JPWO2009072282A1 - 部品圧着装置及び方法 - Google Patents

Abstract

部品圧着装置において、基板の部品圧着領域に部品を圧着する圧着ヘッドと、圧着の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材とを備える一列に配置された複数の圧着ユニットと、基板の圧着が行われる縁部沿いの方向の移動を案内可能に、それぞれの圧着ユニットを支持する案内支持部材と、それぞれの圧着ヘッドを一体的に昇降させる共通のヘッド昇降装置と、複数の圧着ユニットに個別に備えられ、縁部沿いに圧着ユニットを移動させて圧着ユニットの配置を変更させる複数のユニット移動装置とを備える。

Description

本発明は、部品圧着領域をその縁部に有する基板、特に液晶ガラスパネル基板やプラズマディスプレイパネル基板などに代表される基板の部品圧着領域に部品を押圧して圧着する部品圧着装置及び方法に関する。

従来、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネル基板やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）基板等の基板（以下、「パネル基板」とする）に、電子部品、機械部品、光学部品等の部品、フレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ基板）等の基板、あるいはＣＯＧ（Chip On Glass）、ＣＯＦ（Chip On Film）、ＩＣチップ、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）等の半導体パッケージの部品などが圧着して実装されることで、ディスプレイ装置の製造が行われている。

このようなパネル基板（例えば、液晶ディスプレイ基板）に対する部品実装装置（部品実装ライン）においては、部品保持装置により保持されたパネル基板１の１辺あるいは２辺の縁部に形成されたそれぞれの端子部（部品圧着領域）に対して、異方性導電膜（ＡＣＦ）シートを貼り付けるＡＣＦ貼り付け工程を行うＡＣＦ貼り付け装置、それぞれの端子部においてＡＣＦシートを介してＴＣＰ等の部品を圧着ユニットにより仮圧着する部品仮圧着工程を行う部品仮圧着装置、端子部に仮圧着された部品を、仮圧着により高い圧力と温度で加圧しながら加熱してＡＣＦシートを介して圧着して実装する本圧着工程を行う本圧着装置、及びパネル基板をその下面側より保持して、それぞれの装置にて作業可能に順次搬送する基板搬送装置を備えている。このような構成の従来の部品実装ラインにおいて、パネル基板を基板搬送装置により順次搬送させながら、それぞれの装置において所定の工程を施すことで、パネル基板のそれぞれの端子部に対する部品の実装が行われる。

近年、このような従来の部品実装ラインにおいて取り扱われるパネル基板は、例えば携帯電話向けの比較的小型のパネル基板からパーソナルコンピュータ向けの比較的大型のパネル基板などというように様々なサイズのものが取り扱われる。また、取り扱われるパネル基板の種類に応じて、その端子部における部品の圧着位置の配置も異なる。このような様々な種類のパネル基板に対する部品の圧着に対応するために、例えば、特許第３２７５７４４号公報（文献１）及び特開２００６−２８７０１１号公報（文献２）のように、圧着ヘッドとこの圧着動作の際にパネル基板の端子部を下側から支持するバックアップステージとを、パネル基板の端子部沿いに移動させて、パネル基板の種類に応じた部品の圧着位置の相違に対応できるような構成が採用されている。

特に文献２では、圧着ヘッドとバックアップステージとが一対とされた圧着ユニットを複数台配列させて、パネル基板の仕様に応じて圧着ユニットの配置位置や使用台数を任意に選択できるような構成が採用されている。しかしながら、文献２の構成では、複数の圧着ユニットに対して設けられている１台のユニット位置調整手段により、１台のみの圧着ユニットの配置を調整することができるのみであり、同時に複数の圧着ユニットの配置を調整することはできない。そのため、部品実装ラインにて取り扱われるパネル基板の種類が変わる毎に、ユニット位置調整手段によりそれぞれの圧着ユニットの位置を順次調整して、新たな種類のパネル基板の圧着位置の配置に対応することとなる。すなわち、文献２の構成では、このようなそれぞれの圧着ユニットの位置調整には当然に時間を要することとなる。

一方、近年、パネル基板の仕様もさらに多様化する傾向にあり、パネル基板の長辺側の端子部と短辺側の端子部とでは、部品の圧着位置の配置ピッチや個数が異なるようなパネル基板も少なくない。しかしながら、文献２の構成を有する従来の装置では、このようなパネル基板に対しては、長辺側の端子部への部品圧着を実施した後、短辺側の端子部への部品圧着を行う毎に、それぞれの圧着ユニットの配置位置を調整する必要があり、効率的な部品圧着を行うことができない。そのため、長辺側の端子部に対する部品圧着を行う長辺側本圧着装置と、短辺側の端子部に対する部品圧着を行う短辺側本圧着装置というように、別々の圧着装置を部品実装ラインに備えさせることで、このようなパネル基板に対する部品圧着に対応している。

