JPWO2012067105A1 - 炭化珪素基板、半導体素子ならびに炭化珪素基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
少なくとも内部に積層欠陥を有する炭化珪素基板において、
前記基板の内部に前記炭化珪素との界面に不整合界面を形成する内包領域を有し、
前記不整合界面において、炭化珪素内の積層欠陥の伝搬が遮断されていること
を特徴とする炭化珪素基板である。
前記内包領域は、珪素、炭素、窒素、水素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノンのうち少なくとも1つを含んでいること
を特徴とする上記第1の態様に記載の炭化珪素基板である。
前記内包領域は、空間であることを特徴とする上記第1の態様に記載の炭化珪素基板である。
当該炭化珪素基板は、略平行かつ異なる積層欠陥密度を有する二つの平面を有し、
前記炭化珪素と内包領域との不整合界面において、前記平面のうち積層欠陥密度の高い面側から積層欠陥密度の低い面への積層欠陥の伝搬が遮断されていること
を特徴とする上記第1乃至第3の態様のいずれか1態様に記載の炭化珪素基板である。
前記内包領域は、当該炭化珪素基板の厚さ方向と平行な方向である高さをHとした場合に、幅S、互いに隣り合う内包領域との中心間距離をP、積層欠陥と前記不整合界面(内包領域の側壁)とのなす角をθとすると、
H≧(P−S)/tanθを満たすこと
を特徴とする上記第1乃至第4の態様いずれか1態様に記載の炭化珪素基板である。
内部に複数の内包領域を備え、
前記複数の内包領域は、前記主表面の1つにほぼ平行に分布し、
前記積層欠陥が、前記内包領域との界面である内包領域側壁で伝搬が遮断されており、
前記内包領域は、当該炭化珪素基板の厚さ方向と平行な方向である高さをHとした場合に、幅S、互いに隣り合う内包領域との中心間距離をP、積層欠陥と前記側壁とのなす角をθとすると、
H≧(P−S)/tanθを満たすこと
を特徴とする炭化珪素基板である。
前記炭化珪素基板は、立方晶炭化珪素であり、主表面が{001}面であり、 前記不整合界面が、{110}面に平行であること
を特徴とする上記第1乃至第6の態様いずれか1態様に記載の炭化珪素基板である。
前記炭化珪素基板は、立方晶炭化珪素であり、主表面が{111}面であり、
前記不整合界面が、{111}面、{110}面、{211}面のいずれかに平行であること
を特徴とする上記第1乃至第6の態様いずれか1態様に記載の炭化珪素基板である。
前記炭化珪素基板は、六方晶炭化珪素であり、主表面が{0001}面であり、
前記不整合界面が、{11−20}面または{−1100}面に平行であること
を特徴とする上記第1乃至第6の態様いずれか1態様に記載の炭化珪素基板である。
上記第1〜9のいずれか1態様に記載の炭化珪素基板を用いて形成された半導体素子であって、
前記炭化珪素基板表面には、前記炭化珪素基板を形成する炭化珪素と同一結晶構造の炭化珪素層が形成され、
前記炭化珪素層には、内部電界が形成されること
を特徴とする半導体素子である。
(001)面を表面とする炭化珪素基板に{110}面を側壁として有する複数の離散領域を形成する工程と、
前記炭化珪素基板上にホモエピタキシャル成長する工程と、を有し、
前記ホモエピタキシャル成長する工程は、以下に示す(2)式を満たすように成長させる工程を備えること
を特徴とする炭化珪素基板の製造方法である。
rg[001]×tan35.3°−rg[110]>0 ・ ・ ・(2)
なお、rg[001]は、[001]方向の結晶成長速度であり、rg[110]は、[110]方向の結晶成長速度を表す。
前記炭化珪素基板上にホモエピタキシャル成長する工程の後、前記複数の離散領域同士の上端を横方向成長させて互いに連結させる工程を備えること
を特徴とする上記第11の態様に記載の炭化珪素基板の製造方法である。
本発明の炭化珪素基板は、実質的に単結晶炭化珪素からなる。「実質的に」とは、基板内部に不整合界面を隔てて内包領域を有すること、および基板内部に欠陥を有することから、完全な単結晶炭化珪素ではないことを意味するものである。本発明の炭化珪素基板は、内部に積層欠陥と内包領域を含有するが、基板全体に対して内包領域や欠陥の割合は非常に少なく、実質的には単結晶炭化珪素である。
また、内包領域13は、珪素、炭素、窒素、水素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノンのうち少なくとも1つを含んでいたり、空間(真空の場合も含む)となっていたりすればよい。言い換えれば、内包領域13は、単結晶(基板自体の結晶性と配向が異なるため不整合界面を有する場合)、多結晶、またはアモルファスの炭化珪素、炭化珪素以外の材料、もしくは空間により形成されている。また、内包領域13が分布している層は、主表面12と略平行であり、内包領域13の側壁(内包領域を構成する壁面のうち、主表面と略平行でない壁面)は、{110}面に略平行である。
