JPH1133886A - ガラスディスク内周研磨装置およびガラスディスク内周研磨方法 - Google Patents
ガラスディスク内周研磨装置およびガラスディスク内周研磨方法Info
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- JPH1133886A JPH1133886A JP19822997A JP19822997A JPH1133886A JP H1133886 A JPH1133886 A JP H1133886A JP 19822997 A JP19822997 A JP 19822997A JP 19822997 A JP19822997 A JP 19822997A JP H1133886 A JPH1133886 A JP H1133886A
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- JP
- Japan
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- polishing
- brush
- glass disk
- inner peripheral
- shaft
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラスディスクの内周面加工を効率よく、ま
た低い設備コストでしかも高精度で行い、かつ歩留まり
も向上させる。 【解決手段】 ドーナツ状に中心孔３１を有するガラス
ディスク３ａの内周面を研磨するガラスディスク内周研
磨装置１において、ガラスディスク３ａを積層してセッ
ティング可能でかつその積層ガラスディスク３を中心軸
回りに回転可能とするワークセッティング部２と、軸回
りに無数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシ７と、軸付研
磨ブラシ７をその軸回りに回転させるブラシ回転駆動部
６０と、軸付研磨ブラシ７を積層ガラスディスク３の中
心孔３１に挿入させて積層ガラスディスクの内周面に臨
ませるとともに、積層方向に往復動させるブラシ往復動
駆動部８０と、を有する、ことを特徴としている。
た低い設備コストでしかも高精度で行い、かつ歩留まり
も向上させる。 【解決手段】 ドーナツ状に中心孔３１を有するガラス
ディスク３ａの内周面を研磨するガラスディスク内周研
磨装置１において、ガラスディスク３ａを積層してセッ
ティング可能でかつその積層ガラスディスク３を中心軸
回りに回転可能とするワークセッティング部２と、軸回
りに無数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシ７と、軸付研
磨ブラシ７をその軸回りに回転させるブラシ回転駆動部
６０と、軸付研磨ブラシ７を積層ガラスディスク３の中
心孔３１に挿入させて積層ガラスディスクの内周面に臨
ませるとともに、積層方向に往復動させるブラシ往復動
駆動部８０と、を有する、ことを特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ドーナツ状に中
心孔を有するガラスディスクの内周面を研磨するガラス
ディスク内周研磨装置およびガラスディスク内周研磨方
法に関するものである。
心孔を有するガラスディスクの内周面を研磨するガラス
ディスク内周研磨装置およびガラスディスク内周研磨方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ガラスディスクは、記憶メディア
としての需要が高まりつつあり、その加工精度にも高度
なものが要求されている。そして、ドーナツ状に中心孔
を有するガラスディスクの内周面加工は、シャフト状の
ダイヤモンド砥石を中央孔に挿入し、内周面に当てなが
ら行っている。
としての需要が高まりつつあり、その加工精度にも高度
なものが要求されている。そして、ドーナツ状に中心孔
を有するガラスディスクの内周面加工は、シャフト状の
ダイヤモンド砥石を中央孔に挿入し、内周面に当てなが
ら行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のダイヤ
モンド砥石による内周面加工では、面粗度を上げようと
すると、砥石の番定を順次変えて細かくするしかなく、
このため作業工程が多くなって加工効率が上がらず、こ
れに対応するには機械の台数を増やさなけらばならず、
設備コストが大きくなるという問題点を有していた。ま
た、比較的割れやすいガラスディスクにダイヤモンド砥
石が直接接触するため、破損が生じやすく、歩留まりが
悪いという問題点も有していた。
モンド砥石による内周面加工では、面粗度を上げようと
すると、砥石の番定を順次変えて細かくするしかなく、
このため作業工程が多くなって加工効率が上がらず、こ
れに対応するには機械の台数を増やさなけらばならず、
設備コストが大きくなるという問題点を有していた。ま
