CN114107895A

CN114107895A - 一种精细金属掩膜板及有机电致发光显示面板

Info

Publication number: CN114107895A
Application number: CN202111418329.6A
Authority: CN
Inventors: 丁文彪; 梅菊; 吴建鹏; 李剑波
Original assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2021-11-26
Filing date: 2021-11-26
Publication date: 2022-03-01

Abstract

本发明提供了一种精细金属掩膜板及有机电致发光显示面板，其中，所述精细金属掩膜板，包括：基板，所述基板包括用于形成多个有机电致发光显示面板的显示区的彼此独立的多个蒸镀区域，各个所述蒸镀区域沿对所述精细金属掩膜板的张网方向排列；所述多个蒸镀区域中至少两个所述蒸镀区域内分别设置有结构参数不同的第一网格状镂空结构。用于实现精细金属掩膜板的多样化设计。

Description

一种精细金属掩膜板及有机电致发光显示面板

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种精细金属掩膜板及有机电致发光显示面板。

背景技术

主动矩阵有机发光二极管(Active-matrix Organic Light-Emitting Diode，AMOLED)，具有厚度薄、可柔性、视角宽、色域广、低功耗等优点，受到了广泛的关注和应用，被誉为新一代显示技术。对于OLED显示屏的像素区的R/G/B像素的有机发光材料，通常使用精细金属掩模板(Fine Metal Mask，FMM)组件进行蒸镀。

现有FMM上的像素开口往往设计成同一种像素形状和分辨率，相应地，一条FMM上只能实现对一种显示产品的蒸镀，如何实现FMM的多样化设计成为急需解决的技术问题。

发明内容

本发明提供了一种精细金属掩膜板及有机电致发光显示面板，用于实现精细金属掩膜板的多样化设计。

第一方面，本发明实施例提供了一种精细金属掩膜板，包括：

基板，所述基板包括用于形成多个有机电致发光显示面板的显示区的彼此独立的多个蒸镀区域，各个所述蒸镀区域沿对所述精细金属掩膜板的张网方向排列；

所述多个蒸镀区域中至少两个所述蒸镀区域内分别设置有结构参数不同的第一网格状镂空结构。

在一种可能的实现方式中，所述结构参数包括所述第一网格状镂空结构中的网格排列方式、网格形状、网格大小和网格分布密度中的至少一个。

在一种可能的实现方式中，所述基板还包括：位于相邻两个所述蒸镀区域之间的第一冗余区域，以及位于边缘的所述蒸镀区域外侧的第二冗余区域；所述第一冗余区域和所述第二冗余区域中的至少一个区域内设置有第二网格状镂空结构。

在一种可能的实现方式中，所述第二网格状镂空结构构成沿与所述张网方向相交的方向延伸的至少一条狭缝结构。

在一种可能的实现方式中，所述第一冗余区域内设置有一条所述狭缝结构，与所述狭缝结构相邻的两个所述蒸镀区域内的所述第一网格状镂空结构中的网格大小不同，所述狭缝结构中的所述第二网格状镂空结构的网格大小介于两个所述第一网格状镂空结构的网格大小之间。

在一种可能的实现方式中，若所述第一冗余区域内设置有至少两条所述狭缝结构，与至少两条所述狭缝结构相邻的两个所述蒸镀区域内的所述第一网格状镂空结构中的网格大小不同，所述第一冗余区域内的至少两条所述狭缝结构中的所述第二网格状镂空结构的网格大小，从所述第一网格状镂空结构的网格大到小的方向呈减小趋势。

