JP7274883B2 - 洗浄部材用洗浄装置及び基板処理装置 - Google Patents
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また、基板に当接されている側と反対側の洗浄部材側に吸引ダクトを対向させて洗浄部材を洗浄する場合は、基板への逆汚染を低減することができる利点はあるが、より逆汚染を低減できる洗浄部材用洗浄装置の出現が待たれていた。さらに、必要に応じて洗浄部材全体を高度に洗浄できるようにすることが望まれていた。
前記洗浄部材に圧を加えて前記汚染物を搾り出す圧搾手段と、前記圧搾手段により搾り出された汚染物を含む洗浄液を吸引排出する吸引排出手段と、を有する。
(2)また、本発明の一態様に係る洗浄部材用洗浄装置では、前記圧搾手段は、前記洗浄部材に超音波を付加する超音波付加手段を有してもよい。
(3)また、本発明の一態様に係る洗浄部材用洗浄装置では、前記圧搾手段は、前記洗浄部材に当接される面が凹凸状に形成され、前記洗浄部材の基板に当接していない部分に対向して設けられたカバーを有してもよい。
(4)また、本発明の一態様に係る洗浄部材用洗浄装置では、前記圧搾手段は、前記洗浄部材の基板に当接していない部分に対向して設けられたカバーと、前記カバーと前記洗浄部材の隙間に液体を供給する液体供給手段と、を有してもよい。
(5)また、本発明の一態様に係る洗浄部材用洗浄装置では、前記圧搾手段は、前記洗浄部材の基板に当接していない部分に対向して設けられたカバーと、前記カバーを前記洗浄部材に対して近接離間するように移動させる駆動手段と、を有してもよい。
(6)また、本発明の一態様に係る洗浄部材用洗浄装置では、前記圧搾手段は、前記洗浄部材の材質のゼータ電位よりもプラスとなる材質からなり、該洗浄部材の基板に当接していない部分に対向して設けられたカバーを有してもよい。
(7)また、本発明の一態様に係る洗浄部材用洗浄装置では、前記吸引排出手段で吸引された汚染物を分析する分析器を有してもよい。
(8)また、本発明の一態様に係る洗浄部材用洗浄装置では、前記分析器の分析結果に基づいて、前記除去ユニットをフィードバック制御する制御手段を有してもよい。
この基板洗浄装置Aは、ロールブラシ型洗浄装置とも称される基板洗浄装置であって、回転駆動される軸心(シャフト)Baの周囲全周に、発泡ポリウレタンやポリビニルアルコール(PVA)、あるいは研磨布等の弾性体からなる洗浄材Bbの設けられた円柱状の洗浄部材Bを有している。洗浄材Bbの材質は、基板Wの種類等によって様々である。また、この洗浄部材Bの長さは、基板Wの直径より少し長くなっている。
この工程においては、図8(a)に示す洗浄液で基板Wを洗浄しているスクラブ洗浄中に、図8(b)に示すに洗浄部材Bを水洗浄するステップが定期的に挿入されている。これにより汚染物を含む洗浄液を定期的に洗浄部材Bから洗い流すことができる。なお、上記リンス液に超音波を重畳したり、脈動を与えることも可能である。
この工程においては、管路33から洗浄液(薬剤)が洗浄部材Bに散布され、洗浄部材Bは洗浄液に浸漬された状態に保たれる。なお、洗浄液が洗浄部材B全体に浸漬されるように、洗浄部材Bが、例えば50~200rpmの範囲で回転される。洗浄部材Bの回転数は、洗浄部材Bから洗浄液が飛散しない範囲に決められる。
この工程においては、洗浄液供給工程で散布された洗浄液が洗浄部材Bに付着している汚染物を除去できる状態になったときに、管路33から洗浄水が洗浄部材Bに散布されるとともに、洗浄部材Bの回転数が洗浄部材Bから液体が遠心力で排出できるまでに高められる。例えば350~800rpmとされる。これにより汚染物を含む洗浄液が洗浄部材Bから洗い流されるとともに、洗浄部材B自体が水で洗浄される。
続いて、上記構成の洗浄部材用洗浄装置を備える基板処理装置100について説明する。
図10に示す基板処理装置100は、シリコンウエハー等の基板Wの表面を平坦に研磨する化学機械研磨(CMP)装置である。この基板処理装置100は、矩形箱状のハウジング102を備える。ハウジング102は、平面視で略長方形に形成されている。
B…洗浄部材、Ba…軸心、Bb…洗浄材
C…制御装置(回転制御手段)
M、 M´…駆動装置
S…スピンドル
N…ノズル
1a、1b、1c、1d、1e、1f…洗浄部材用洗浄装置(洗浄装置)
2…超音波振動子(超音波付加手段、圧搾手段)
3…吸引排出管(吸引排出手段)
4…除去ユニット
5…カバー(圧搾手段)
6…洗浄液供給管(液体供給手段、圧搾手段)
7…吸引排出管(吸引排出手段)
8…除去ユニット
9…カバー(圧搾手段)
10…洗浄液供給管(液体供給手段、圧搾手段)
11…吸引排出管(吸引排出手段)
12…除去ユニット
13…カバー(圧搾手段)
14…吸引排出管(吸引排出手段)
15…除去ユニット
16…カバー(圧搾手段)
17…除去ユニット
18…カバー(圧搾手段)
19…リンス液供給管(液体供給手段、圧搾手段)
20…除去ユニット
32…カバー(圧搾手段)
33…管路(液体供給手段、圧搾手段)
34…洗浄ユニット
35…管路
100…基板処理装置
110…研磨部
120…洗浄部
Claims (8)
- 洗浄液を供給しつつ基板をスクラブ洗浄している状態で、軸心を中心に回転している円柱状の洗浄部材に付着している汚染物を除去する除去ユニットを備えた洗浄部材用洗浄装置であって、