た、比較的割れやすいガラスディスクにダイヤモンド砥
石が直接接触するため、破損が生じやすく、歩留まりが
悪いという問題点も有していた。
【０００４】この発明は上記に鑑み提案されたもので、
ガラスディスクの内周面加工を効率よく、また低い設備
コストでしかも高精度で行い、かつ歩留まりも向上させ
ることができるガラスディスク内周研磨装置およびガラ
スディスク内周研磨方法を提供することを目的とする。
ガラスディスクの内周面加工を効率よく、また低い設備
コストでしかも高精度で行い、かつ歩留まりも向上させ
ることができるガラスディスク内周研磨装置およびガラ
スディスク内周研磨方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明のガラスディスク内周研磨装置は、ドーナ
ツ状に中心孔を有するガラスディスクの内周面を研磨す
るガラスディスク内周研磨装置において、上記ガラスデ
ィスクを積層してセッティング可能でかつその積層ガラ
スディスクを中心軸回りに回転可能とするワークセッテ
ィング部と、軸回りに無数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブ
ラシと、上記軸付研磨ブラシをその軸回りに回転させる
ブラシ回転駆動部と、上記軸付研磨ブラシを上記積層ガ
ラスディスクの中心孔に挿入させて積層ガラスディスク
の内周面に臨ませるとともに、積層方向に往復動させる
ブラシ往復動駆動部と、を有し、上記ワークセッティン
グ部で積層ガラスディスクを回転させるとともに、上記
軸付研磨ブラシを往復動させつつ上記積層ガラスディス
クの回転方向とは逆方向に回転させ、その軸付研磨ブラ
シで積層ガラスディスクの内周面を研磨するようにし
た、ことを特徴としている。
に、この発明のガラスディスク内周研磨装置は、ドーナ
ツ状に中心孔を有するガラスディスクの内周面を研磨す
るガラスディスク内周研磨装置において、上記ガラスデ
ィスクを積層してセッティング可能でかつその積層ガラ
スディスクを中心軸回りに回転可能とするワークセッテ
ィング部と、軸回りに無数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブ
ラシと、上記軸付研磨ブラシをその軸回りに回転させる
ブラシ回転駆動部と、上記軸付研磨ブラシを上記積層ガ
ラスディスクの中心孔に挿入させて積層ガラスディスク
の内周面に臨ませるとともに、積層方向に往復動させる
ブラシ往復動駆動部と、を有し、上記ワークセッティン
グ部で積層ガラスディスクを回転させるとともに、上記
軸付研磨ブラシを往復動させつつ上記積層ガラスディス
クの回転方向とは逆方向に回転させ、その軸付研磨ブラ
シで積層ガラスディスクの内周面を研磨するようにし
た、ことを特徴としている。
【０００６】また、この発明のガラスディスク内周研磨
方法は、ドーナツ状に中心孔を有するガラスディスクの
内周面を研磨するガラスディスク内周研磨方法におい
て、ガラスディスクを積層し、軸回りに無数のブラシ毛
を持つ軸付研磨ブラシを積層したガラスディスクの中心
孔に挿入して積層ガラスディスクの内周面に臨ませ、積
層ガラスディスクを回転させ、また軸付研磨ブラシを積
層ガラスディスクの回転方向とは逆方向に回転させつつ
往復動させ、軸付研磨ブラシでガラスディスクの内周面
を研磨する、ことを特徴としている。
方法は、ドーナツ状に中心孔を有するガラスディスクの
内周面を研磨するガラスディスク内周研磨方法におい
て、ガラスディスクを積層し、軸回りに無数のブラシ毛
を持つ軸付研磨ブラシを積層したガラスディスクの中心
孔に挿入して積層ガラスディスクの内周面に臨ませ、積
層ガラスディスクを回転させ、また軸付研磨ブラシを積
層ガラスディスクの回転方向とは逆方向に回転させつつ
往復動させ、軸付研磨ブラシでガラスディスクの内周面
を研磨する、ことを特徴としている。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下にこの発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。図１はこの発明のガラス
ディスク内周研磨装置の全体構成を概略的に示す斜視
図、図２は正面図、図３は側面図、図４は内周加工時の
正面図、図５は内周加工時の側面図、図６は図５のＡ−
Ａ断面図、図７は加工状態を示す図である。これらの図
において、ガラスディスク内周研磨装置１は、基台１ａ
と、その基台１ａに設けた架台１ｂとに支持されて構成
されている。
面に基づいて詳細に説明する。図１はこの発明のガラス
ディスク内周研磨装置の全体構成を概略的に示す斜視
図、図２は正面図、図３は側面図、図４は内周加工時の
正面図、図５は内周加工時の側面図、図６は図５のＡ−
Ａ断面図、図７は加工状態を示す図である。これらの図
において、ガラスディスク内周研磨装置１は、基台１ａ
と、その基台１ａに設けた架台１ｂとに支持されて構成
されている。
【０００８】基台１ａには、移動テーブル１ｓが後述す
