JP2003068654A

JP2003068654A - 化合物単結晶の製造方法

Info

Publication number: JP2003068654A
Application number: JP2001256282A
Authority: JP
Inventors: Takamitsu Kawahara; 孝光河原; Hiroyuki Nagasawa; 弘幸長澤; Kuniaki Yagi; 邦明八木
Original assignee: Hoya Corp
Current assignee: Hoya Corp
Priority date: 2001-08-27
Filing date: 2001-08-27
Publication date: 2003-03-07
Also published as: EP1288346A2; KR100918766B1; EP1288346A3; KR20030019150A; US20030047129A1; US6736894B2

Abstract

(57)【要約】【課題】炭化珪素や窒化ガリウムなどの化合物半導体単
結晶を、エピタキシャル成長法を利用して製造する方法
であって、面欠陥密度がより低い化合物単結晶を得るこ
とができる方法を提供すること。【解決手段】単結晶基板の表面にこの基板と同一または
異なる化合物単結晶層の２層以上を順次エピタキシャル
成長させる化合物単結晶の製造方法。前記基板表面の少
なくとも一部が一方向に延在する複数の起伏を有し、か
つ2回目以降のエピタキシャル成長は、直前に形成され
た化合物単結晶層の表面の少なくとも一部に一方向に延
在する複数の起伏を形成した後に行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子材料として有
用な炭化珪素単結晶を含む化合物単結晶の製造方法に関
する。特に本発明は、半導体装置を作製する上で好まし
い低欠陥密度、または結晶格子歪みの少ない炭化珪素単
結晶を含む化合物単結晶(例えば、半導体)の製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、炭化珪素の成長は、昇華法による
バルク成長と、基板上へのエピタキシャル成長による薄
膜形成とに分類されてきた。昇華法によるバルク成長で
は、高温相の結晶多形である六方晶（６Ｈ、４Ｈ等）炭
化珪素の成長が可能であり、かつ、炭化珪素自体の基板
作製が実現されてきた。しかしながら、結晶内に導入さ
れる欠陥（特にマイクロパイプ）が極めて多く、かつ、
基板面積の拡大が困難であった。これに対し、単結晶基
板上へのエピタキシャル成長法を用いると、不純物添加
の制御性向上や基板面積の拡大、そして昇華法で問題と
なっていたマイクロパイプの低減が実現される。しかし
ながら、エピタキシャル成長法では、しばしば基板材料
と炭化珪素の格子常数の違いによる積層欠陥密度の増大
が問題となっていた。特に、被成長基板として一般に用
いられている珪素は、炭化珪素との格子不整合が大きい
ことから、炭化珪素成長層内における双晶（Ｔｗｉｎ）
や反位相領域境界面（ＡＰＢ：anti phase boundary）
の発生が著しく、これらがリーク電流などの原因のひと
つとなり炭化珪素の電子素子としての特性を損なわせて
きた。

【０００３】効果的に反位相領域境界面を低減する方法
として、K.Shibaharaらにより、表面法線軸を＜００１
＞方向から＜１１０＞方向に僅かに傾けた（オフ角を導
入した）珪素（００１）表面基板（図３参照）上への成
長法が提案された。（アプライドフィジクスレター５
０巻、１９８７年、１８８８頁）。この方法では、基板
に微傾斜をつけることで、原子レベルのステップが一方
向に等間隔で導入されるため、気相成長法ではステップ
フローによるエピタキシャル成長がもたらされ、導入さ
れたステップに垂直な方向（ステップを横切る方向）へ
の面欠陥の伝搬を抑制する効果がある。このため、炭化
珪素の膜厚増加に対して、膜中に含まれる二種類の反位
相領域の内、導入されたステップに平行な方向へ拡大す
る反位相領域が、直交する方向へ拡大する反位相領域に
比べて優先的に拡大するため、反位相領域境界面を効果
的に低減することができる。しかしながら、図４に示す
ように、この方法は炭化珪素／珪素基板界面のステップ
密度の増加により、不本意な反位相領域境界面１および
双晶の生成を引き起こしてしまい、反位相領域境界面の
完全解消には至らないという問題がある。なお、図４に
おいて、１は珪素基板の単原子ステップにて発生した反
位相領域境界面、２は反位相領域境界面会合点、３は珪
素基板表面テラスにて発生した反位相領域境界面、θは
オフ角度、φはSi（００１）面と反位相領域境界面のな
す角（５４．７°）を示している。珪素基板表面テラス
にて発生した反位相領域境界面３は反位相領域境界面会
合点２で消滅するが、珪素基板の単原子ステップにて発
生した反位相領域境界面１は会合相手がなく、消滅しな
い。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような炭化珪素内
の面欠陥（Ｔｗｉｎ、ＡＰＢ）を低減する方法として、
本出願人は、珪素基板表面に一方向に平行に延在する起
伏を具備し、起伏加工を施された基板上に炭化珪素のエ
ピタキシャル成長を実施することで、炭化珪素内に伝搬
する面欠陥を解消する技術を提案した（特願2000-36544
3、特願平11-288844）。起伏形状を珪素基板上に具備し
た効果とは、図５のようにオフ斜面が互いに対向して珪
素基板上に配置しているため、向かい合う面欠陥同士が
図６のように互いに会合し、消滅し合うものである。

【０００５】この方法により、面欠陥は大幅に解消され
た炭化珪素が得られるようになった。しかしながら、対
向する面欠陥が会合し、消滅する際、会合するどちらか
一方の面欠陥は残留し、伝搬を続けることになる。現実
的な珪素基板上の起伏形状と炭化珪素の板厚、例えば起
伏間隔２μｍで炭化珪素の板厚が２００μｍでは、残留
する面欠陥密度は単純計算（ひとつの起伏からひとつの
面欠陥が残留し伝搬すると仮定した場合）で最小約３０
本／ｃｍということになる。これらが完全解消するため
には、炭化珪素の口径を１．４１倍した板厚が必要とな
り（一番端の面欠陥が伝搬し終える箇所が成長表面では
なくなるまでの厚さ）、気相成長法などを用いる場合に
は成長時間がかかりすぎ、非現実的な厚さとなってしま
う。

