに、研磨材を含んだ廃液は、大型
の沈澱槽内に集められ、この沈澱槽で凝集されて水と研
磨材とに分離して処理されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようなワーク回転式処理装置により発生した廃液の処
理においては、大型の沈澱槽を用いた沈澱により分離し
ていたため、排水量が大きい程、大型の沈澱槽が必要と
なり、排液処理設備が大型化しコストが嵩むとともに、
分離処理の多大な時間が必要となるという不具合があっ
た。本発明は前記事情に鑑み案出されたものであって、
本発明の目的は、ワーク回転式処理装置による作業処理
時に、ワークの回転に伴う遠心力を利用して使用薬物に
より生ずる廃液を分離することにより、大きな沈澱槽な
どの処理設備を不要とし、コストおよび廃液処理時間の
短縮化が可能となるワーク回転式処理装置における廃液
分離方法を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明は、２種類以上の薬液を順次供給しながらワーク
を回転させて各種の作業処理を行なうワーク回転式処理
装置において、前記２種類以上の薬液の使用により生ず
る廃液を分離する分離方法であって、前記各々の薬液に
対応した異なる回転速度で前記ワークを回転させて作業
処理を行ない、前記ワークの周縁から飛ばされる各々の
廃液を、前記ワークの周囲の前記各々の廃液が落下する
異なる位置に設置された各々のトレイにより集めて排出
するようにしたことを特徴とする。

【０００５】また、本発明は、各々のトレイが、前記ワ
ークを中心にした所定の幅を有する環状に形成されたこ
とを特徴とする。また、本発明は、ワーク回転式処理装
置が研磨処理装置で、前記薬液が研磨材と洗浄水である
ことを特徴とする。

【０００６】

【作用】ワーク回転式処理装置においてワークの各種の
処理は、例えば、ターンテーブル上などにワークを支持
した状態で行なわれ、作業処理時には、２種類以上の薬
液をワーク上に、順次、供給しながら行なわれる。ま
た、作業処理時においては、供給される薬液毎に予め設
定された異なる回転速度でワークを回転しながら行なわ
れる。そして、作業処理時に各薬液により生ずる各々の
廃液は、ワークの回転速度に応じて、回転するワークの
周縁から所定の範囲内に飛散する。飛散する各廃液は、
ワークの周囲の下方の各廃液の落下範囲に設置された各
々のトレイ内に落下して集められて排出される。

【０００７】したがって、ワークの回転速度による遠心
力を利用して順次発生する廃液をワークの周縁から飛ば
し、各々のトレイにより集めるようにしたので、ワーク
の作業処理時に、順次供給される薬液により生ずる廃液
を分離して取り出すことが可能となり、沈澱槽などの排
水処理設備を小型化することができ、また、コストおよ
び廃液処理時間の短縮化を図ることが可能となる。

【０００８】

【実施例】以下に、本発明の一実施例を図面に基づき説
明する。図１は本実施例の本発明方法を実施するワーク
回転式処理装置を示す平面図、図２はワーク回転式処理
装置を示す縦断面図である。尚、本実施例では、ワーク
回転式処理装置として研磨処理装置を例にとり、また、
複数の薬液として、ワークを研磨する研磨材と洗浄水と
を用いる場合を例にとって説明する。１は研磨処理装置
で、研磨処理装置１の図示しない支持台の中央部上に
は、回転軸３が回転可能に垂直に軸支され、この回転軸
３の上部には水平に配設されたターンテーブル５の下部
中央部が一体回転可能に固着され、前記回転軸３の下部
にはカプリング７を介してモータ９が連結されている。
また、前記ターンテーブル５には真空チャックが設けら
れ、この真空チャックによる吸引によりガラス板などの
ワーク１１がターンテーブル５の上面に吸着して支持さ
れる。

【０００９】前記ターンテーブル５の周囲には研磨用の
モータ１３や超音波洗浄用のモータ２７が図示しない支
持台に設置されており、これらのモータ１３、１７はそ
の回転軸を垂直に上方へ向けて配設されている。前記研
磨用のモータ１３の回転軸には水平に配設されたアーム
１５の基端部が固着され、アーム１５の先端部にはロッ
ド１７ａを下方に向けたエアーシリンダ１７が固着され
ている。エアーシリンダ１７のロッド１７ａには回転軸
を下方へ向けたモータ１９が固着され、モータ１９の回
転軸には水平に配設された回転円板２１の中心部が取付
けられ、回転円板２１の下面には研磨パッド２３が装着
されている。そして、前記研磨用のモータ１３の正逆回
転により、アーム１５が前記モータ１３の回転軸を中心
に回動できるようになっている。また、前記アーム１５
の長さは、図１中の中心線で示すように、回動時に、回
転円板２１の中心部が、ターンテーブル５上の中心を通
る長さに形成されている。さらに、前記アーム１５に
は、酸化セリューム（ＣｅＯ2 ）などの研磨材と純水を
研磨時のワーク１１の表面に供給する供給パイプ２５が
取付けられており、このパイプ２５には図示しない研磨
材供給部および水供給部が接続されている。