るようにスライド可能に設けてある。この移動テーブル
１ｓには、円筒状の回転テーブル２１と、モータ２２と
が配設してあり、回転テーブル２１は、モータ２２の回
転駆動を１本のベルト２３を介して受け取り、所定回転
数で回転する。この回転テーブル２１の上端面２４に
は、ガラスディスク３ａを積層してセット可能なワーク
クランプ機構２５が設けてあり、これらの回転テーブル
２１，モータ２２、およびワーククランプ機構２５は、
ワークセッティング部２を構成している。
るようにスライド可能に設けてある。この移動テーブル
１ｓには、円筒状の回転テーブル２１と、モータ２２と
が配設してあり、回転テーブル２１は、モータ２２の回
転駆動を１本のベルト２３を介して受け取り、所定回転
数で回転する。この回転テーブル２１の上端面２４に
は、ガラスディスク３ａを積層してセット可能なワーク
クランプ機構２５が設けてあり、これらの回転テーブル
２１，モータ２２、およびワーククランプ機構２５は、
ワークセッティング部２を構成している。
【０００９】基台１ａと移動テーブル１ｓの各端縁には
それぞれ、支持板４３、４４が平行に立設してあり、そ
の支持板４３，４４の各中央に開設された孔にはめねじ
が形成され、その各孔には一端にハンドル４１を有する
送りねじ４２が嵌合している。したがって、ハンドル４
１を操作して送りねじ４２を回転させると、その回転に
応じて支持板４４が送られ、移動テーブル１ｓが基台１
ａ上をスライドするようになっている。
それぞれ、支持板４３、４４が平行に立設してあり、そ
の支持板４３，４４の各中央に開設された孔にはめねじ
が形成され、その各孔には一端にハンドル４１を有する
送りねじ４２が嵌合している。したがって、ハンドル４
１を操作して送りねじ４２を回転させると、その回転に
応じて支持板４４が送られ、移動テーブル１ｓが基台１
ａ上をスライドするようになっている。
【００１０】架台１ｂの正面側両サイドには、２本のガ
イド用シャフト８１，８１が取り付けてあり、そのガイ
ド用シャフト８１，８１には、その各々に摺動自在に嵌
合している移動片８２…を介して厚板矩形状の移動体８
３が設けてある。したがって、移動体８３は、シャフト
８１，８１に沿って上下移動自在となっている。この移
動体８３の正面中央には上下方向に２つの腕部８４，８
４が突設してあり、この腕部８４，８４は、ブラシ駆動
体６の外周壁６５に固定してある。
イド用シャフト８１，８１が取り付けてあり、そのガイ
ド用シャフト８１，８１には、その各々に摺動自在に嵌
合している移動片８２…を介して厚板矩形状の移動体８
３が設けてある。したがって、移動体８３は、シャフト
８１，８１に沿って上下移動自在となっている。この移
動体８３の正面中央には上下方向に２つの腕部８４，８
４が突設してあり、この腕部８４，８４は、ブラシ駆動
体６の外周壁６５に固定してある。
【００１１】一方、架台１ｂの上端面１１には２枚のプ
レートから成る支持枠１ｃが載置固定してあり、その支
持枠１ｃの一端側は上端面１１から外方に延出してい
る。その支持枠１ｃの延出部分１０ｃには、サーボモー
タ９がその出力軸であるボールねじ９１を下方に向けて
取り付けてあり、このボールねじ９１は、上記の移動体
８３の裏面側に固定したナット８３ａ（図６）に累着し
ている。したがって、サーボモータ９が駆動してボール
ねじ９１を回転させると、ナット８３ａを介して移動体
８３が直線移動する。すなわち、サーボモータ９の回転
方向に応じて移動体８３が上方向、または下方向に移動
可能となり、その移動に応じてブラシ駆動体６が上下に
往復移動する。
レートから成る支持枠１ｃが載置固定してあり、その支
持枠１ｃの一端側は上端面１１から外方に延出してい
る。その支持枠１ｃの延出部分１０ｃには、サーボモー
タ９がその出力軸であるボールねじ９１を下方に向けて
取り付けてあり、このボールねじ９１は、上記の移動体
８３の裏面側に固定したナット８３ａ（図６）に累着し
ている。したがって、サーボモータ９が駆動してボール
ねじ９１を回転させると、ナット８３ａを介して移動体
８３が直線移動する。すなわち、サーボモータ９の回転
方向に応じて移動体８３が上方向、または下方向に移動
可能となり、その移動に応じてブラシ駆動体６が上下に
往復移動する。
【００１２】また、架台１ｂの上端面１１にはモータ５
１が配設してあるとともに、支持枠１ｃの延出部分１０
ｃ先端側では、ブラシ駆動体６の角柱状の入力軸６１が
下方から伸びて貫通している。この角柱状の入力軸６１
には、回転伝達部材６２が嵌合し、この回転伝達部材６
２とモータ５１の出力軸プーリ５２とは１本のベルト６
３で連結されている。したがって、モータ５１が回転す
ると、ベルト６３を介して回転伝達部材６２が回転し、
それに応じて入力軸６１が回転する。
１が配設してあるとともに、支持枠１ｃの延出部分１０
ｃ先端側では、ブラシ駆動体６の角柱状の入力軸６１が
下方から伸びて貫通している。この角柱状の入力軸６１
には、回転伝達部材６２が嵌合し、この回転伝達部材６