【０００６】また、炭化珪素以外に窒化ガリウムなどの
化合物半導体は、青色LEDやパワーデバイス用材料とし
て期待されている。近年、窒化ガリウムを炭化珪素基板
上に成長させる報告事例が多い。それは、炭化珪素を窒
化ガリウム成長用下地基板として用いることで、電極を
形成しやすい、放熱が行いやすい、結晶の劈開方向が同
じであるためハンドリングや加工が行いやすいなどの利
点があるからである。しかし、大面積で高品質な炭化珪
素基板を得る事が難しく、また、比較的格子定数の差が
小さい炭化珪素と言えども界面の格子不整合により窒化
ガリウム成長層に面欠陥が伝搬してしまうことが課題と
なっている。珪素基板上の炭化珪素成長と同様に、欠陥
を解消する対策を検討しなくてはならない。

【０００７】そこで本発明の目的は、炭化珪素や窒化ガ
リウムなどの化合物半導体単結晶を、エピタキシャル成
長法を利用して製造する方法であって、面欠陥密度がよ
り低い化合物単結晶を得ることができる方法を提供する
ことにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は以下の通りである。 (１)単結晶基板の表面にこの基板と同一または異なる化
合物単結晶層の２層以上を順次エピタキシャル成長させ
る化合物単結晶の製造方法であって、前記基板表面の少
なくとも一部が一方向に延在する複数の起伏を有し、か
つ2回目以降のエピタキシャル成長は、直前に形成され
た化合物単結晶層の表面の少なくとも一部に一方向に延
在する複数の起伏を形成した後に行うことを特徴とする
方法。 (２)化合物単結晶層が単結晶基板と異なる化合物単結晶
であり、化合物単結晶層を構成する化合物単結晶と単結
晶基板を構成する単結晶とは、相似形の空間格子を有す
る(１)に記載の製造方法。 (３)単結晶基板表面に延在する複数の起伏の方向と、該
基板表面に形成された化合物単結晶層の表面に設けられ
る複数の起伏の延在方向は同一または直交する(１)また
は(２)に記載の製造方法。 (４)成長方向に隣接して設けられる化合物単結晶層の表
面に設けられる複数の起伏の延在方向は同一または直交
する(１)〜(３)のいずれかに記載の製造方法。 (５)単結晶基板が単結晶ＳｉＣである(１)〜(４)のいず
れかに記載の製造方法。 (６)化合物単結晶層が単結晶ＳｉＣであるか、または窒
化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化アルミガリウムで
ある(１)〜(５)のいずれかに記載の製造方法。 (７)単結晶ＳｉＣ基板が、基底面が（００１）面である
立方晶ＳｉＣであまか、または基底面が（１１−２０）
面若しくは（１１００）面である六方晶ＳｉＣである
(１)〜(６)のいずれかに記載の製造方法。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の化合物単結晶の製造方法
では、単結晶基板の表面にこの基板と同一または異なる
化合物単結晶層の２層以上を順次エピタキシャル成長さ
せる。そして、単結晶基板としては、基板表面の少なく
とも一部に一方向に延在する複数の起伏を設けたもの
(以下、起伏加工単結晶基板ということがある)を使用す
ること、2回目以降のエピタキシャル成長は、直前に形
成された化合物単結晶層の表面の少なくとも一部に一方
向に延在する複数の起伏を形成した後に行うことを特徴
とする。

【００１０】起伏加工単結晶基板の表面に単結晶を積層
していくと、徐々に起伏の高低差が淘汰され、単結晶層
の厚さ数十μｍ程度で平滑な鏡面が得られる。したがっ
て、膜厚がそれ以上になると、ステップ密度が低いため
に二次元核発生による成長がもたらされる。もしも界面
から伝搬する伝搬性面欠陥が残留していた場合は、その
まま対向する面欠陥と会合するまで成長表面へ伝搬し続
ける。

【００１１】本発明の製造方法では、起伏加工単結晶基
板の表面に単結晶層をエピタキシャル成長により形成
し、さらにこの単結晶層表面に再度起伏加工を施す。こ
れにより、単結晶層の基底面上に現れていた極性面が一
旦排除され、新たに形成された起伏のオフ斜面効果によ
るステップフロー成長がもたらされる。そして、ステッ
プからテラス幅方向への成長が支配的になり、界面から
の面欠陥の伝搬を抑制する効果が得られる。その結果、
起伏加工を施した単結晶基板の表面に単結晶層を形成す
る方法に比べて、面欠陥を低減することができる。起伏
加工を施した単結晶基板の表面に単結晶層を形成する方
法では、面欠陥同士が自然に会合して解消するのを待た
なくてはならなかったが、本発明の製造方法では、従来
の方法と比べて早期の段階で欠陥を解消することができ
る。

【００１２】単結晶基板用単結晶としては、例えば、単
結晶ＳｉＣを挙げることができ、さらに、具体的には、
単結晶ＳｉＣ基板は、基底面が（００１）面である立方
晶ＳｉＣであるか、または基底面が（１１−２０）面若
しくは（１１００）面である六方晶ＳｉＣであることが
できる。上記以外の単結晶基板としては、例えば、単結
晶Ｓｉ基板を挙げることができる。

【００１３】化合物単結晶層を構成する結晶としては、
例えば、ＳｉＣや窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒
化アルミガリウム、窒化インジウムガリウム等を挙げる
ことができる。