さらに、仮に複数の圧着ユニットに対して複数のユニット位置調整手段により、それぞれの圧着ユニットの配置を調整するような構成を考えるような場合であっても、それぞれの圧着ユニットの配置変更の迅速化の観点からは、装置構成をより小型化かつ簡素化を図ることが望まれる。

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、部品装着領域をその縁部に有する基板に対する部品圧着において、圧着ヘッドと縁部支持部材とを備える複数の圧着ユニットの配置を容易かつ迅速に変更することができ、基板の縁部の部品圧着位置の配置に応じた効率的な部品圧着を行うことができる部品圧着装置及び方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。

本発明の第１態様によれば、基板の縁部の部品圧着領域に部品を押圧して圧着する部品圧着装置において、
基板に対して垂直な方向である押圧方向に移動することで、基板の部品圧着領域に部品を押圧する押圧体と、押圧体による押圧の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材とを備える一列に配列された複数の圧着ユニットと、
複数の押圧体を一体的に押圧方向に移動させる共通の押圧体移動装置と、
複数の圧着ユニットに個別に備えられ、基板の縁部沿いに圧着ユニットを、それぞれ独立した動作にて平行移動させて圧着ユニットの配置を変更させる複数のユニット移動装置とを備える、部品圧着装置を提供する。

本発明の第２態様によれば、各々の圧着ユニットは、
押圧方向に押圧体の進退移動を案内する押圧体案内部材と、
押圧体案内部材および縁部支持部材が設けられ、押圧体案内部材を介して押圧体を支持するユニット支持部材と、
ユニット支持部材に設けられ、かつ押圧方向沿いに押圧体を進退移動させるための力および部品を基板に圧着するための力を、押圧体に付与する押圧駆動部とをさらに備え、
押圧駆動部により縁部支持台に向けて動作されるそれぞれの押圧体の動作速度を、複数の圧着ユニットにて共通して規制する規制部材を有する共通の動作速度規制装置を、共通の押圧体移動装置として備える、第１態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第３態様によれば、動作速度規制装置において、規制部材は、押圧体が縁部支持台に向かう方向にて直接的または間接的に押圧体と係合可能であって、
動作速度規制装置は、押圧方向沿いに規制部材を進退移動させる規制部材移動装置とを備え、
それぞれのユニット移動装置による圧着ユニットの基板の縁部沿いの平行移動は、規制部材と押圧体との直接的または間接的な係合が解除された状態にて行われる、第２態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第４態様によれば、それぞれの圧着ユニットにおいて、ユニット支持部材の一方側に配置された押圧駆動部にその一端が回動可能に接続され、ユニット支持部材の他方側に配置された押圧体にその他端が回動可能に接続され、一端と他端との間にてユニット支持部材に回動可能に支持されたレバー部材をさらに備え、
レバー部材は、ユニット支持部材による支持位置を支点とし、一端を押圧駆動部による力が付与される力点とし、他端を付与された力を押圧体に作用させる作用点とする、第３態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第５態様によれば、それぞれの圧着ユニットにおいて、押圧方向沿いの押圧体の進退動の軸上に押圧駆動部が配置され、進退移動の軸上にて規制部材が押圧駆動部と係合されることにより、押圧体の動作速度の規制が行われる、第３態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第６態様によれば、それぞれの圧着ユニットを基板の縁部沿いの方向に移動可能に支持するとともに、動作速度規制装置を支持する支持フレームと、
支持フレームを複数の圧着ユニットとともに一体的に基板の縁部沿いの方向に進退移動させる移動装置とをさらに備える、第２態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第７態様によれば、基板を保持して、部品が圧着される縁部を、縁部支持部材上あるいはその上方に配置させるように基板の移動を行う基板保持装置と、
基板の縁部の部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置情報を有し、圧着位置情報に基づいてそれぞれのユニット移動装置を制御して、複数の圧着ユニットの配置を複数の部品の圧着位置に合致させるように、それぞれ独立した動作にて複数の圧着ユニットを基板の縁部沿いに平行移動させるとともに、基板保持装置を制御して、それぞれの圧着位置における縁部を縁部支持部材上あるいはその上方に配置させる制御装置とをさらに備える、第１態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第８態様によれば、それぞれの押圧体を一体的に昇降させることで、それぞれの押圧体を押圧方向に進退移動させる共通の押圧体昇降装置を、共通の押圧体移動装置として備える、第１態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第９態様によれば、基板に対する圧着動作を行う圧着ユニットが配置される圧着動作実施領域と、圧着動作実施領域の両端側に隣接して配置され、圧着動作を行わない圧着ユニットが配置される退避領域とにおいて、基板の縁部沿いの平行移動を案内可能にそれぞれの圧着ユニットを支持する案内支持部材をさらに備える、第８態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第１０態様によれば、基板の縁部の部品圧着領域に複数の部品を押圧して圧着する部品圧着方法において、
基板の部品圧着領域に部品を押圧する押圧体と、押圧体による圧着の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材が設けられたユニット支持部材と、ユニット支持部材に設けられ、かつ基板に対して垂直な方向である押圧方向沿いに押圧体を進退移動させるための力を、押圧体に付与する押圧駆動部とを備え、一列に配列された複数の圧着ユニットを、基板の縁部における部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置に合致させるように縁部沿いの方向にそれぞれ独立して移動させて、それぞれの位置決めを行い、
基板の縁部の複数の圧着位置を縁部支持部材上あるいはその上方に配置し、
その後、それぞれの圧着ユニットの押圧駆動部にて、押圧体を進退移動させるための力を発生させて、縁部支持台に向けて押圧体を動作させるとともに、押圧体が縁部支持台に向かう方向にて、複数の圧着ユニットにて共通の規制部材を直接的または間接的にそれぞれの押圧体に係合させながら共通の規制部材の移動速度を制御することにより、それぞれの押圧体の動作速度を共通して規制し、
それぞれの押圧体が部品と当接する際に、押圧体と共通の記載部材との係合を解除して、それぞれの押圧体により縁部に対して複数の部品を圧着する、部品圧着方法を提供する。