在一种可能的实现方式中，所述基板还包括围绕各个所述蒸镀区域的边缘一周设置的多个对位孔。

在一种可能的实现方式中，沿所述张网方向，相邻两个所述对位孔之间间隔相同距离。

在一种可能的实现方式中，任一所述对位孔的形状，与相应所述蒸镀区域内的所述第一网格状镂空结构中的网格形状不同。

在一种可能的实现方式中，任一所述对位孔所处的区域与相应的所述蒸镀区域之间未开设有网格。

在一种可能的实现方式中，所述对位孔为至少部分贯穿所述基板的孔结构。

第二方面，本发明实施例提供了一种有机电致发光显示面板，包括：

所述有机电致发光显示面板采用如上面任一项所述的精细掩膜板制作形成。

本发明的有益效果如下：

本发明实施例提供了一种精细金属掩膜板及有机电致发光显示面板，该精细金属掩膜板包括基板，该基板包括用于形成多个有机电致发光显示面板的显示区的多个彼此独立的蒸镀区域，各个蒸镀区域沿精细金属掩膜板的张网方向排列，多个蒸镀区域中至少两个蒸镀区域内分别设置有结构参数不同的第一网格状镂空结构，比如，结构参数为网格形状、网格分布密度等；也就是说，在同一个精细金属掩膜板上的至少两个蒸镀区域内分别设置有结构参数不同的第一网格状镂空结构，这样的话，后续可以通过各蒸镀区域的结构参数不同的第一网格状镂空结构分别进行有机发光材料的蒸镀，从而获得至少两种显示参数不同的有机电致发光显示面板，比如，显示参数为显示分辨率。如此一来，在实现精细金属掩膜板的多样化设计的同时，降低了精细掩膜板的开模成本。

附图说明

图1为相关技术中FMM的其中一种结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种精细金属掩膜板的其中一种结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种精细金属掩膜板的其中一种结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种精细金属掩膜板的其中一种结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种精细金属掩膜板的其中一种结构示意图；

图6为图5中区域A中网格状镂空结构的网格沿张网方向的其中一种结构分布放大图；

图7为本发明实施例提供的一种精细金属掩膜板的其中一种结构示意图；

图8为图7中区域B中网格状镂空结构的网格沿张网方向的其中一种结构示意图；

图9为本发明实施例提供的一种精细金属掩膜板的其中一种结构示意图；

图10为本发明实施例提供的一种精细金属掩膜板的其中一种结构示意图；

图11为图10中区域C的其中一种结构放大图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。并且在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

除非另外定义，本发明使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明中使用的“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

需要注意的是，附图中各图形的尺寸和形状不反映真实比例，目的只是示意说明本发明内容。并且自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。

在相关技术中，常采用如图1所示的FMM来实现对同一种显示产品的蒸镀，该FMM上所开设的像素孔大小、形状、排列方式等大体一致；本发明人在实际研究中发现，在进行不同像素、分辨率以验证不同显示差异的技术研发中，需要对每一种显示产品都开一套FMM；但由于FMM的开模花费巨大，若多开一套FMM，技术研发以及生产费用都会显著提高。

鉴于此，本发明实施例提供了一种精细金属掩膜板及电致发光显示面板，用于实现精细金属掩膜板的多样化设计。

如图2所示，本发明实施例提供了一种精细金属掩膜板，该精细金属掩膜板包括：

基板1，所述基板1包括用于形成多个有机电致发光显示面板的显示区的彼此独立的多个蒸镀区域2，各个所述蒸镀区域2沿对所述精细金属掩膜板的张网方向排列；

所述多个蒸镀区域2中至少两个所述蒸镀区域2内分别设置有结构参数不同的第一网格状镂空结构3。

在具体实施过程中，所述基板1的材质可以是铁镍合金，还可以是包括硅、锰、钛、氧、碳、磷微量元素中的一种或几种，在此不做限定；所述基板1的厚度范围为5μm～50μm，可以根据实际应用需要来设置所述基板1的厚度，在此不做限定。此外，可以采用相关技术中的刻蚀工艺或者电铸工艺来制作所述精细金属掩膜板，在此不做详述。

所述基板1包括用于形成多个有机电致发光显示面板的显示区的彼此独立的多个蒸镀区域2，有机电致发光显示面板的个数与蒸镀区域2的个数相等。仍结合图2所示，所述基板1的多个蒸镀区域为包括蒸镀区域a和蒸镀区域b在内的两个蒸镀区域；如图3所示，所述基板1的多个蒸镀区域为包括蒸镀区域c、蒸镀区域d和蒸镀区域e在内的三个蒸镀区域，则通过所述基板1可以形成与这三个蒸镀区域分别对应的三个有机电致发光显示面板的显示区；当然，可以根据实际应用需要来设置蒸镀区域2的个数，在此不做限定。此外，各个蒸镀区域之间彼此独立，这样的话，彼此不影响对有机电致发光显示面板的显示区的蒸镀，还可以实现同时对多个蒸镀区域进行蒸镀，提高了有机电致发光显示面板的制作效率。各个所述蒸镀区域沿对所述精细金属掩膜板的张网方向排列，该张网方向可以是如图2和图3中箭头X所示的方向。