２とモータ５１の出力軸プーリ５２とは１本のベルト６
３で連結されている。したがって、モータ５１が回転す
ると、ベルト６３を介して回転伝達部材６２が回転し、
それに応じて入力軸６１が回転する。
【００１３】ブラシ駆動体６には、入力軸６１とは一体
に連続して出力軸６４が設けてあり、その出力軸６４先
端には、軸回りに無数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシ
７がチャッキングしてある。すなわち、入力軸６１がモ
ータ５１の回転駆動を受けて回転すると、出力軸６４が
回転し、それに応じて軸付研磨ブラシ７が回転するよう
になっている。また、この出力軸６４と外周壁６５と
は、上下方向に関しては一体構成であり、上述したよう
に外周壁６５が上下に移動すると、それに応じて出力軸
６４および入力軸６１が上下し、それに応じて軸付研磨
ブラシ７も上下する。
に連続して出力軸６４が設けてあり、その出力軸６４先
端には、軸回りに無数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシ
７がチャッキングしてある。すなわち、入力軸６１がモ
ータ５１の回転駆動を受けて回転すると、出力軸６４が
回転し、それに応じて軸付研磨ブラシ７が回転するよう
になっている。また、この出力軸６４と外周壁６５と
は、上下方向に関しては一体構成であり、上述したよう
に外周壁６５が上下に移動すると、それに応じて出力軸
６４および入力軸６１が上下し、それに応じて軸付研磨
ブラシ７も上下する。
【００１４】このように、この実施形態では、モータ５
１、ベルト６３、回転伝達部材６２、入力軸６１、出力
軸６４等は、軸付研磨ブラシ７を回転させるブラシ回転
駆動部６０を構成し、サーボモータ９，移動体８３，ガ
イド用シャフト８１，８１、腕部８４，８４、外周壁６
５、出力軸６４等は、軸付研磨ブラシ７を上下に往復動
させるブラシ往復動駆動部８０を構成し、軸付研磨ブラ
シ７の回転駆動と上下往復駆動とを同時に可能としてい
る。
１、ベルト６３、回転伝達部材６２、入力軸６１、出力
軸６４等は、軸付研磨ブラシ７を回転させるブラシ回転
駆動部６０を構成し、サーボモータ９，移動体８３，ガ
イド用シャフト８１，８１、腕部８４，８４、外周壁６
５、出力軸６４等は、軸付研磨ブラシ７を上下に往復動
させるブラシ往復動駆動部８０を構成し、軸付研磨ブラ
シ７の回転駆動と上下往復駆動とを同時に可能としてい
る。
【００１５】なお、出力軸６４と外周壁６５とは、上下
方向に関しては一体構成であるが、出力軸６４と外周壁
６５との間には、ベアリングが設けてあり、出力軸６４
が回転しても外周壁６５は回転しないような構成になっ
ている。また、回転伝達部材６２は、ベアリングを介し
て支持枠１ｃに支持されており、上述したブラシ駆動体
６の上下方向移動に応じて入力軸６１が上下方向に変動
しても、回転伝達部材６２の上下方向の変動は規制され
るようになっている。
方向に関しては一体構成であるが、出力軸６４と外周壁
６５との間には、ベアリングが設けてあり、出力軸６４
が回転しても外周壁６５は回転しないような構成になっ
ている。また、回転伝達部材６２は、ベアリングを介し
て支持枠１ｃに支持されており、上述したブラシ駆動体
６の上下方向移動に応じて入力軸６１が上下方向に変動
しても、回転伝達部材６２の上下方向の変動は規制され
るようになっている。
【００１６】上記構成のガラスディスク内周研磨装置１
において、ガラスディスク３ａの内周を研磨するには、
先ずワークセッティング部２の回転テーブル２１に、例
えば１００枚のガラスディスク３ａを積層し、その積層
ガラスディスク３の上下をワーククランプ機構２５でし
っかり押さえて固定する。
において、ガラスディスク３ａの内周を研磨するには、
先ずワークセッティング部２の回転テーブル２１に、例
えば１００枚のガラスディスク３ａを積層し、その積層
ガラスディスク３の上下をワーククランプ機構２５でし
っかり押さえて固定する。
【００１７】次に、ハンドル４１を操作して移動テーブ
ル１ｓを基台１ａ上でスライドさせ、積層ガラスディス
ク３が、軸付研磨ブラシ７の丁度下方に位置するように
調整する。また、ハンドル４１を微動操作して、軸付研
磨ブラシ７を積層ガラスディスク３の中心孔３１に挿入
したときの軸付研磨ブラシ７と積層ガラスディスク３の
内周面３２との相互間距離の微調整を行い、加工時の接
触圧や研磨量が最適となるように予めセッティングして
おく。
ル１ｓを基台１ａ上でスライドさせ、積層ガラスディス
ク３が、軸付研磨ブラシ７の丁度下方に位置するように
調整する。また、ハンドル４１を微動操作して、軸付研
磨ブラシ７を積層ガラスディスク３の中心孔３１に挿入
したときの軸付研磨ブラシ７と積層ガラスディスク３の
内周面３２との相互間距離の微調整を行い、加工時の接
触圧や研磨量が最適となるように予めセッティングして
おく。
【００１８】続いて、モータ２２を駆動して積層ガラス