<第1実施形態>
以下に、本発明の第1実施形態に係る炭化珪素基板について説明する。
(I)離散領域の形成
(II)ホモエピタキシャル成長による積層欠陥密度の低減
(III)離散領域同士の連結による低積層欠陥領域の拡大
以下、(I)〜(III)について詳細に説明をする。
まず、図12に示すように、3C−SiCである立方晶炭化珪素基板(以下、単にSiC基板200とも呼ぶ。)の(001)面上に{110}面の側壁を持つ、突起形状(以下、離散領域210と呼ぶ。)を形成する。この離散領域210は、俗にいうライン&スペースであってもよいし、単なる凹凸などであってもよい。条件としては、上述したように、{110}面の側壁を持つことが極めて好ましい。このような、離散領域210は、SiC基板200上の一部にマスクを施して、SiC基板自体をエッチングして形成することもできるし、後述する第2実施形態のようにSiC基板200の表面の一部にマスクを施して、マスク以外の部分にSiCを成膜して形成しても良い。
この方法で形成された離散領域の形状として、ライン&スペースを採用している。サイズは、それぞれ、ライン幅WL=5μm、スペース幅WS=20μm、ライン高さd=15〜20μmとした。
図14に示す離散領域は、ラインを[−110]方向に平行に形成することで、その側壁を(110)面及び(−1−10)面とした。このように形成した離散領域に対しては、3C−SiC中に存在する2種類の積層欠陥のうち基板表面にカーボン面を露出する積層欠陥(以下、C−SFと呼ぶ。)に対して、後述する積層欠陥密度の低減機構が働くことになる。
離散領域210を有するSiC基板200には、上述したように(001)面と54.7度の角度、言い換えれば{110}面と35.3°の角度をなす積層欠陥が残留することになる。このように残留した積層欠陥は、機構M1と機構M2との2つの機構によりその密度を大幅に低減することができる。
まず、機構M1について説明をする。図13に示すようにSiC基板200に対して更に炭化珪素をホモエピタキシャル成長させると、もともとSiC基板200内に存在していた積層欠陥SF1も新たな炭化珪素内に伝搬することになる。しかしながら図13の点線201までホモエピタキシャル成長に伴い積層欠陥SF1が成長すると、同じくホモエピタキシャル成長した成長中離散領域211の側壁に阻まれて、その領域内部への侵入を阻止されることになる。このような積層欠陥密度の低減手法を機構M1と呼ぶ。なお、後述する第2実施形態のようにSiC基板200の表面の一部にマスクを施した後にSiCをホモエピタキシャル成長させる場合には、マスクの存在によりSF1の領域内部への侵入が阻止されることになる。
次に、機構M2について説明をする。図13に示すようにSiC基板200をホモエピタキシャル成長させると、もともとSiC基板200内に存在していた積層欠陥SF2も新たな炭化珪素内に伝搬することになる。これは、離散領域210内についても変わらず同じである。積層欠陥SF2は、図13に示すように欠陥がSiC基板200の表面に露出した状態となっている。
まず、図13に示すように、ファーストステップとして、点線201まで、つまり成長中離散領域211までホモエピタキシャル成長させたとする。しかしながら、この状態においても積層欠陥SF2は、成長中離散領域211の表面に露出した状態となっている。
次に、セカンドステップとして、実線202まで、つまり成長後離散領域212までホモエピタキシャル成長させると、今まで成長中離散領域211の表面に露出していた積層欠陥SF2が、成長後離散領域212の側壁へと到達し内包領域へとぶつかるため、これ以上の欠陥成長が阻止される。このような積層欠陥密度の低減手法を機構M2と呼ぶ。
rg[001]×tan35.3°−rg[110]>0 ・ ・ ・(2)
上記を満たすような結晶成長速度比のコントロールは、成長温度、材料ガスの供給比、成長圧力を調整することにより達成される。
このような機構M1、機構M2による積層欠陥密度の低減によりSiC基板200をホモエピタキシャル成長させた後の基板表面の積層欠陥は大幅に低減された良好なものとなり低積層欠陥密度領域が形成されることになる。
t[001]×tan35.3°−Δt[110]>WL ・ ・ ・(3)
さらに、実際には離散領域は単体で形成されているわけではなく、複数の離散領域がある間隔で配列している。そのため、隣り合う別の離散領域の存在を考慮する必要がある。積層欠陥密度低減機構に不可欠な「領域の離散性(Isolation)」を維持するために、ここでは、「隣接する側壁同士が会合する前に、1つの離散領域上の積層欠陥を側壁に排出させる」という条件を加える。そのため、離散領域間の間隔をWSとすると、(3)式には以下に示す(4)式の制限が加わる。