【００１４】本発明の化合物単結晶の製造方法は、単結
晶基板と同一または異なる化合物単結晶層の製造方法で
あるが、化合物単結晶層が単結晶基板と異なる化合物単
結晶である場合には、化合物単結晶層を構成する化合物
単結晶と単結晶基板を構成する単結晶とが相似形の空間
格子を有する場合に特に有効である。２つの単結晶が相
似形の空間格子を有するとは、結晶の構成単位（基本単
位構造）の原子の位置関係が相似であり、かつ原子間の
結合方位も一致しており、同一の結晶軸方向に成長する
（エピタキシャル成長）するという意味である。また、
相似形の空間格子を有する2つの単結晶としては、例え
ば、立方晶ＧａＮ／立方晶ＳｉＣ、六方晶ＧａＮ／六方
晶ＳｉＣ、六方晶ＡｌＮ／六方晶ＳｉＣ、六方晶ＡｌＧ
ａＮ／六方晶ＳｉＣ、立方晶ＡｌＮ／立方晶ＳｉＣ、六
方晶（４Ｈ）ＳｉＣ／六方晶（６Ｈ）ＳｉＣ等を挙げる
ことができる。

【００１５】単結晶基板の表面に施される起伏加工及び
単結晶層表面に施される起伏加工について説明する。単
結晶基板の表面に施される起伏及び単結晶層表面に施さ
れる起伏は、一方向に延在する複数の起伏であり、単結
晶層中の反位相領域境界面等の面欠陥を低減又は解消し
うるものであれば特に制限はなく、より具体的には、各
起伏の斜面においてK.Shibaharaらにより示されたオフ
角の導入効果を得ることができる起伏である。但し、本
発明でいう起伏は、数学的に厳密な意味での平行性や鏡
面対称関係を要求されるわけではなく、面欠陥を効果的
に低減又は解消しうるのに十分な程度の形態を有してい
ればよい。

【００１６】例えば、前記起伏は中心線平均粗さが３〜
１０００ｎｍの範囲にあり、この起伏の斜面の斜度は、
成長基板表面と、発生するツインバンド等の面欠陥とが
なす角度より小さい角度であることができる。例えば、
立方晶の結晶層では解消したい欠陥の面である｛１１
１｝面と成長面（水平な面）である（００１）面のなす
角、即ち、５４．７°以下の傾き、好ましくは１°から
５４．７°の範囲の傾きを有しているものであることが
できる（図７参照）。また、六方晶の場合、例えば、成
長面（０００１）に対して、｛１−１０１｝のなす角度
より小さい角度（角度は結晶の格子定数によって異な
る）であることができる。また、Ｍ面（０１−１０）や
Ｒ面（１−１０２）に対してはＣ軸（０００１）となす
角以下の角度であることができる。成長面と発生する面
欠陥の例をいくつか挙げたが、これらはあくまでも例で
あり、斜度は上記に限られない。成長面と発生する面欠
陥がなす角度より小さい斜度を有する起伏であれば、起
伏の効果は得られる。即ち、対向する斜面から発生する
面欠陥が対向した面欠陥同士衝突し、解消し得るに十分
な角度であれば良い。

【００１７】さらに前記起伏は、起伏が延在する方向と
直交する断面において、斜面同士が隣接する部分の形状
が曲線状であることができる。ここでいう起伏は、山部
と谷部の繰り返しにより形成され、所謂原子ステップ
（atomic steps）ではなく、後述のように、原子ステッ
プよりマクロな寸法を有するものである。そのような起
伏は、例えば、中心線平均粗さが３〜１０００ｎｍの範
囲にある起伏であり、上記山部は、基底面に対して、例
えば、立方晶の場合、上述のように、1〜54.7°の傾き
を持った斜面を有しているものであることができる。中
心線平均粗さが３ｎｍ以上であれば効果的なオフ角が得
られ易く、面欠陥の発生密度が低くなる。また、中心線
平均粗さが１０００ｎｍ以下であれば、面欠陥同士が衝
突し解消する確率が高くなる。中心線平均粗さは１０ｎ
ｍ以上であること、及び１００ｎｍ以下であることが望
ましい。

【００１８】尚、基板表面の中心線平均粗さは、B0601-
1982(JISハンドブック1990)で定義される中心線平均粗
さ(Ra)であり、粗さ曲線からその中心線の方向に測定長
さＬの部分を抜き取り、この抜き取り部分の中心線をX
軸、縦倍率の方向をY軸とし、粗さ曲線をy=f(x)で表し
たとき、次式で表される値を(μm)で表したものをい
う。

【００１９】

【数１】Ｒａ＝（１／Ｌ）∫¹ ₀│f(x)│dx

【００２０】尚、上記JIS B0601-1982での定義では、中
心線平均粗さの単位はμmであるが、本発明ではナノメ
ーター(nm)を使用する。また、中心線平均粗さ(Ra)を求
めるための粗さ曲線は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を用
いて測定される。

【００２１】さらに、上記起伏の斜面の斜度は１°以
上、及び５４．７°以下の範囲内であることが好まし
い。本発明の方法では、被成長基板または単結晶層表面
における原子レベルのステップ近傍での炭化珪素等の化
合物単結晶の成長を促進することにより、その効果が発
揮されることから、起伏の斜度は、斜面全面が単一ステ
ップに覆われる（１１１）面の斜度５４．７°以下の傾
斜において本発明が実現される。また、１°未満の斜度
においては起伏斜面のステップ密度が著しく減少するた
め、起伏の斜面の傾斜は１°以上である。さらに、起伏
の斜面の傾斜角は２°以上であること、及び１０°以下
であることが好ましい。なお、本発明において「起伏の
斜面」は、平面、曲面などのあらゆる形態を含む。ま
た、本発明において「起伏の斜面の斜度」は、本発明の
効果に寄与する実質的な斜面の斜度を意味し、斜面の平
均斜度を意味する。平均斜度とは、基板表面または単結
晶層表面の結晶方位面と斜面の交わる角度（評価領域の
平均値）を意味する。