前記除去ユニットは、
前記洗浄部材に圧を加えて前記汚染物を搾り出す圧搾手段と、
前記圧搾手段により搾り出された汚染物を含む洗浄液を吸引排出する吸引排出手段と、を有し、
前記圧搾手段は、前記洗浄部材に当接される面が凹凸状に形成され、前記洗浄部材の基板に当接していない部分に対向して設けられたカバーを有する、ことを特徴とする洗浄部材用洗浄装置。 - 洗浄液を供給しつつ基板をスクラブ洗浄している状態で、軸心を中心に回転している円柱状の洗浄部材に付着している汚染物を除去する除去ユニットを備えた洗浄部材用洗浄装置であって、
前記除去ユニットは、
前記洗浄部材に圧を加えて前記汚染物を搾り出す圧搾手段と、
前記圧搾手段により搾り出された汚染物を含む洗浄液を吸引排出する吸引排出手段と、を有し、
前記圧搾手段は、
前記洗浄部材の基板に当接していない部分に対向して設けられたカバーと、
前記カバーを前記洗浄部材に対して近接離間するように移動させる駆動手段と、を有する、ことを特徴とする洗浄部材用洗浄装置。 - 洗浄液を供給しつつ基板をスクラブ洗浄している状態で、軸心を中心に回転している円柱状の洗浄部材に付着している汚染物を除去する除去ユニットを備えた洗浄部材用洗浄装置であって、
前記除去ユニットは、
前記洗浄部材に圧を加えて前記汚染物を搾り出す圧搾手段と、
前記圧搾手段により搾り出された汚染物を含む洗浄液を吸引排出する吸引排出手段と、を有し、
前記圧搾手段は、前記洗浄部材の材質のゼータ電位よりもプラスとなる材質からなり、該洗浄部材の基板に当接していない部分に対向して設けられたカバーを有する、ことを特徴とする洗浄部材用洗浄装置。 - 前記圧搾手段は、前記洗浄部材に超音波を付加する超音波付加手段を有する、ことを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載の洗浄部材用洗浄装置。
- 前記圧搾手段は、前記カバーと前記洗浄部材の隙間に液体を供給する液体供給手段を有する、ことを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の洗浄部材用洗浄装置。
- 前記吸引排出手段で吸引された汚染物を分析する分析器を有する、ことを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載の洗浄部材用洗浄装置。
- 前記分析器の分析結果に基づいて、前記除去ユニットをフィードバック制御する制御手段を有する、請求項6に記載の洗浄部材用洗浄装置。
- 基板を研磨する研磨部と、
前記研磨部で研磨した前記基板を洗浄する洗浄部と、を有する基板処理装置であって、
前記洗浄部は、請求項1~7のいずれか一項に記載の洗浄部材用洗浄装置を備える、ことを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019027722A JP7274883B2 (ja) | 2019-02-19 | 2019-02-19 | 洗浄部材用洗浄装置及び基板処理装置 |
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Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2020136488A JP2020136488A (ja) | 2020-08-31 |
JP2020136488A5 JP2020136488A5 (ja) | 2022-02-28 |
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Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019027722A Active JP7274883B2 (ja) | 2019-02-19 | 2019-02-19 | 洗浄部材用洗浄装置及び基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP7274883B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000288490A (ja) | 1999-04-01 | 2000-10-17 | Furontekku:Kk | ウェット処理装置 |
JP2013508969A (ja) | 2009-10-22 | 2013-03-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ブラシコンディショニングおよびパッドコンディショニングのための装置および方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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JP2013508969A (ja) | 2009-10-22 | 2013-03-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ブラシコンディショニングおよびパッドコンディショニングのための装置および方法 |
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