本発明の第１１態様によれば、基板の縁部における複数の部品の圧着位置と、複数の圧着ユニットとの位置決めを行う際に、それぞれの圧着ユニットを基板の縁部沿いの方向に移動可能に支持するとともに、共通の規制部材を支持する支持フレームを、基板の縁部沿いの方向に複数の圧着ユニットとともに一体的に移動させる、第１０態様に記載の部品圧着方法を提供する。

本発明の第１２態様によれば、基板の第１縁部と第２縁部の部品圧着領域に複数の部品を押圧して圧着する部品圧着方法において、
基板の部品圧着領域に部品を圧着する押圧体と、圧着の際に基板の第１縁部又は第２縁部を支持する縁部支持部材とを備える一列に配置された複数の圧着ユニットを、基板の第１縁部における部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置に合致させるように第１縁部沿いにそれぞれ独立して平行移動させて、それぞれの位置決めを行い、
その後、第１縁部の複数の圧着位置を縁部支持部材上あるいはその上方に配置して、複数の押圧体を共通の押圧体昇降装置により一体的に下降させることにより第１縁部に対して複数の部品を圧着し、
その後、第１縁部と縁部支持部材とを離間させ、基板の第２縁部における部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置に合致させるように、複数の圧着ユニットを第２縁部沿いにそれぞれ独立して平行移動させて、それぞれの位置決めを行い、
その後、第２縁部の複数の圧着位置を縁部支持部材上あるいはその上方に配置し、複数の押圧体を共通の押圧体昇降装置により一体的に下降させることにより第２縁部に対して複数の部品を圧着する、部品圧着方法を提供する。

本発明の第１３態様によれば、基板の第１縁部あるいは第２縁部に対する圧着動作を行う際に、部品の圧着処理を行う複数の圧着ユニットの縁部支持部材により第１縁部あるいは第２縁部を支持可能に、圧着処理を行う複数の圧着ユニットを圧着動作実施領域に配置させるとともに、部品の圧着処理を行わない複数の圧着ユニットの縁部支持部材により第１縁部あるいは第２縁部の支持が行われないように、圧着処理を行わない複数の圧着ユニットを、圧着動作実施領域の少なくとも一端側に位置された退避領域に配置させる、第１２態様に記載の部品圧着方法を提供する。

本発明の一の態様によれば、部品圧着装置において、基板の部品圧着領域に部品を押圧する押圧体と、基板に対して垂直な方向である押圧方向に押圧体の進退動作を案内する押圧体案内部材および押圧体による圧着の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材が設けられたユニット支持部材と、ユニット支持部材に設けられ、かつ押圧方向沿いに押圧体を進退移動させるための力および部品を圧着するための力を押圧体に付与する押圧駆動部とを備える複数の圧着ユニットと、複数の圧着ユニットに個別に備えられ、基板の縁部沿いの方向に圧着ユニットをそれぞれ独立した動作にて移動させて圧着ユニットの配置を変更させる複数のユニット移動装置とを備える構成が採用されている。このような構成により、基板の部品圧着領域における複数の部品圧着位置の配置又は個数に応じて、それぞれのユニット移動装置によりそれぞれの圧着ユニットを個別に独立した並列動作にて（それぞれ独立した動作にて）基板の縁部沿いの方向に移動させて、圧着ユニットの配置を部品圧着位置と合致させるように変更可能に動作させることができる。