【００２２】さらに、上記起伏が延在する方向と直交す
る断面において、基板または単結晶層表面に存在する斜
面同士が隣接する部分の形状が曲線状であることが好ま
しい。斜面同士が隣接する部分とは、表面に延在する起
伏の溝の部分と尾根の部分であり、溝の底の部分も尾根
の頂上も断面の形状が曲線状である。起伏が延在する方
向と直交する断面における起伏の断面形状は、波長及び
波高は一定である必要はないが、1種の正弦波のような
形状を有する。このように溝の底の部分も尾根の頂上も
断面の形状が曲線状であることで、面欠陥密度を低減す
ることが可能である。

【００２３】上記のように、基板表面及び単結晶層表面
に複数の起伏を具備させることにより、各起伏の斜面に
おいてK.Shibaharaらにより示されたオフ角の導入効果
を得ることが可能となる。起伏頂部の間隔は、基板及単
結晶層への起伏作製における微細加工技術の限度の観点
からは０．０１μｍ以上が好ましい。また、起伏頂部の
間隔が１０００μｍを超えると反位相領域境界面どうし
の会合の頻度が極端に低下するため、起伏頂部の間隔は
１０００μｍ以下であることが望ましい。さらに、本発
明の効果が十分に発揮されるという観点から望ましい起
伏頂部の間隔は、０．１μｍ以上であり、１００μｍ以
下である。

【００２４】起伏の高低差及び間隔は起伏の傾斜度、つ
まりステップ密度を左右する。好ましいステップ密度は
結晶成長条件によって変化するため一概には言えない
が、通常必要な起伏高低差は起伏頂部間隔と同程度、つ
まり０．０１μｍ以上２０μｍ以下である。各起伏は、
基底面に対し90°より小さい勾配を持った斜面が互いに
対向するようにして形成されており、かつ基底面に対す
る表面の傾斜角を全表面にわたり積分した場合、その値
が実質的に0°になるような形状に形成されているのが
好ましい。

【００２５】本発明では、上記のような基板及び単結晶
層全体、又は基板及び単結晶層の一部の領域（但し、こ
の領域は前記複数の起伏を有する）を、一つの成長域と
して、その上に、化合物単結晶膜を連続的に形成させ
る。基板及び単結晶層にこのような形状の起伏を設ける
ことにより、まず基板上への単結晶層の成長に従って、
斜面に存在するステップから発生し、成長する反位相領
域境界面を前記複数の起伏間で互いに会合させることが
可能であり、さらには、単結晶層に起伏を導入すること
で基底面上に現れていた極性面が一旦排除され、新たに
形成された起伏のオフ斜面効果によるステップフロー成
長がもたらされる。そのため、反位相領域境界面を効果
的に消滅させて取り除くことが出来、欠陥の少ない化合
物単結晶を得ることができる。

【００２６】成長基板表面（例えば立方晶炭化珪素（０
０１）面）にオフ斜面を形成する方法は、オフにカット
する方法が考えられるが、例えば最もオフの効果が得ら
れる４°というオフ斜面を得るためには、６インチφの
基板では最低でも板厚１０．５mm以上必要となる（１
０．５ｍｍの板厚が得られないと４°にカットしても６
インチ面の領域を得ることができない）。実際にはカッ
トする際に取りしろが必要になるため、12〜20 mm厚必
要となろう。しかしながら、起伏加工を施すことで、数
μｍ厚の3C-SiC表面に対向するオフ斜面を形成すること
が可能となり、ステップフローモードでのエピタキシャ
ル成長を導入できる。

【００２７】基板及び単結晶層の表面に上記のような形
状を有する起伏を形成するには、例えば、光リソグラフ
ィ技術、プレス加工技術、レーザー加工や超音波加工技
術、研磨加工技術などを用いることができる。何れの方
法を用いる場合でも、被成長基板表面及び単結晶層の最
終形態が、反位相領域境面を効果的に低減または解消し
得るのに十分な程度の形態を有していれば良い。

【００２８】光リソグラフィ技術を用いれば、基板又は
単結晶層に転写するマスクパターンを任意に形成するこ
とで、任意の起伏形状を被成長基板又は単結晶層に転写
することが可能である。パターンの、例えば線幅を変え
ることで起伏形状の幅を制御することが可能であり、ま
た、レジストと基板又は単結晶層のエッチング選択比を
制御することで起伏形状の深さや斜面の角度を制御する
ことが可能である。基板又は単結晶層表面の起伏が延在
する方向と直交する断面において、斜面同士が隣接する
部分の形状が曲線状である基板を形成する場合には、レ
ジストにパターン転写した後、熱処理によりレジストを
軟化させることで、断面曲線状（波状形状）の起伏パタ
ーンを形成することが可能である。

【００２９】プレス加工技術を用いれば、プレス用の型
を任意に形成することで、被成長基板又は単結晶層上に
任意の起伏形状を形成することが可能である。様々な形
状の型を形成することで、様々な形状の起伏形状を被成
長基板上に形成できる。

【００３０】レーザー加工や超音波加工技術を用いれ
ば、基板又は単結晶層に直接起伏形状を加工形成するの
でより微細な加工が可能である。研磨加工を用いれば、
研磨の砥粒径の大きさや加工圧力を変化することで、起
伏形状の幅や深さを制御することが可能である。一方向
起伏形状を設けた基板又は単結晶層を作製しようとする
場合には、研磨は一方向のみに行われる。