在具体实施过程中，所述多个蒸镀区域中至少两个所述蒸镀区域内分别设置有结构参数不同的第一网格状镂空结构3，所述结构参数包括所述第一网格状镂空结构3中的网格排列方式、网格形状、网格大小和网格分布密度中的至少一个。仍结合图2所示，蒸镀区域a内的网格分布密度小于蒸镀区域b内的网格分布密度，后续通过蒸镀区域a所制作的有机电致显示面板的像素密度(Pixels Per Inch，PPI)可以为401，后续通过蒸镀区域b所制作的有机电致显示面板的PPI可以为450。当然，可以根据实际应用需要来设置精细金属掩膜板的各蒸镀区域的第一网格状镂空结构3的结构参数，相应地获得所需PPI的有机电致显示面板，在此不做限定。

在具体实施过程中，所述网格排列方式可以是网格沿所述精细金属掩膜板的张网方向排布，所述网格排列方式还可以是网格沿与对所述精细金属掩膜板的张网方向垂直的方向排布，当然，还可以根据实际应用需要来设置网格的排列方式，在此不做限定；所述网格形状可以是矩形，还可以是六边形，在此不做限定；只要两个蒸镀区域内第一网格状镂空结构3中的网格排列方式、网格形状、网格大小和网格分布密度中的至少一个不同，这样的话，后续通过各蒸镀区域分别进行有机发光材料的蒸镀，可以获得至少两种显示参数不同的有机电致发光显示面板，比如，显示参数为像素排列方式、显示分辨率等。如此一来，在实现精细金属掩膜板的多样化设计的同时，降低了精细掩膜板的开模成本。

在本发明实施例中，所述基板1还包括：位于相邻两个所述蒸镀区域之间的第一冗余区域4，以及位于边缘的所述蒸镀区域外侧的第二冗余区域5；所述第一冗余区域4和所述第二冗余区域5中的至少一个区域内设置有第二网格状镂空结构6。在具体实施过程中，相邻两个所述蒸镀区域之间还可以设置第一冗余区域4，位于边缘的所述蒸镀区域的外侧还可以设置第二冗余区域5；所述第一冗余区域4和所述第二冗余区域5中的至少一个区域内设置有第二网格状镂空结构6。以所述基板1上开设有蒸镀区域a和蒸镀区域b，所述第一冗余区域4和所述第二冗余区域5内均设置有第二网格状镂空结构6为例，如图4所示为本发明实施例提供的一种精细金属掩膜板的其中一种结构示意图。在实际制作所述精细金属掩膜板的过程中，可以根据各蒸镀区域所需的第一网格状镂空结构3中的结构参数，在保证所述精细金属掩膜板整体的平坦度，避免各蒸镀区域之间的褶皱形变的同时，确定所述第一冗余区域4和第二冗余区域5内的第二网格状镂空结构6的结构参数，从而提高了精细金属掩膜板的制作精度。

在本发明实施例中，所述第二网格状镂空结构6构成沿与所述张网方向相交的方向延伸的至少一条狭缝结构7。在具体实施过程中，所述至少一条狭缝结构7可以是一条，还可以是多条，在此不做限定。如图5所示，所述第一冗余区域4内包括一条狭缝结构7，所述第二冗余区域5包括三条狭缝结构7，在具体实施过程中，可以根据各蒸镀区域所需的第一网格状镂空结构3中的结构参数，在保证所述精细金属掩膜板整体的平坦度，避免各蒸镀区域之间的褶皱形变的同时，确定所述第一冗余区域4和所述第二冗余区域5内狭缝结构7的具体条数、各狭缝结构7沿与所述张网方向相交的方向的延伸长度等参数，从而提高了精细金属掩膜板的制作精度。

在本发明实施例中，所述第一冗余区域4内的狭缝结构7的设置方式可以有以下两种，但又不仅限于以下两种。

在其中一种实施例中，所述第一冗余区域4内设置有一条所述狭缝结构7，与所述狭缝结构7相邻的两个所述蒸镀区域内的所述第一网格状镂空结构3中的网格大小不同，所述狭缝结构7中的所述第二网格状镂空结构6的网格大小介于两个所述第一网格状镂空结构3的网格大小之间。在该实施例中，沿所述张网方向，可以针对蒸镀区域内的第一网格状镂空结构3和第一冗余区域4内的一条狭缝结构7设置网格大小渐变的网格，从而可以减缓不同蒸镀区之间褶皱的形变，进而提高了精细金属掩膜板的制作精度。