ディスク３を回転させ、またモータ５１を駆動して、軸
付研磨ブラシ７を積層ガラスディスク３とは逆方向に回
転させ、その状態でサーボモータ９を駆動して軸付研磨
ブラシ７を降下させてゆく。そして、軸付研磨ブラシ７
が積層ガラスディスク３の中心孔３１に挿入され、内周
面加工が開始すると、サーボモータ９の運転パターンが
変更され、軸付研磨ブラシ７は中心孔３１内で上下に往
復揺動するようになる。なお、この内周面加工時に、軸
付研磨ブラシ７と積層ガラスディスク３との間には、こ
こでは図示されていない装置を用いて、研磨剤を混合し
たスラリーが適時供給される。
ディスク３を回転させ、またモータ５１を駆動して、軸
付研磨ブラシ７を積層ガラスディスク３とは逆方向に回
転させ、その状態でサーボモータ９を駆動して軸付研磨
ブラシ７を降下させてゆく。そして、軸付研磨ブラシ７
が積層ガラスディスク３の中心孔３１に挿入され、内周
面加工が開始すると、サーボモータ９の運転パターンが
変更され、軸付研磨ブラシ７は中心孔３１内で上下に往
復揺動するようになる。なお、この内周面加工時に、軸
付研磨ブラシ７と積層ガラスディスク３との間には、こ
こでは図示されていない装置を用いて、研磨剤を混合し
たスラリーが適時供給される。
【００１９】上記の内周面研磨加工では、積層ガラスデ
ィスク３に対して軸付研磨ブラシ７が逆方向に回転する
とともに上下に往復揺動するので、多数のガラスディス
ク３ａを短時間で所定の仕上げ精度まで研磨することが
でき、ガラスディスク３ａの内周面加工の効率を飛躍的
に向上させることができる。このときの内周面の仕上げ
精度は、鏡面仕上げとなるので、ガラスディスク３ａの
製品としての強度も著しく向上させることができる。
ィスク３に対して軸付研磨ブラシ７が逆方向に回転する
とともに上下に往復揺動するので、多数のガラスディス
ク３ａを短時間で所定の仕上げ精度まで研磨することが
でき、ガラスディスク３ａの内周面加工の効率を飛躍的
に向上させることができる。このときの内周面の仕上げ
精度は、鏡面仕上げとなるので、ガラスディスク３ａの
製品としての強度も著しく向上させることができる。
【００２０】また、無数本のブラシ毛を持つ軸付研磨ブ
ラシ７で研磨するようにしたので、個々のガラスディス
ク３ａの内周面全域にブラシ毛が入り込み、積層状態で
あっても、均一かつ高精度に内周面加工を行うことがで
きる。
ラシ７で研磨するようにしたので、個々のガラスディス
ク３ａの内周面全域にブラシ毛が入り込み、積層状態で
あっても、均一かつ高精度に内周面加工を行うことがで
きる。
【００２１】また、１台の設備だけで高精度研磨を実現
することができるので、設備コストも低く抑えることが
できる。
することができるので、設備コストも低く抑えることが
できる。
【００２２】さらに、ガラスディスク３ａの内周面には
ブラシ毛が接触するので、比較的割れやすいガラスディ
スク３ａではあっても、ほとんど破損することはなく、
不良率も大幅に低減でき、それだけ歩留まりを向上させ
ることができる。
ブラシ毛が接触するので、比較的割れやすいガラスディ
スク３ａではあっても、ほとんど破損することはなく、
不良率も大幅に低減でき、それだけ歩留まりを向上させ
ることができる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のガラス
ディスク内周研磨装置およびガラスディスク内周研磨方
法によれば、積層ガラスディスクに対して軸付研磨ブラ
シが逆方向に回転するとともに上下に往復揺動するの
で、多数のガラスディスクを短時間で所定の仕上げ精度
まで研磨することができ、ガラスディスクの内周面加工
の効率を飛躍的に向上させることができる。このときの
内周面の仕上げ精度は、鏡面仕上げとなるので、ガラス
ディスクの製品としての強度も著しく向上させることが
できる。
ディスク内周研磨装置およびガラスディスク内周研磨方
法によれば、積層ガラスディスクに対して軸付研磨ブラ
シが逆方向に回転するとともに上下に往復揺動するの
で、多数のガラスディスクを短時間で所定の仕上げ精度
まで研磨することができ、ガラスディスクの内周面加工
の効率を飛躍的に向上させることができる。このときの
内周面の仕上げ精度は、鏡面仕上げとなるので、ガラス
ディスクの製品としての強度も著しく向上させることが
できる。
【００２４】また、無数本のブラシ毛を持つ軸付研磨ブ
ラシで研磨するようにしたので、個々のガラスディスク
の内周面全域にブラシ毛が入り込み、積層状態であって
も、均一かつ高精度に内周面加工を行うことができる。
ラシで研磨するようにしたので、個々のガラスディスク
の内周面全域にブラシ毛が入り込み、積層状態であって
も、均一かつ高精度に内周面加工を行うことができる。
【００２５】また、１台の設備だけで高精度研磨を実現
することができるので、設備コストも低く抑えることが
できる。
することができるので、設備コストも低く抑えることが
できる。
【００２６】さらに、ガラスディスクの内周面にはブラ