【００１０】前記超音波洗浄用のモータ２７の回転軸に
は水平に配設されたアーム２９の基端部が固着され、こ
のアーム２９の先端部には、純水を超音波振動させてワ
ーク１１の表面に供給して洗浄する流水超音波洗浄ノズ
ル３１が取付けられている。このノズル３１には配管３
３が接続され、この配管３３が純水を供給する供給部に
接続されている。また、前記ターンテーブル５の上方に
は、研磨時にワーク１１表面に水を供給する表面ノズル
３５が設置され、ワーク１１の裏面を洗浄する裏面ノズ
ル３７がターンテーブル５の側部下方に設けられてい
る。さらに、前記ターンテーブル５のやや下側の周囲に
は廃液用のトレイ４１が設置され、この廃液用のトレイ
４１の下方には洗浄排水用のトレイ５５が設置され、前
記双方のトレイ４１、５５は図示しない支持台に支持さ
れている。

【００１１】前記廃液用のトレイ４１は、ターンテーブ
ル５上にセットされるワーク１１の周囲に位置するよう
に、平面形状がやや大きな円形の環状に形成されてい
る。すなわち、前記トレイ４１は、外周壁４３から所定
寸法幅だけ内側には内周壁４５を有し、内周壁４５の下
部と前記外周壁４３の下部の間には底壁４７が設けられ
て閉塞されており、外周壁４３と内周壁４５との間に廃
液受け部４９が形成され、ターンテーブル５の中心部を
中心とした所定幅の環状に形成されている。前記トレイ
４１の廃液受け部４９の底壁４７には排出口５１が設け
られ、この排出口５１には研磨材廃液用の排出パイプ５
３が接続され、この排出パイプ５３が所定の廃液処理槽
に接続されている。前記洗浄排水用のトレイ５５は、平
面形状が、前記廃液用のトレイ４１を含むかなり大きめ
の面積で、上部が開口し外周壁５７および底壁５９を有
する矩形状に形成され、底壁５９には排出口６１が設け
られ、この排出口６１には洗浄排水用の排出パイプ６３
が接続され、この排出パイプ６３が所定の排水処理槽に
接続された構造となっている。尚、図１中、６５は、タ
ーンテーブル５の側方に設置され、側部に有する吐出ノ
ズルから純水を吐出しながら、研磨パッド２３を洗浄し
たり目たてを行なう回転ブラシを示している。

【００１２】次に、研磨処理装置１の動作および廃液分
離方法について説明する。装置１のコントローラをセッ
トすると、ターンテーブル５上にワーク１１が載置され
て真空チャックによりターンテーブル５上にワーク１１
が支持される。次に、表面ノズル３５から純水がワーク
１１表面上に吐出され、これにより、スムーズな研磨が
できるように研磨に先立ってワーク１１表面が濡らされ
る。その後、モータ９の駆動によりターンテーブル５が
回転するとともに、モータ１３によりアーム１５が移動
され、先端の回転円板２１がワーク１１上にセットされ
る。さらに、アーム１５先端のモータ１９の駆動により
回転円板２１およびこれに装着された研磨パッド２３が
回転し、同時に、アーム１５先端のエアーシリンダ１７
のロッド１７ａを伸長させて研磨パッド２３をワーク１
１表面に押付けながら、ワーク１１表面の研磨が行なわ
れる。

【００１３】ワーク１１の研磨時には、アーム１５に取
付けられた供給パイプ２５からワーク１１の表面に酸化
セリューム（ＣｅＯ2 ）などの研磨材と純水が供給され
て研磨パッド２３による研磨が行なわれ、研磨の最中に
は、裏面ノズル３７により、純水がワーク１１の裏面に
向けて連続的に噴射され、ワーク１１の裏面に研磨材が
付着するのが防止される。さらに、研磨終了後には、超
音波洗浄用のモータ２７の駆動によりアーム２９がワー
ク１１上に移動し、アーム１１の先端部に設けられたノ
ズル３１から超音波振動した純水が供給され、これによ
ってワーク１１の表面が洗浄されるとともに、裏面ノズ
ル３７から噴射される純水によってワーク１１の裏面の
洗浄が行なわれ、研磨処理が終了する。