比如，沿所述张网方向，可以是蒸镀区域a中的网格大小大于蒸镀区域b中的网格大小，相应地，位于蒸镀区域a和蒸镀区域b之间的第一冗余区域4中的网格大小介于蒸镀区域a和蒸镀区域b中的网格大小之间；如图6所示为图5中区域A中网格状镂空结构的网格沿张网方向的其中一种结构分布放大图。再比如，可以是蒸镀区域a中的网格大小小于蒸镀区域b中的网格大小，相应地，位于蒸镀区域a和蒸镀区域b之间的第一冗余区域4中的网格大小介于蒸镀区域a和蒸镀区域b中的网格大小之间。

在另外一种实施例中，若所述第一冗余区域4内设置有至少两条所述狭缝结构7，与至少两条所述狭缝结构7相邻的两个所述蒸镀区域内的所述第一网格状镂空结构3中的网格大小不同，所述第一冗余区域4内的至少两条所述狭缝结构7中的所述第二网格状镂空结构6的网格大小，从所述第一网格状镂空结构3的网格大到小的方向呈减小趋势。在该实施例中，沿所述张网方向，可以针对蒸镀区域内的第一网格状镂空结构3和第一冗余区域4内的至少两条狭缝结构7设置网格大小渐变的网格，从而可以减缓不同蒸镀区域之间褶皱的形变，进而提高了精细金属掩膜板的制作精度。

结合图7和图8所示，其中，在图7中所述第一冗余区域4内设置有两条所述狭缝结构7，图8为图7中区域B中网格状镂空结构的网格沿所述张网方向的其中一种结构分布放大图；比如，沿所述张网方向，可以是蒸镀区域a中的网格大小大于蒸镀区域b中的网格大小，相应地，所述第一冗余区域4内的至少两条所述狭缝结构7中的所述第二网格状镂空结构6的网格大小呈减小趋势，如此一来，相邻两蒸镀区域之间所受应力过渡较为自然，减缓了不同蒸镀区域之间的形变，进而提高了精细金属掩膜板的制作精度。

需要说明的是，对于上述提及的至少一条狭缝结构7中，同一条狭缝结构7内结构参数相同，比如，该条狭缝结构7内的网格均网格大小相同且网格形状均为矩形。对于上述提及的多个蒸镀区域中，同一个蒸镀区域内第一网格状镂空结构3的结构参数相同，比如，该蒸镀区域内第一网格状镂空结构3内的网格排列方式、网格形状、网格大小、网格分布密度均相同。

在本发明实施例中，所述基板1还包括围绕各个所述蒸镀区域的边缘一周设置的多个对位孔8。如此一来，可以通过所述多个对位孔8实现对相应蒸镀区域的张网，以便后续通过相应蒸镀区域实现对有机发光材料的蒸镀。在具体实施过程中，可以根据张网机的实际需要来设置多个对位孔8的具体个数，在此不做限定。如图9所示，单个蒸镀区域的边缘一周可以设置四个对位孔8。

在本发明实施例中，沿所述张网方向，相邻两个所述对位孔8之间间隔相同距离。这里的“相同”可以是近似相同，还可以是完全相同。如图10所示，单个蒸镀区域的边缘一周可以设置八个对位孔8，其中四个对位孔8分别设置在该蒸镀区域的四个顶角，另外四个对位孔8分别设置在该蒸镀区域的四条边的中心位置处，如此一来，实现对该蒸镀区域的有效张网。仍结合图10所示，沿所述张网方向，所有对位孔8中相邻两个对位孔8之间间隔相同距离，D1＝D2＝D3＝D4＝D5。

在本发明实施例中，任一所述对位孔8的形状，与相应所述蒸镀区域内的所述第一网格状镂空结构3中的网格形状不同。比如，若蒸镀区域内的所述第一网格状镂空结构3中的网格形状为六边形，则可以将该蒸镀区边缘的对位孔8的形状设置为正方形，如此一来，可以快速地识别出对位孔8，从而提高了对位孔8的识别精度。

在本发明实施例中，任一所述对位孔8所处的区域与相应的所述蒸镀区域之间未开设有网格。如此一来，避免了网格对对位孔8的干扰，提高了对位孔8的识别精度。如图11所示为图10中区域C的其中一种结构放大图，其中，图11中区域E内未开设有网格。

