JPWO2021172262A5 - - Google Patents
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Description
次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は本実施形態の静電チャックヒータ１０の斜視図、図２は図１のＡ－Ａ断面図、図３は抵抗発熱体１６を平面視したときの説明図（矩形内は部分拡大図）、図４は図３の矩形内に示した部分の斜視図、図５は図３のＢ－Ｂ断面図、図６は傾斜角度αの求め方の説明図、図７はヒストグラム、図８は凸部Ｒｍの裾の幅の求め方の説明図、図９は抵抗発熱体１６のカーブ部分の平面図である。
本実施形態では、抵抗発熱体１６は、一方の端子部１８から他方の端子部２０までが複数の区間Ｓに分割され、区間Ｓごとの抵抗発熱体１６の表面に、凹溝Ｒが設けられている。凹溝Ｒの幅の広い区間Ｓは、抵抗発熱体１６の断面積が小さくなるため抵抗が高くなり発熱量が大きくなる。凹溝Ｒの幅の狭い区間Ｓは、抵抗発熱体１６の断面積が大きくなるため抵抗が低くなり発熱量が小さくなる。そのため、各区間Ｓの凹溝Ｒの幅を調整することにより、抵抗発熱体１６の区間Ｓごとの発熱量を目標発熱量に一致させている。
次に、静電チャックヒータ１０の製造例について説明する。図１０は静電チャックヒータ１０の製造工程図、図１１は抵抗発熱体前駆体６６に凹溝Ｕを形成する工程の説明図、図１２及び図１３は抵抗発熱体前駆体６６の幅方向を含む面で抵抗発熱体前駆体６６を垂直に切断したときの線溝６８及び凹溝Ｕの断面図、図１４は抵抗発熱体前駆体６６の長手方向を含む面で抵抗発熱体前駆体６６を垂直に切断したときの隣合う凹溝Ｕ同士の連結部の断面図である。以下には、セラミック基板１２としてアルミナ基板を用いる場合を例に挙げて説明する。
隣合う区間Ｔ（Ｔ１，Ｔ２）の凹溝Ｕ（Ｕ１，Ｕ２）同士は、重ならないように形成する。その結果、図１４に示すように、抵抗発熱体前駆体６６の長手方向を含む面で抵抗発熱体前駆体６６を垂直に切断した断面をみたとき、隣合う区間Ｔ（Ｔ１，Ｔ２）に設けられた凹溝Ｕ（Ｕ１，Ｕ２）同士の連結部には、裾の長さが９５μｍ以下の山形状の凸部Ｕｍが形成される。区間Ｔ１に形成された凹溝Ｕ１のうち区間Ｔ１と区間Ｔ２との境界に近い側壁面（傾斜面、傾斜角度β）の頂点は、Ｕ溝Ｕ１を形成する前の抵抗発熱体前駆体６６の高さのままである。区間Ｔ２に形成された凹溝Ｕ２のうち区間Ｔ１と区間Ｔ２との境界に近い側壁面（傾斜面）の頂点は、Ｕ溝Ｕ２を形成する前の抵抗発熱体前駆体６６の高さのままである。つまり、凸部Ｕｍの高さは、凹溝Ｕ１，Ｕ２の深さと一致する。このようにするには、区間Ｔ１と区間Ｔ２との境界にガウシアン形状のレーザ光３２がかからないようにして、凹溝Ｕ１，Ｕ２を形成する。
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