JP2022503355A5 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JP2022503355A5 JP2022503355A5 JP2020560749A JP2020560749A JP2022503355A5 JP 2022503355 A5 JP2022503355 A5 JP 2022503355A5 JP 2020560749 A JP2020560749 A JP 2020560749A JP 2020560749 A JP2020560749 A JP 2020560749A JP 2022503355 A5 JP2022503355 A5 JP 2022503355A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening region
- mask plate
- region
- opening
- virtual
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811338402.7A CN109207920B (zh) | 2018-11-12 | 2018-11-12 | 掩模版 |
| CN201811338402.7 | 2018-11-12 | ||
| PCT/CN2019/117513 WO2020098645A1 (zh) | 2018-11-12 | 2019-11-12 | 掩膜板及其制造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2022503355A JP2022503355A (ja) | 2022-01-12 |
| JP2022503355A5 true JP2022503355A5 (https=) | 2022-11-17 |
| JP7499186B2 JP7499186B2 (ja) | 2024-06-13 |
Family
ID=64995490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020560749A Active JP7499186B2 (ja) | 2018-11-12 | 2019-11-12 | マスクプレートおよびその製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US12221684B2 (https=) |
| EP (1) | EP3882369A4 (https=) |
| JP (1) | JP7499186B2 (https=) |
| CN (1) | CN109207920B (https=) |
| WO (1) | WO2020098645A1 (https=) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109207920B (zh) | 2018-11-12 | 2021-02-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模版 |
| CN109487206B (zh) * | 2018-12-11 | 2020-08-11 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 掩膜版及采用该掩膜版的掩膜装置 |
| CN110764362B (zh) * | 2019-01-31 | 2020-12-29 | 昆山国显光电有限公司 | 掩膜条、阵列基板、显示屏及显示装置 |
| CN110760791A (zh) * | 2019-02-28 | 2020-02-07 | 云谷（固安）科技有限公司 | 掩膜板及掩膜组件 |
| CN110760790A (zh) * | 2019-02-28 | 2020-02-07 | 云谷（固安）科技有限公司 | 掩膜板及掩膜组件 |
| EP3931877A1 (en) | 2019-04-23 | 2022-01-05 | Apple Inc. | Methods and configurations for improving the performance of sensors under a display |
| KR102932280B1 (ko) * | 2019-07-25 | 2026-02-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 |
| CN210916231U (zh) * | 2019-10-18 | 2020-07-03 | 昆山国显光电有限公司 | 一种掩膜版 |
| KR20210054644A (ko) * | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 어셈블리, 표시 장치의 제조장치, 및 표시 장치의 제조방법 |
| US11805678B2 (en) | 2019-11-21 | 2023-10-31 | Samsung Display Co., Ltd. | Display device, mask assembly, method of manufacturing the mask assembly, apparatus for manufacturing the display device, and method of manufacturing the display device |
| KR20210114594A (ko) | 2020-03-10 | 2021-09-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 금속 마스크 |
| CN113471136B (zh) * | 2020-03-30 | 2024-10-22 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体器件及形成方法 |
| KR102836687B1 (ko) | 2020-05-11 | 2025-07-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 검사 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 방법 |
| KR102741001B1 (ko) * | 2020-05-14 | 2024-12-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
| CN116171495B (zh) * | 2020-09-22 | 2025-05-30 | 苏州晶湛半导体有限公司 | 半导体结构的制作方法 |
| CN112662994B (zh) * | 2020-12-04 | 2023-04-25 | 合肥维信诺科技有限公司 | 掩膜版及其制备方法 |
| CN115116959B (zh) * | 2021-03-18 | 2024-11-15 | 长鑫存储技术有限公司 | 半导体结构及其形成方法 |
| US11939658B2 (en) * | 2021-04-09 | 2024-03-26 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Deposition mask, deposition mask apparatus, deposition apparatus, and manufacturing method for organic device |
| KR102850627B1 (ko) * | 2021-05-11 | 2025-08-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 조립체 및 디스플레이 장치의 제조방법 |
| CN114107895A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-03-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种精细金属掩膜板及有机电致发光显示面板 |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3878904B2 (ja) | 2002-10-29 | 2007-02-07 | 京セラ株式会社 | スクリーン印刷用マスク及びそれを用いた電子部品の製造方法 |
| JP5262226B2 (ja) * | 2007-08-24 | 2013-08-14 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクおよび蒸着マスクの製造方法 |