・ ・ ・(4)
・ ・ ・(5)
このような炭化珪素の成長は、後述する第2実施形態の表2で示す成長条件にて、原料供給比や成膜温度を変化させて結晶成長方向を制御することで実現することができる。
次に、(II)で説明したように離散領域内の全ての積層欠陥を側壁へと排出することで図15に示す低積層欠陥密度のアレイが形成されている状態から、図16に示すように離散領域同士を連結することで低積層欠陥密度領域を拡大させる。なお、図16は、離散領域同士を横方向成長させて連結させた状態を模式的に示した図である。
離散領域同士の連結を行うには、積層欠陥が排出された側壁をそのままの状態で維持しながら離散領域同士を連結することが重要である。例えば、積層欠陥が排出された側壁をそのままの状態で維持することなく連結させてしまった場合、側壁がなくなったことにより、(II)において一旦、排出させた積層欠陥が結晶内を再び伝搬してしまうことになる。このような状態で連結させると基板表面にまで積層欠陥が到達してしまうことになり、本来の目的を逸脱してしまう。
離散領域の上端を横方向に成長させるには、後述する第2実施形態の表3で示す成長条件にて、原料供給比や成膜温度を変化させて結晶成長方向を制御することで実現することができる。
上述した(I)〜(III)にて説明したように、第1実施形態において形成される炭化珪素基板は、例えば、ライン&スペースの離散領域の状態から炭化珪素を成長させながら積層欠陥を排出する機構により最終的な基板となっている。そこで、この第一実施形態を例に、最終的に得られる炭化珪素基板を成長させる前の離散領域を規定するパラメータを用いつつ、炭化珪素基板における内包領域13、積層欠陥の関係を規定した関係式から(1)式が帰納されることを以下に示す。なお、以下、説明のため成長前の離散領域を形成した基板は、ライン(以下、離散領域とも呼ぶ。)&スペースとして説明をするが、図12に示したSiC基板200のような状態であれば、(I)で説明したようにどのような基板であってもよい。
まず、上述した図12に基づき成長前の離散領域を離散領域210とする。次に、図21に示すように、成長前の基板における各パラメータと成長後に形成されることになる内包領域13に関係する各パラメータを以下に示すように規定する。
L:成長前の離散領域幅
C:成長前のスペース幅
h:成長前の離散領域の高さ
なお、内包領域の側壁と積層欠陥とのなす角度をθとする場合、ライン(離散領域)から伝搬してくる積層欠陥の場合は、h≧C/tanθである。ここで、積層欠陥が{111}面に平行、内包領域の側壁が{110}の場合、θは35.3°である。
H:内包領域の高さ
S:内包領域の幅
H={L+(C−S)/2}/tanθ+{h−(C+S)/2/tanθ}
=(L−S)/tanθ+h≧(L+C−S)/tanθ ・ ・ ・(6)
となる。
この(6)式においてL+Cは、隣り合う内包領域13の中心間距離Pであるため、以下に示す(7)式のように変換することができる。
H≧(P−S)/tanθ ・ ・ ・(7)
上述した(a)と同様、図12に基づき成長前の離散領域を離散領域210とする。次に、図22に示すように、成長前の基板における各パラメータと内包領域13に関係する各パラメータを以下に示すように規定する。
L:成長前の離散領域幅
C:成長前のスペース幅
h:成長前の離散領域の高さ
なお、内包領域の側壁と積層欠陥とのなす角度をθとする場合、ライン(離散領域)から伝搬してくる積層欠陥の場合は、h<C/tanθである。ここで、積層欠陥が{111}面に平行、内包領域の側壁が{110}の場合、θは35.3°である。
H:内包領域の高さ
S:内包領域の幅
H={L+C+(C−S)/2}/tanθ−(C+S)/2/tanθ
=(L+C−S)/tanθ ・ ・ ・(8)
となる。
この(8)式においてL+Cは、隣り合う内包領域13の中心間距離Pであるため、上述した(7)式を満たすことになる。
H≧(P−S)/tanθ ・ ・ ・ (7)
このようにして導出された(7)式において、隣り合う内包領域13の中心間距離Pと内包領域の幅Sの差P−Sは、(1)式における隣り合う内包領域の幅Wに他ならず、上述した(1)式を満たす。
第1実施形態においては、(I)〜(III)において説明した製造手順を実行することで、内部に炭化珪素との界面に不整合界面を形成する内包領域を有する。これにより、不整合界面にて、炭化珪素内の積層欠陥の伝搬を遮断することができるため、炭化珪素基板の表面を低積層欠陥密度とすることができる。これにより、半導体デバイス用基板として好ましい炭化珪素基板となる。
また、{0001}面を主表面とした六方晶炭化珪素を用いる場合には、内包領域の側壁を{11−20}面または{−1100}面と平行にする。この場合、積層欠陥が伝播する最稠密面は(0001)面であり、積層欠陥は主表面と30〜60度の角度で交わるので、本実施形態における上述の各工程を実施することで、本実施形態と同様の効果を得ることができる。