【００３１】ドライエッチング加工を用いれば、エッチ
ングの条件とエッチング用マスクの形状を変化させるこ
とで、起伏形状の幅や深さを制御する事が可能である。
基板又は単結晶層表面の起伏が延在する方向と直交する
断面において、斜面同士が隣接する部分の形状が曲線状
である基板を形成する場合は、エッチングマスクを被パ
ターン転写基板から離して配置することにより、マスク
と基板又は単結晶層の間でエッチングが拡散して行われ
るために、曲線状断面を有する波状のパターンを転写さ
せることができる。また、マスクの窓の断面が被パター
ン転写基板側に末広がりの形の台形を有しているマスク
でもよい。

【００３２】本発明の製造方法においては、単結晶層表
面への起伏の形成と、起伏を形成した単結晶層上への、
新たな単結晶層の形成を少なくとも1回行う。単結晶層
表面への起伏の形成と新たな単結晶層の形成とは、2回
以上繰り返し行うこともでき、例えば、2〜10回の範囲
で行うことができる。ただし、必要により10回を超える
回数行うこともできる。

【００３３】本発明の製造方法においては、単結晶基板
表面に延在する複数の起伏の方向と、該基板表面に形成
された化合物単結晶層の表面に設けられる複数の起伏の
延在方向は、同一であっても、直交していてもよい。ま
た、ある単結晶層表面に延在する複数の起伏の方向と、
この単結晶層表面に形成された化合物単結晶層の表面に
設けられる複数の起伏の延在方向は、同一であっても、
直交していてもよい。Ｓｉ基板表面に延在する複数の起
伏の方向と、この基板表面に形成された化合物単結晶層
の表面に設けられる複数の起伏の延在方向が、同一であ
る場合を図１に示す。この方法では、でＳｉ基板表面
に延在する複数の起伏が形成され、で、この基板表面
に形成された化合物単結晶層が形成され、で、化合物
単結晶層の表面に設けられる複数の起伏が設けられ（こ
の起伏の延在方向は、Ｓｉ基板表面に延在する起伏の延
在方向と同一である）、で、さらに化合物単結晶層が
形成される。Ｓｉ基板表面に延在する複数の起伏の方向
と、この基板表面に形成された化合物単結晶層の表面に
設けられる複数の起伏の延在方向が、直交する場合を図
２に示す。この方法では、でＳｉ基板表面に延在する
複数の起伏が形成され、で、この基板表面に形成され
た化合物単結晶層が形成され、で、化合物単結晶層の
表面に設けられる複数の起伏が設けられ（この起伏の延
在方向は、Ｓｉ基板表面に延在する起伏の延在方向と直
交する）、で、さらに化合物単結晶層が形成される。

【００３４】例えば、第ｎ層目基板または単結晶層表面
に形成された起伏の方位と第n+1層目の単結晶層表面に
形成された起伏の方位が一致し、かつ第ｎ層目の結晶の
極性面と第n+1層目の結晶の同一極性を有する極性面が
同一方位に配向していると、第n層目の結晶層から第n+1
層目の層に欠陥が伝播してくるものを、ステップフロー
成長を積極的に実施させることにより、抑制することが
できるという効果がある。また、第ｎ層目の基板または
単結晶層表面に形成された起伏の方位と第ｎ＋１層目の
単結晶層表面に形成された起伏の方位を同一とし、第ｎ
＋１層目の単結晶層表面に形成された起伏の方位と第ｎ
＋２層目の単結晶層表面に形成された起伏の方位を直交
させること、あるいは第ｎ層目の基板または単結晶層表
面に形成された起伏の方位と第ｎ＋１層目の単結晶層表
面に形成された起伏の方位を直交させ、第ｎ＋１層目の
単結晶層表面に形成された起伏の方位と第ｎ＋２層目の
単結晶層表面に形成された起伏の方位を同一とすること
もできる。いずれの場合にも、形成されるステップやテ
ラスの向き、極性の向きが変わり、成長方向を強制的に
変化させることで、成長層への面欠陥伝搬を抑制する効
果があり、面欠陥の解消効果が大きくなり、より欠陥の
少ない結晶層を得ることができる。

【００３５】本発明の製造方法によれば、低欠陥密度の
炭化珪素を得ることができる。界面からの伝搬性面欠陥
が解消されたことによって、電気諸特性においてリーク
電流などの発生が少なくなり、半導体材料として実用す
ることが可能となる。さらに、本発明の製造方法によれ
ば低欠陥密度の炭化珪素上窒化ガリウムもしくは炭化珪
素上窒化アルミニウムの化合物結晶を得ることができ
る。さらに、本発明の製造方法によれば、六方晶の化合
物結晶を得ることが可能となる。つまり、低欠陥密度の
六方晶の炭化珪素、六方晶の窒化ガリウム、窒化アルミ
ニウムを得ることが可能となる。また、本発明の製造方
法によれば、面欠陥密度が１本／ｃｍ以下である高品質
な化合物結晶を得ることが可能となる。本発明により、
半導体材料として十分実用可能な化合物結晶を得ること
ができる。

【００３６】

【実施例】以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説
明する。実施例１直径６インチのSi（００１）基板表面に、＜１１０＞方
向に平行に研磨剤を擦りつける方法で、＜１１０＞方向
に平行な起伏形成基板を作製した。研磨剤としては、市
販されている約φ９μｍ径のダイヤモンドスラリー（エ
ンギス社製ハイプレス）と市販の研磨クロス（エンギス
M414）を用いた。クロスにダイヤモンドスラリーを一様
に浸透させ、パッド上にSi（００１）基板を置き、０．
２ｋｇ／ｃｍ²の圧力をSi（００１）基板全体に加えな
がら、＜１１０＞方向に平行にクロス上を約２０ｃｍ程
度の距離を約３００回往復させた（一方向研磨処理）。
Si（００１）基板表面には＜１１０＞方向に平行な研磨
傷（起伏）が無数に形成された。