シ毛が接触するので、比較的割れやすいガラスディスク
ではあっても、ほとんど破損することはなく、不良率も
大幅に低減でき、それだけ歩留まりを向上させることが
できる。
シ毛が接触するので、比較的割れやすいガラスディスク
ではあっても、ほとんど破損することはなく、不良率も
大幅に低減でき、それだけ歩留まりを向上させることが
できる。
【図１】この発明のガラスディスク内周研磨装置の全体
構成を概略的に示す斜視図である。
構成を概略的に示す斜視図である。
【図２】この発明のガラスディスク内周研磨装置の正面
図である。
図である。
【図３】この発明のガラスディスク内周研磨装置の側面
図である。
図である。
【図４】内周面加工時の正面図である。
【図５】内周面加工時の側面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ断面図である。
【図７】加工状態を示す図である。
１ ガラスディスク内周研磨装置 １ａ 基台 １ｂ 架台 １ｃ 支持枠 １ｓ 移動テーブル ３ 積層ガラスディスク ３ａ ガラスディスク ６ ブラシ駆動体 ７ 軸付研磨ブラシ ９ サーボモータ １０ｃ 延出部分 ２１ 回転テーブル ２２ モータ ２３ ベルト ２５ ワーククランプ機構 ３１ ガラスディスクの中心孔 ３２ ガラスディスクの内周面 ４１ ハンドル ４２ 送りねじ ４３，４４ 支持板 ５１ モータ ６０ ブラシ回転駆動部 ６１ 入力軸 ６２ 回転伝達部材 ６３ ベルト ６４ 出力軸 ８０ ブラシ往復動駆動部 ８１ ガイド用シャフト ８２ 移動片 ８３ 移動体 ８４ 腕部 ９１ ボールねじ
Claims (3)
- 【請求項１】 ドーナツ状に中心孔を有するガラスディ
スクの内周面を研磨するガラスディスク内周研磨装置に
おいて、 上記ガラスディスクを積層してセッティング可能でかつ
その積層ガラスディスクを中心軸回りに回転可能とする
ワークセッティング部と、 軸回りに無数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシと、 上記軸付研磨ブラシをその軸回りに回転させるブラシ回
転駆動部と、 上記軸付研磨ブラシを上記積層ガラスディスクの中心孔
に挿入させて積層ガラスディスクの内周面に臨ませると
ともに、積層方向に往復動させるブラシ往復動駆動部
と、 を有し、 上記ワークセッティング部で積層ガラスディスクを回転
させるとともに、上記軸付研磨ブラシを往復動させつつ
上記積層ガラスディスクの回転方向とは逆方向に回転さ
せ、その軸付研磨ブラシで積層ガラスディスクの内周面
を研磨するようにした、 ことを特徴とするガラスディスク内周研磨装置。 - 【請求項２】 上記積層ガラスディスクの内周面と上記
軸付研磨ブラシとの間の距離を調整する距離調整部を設
けた、 ことを特徴とする請求項１に記載のガラスディスク内周
研磨装置。 - 【請求項３】 ドーナツ状に中心孔を有するガラスディ
スクの内周面を研磨するガラスディスク内周研磨方法に
おいて、 ガラスディスクを積層し、 軸回りに無数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシを積層し
たガラスディスクの中心孔に挿入して積層ガラスディス
クの内周面に臨ませ、 積層ガラスディスクを回転させ、また軸付研磨ブラシを
積層ガラスディスクの回転方向とは逆方向に回転させつ
つ往復動させ、軸付研磨ブラシでガラスディスクの内周
面を研磨する、 ことを特徴とするガラスディスク内周研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19822997A JPH1133886A (ja) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | ガラスディスク内周研磨装置およびガラスディスク内周研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19822997A JPH1133886A (ja) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | ガラスディスク内周研磨装置およびガラスディスク内周研磨方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1133886A true JPH1133886A (ja) | 1999-02-09 |
Family