以下に、本発明の第2実施形態に係る炭化珪素基板について説明する。
以下に、本発明の第3実施形態に係る炭化珪素基板について説明する。
また、上述した各実施形態における構成要素は適宜、既存の構成要素などとの置き換えが可能であり、また、他の既存の構成要素との組み合わせを含む様々なバリエーションが可能である。したがって、上述した各実施形態の記載をもって、特許請求の範囲に記載された発明の内容を限定するものではない。
11;立方晶炭化珪素
12;主表面
13;内包領域
14;積層欠陥
Claims (12)
- 少なくとも内部に積層欠陥を有する炭化珪素基板において、
前記基板の内部に前記炭化珪素との界面に不整合界面を形成する内包領域を有し、
前記不整合界面において、炭化珪素内の積層欠陥の伝搬が遮断されていること
を特徴とする炭化珪素基板。 - 前記内包領域は、珪素、炭素、窒素、水素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノンのうち少なくとも1つを含んでいること
を特徴とする請求項1記載の炭化珪素基板。 - 前記内包領域は、空間であることを特徴とする請求項1記載の炭化珪素基板。
- 当該炭化珪素基板は、略平行かつ異なる積層欠陥密度を有する二つの平面を有し、
前記炭化珪素と内包領域との不整合界面において、前記平面のうち積層欠陥密度の高い面側から積層欠陥密度の低い面への積層欠陥の伝搬が遮断されていること
を特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の炭化珪素基板。 - 前記内包領域は、当該炭化珪素基板の厚さ方向と平行な方向である高さをHとした場合に、幅S、互いに隣り合う内包領域との中心間距離をP、積層欠陥と前記不整合界面とのなす角をθとすると、
H≧(P−S)/tanθを満たすこと
を特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の炭化珪素基板。 - 少なくとも内部に積層欠陥を有し、かつ、少なくとも1つ以上の主表面を有する炭化珪素基板であって、
内部に複数の内包領域を備え、
前記複数の内包領域は、前記主表面の1つにほぼ平行に分布し、
前記積層欠陥が、前記内包領域との界面である側壁で伝搬が遮断されており、
前記内包領域は、当該炭化珪素基板の厚さ方向と平行な方向である高さをHとした場合に、幅S、互いに隣り合う内包領域との中心間距離をP、積層欠陥と前記側壁とのなす角をθとすると、
H≧(P−S)/tanθを満たすこと
を特徴とする炭化珪素基板。 - 前記炭化珪素基板は、立方晶炭化珪素であり、主表面が{001}面であり、
前記不整合界面が、{110}面に平行であること
を特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の炭化珪素基板。 - 前記炭化珪素基板は、立方晶炭化珪素であり、主表面が{111}面であり、
前記不整合界面が、{111}面、{110}面、{211}面のいずれかに平行であること
を特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の炭化珪素基板。 - 前記炭化珪素基板は、六方晶炭化珪素であり、主表面が{0001}面であり、
前記不整合界面が、{11−20}面または{―1100}面に平行であること
を特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の炭化珪素基板。 - 請求項1〜9いずれか1項に記載の炭化珪素基板を用いて形成された半導体素子であって、
前記炭化珪素基板表面には、前記炭化珪素基板を形成する炭化珪素と同一結晶構造の炭化珪素層が形成され、
前記炭化珪素層には、内部電界が形成されることを特徴とする半導体素子。 - (001)面を表面とする炭化珪素基板に{110}面を側壁として有する複数の離散領域を形成する工程と、
前記炭化珪素基板上にホモエピタキシャル成長する工程と、を有し、
前記ホモエピタキシャル成長する工程は、以下に示す(2)式を満たすように成長させる工程を備えること
を特徴とする炭化珪素基板の製造方法。
rg[001]×tan35.3°−rg[110]>0 ・ ・ ・(2)
なお、rg[001]は、[001]方向の結晶成長速度であり、rg[110]は、[110]方向の結晶成長速度である。 - 前記炭化珪素基板上にホモエピタキシャル成長する工程の後、前記複数の離散領域同士の上端を横方向成長させて互いに連結させる工程を備えること
を特徴とする請求項11記載の炭化珪素基板の製造方法。
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