【００３７】一方向研磨処理を施したSi（００１）基板
表面に研磨砥粒などが付着しているので、超音波洗浄機
で洗浄し、その後、過酸化水素水＋硫酸混合溶液（１：
１）、HF溶液にて洗浄した。洗浄した後、熱処理装置を
用いて表１に示す条件にて起伏加工処理基板上に熱酸化
膜を約１μｍ形成した。形成した熱酸化膜を、希フッ酸
により除去した。基板表面は、得たい起伏以外にも細か
いスパイク上の凹凸や欠陥が多く残存し、被成長基板と
しては用い難いかった。しかし、熱酸化膜を１μｍほど
形成して改めて酸化膜を除去することで、基板表面を約
２０００Åほどエッチングし、細かい凹凸が除去されて
非常にスムーズなアンジュレーション（起伏）を得るこ
とができた。波状断面を見ると波状凹凸の大きさは不安
定で不規則であるが、密度は高い。常に起伏の連続状態
にある。溝の深さは30〜50nm、幅は1〜2μｍであった。
斜度は3〜5°であった。

【００３８】

【表１】

【００３９】上記方法で得られた基板上に炭化珪素（3C
-SiC）を気相成長法により形成した。成長条件は表２及
び３の通りである。

【００４０】

【表２】

【００４１】

【表３】

【００４２】反応管内へ、ジクロルシランとアセチレン
を交互に供給しつつ、3C-SiCの成長を行った。そして、
起伏加工を施したSi基板上へ板厚約200μｍの3C-SiCを
得た。表面は平滑で鏡面となり、下地基板に形成した起
伏形状は表面に現れていない。得られた3C-SiCのエッチ
ピット密度と双晶密度を以下の如く求めた。3C-SiCを溶
融KOH（500度、5分）に曝した後、光学顕微鏡にて表面
を観察したところ、積層欠陥や面欠陥（Twin、APB）ら
しきエッチピットは6インチ全面で1290個、7.3/cm²であ
った。さらに3C-SiC（１１１）面に対するX線回折ロッ
キングカーブ（XRD）の極点図作成をおこない、双晶面
に相当する｛１１５｝面方位の信号強度と通常の単結晶
面｛１１１｝面方位の信号強度比から双晶密度を算出し
た。その結果、双晶密度は３×１０^-3 Vol.％であるこ
とがわかった。

【００４３】続いて上記で得られた3C-SiC上に、Si基板
に形成した起伏と同様の起伏を形成した。形成方法は上
述したものと全く同様である。起伏の延在方向は、＜１
１０＞方位に平行とした。そして、起伏加工を施した3C
-SiC上に、3C-SiCを厚さ100μｍ、ホモエピタキシャル
成長した。

【００４４】得られた3C-SiCのエッチピット密度と双晶
密度を以下の如く求めた。3C-SiCを溶融KOH（500℃、5
分）に曝した後、光学顕微鏡にて表面を観察したとこ
ろ、積層欠陥や面欠陥（Twin、APB）らしきエッチピッ
トは6インチ全面で420個、2.4/cm²であった。さらに3C-
SiC（１１１）面に対するX線回折ロッキングカーブ（XR
D）の極点図作成をおこない、双晶面に相当する｛１１
５｝面方位の信号強度と通常の単結晶面｛１１１｝面方
位の信号強度比から双晶密度を算出した。その結果、双
晶密度は測定限界である４×１０^-4 Vol.％以下である
ことがわかった。

【００４５】比較のため、起伏加工を施したSi基板上に
3C-SiCを連続して３００μｍ厚形成した。この3C-SiCを
溶融KOH（500℃、5分）に曝した後、光学顕微鏡にて表
面を観察したところ、積層欠陥や面欠陥（Twin、APB）
らしきエッチピットは6インチ全面で900個、5.1/cm²で
あった。さらに3C-SiC（１１１）面に対するX線回折ロ
ッキングカーブ（XRD）の極点図作成をおこない、双晶
面に相当する｛１１５｝面方位の信号強度と通常の単結
晶面｛１１１｝面方位の信号強度比から双晶密度を算出
した。その結果、双晶密度は２×１０^-3 Vol.％である
ことがわかった。上記結果から、起伏加工を成長層表面
へ施し、その上に3C-SiCを成長したことで、基板界面か
ら成長層表面へ伝搬する面欠陥を早期に解消できること
が分かる。

【００４６】実施例２直径６インチのSi（００１）基板表面に、＜１１０＞方
向に平行に研磨剤を擦りつける方法で、＜１１０＞方向
に平行な起伏形成基板を作製することを試みた。研磨剤
は市販されている約φ９μｍ径のダイヤモンドスラリー
（エンギス社製ハイプレス）と市販の研磨クロス（エン
ギスM414）を用いた。クロスにダイヤモンドスラリーを
一様に浸透させ、パッド上にSi（００１）基板を置き、
０．２ｋｇ／ｃｍ²の圧力をSi（００１）基板全体に加
えながら、＜１１０＞方向に平行にクロス上を約２０ｃ
ｍ程度の距離を約３００回往復させた（一方向研磨処
理）。Si（００１）基板表面には＜１１０＞方向に平行
な研磨傷（起伏）が無数に形成された。