在本发明实施例中，所述对位孔8为至少部分贯穿所述基板1的孔结构。在具体实施过程中，所述对位孔8可以是完全贯穿所述基板1的孔结构，还可以是部分贯穿所述基板1的孔结构，可以根据实际工艺需要来制作所述对位孔8，在此不做限定。

需要说明的是，在实际制作前述精细金属掩膜板的过程中，为了保证各蒸镀区域之间的平滑过渡，减缓各蒸镀区域之间褶皱的形变，可以通过三维应力仿真来调节各个区域内网格的结构参数，以及各个区域之间的位置关系，从而提高精细金属掩膜板的制作精度。此外，在制作过程中，由于对精细金属掩膜板进行张网的过程中，位于其上中间区域的网格极容易发生内缩，在张网之前，可以沿张网方向以及与张网相交的方向分别对各个网格进行结构补偿，保证张网后的网格的结构参数为用户实际需要的参数，进一步保证了精细金属掩膜板的制作精度。

此外，本发明实施例中的精细金属掩膜板可以用于对RGB这种像素排列的有机电致发光显示面板的显示区的蒸镀，还可以用于对GGRB这种像素排列的有机电致发光显示面板的显示区的蒸镀，当然，还可以根据实际所需的电致发光显示面板来制作相应结构参数的精细金属掩膜板，在此不做限定。

基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种有机电致发光显示面板，包括：

该有机电致发光显示面板解决问题的原理与前述精细金属掩膜板相似，因此该有机电致发光显示面板的实施可以参见前述精细金属掩膜板的实施，重复之处不再赘述。

在具体实施过程中，本发明实施例提供的该有机电致发光显示面板可以为手机，还可以为平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。对于该有机电致发光显示面板的其它必不可少的组成部分均为本领域的普通技术人员应该理解具有的，在此就不做赘述，也不应作为对本发明的限制。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种精细金属掩膜板，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的精细金属掩膜板，其特征在于，所述结构参数包括所述第一网格状镂空结构中的网格排列方式、网格形状、网格大小和网格分布密度中的至少一个。

3.如权利要求2所述的精细金属掩膜板，其特征在于，所述基板还包括：位于相邻两个所述蒸镀区域之间的第一冗余区域，以及位于边缘的所述蒸镀区域外侧的第二冗余区域；所述第一冗余区域和所述第二冗余区域中的至少一个区域内设置有第二网格状镂空结构。

4.如权利要求3所述的精细金属掩膜板，其特征在于，所述第二网格状镂空结构构成沿与所述张网方向相交的方向延伸的至少一条狭缝结构。

5.如权利要求4所述的精细金属掩膜板，其特征在于，所述第一冗余区域内设置有一条所述狭缝结构，与所述狭缝结构相邻的两个所述蒸镀区域内的所述第一网格状镂空结构中的网格大小不同，所述狭缝结构中的所述第二网格状镂空结构的网格大小介于两个所述第一网格状镂空结构的网格大小之间。

6.如权利要求4所述的精细金属掩膜板，其特征在于，若所述第一冗余区域内设置有至少两条所述狭缝结构，与至少两条所述狭缝结构相邻的两个所述蒸镀区域内的所述第一网格状镂空结构中的网格大小不同，所述第一冗余区域内的至少两条所述狭缝结构中的所述第二网格状镂空结构的网格大小，从所述第一网格状镂空结构的网格大到小的方向呈减小趋势。

7.如权利要求1-6任一项所述的精细金属掩膜板，其特征在于，所述基板还包括围绕各个所述蒸镀区域的边缘一周设置的多个对位孔。

8.如权利要求7所述的精细金属掩膜板，其特征在于，沿所述张网方向，相邻两个所述对位孔之间间隔相同距离。

9.如权利要求8所述的精细金属掩膜板，其特征在于，任一所述对位孔的形状，与相应所述蒸镀区域内的所述第一网格状镂空结构中的网格形状不同。

10.如权利要求9所述的精细金属掩膜板，其特征在于，任一所述对位孔所处的区域与相应的所述蒸镀区域之间未开设有网格。

11.如权利要求10所述的精细金属掩膜板，其特征在于，所述对位孔为至少部分贯穿所述基板的孔结构。

12.一种有机电致发光显示面板，其特征在于，包括：

所述有机电致发光显示面板采用如权利要求1-11任一项所述的精细掩膜板制作形成。