ID=16387662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19822997A Pending JPH1133886A (ja) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | ガラスディスク内周研磨装置およびガラスディスク内周研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1133886A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6615613B1 (en) | 1999-09-30 | 2003-09-09 | Hoya Corporation | Method of grinding a substrate and method of manufacturing a glass substrate and a magnetic recording medium by the use of the glass substrate |
| JP2006159337A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Toyota Motor Corp | リング状部材の製造方法 |
| US7438630B2 (en) | 1997-09-30 | 2008-10-21 | Hoya Corporation | Polishing method, polishing device, glass substrate for magnetic recording medium, and magnetic recording medium |
| US7837536B2 (en) | 2006-11-22 | 2010-11-23 | Showa Denko K.K. | Polishing apparatus, polishing brush and manufacturing method of disk-shaped substrate |
| US7959492B2 (en) | 2006-09-11 | 2011-06-14 | Showa Denko K.K. | Disk-shaped substrate inner circumference polishing method |
| US7987610B2 (en) | 2007-03-27 | 2011-08-02 | Showa Denko K.K. | Method of examining aperture diameter of disk substrate having circular aperture in central portion thereof and apparatus thereof |
| JP2012003824A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板積層体用ワークホルダ、及びこのワークホルダを用いたガラス基板の製造方法、及びこの製造方法で製造された磁気記録媒体用ガラス基板 |
| CN102896570A (zh) * | 2012-09-20 | 2013-01-30 | 芜湖安福川工业成套设备有限公司 | 塑封电机磨喷机 |
| KR101297196B1 (ko) * | 2011-07-28 | 2013-08-20 | 오영호 | 솔레노이드 밸브용 하우징의 디버링 장치 및 이를 이용한 디버링 방법 |
| US8556566B1 (en) | 2011-09-30 | 2013-10-15 | WD Media, LLC | Disk stacking method and apparatus |
| KR101399270B1 (ko) * | 2012-05-10 | 2014-05-27 | 홍덕표 | 볼 베어링 연삭장치 |
| KR101455592B1 (ko) * | 2012-06-28 | 2014-10-28 | 현대제철 주식회사 | 디버링 장치 |
| WO2016209001A1 (ko) * | 2015-06-24 | 2016-12-29 | 유정정공주식회사 | 싱크로나이저허브의 버 제거 장치 및 그에 따른 버 제거방법 |
| US9815173B2 (en) | 2011-07-21 | 2017-11-14 | Fuji Manufacturing Co., Ltd. | Method for grinding side portion of stacked hard, brittle material substrate |
| CN110355637A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-10-22 | 宁波辛迪自动化科技有限公司 | 一种转向管柱压铸件柔性化去毛刺设备 |
| CN110355637B (zh) * | 2019-06-26 | 2024-04-26 | 佛山市南海彼岸五金制品有限公司 | 一种转向管柱压铸件柔性化去毛刺设备 |
-
1997
