JPWO2021172262A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2021172262A5
JPWO2021172262A5 JP2022503600A JP2022503600A JPWO2021172262A5 JP WO2021172262 A5 JPWO2021172262 A5 JP WO2021172262A5 JP 2022503600 A JP2022503600 A JP 2022503600A JP 2022503600 A JP2022503600 A JP 2022503600A JP WO2021172262 A5 JPWO2021172262 A5 JP WO2021172262A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
section
heating element
resistance heating
groove
cross
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2022503600A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPWO2021172262A1 (https=
JP7284339B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2021/006589 external-priority patent/WO2021172262A1/ja
Publication of JPWO2021172262A1 publication Critical patent/JPWO2021172262A1/ja
Publication of JPWO2021172262A5 publication Critical patent/JPWO2021172262A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7284339B2 publication Critical patent/JP7284339B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2022503600A 2020-02-26 2021-02-22 セラミックヒータ及びその製法 Active JP7284339B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020030725 2020-02-26
JP2020030725 2020-02-26
PCT/JP2021/006589 WO2021172262A1 (ja) 2020-02-26 2021-02-22 セラミックヒータ及びその製法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2021172262A1 JPWO2021172262A1 (https=) 2021-09-02
JPWO2021172262A5 true JPWO2021172262A5 (https=) 2022-09-20
JP7284339B2 JP7284339B2 (ja) 2023-05-30

Family

ID=77491124

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022503600A Active JP7284339B2 (ja) 2020-02-26 2021-02-22 セラミックヒータ及びその製法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US12557183B2 (https=)
JP (1) JP7284339B2 (https=)
KR (1) KR102777792B1 (https=)
CN (1) CN115152322B (https=)
TW (1) TWI768727B (https=)
WO (1) WO2021172262A1 (https=)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024119117A (ja) * 2023-02-22 2024-09-03 日本特殊陶業株式会社 保持部材および保持部材の製造方法
KR102731017B1 (ko) 2023-10-30 2024-11-19 주식회사 미코세라믹스 세라믹 서셉터

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU693152B2 (en) * 1994-01-31 1998-06-25 Nippon Tungsten Co., Ltd. Flat PTC heater and resistance value regulating method for the same
WO2001031978A1 (en) * 1999-10-22 2001-05-03 Ibiden Co., Ltd. Ceramic heater
JP2004296445A (ja) * 2000-07-06 2004-10-21 Ibiden Co Ltd セラミックヒータ、セラミックヒータの製造方法およびセラミックヒータの製造システム
JP2002190373A (ja) 2000-12-19 2002-07-05 Ibiden Co Ltd セラミックヒータの製造方法
KR100463434B1 (ko) * 2001-12-04 2004-12-23 삼성전기주식회사 매립된 레지스터를 갖는 인쇄회로기판 및 이의 제조방법
US7361865B2 (en) 2003-08-27 2008-04-22 Kyocera Corporation Heater for heating a wafer and method for fabricating the same
JP2006054125A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Kyocera Corp ヒータとその製造方法、及びこれを用いたウェハ加熱装置
JP2006228633A (ja) 2005-02-18 2006-08-31 Ngk Insulators Ltd 基板加熱装置の製造方法及び基板加熱装置
JP5458050B2 (ja) * 2011-03-30 2014-04-02 日本碍子株式会社 静電チャックの製法
JP2013153129A (ja) * 2011-09-29 2013-08-08 Rohm Co Ltd チップ抵抗器および抵抗回路網を有する電子機器
JP6049509B2 (ja) * 2012-03-28 2016-12-21 日本碍子株式会社 セラミックヒーター、ヒーター電極及びセラミックヒーターの製法
JP6049510B2 (ja) * 2013-03-21 2016-12-21 日本碍子株式会社 セラミックヒータ及びその製法
JP6804828B2 (ja) * 2015-04-20 2020-12-23 日本特殊陶業株式会社 セラミックヒータ及び静電チャック
KR101771212B1 (ko) * 2015-09-02 2017-09-05 정권열 고데기
JP6584286B2 (ja) * 2015-10-26 2019-10-02 日本発條株式会社 ヒータユニット
US10681778B2 (en) * 2017-11-21 2020-06-09 Watlow Electric Manufacturing Company Integrated heater and method of manufacture

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPWO2021172262A5 (https=)
JP6262422B2 (ja) 冷却装置および半導体装置
US6273186B1 (en) Low-cost, high density, staggered pin fin array
JP7152184B2 (ja) チップ抵抗器およびチップ抵抗器の製造方法
CN104472010A (zh) 陶瓷加热器加热丝的布置
JP2009176881A (ja) 冷却装置
JP2008034474A (ja) 伝熱シート及び基板装置
JPWO2019193862A5 (ja) 傷形成方法、試料分割方法、半導体素子の製造方法、半導体レーザ素子の製造方法及び半導体素子
JP2006054125A5 (https=)
JP2024141147A5 (https=)
JP6210399B2 (ja) 光源装置
JP7214535B2 (ja) ヒートシンクの製造方法
JP7242909B2 (ja) 香味源加熱用のヒータの製造方法
JP6220646B2 (ja) チップ抵抗器とその製造方法
JPWO2021172261A5 (https=)
JP2025026811A5 (https=)
US739898A (en) Comb.
JP2020004608A (ja) ヒータ
JP6952394B2 (ja) 試料保持具
JP6731246B2 (ja) チップ抵抗器の製造方法
JP7213388B2 (ja) ヒートシンクの製造方法
JP2005344974A (ja) 噴流冷却器
JP7783285B2 (ja) 加熱装置
US999509A (en) Tile.
JP5201879B2 (ja) 瓦保持具