【００４７】一方向研磨処理を施したSi（００１）基板
表面に研磨砥粒などが付着しているので、超音波洗浄機
で洗浄を実施、その後、過酸化水素水＋硫酸混合溶液
（１：１）、HF溶液にて洗浄した。洗浄した後、熱処理
装置を用いて表に示す条件にて起伏加工処理基板上に熱
酸化膜を約１μｍ形成した。形成した熱酸化膜を、希フ
ッ酸により除去した。基板表面は、得たい起伏以外にも
細かいスパイク上の凹凸や欠陥が多く残存し、被成長基
板としては用い難い。しかし、熱酸化膜を１μｍほど形
成して改めて酸化膜を除去することで、基板表面を約２
０００Åほどエッチングし、細かい凹凸が除去されて非
常にスムーズなアンジュレーション（起伏）を得ること
ができた。波状断面を見ると波状凹凸の大きさは不安定
で不規則であるが、密度は高い。常に起伏の連続状態に
ある。溝の深さは30〜50nm、幅は1〜2μｍであった。斜
度は、ひとつひとつの斜度にばらつきはあるがおおむね
3〜5°の範囲であった。

【００４８】作製した起伏加工済みSi(001)基板上に、
厚さ200μmの3C-SiCの成長を実施した。形成条件は表２
及び３の通りである。得られた3C-SiC表面に、起伏加工
を施した。起伏延在方向は、＜１−１０＞方向に平行と
した。すなわち、下地基板上に形成した起伏の延在方向
とは、＜００１＞方位に試料を見た場合に直交する方向
である。

【００４９】上記で得られた3C-SiC上に、3C-SiCを厚さ
100μmホモエピタキシャル成長した。成長方法は上述し
た方法と同様である。得られた3C-SiCのエッチピット密
度と双晶密度を以下の如く求めた。3C-SiCを溶融KOH（5
00℃、5分）に曝した後、光学顕微鏡にて表面を観察し
たところ、積層欠陥や面欠陥（Twin、APB）らしきエッ
チピットは6インチ全面で380個、2.2/cm²であった。さ
らに3C-SiC（１１１）面に対するX線回折ロッキングカ
ーブ（XRD）の極点図作成をおこない、双晶面に相当す
る｛１１５｝面方位の信号強度と通常の単結晶面｛１１
１｝面方位の信号強度比から双晶密度を算出した。その
結果、双晶密度は測定限界である４×１０^-4 Vol.％以
下であることがわかった。

【００５０】実施例３本実施例では、実施例２で得た3C-SiC上に、起伏加工を
施した。加工方法は実施例２の方法と同じである。そし
て、起伏加工を施した3C-SiC表面に、3C-SiCを厚さ100
μmエピタキシャル成長した。成長方法は実施例２の方
法と同じである。

【００５１】得られた3C-SiCのエッチピット密度と双晶
密度を以下の如く求めた。3C-SiCを溶融KOH（500℃、5
分）に曝した後、光学顕微鏡にて表面を観察したとこ
ろ、積層欠陥や面欠陥（Twin、APB）らしきエッチピッ
トは6インチ全面で240個、1.36/cm²であった。さらに3C
-SiC＜１１１＞方位に対するX線回折ロッキングカーブ
（XRD）の極点観察をおこない、双晶面に相当する｛１
１５｝面方位の信号強度と通常の単結晶面｛１１１｝面
方位の信号強度比から双晶密度を算出した。その結果、
双晶密度は測定限界である４×１０^-4 Vol.％以下であ
ることがわかった。

【００５２】実施例４直径６インチのSi（００１）基板表面に、＜１１０＞方
向に平行に研磨剤を擦りつける方法で、＜１１０＞方向
に平行な起伏形成基板を作製することを試みた。研磨剤
は市販されている約φ９μｍ径のダイヤモンドスラリー
（エンギス社製ハイプレス）と市販の研磨クロス（エン
ギスM414）を用いた。クロスにダイヤモンドスラリーを
一様に浸透させ、パッド上にSi（００１）基板を置き、
０．２ｋｇ／ｃｍ²の圧力をSi（００１）基板全体に加
えながら、＜１１０＞方向に平行にクロス上を約２０ｃ
ｍ程度の距離を約３００回往復させた（一方向研磨処
理）。Si（００１）基板表面には＜１１０＞方向に平行
な研磨傷（起伏）が無数に形成された。

【００５３】一方向研磨処理を施したSi（００１）基板
表面に研磨砥粒などが付着しているので、超音波洗浄機
で洗浄を実施、その後、過酸化水素水＋硫酸混合溶液
（１：１）、HF溶液にて洗浄した。洗浄した後、熱処理
装置を用いて表に示す条件にて起伏加工処理基板上に熱
酸化膜を約１μｍ形成した。形成した熱酸化膜を、希フ
ッ酸により除去した。基板表面は、得たい起伏以外にも
細かいスパイク上の凹凸や欠陥が多く残存し、被成長基
板としては用い難い。しかし、熱酸化膜を１μｍほど形
成して改めて酸化膜を除去することで、基板表面を約２
０００Åほどエッチングし、細かい凹凸が除去されて非
常にスムーズなアンジュレーション（起伏）を得ること
ができた。波状断面を見ると波状凹凸の大きさは不安定
で不規則であるが、密度は高い。常に起伏の連続状態に
ある。溝の深さは30〜50nm、幅は1〜2μｍであった。斜
度は3〜5°であった。

【００５４】上記で得られた基板上に炭化珪素（3C-Si
C）を気相成長法により形成した。成長条件は表２及び
３の通りである。反応管内へ、ジクロルシランとアセチ
レンを交互に供給しつつ、3C-SiCの成長を行った。そし
て、起伏加工を施したSi基板上へ板厚約200μｍの3C-Si
Cを得た。表面は平滑で鏡面となり、下地基板に形成し
た起伏形状は表面に現れていない。

【００５５】得られた3C-SiCのエッチピット密度と双晶
密度を以下の如く求めた。3C-SiCを溶融KOH（500度、5
分）に曝した後、光学顕微鏡にて表面を観察したとこ
ろ、積層欠陥や面欠陥（Twin、APB）らしきエッチピッ
トは6インチ全面で1290個、7.3/cm²であった。さらに3C
-SiC＜１１１＞方位に対するX線回折ロッキングカーブ
（XRD）の極点観察をおこない、双晶面に相当する｛１
１５｝面方位の信号強度と通常の単結晶面｛１１１｝面
方位の信号強度比から双晶密度を算出した。その結果、
双晶密度は３×１０^-3 Vol.％であることがわかった。