| CN108198749A (zh) | 2010-11-04 | 2018-06-22 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 基于结晶弛豫结构的固态发光器件 |
| NO334241B1 (no) * | 2011-05-18 | 2014-01-20 | Aker Subsea As | Koblingsanordning |
| CN103205687B (zh) * | 2012-01-16 | 2016-03-02 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 蒸镀掩模板及其制作方法 |
| JP2014194062A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-09 | Sony Corp | マスクフレームユニット、マスク装置及び処理方法 |
| KR102160695B1 (ko) | 2013-05-10 | 2020-09-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 |
| KR102106336B1 (ko) | 2013-07-08 | 2020-06-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착용 마스크 |
| KR102237428B1 (ko) * | 2014-02-14 | 2021-04-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 프레임 조립체 및 그 제조방법 |
| CN204434717U (zh) | 2014-12-05 | 2015-07-01 | 信利（惠州）智能显示有限公司 | 一种掩膜板 |
| KR102404576B1 (ko) * | 2015-04-24 | 2022-06-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 표시 장치의 제조 방법 |
| TWI550108B (zh) * | 2015-04-28 | 2016-09-21 | 友達光電股份有限公司 | 遮罩 |
| CN105803389B (zh) * | 2016-05-18 | 2019-01-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩膜板及其制作方法 |
| CN106294935B (zh) * | 2016-07-28 | 2019-08-20 | 上海华力微电子有限公司 | 一种基于图形密度的工艺模型建模与修正方法 |
| KR102632617B1 (ko) * | 2016-08-08 | 2024-02-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치, 이를 이용한 표시 장치의 제조방법 및 표시 장치 |
| KR102642345B1 (ko) * | 2016-09-06 | 2024-02-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 분할 마스크 |
| WO2018139822A1 (ko) * | 2017-01-24 | 2018-08-02 | 주식회사 다원시스 | 반도체 도너 기판과, 반도체 도너 기판의 제조 방법과, 유기 발광 장치의 제조 방법 및 도너 기판 모듈 |
| CN108666420B (zh) * | 2017-03-27 | 2021-01-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模板及其制作方法 |
| CN107740065B (zh) * | 2017-09-26 | 2020-03-31 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种掩模版及其成膜方法、成膜设备 |
| CN107435131B (zh) * | 2017-09-29 | 2019-08-02 | 上海天马微电子有限公司 | 掩膜装置、蒸镀设备以及掩膜装置制备方法 |
| CN107885030B (zh) * | 2017-12-01 | 2021-02-26 | 信利（惠州）智能显示有限公司 | 掩膜板 |
| CN108269837B (zh) * | 2018-01-23 | 2020-12-04 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种电致发光显示面板、掩膜板及制作方法 |
| CN208013662U (zh) * | 2018-03-30 | 2018-10-26 | 昆山国显光电有限公司 | 显示面板及制作显示面板用掩模板 |
| CN108642440B (zh) | 2018-05-14 | 2019-09-17 | 昆山国显光电有限公司 | 掩膜板及掩膜组件 |
| CN109207920B (zh) * | 2018-11-12 | 2021-02-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模版 |
-
2018
- 2018-11-12 CN CN201811338402.7A patent/CN109207920B/zh active Active
-
2019
- 2019-11-12 EP EP19884926.7A patent/EP3882369A4/en active Pending
- 2019-11-12 JP JP2020560749A patent/JP7499186B2/ja active Active
- 2019-11-12 US US16/770,183 patent/US12221684B2/en active Active
- 2019-11-12 WO PCT/CN2019/117513 patent/WO2020098645A1/zh not_active Ceased
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2022503355A5 (https=) | ||
| JP7499186B2 (ja) | マスクプレートおよびその製造方法 | |
| KR102617825B1 (ko) | 금속기판 및 이를 이용한 증착용마스크 | |
| CN107523786B (zh) | 掩模框架组件及其制造方法 | |
| CN107709601B (zh) | 金属基板和使用该金属基板的沉积掩膜 | |
| JP2016009118A5 (https=) | ||
| JP2018024946A5 (https=) | ||
| JP2022075760A5 (ja) | 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 | |
| JP2005535441A5 (https=) | ||
| JP2018521293A5 (https=) | ||
| CN206828626U (zh) | 蒸镀用金属掩模 | |
| WO2019184265A1 (zh) | 掩模板及显示面板 | |
| JP2016189007A5 (https=) | ||
| CN106033802B (zh) | 一种蒸镀用掩模板及其制作方法 | |
| JPWO2022230958A5 (https=) | ||
| US20080261395A1 (en) | Semiconductor Device, Method for Manufacturing Semiconductor Devices and Mask Systems Used in the Manufacturing of Semiconductor Devices | |
| JPWO2021095843A5 (https=) | ||
| US11613801B2 (en) | Masks and display devices | |
| US8847411B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
| CN110045445B (zh) | 具高深宽比光导孔阵列的光导板及其制造方法 | |
| WO2019218606A1 (zh) | 掩膜板、显示器件、显示面板及显示终端 | |
| US20080265425A1 (en) | Semiconductor Device and Method for Manufacturing the Same | |
| KR102152441B1 (ko) | 패턴 더미 웨이퍼를 이용한 박막 증착 방법 | |
| JP2017210687A5 (https=) | ||
| JPWO2023189131A5 (https=) |