【００１４】この場合、前記研磨作業時には、ターンテ
ーブル５の回転速度としては、例えば、３００ｒｐｍ程
度に設定され、この研磨時には僅かな純水が混ざった研
磨材が供給される。そして、これにより生じた廃液は、
図２中の矢印ａで示すように、回転するワーク１１の遠
心力により、ワーク１１の端縁から飛ばされて廃液用の
トレイ４１の廃液受け部４９内に落下し、排出口５１か
ら排出パイプ５３を通じて排出される。また、裏面ノズ
ル３７から噴射された洗浄水は、ワーク１１の下面から
洗浄排水用のトレイ５５内にそのまま落下し、排出口６
１から排出パイプ６３を通じて排出される。前記超音波
洗浄ノズル３１による洗浄時には、ターンテーブル５の
回転速度としては、研磨時よりもかなり遅い１００ｒｐ
ｍ程度に設定され、超音波洗浄ノズル３１によりワーク
１１上に供給された洗浄水は、回転するワーク１１の遠
心力により、図２中の矢印ｂで示すように、ワーク１１
の端縁から廃液用のトレイ４１の内側を通過して洗浄排
水用のトレイ１１上に落下し、排出口６１から排出パイ
プ６３を通じて排出される。

【００１５】このように本実施例においては、ワーク１
１の研磨時には、研磨材を主体とする研磨廃液を遠心力
により廃液用のトレイ４１内に飛ばして落とす程度の速
い回転速度でターンテーブル５を回転する一方、ワーク
１１の洗浄時には、洗浄水をワーク１１の端縁から洗浄
排水用のトレイ５５内に落とす程度の遅い回転速度でタ
ーンテーブル５を回転するようにしたことにより、作業
時に、研磨材を主体とする廃液と洗浄排水とを分離して
取り出すことが可能となり、沈澱槽などの排水処理設備
を小型化することが可能となり、また、コストおよび廃
液処理時間の短縮化を図ることができる。

【００１６】尚、前記実施例では、ガラスなどのワーク
を研磨する場合を例に採って説明したが、これに限ら
ず、他のワークを回転させながら作業処理を行なう場合
には適用することができる。また、作業処理時には研磨
材と洗浄液が供給される場合を例に採って説明したが、
使用される薬物としては、前記実施例のような研磨材や
洗浄水に限られることなく、同様に適用することができ
る。

【００１７】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明は、
２種類以上の薬液を順次供給しながらワークを回転させ
て各種の作業処理を行なうワーク回転式処理装置におい
て、前記２種類以上の薬液の使用により生ずる廃液を分
離する分離方法であって、前記各々の薬液に対応した異
なる回転速度で前記ワークを回転させて作業処理を行な
い、前記ワークの周縁から飛ばされる各々の廃液を、前
記ワークの周囲の前記各々の廃液が落下する異なる位置
に設置された各々のトレイにより集めて排出するように
したこ。そのため、ワークの作業処理時に、順次供給さ
れる薬液により生ずる廃液を分離して取り出すことが可
能となり、沈澱槽などの排水処理設備を小型化すること
ができ、また、コストおよび廃液処理時間の短縮化を図
ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係り、本発明方法を実施例
するワーク回転式処理装置を示す平面図である。

【図２】ワーク回転式処理装置を示す縦断面図である。

【符号の説明】

１ ワーク回転式処理装置 １１ ワーク ２３ 研磨パッド ２５ 供給パイプ ３１ 洗浄ノズル ３５ 表面ノズル ３７ 裏面ノズル ４１ トレイ ５５ トレイ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２種類以上の薬液を順次供給しながらワ
   ークを回転させて各種の作業処理を行なうワーク回転式
   処理装置において、前記２種類以上の薬液の使用により
   生ずる廃液を分離する分離方法であって、 前記各々の薬液に対応した異なる回転速度で前記ワーク
   を回転させて作業処理を行ない、 前記ワークの周縁から飛ばされる各々の廃液を、前記ワ
   ークの周囲の前記各々の廃液が落下する異なる位置に設
   置された各々のトレイにより集めて排出するようにし
   た、 ことを特徴とするワーク回転式処理装置における廃液分
   離方法。
2. 【請求項２】 各々のトレイが、前記ワークを中心にし
   た所定の幅を有する環状に形成された請求項１記載のワ
   ーク回転式処理装置における廃液分離方法。
3. 【請求項３】 ワーク回転式処理装置が研磨処理装置
   で、前記薬液が研磨材と洗浄水である請求項１又は２記
   載のワーク回転式処理装置における廃液分離方法。