【００５６】上記で得られた3C-SiC上に、起伏加工を施
し、窒化ガリウム（GaN）を形成することを試みた。有
機金属化学蒸着（MOCVD）装置によって、トリメチルガ
リウムとアンモニアを供給し、GaNを形成した。成長温
度は1100℃、キャリアガスとして窒素を20 slm、アンモ
ニア（NH₃）を10 slm、トリメチルガリウムを1×10^-4mo
l/min供給した。膜厚は約10μｍである。

【００５７】得られたGaNの双晶密度を以下の如く求め
た。GaN（１１１）面に対するX線回折ロッキングカーブ
（XRD）の極点図作成をおこない、双晶面に相当する
｛１１５｝面方位の信号強度と通常の単結晶面｛１１
１｝面方位の信号強度比から双晶密度を算出した。その
結果、双晶密度は測定限界である４×１０^-4 Vol.％以
下であることがわかった。

【００５８】比較例として、起伏加工を施していない3C
-SiC上にGaNを形成した。形成方法は上述した方法と同
様の方法でおこなった。得られたGaNの欠陥密度を次の
如く求めた。GaN（１１１）面に対するX線回折ロッキン
グカーブ（XRD）の極点図作成をおこない、双晶面に相
当する｛１１５｝面方位の信号強度と通常の単結晶面
｛１１１｝面方位の信号強度比から双晶密度を算出し
た。その結果、双晶密度は５×１０^-3 Vol.％であるこ
とがわかった。

【００５９】

【発明の効果】本発明によれば、炭化珪素や窒化ガリウ
ムなどの化合物半導体単結晶を、エピタキシャル成長法
を利用して製造する方法であって、面欠陥密度がより低
い化合物単結晶を得ることができる方法を提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ｓｉ基板表面に延在する複数の起伏の方向と、
この基板表面に形成された化合物単結晶層の表面に設け
られる複数の起伏の延在方向が同一である場合の本発明
の製造方法のスキームを示す。

【図２】Ｓｉ基板表面に延在する複数の起伏の方向と、
この基板表面に形成された化合物単結晶層の表面に設け
られる複数の起伏の延在方向が直交する場合の本発明の
製造方法のスキームを示す。

【図３】傾けた（オフ角を導入した）珪素（００１）表
面基板の概略図。

【図４】基板に微傾斜をつける従来法の説明図。

【図５】起伏加工を施され、オフ斜面が互いに対向した
基板上に炭化珪素をエピタキシャル成長させる方法にお
いて、炭化珪素内に伝搬する面欠陥が解消される様子を
示す説明図。

【図６】起伏加工を施され、オフ斜面が互いに対向した
基板上に炭化珪素をエピタキシャル成長させる方法にお
いて、炭化珪素内に伝搬する面欠陥が解消される（向か
い合う面欠陥同士が互いに会合し、消滅し合う）様子を
示す説明図。

【図７】立方晶の結晶層における解消したい欠陥の面で
ある｛１１１｝面と成長面（水平な面）である（００
１）面のなす角の説明図。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｌ 21/20 Ｈ０１Ｌ 21/20 (72)発明者八木邦明東京都新宿区中落合２丁目７番５号ホーヤ株式会社内Ｆターム(参考） 4G077 AA03 BE08 BE15 DB04 DB07 DB08 DB13 ED04 ED05 EE05 EE06 EF01 HA02 HA06 TK04 TK06 4K030 AA06 AA09 AA11 BA37 BA38 CA04 DA02 FA10 HA01 LA12 LA14 5F045 AA03 AA04 AA20 AB06 AB09 AB14 AB17 AB32 AC05 AC07 AC08 AC12 AD14 AD15 AD17 AD18 AE17 AF02 AF12 AF13 BB12 GH02 GH05 HA01 HA04 5F052 DA04 DA10 GC01 GC03 HA08 KA01 KA05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】単結晶基板の表面にこの基板と同一または
異なる化合物単結晶層の２層以上を順次エピタキシャル
成長させる化合物単結晶の製造方法であって、前記基板表面の少なくとも一部が一方向に延在する複数
の起伏を有し、かつ2回目以降のエピタキシャル成長
は、直前に形成された化合物単結晶層の表面の少なくと
も一部に一方向に延在する複数の起伏を形成した後に行
うことを特徴とする方法。
【請求項２】化合物単結晶層が単結晶基板と異なる化合
物単結晶であり、化合物単結晶層を構成する化合物単結
晶と単結晶基板を構成する単結晶とは、相似形の空間格
子を有する請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】単結晶基板表面に延在する複数の起伏の方
向と、該基板表面に形成された化合物単結晶層の表面に
設けられる複数の起伏の延在方向は同一または直交する
請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】成長方向に隣接して設けられる化合物単結
晶層の表面に設けられる複数の起伏の延在方向は同一ま
たは直交する請求項１〜３のいずれか１項に記載の製造
方法。
【請求項５】単結晶基板が単結晶ＳｉＣである請求項１
〜４のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項６】化合物単結晶層が単結晶ＳｉＣであるか、
または窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化アルミガ
リウムである請求項１〜５のいずれか１項に記載の製造
方法。
【請求項７】単結晶ＳｉＣ基板が、基底面が（００１）
面である立方晶ＳｉＣであまか、または基底面が（１１
−２０）面若しくは（１１００）面である六方晶ＳｉＣ
である請求項１〜６のいずれか１項に記載の製造方法。