- 1997-07-24 JP JP19822997A patent/JPH1133886A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7438630B2 (en) | 1997-09-30 | 2008-10-21 | Hoya Corporation | Polishing method, polishing device, glass substrate for magnetic recording medium, and magnetic recording medium |
| US7690969B2 (en) | 1997-09-30 | 2010-04-06 | Hoya Corporation | Polishing method, polishing device, glass substrate for magnetic recording medium, and magnetic recording medium |
| US6615613B1 (en) | 1999-09-30 | 2003-09-09 | Hoya Corporation | Method of grinding a substrate and method of manufacturing a glass substrate and a magnetic recording medium by the use of the glass substrate |
| JP2006159337A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Toyota Motor Corp | リング状部材の製造方法 |
| US7959492B2 (en) | 2006-09-11 | 2011-06-14 | Showa Denko K.K. | Disk-shaped substrate inner circumference polishing method |
| US7837536B2 (en) | 2006-11-22 | 2010-11-23 | Showa Denko K.K. | Polishing apparatus, polishing brush and manufacturing method of disk-shaped substrate |
| US7987610B2 (en) | 2007-03-27 | 2011-08-02 | Showa Denko K.K. | Method of examining aperture diameter of disk substrate having circular aperture in central portion thereof and apparatus thereof |
| JP2012003824A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板積層体用ワークホルダ、及びこのワークホルダを用いたガラス基板の製造方法、及びこの製造方法で製造された磁気記録媒体用ガラス基板 |
| US9815173B2 (en) | 2011-07-21 | 2017-11-14 | Fuji Manufacturing Co., Ltd. | Method for grinding side portion of stacked hard, brittle material substrate |
| KR101297196B1 (ko) * | 2011-07-28 | 2013-08-20 | 오영호 | 솔레노이드 밸브용 하우징의 디버링 장치 및 이를 이용한 디버링 방법 |
| US8556566B1 (en) | 2011-09-30 | 2013-10-15 | WD Media, LLC | Disk stacking method and apparatus |
| KR101399270B1 (ko) * | 2012-05-10 | 2014-05-27 | 홍덕표 | 볼 베어링 연삭장치 |
| KR101455592B1 (ko) * | 2012-06-28 | 2014-10-28 | 현대제철 주식회사 | 디버링 장치 |
| CN102896570A (zh) * | 2012-09-20 | 2013-01-30 | 芜湖安福川工业成套设备有限公司 | 塑封电机磨喷机 |
| WO2016209001A1 (ko) * | 2015-06-24 | 2016-12-29 | 유정정공주식회사 | 싱크로나이저허브의 버 제거 장치 및 그에 따른 버 제거방법 |
| CN110355637A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-10-22 | 宁波辛迪自动化科技有限公司 | 一种转向管柱压铸件柔性化去毛刺设备 |
| CN110355637B (zh) * | 2019-06-26 | 2024-04-26 | 佛山市南海彼岸五金制品有限公司 | 一种转向管柱压铸件柔性化去毛刺设备 |
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