また、押圧駆動部により縁部支持台に向けて動作されるそれぞれの押圧体の動作速度を規制する動作速度規制装置を、それぞれの圧着ユニットに個別に備えさせるのではなく、複数の圧着ユニットにて共通して規制する共通の動作速度規制装置として備えさせた構成が採用されている。これにより、押圧駆動部を用いた押圧体への力の伝達を確実に圧着のための圧力として生じさせることを可能としながら、押圧方向への押圧体の動作速度を規制して、適切な動作速度にて押圧体を部品に当接させることができる。さらに、このような動作速度規制装置を複数の圧着ユニットにて共通の装置として備えさせていることにより、それぞれの圧着ユニットの小型化および構造の簡素化を図ることができ、圧着ユニットの配置変更を容易かつ迅速に行うことができる。したがって、基板の仕様に応じて異なる部品圧着位置に対応した圧着動作を効率的に実現することができる。

本発明の他の態様によれば、部品圧着装置において、基板の部品圧着領域に部品を圧着する押圧体と、その圧着の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材とを備える一列に配置された複数の圧着ユニットと、複数の圧着ユニットに個別に備えられ、縁部沿いに圧着ユニットを平行移動させて圧着ユニットの配置を変更させる複数のユニット移動装置とを備える構成が採用されている。このような構成により、基板の部品圧着領域における複数の部品圧着位置の配置又は個数に応じて、それぞれのユニット移動装置によりそれぞれの圧着ユニットを個別に独立した並列動作にて（それぞれ独立した動作にて）平行移動させて、圧着ユニットの配置を部品圧着位置と合致させるように変更可能に動作させることができる。したがって、基板の仕様に応じて異なる部品圧着位置に対応した圧着動作を効率的に実現することができる。

また、複数の押圧体を個別ではなく、一体的に昇降させることで、それぞれの押圧体を押圧方向に一体的に進退移動させる共通の押圧体昇降装置を備える構成が採用されている。これにより、それぞれの圧着ユニットの小型化および構造の簡素化を図ることができ、それぞれの圧着ユニットの平行移動による配置変更を容易かつ迅速に行うことができる。したがって、基板の仕様に応じて異なる部品圧着位置に対応した圧着動作を効率的に実現することができる。

また、部品が圧着される第１縁部と第２縁部を有する基板の互いに直交する第１縁部と第２縁部の部品圧着領域に複数の部品を押圧して圧着する部品圧着方法において、基板の部品圧着領域に部品を圧着する押圧体と、圧着の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材とを備える一列に配置された複数の圧着ユニットを、基板の第１縁部における部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置に合致させるように第１縁部沿いにそれぞれ独立して平行移動させて、それぞれの位置決めを行い、その後、第１縁部の複数の圧着位置を縁部支持部材上あるいはその上方に配置して、複数の押圧体を共通の押圧体昇降装置により一体的に下降させることにより第１縁部に対して複数の部品を圧着することができる。その後、第１縁部と縁部支持部材とを離間させて、さらに、基板の第２縁部における部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置に合致させるように、複数の圧着ユニットを第２縁部沿いにそれぞれ独立して平行移動させて、それぞれの位置決めを行い、その後、第２縁部の複数の圧着位置を縁部支持部材上に配置し、複数の押圧体を共通の押圧体昇降装置により一体的に下降させることにより第２縁部に対して複数の部品を圧着することができる。このような部品圧着方法によれば、基板において第１縁部の部品圧着位置と第２縁部の部品圧着位置とで、その配置や個数が相違するような場合であっても、圧着動作が行われる縁部の仕様に応じてそれぞれの圧着ユニットの配置を効率的かつ迅速に変更することができる。また、複数の押圧体を下降させる際に、個別の昇降装置を用いるのではなく、共通の押圧体昇降装置を用いて一体的な下降動作を行っているため、圧着ユニットの構造の簡素化および軽量化が可能となり、それぞれの圧着ユニットの平行移動を効率的に行うことが可能となる。したがって、特に第１縁部と第２縁部とで互いに異なる部品圧着位置の配置に対応した部品圧着を効率的に実現することができる。

本発明のこれらの態様と特徴は、添付された図面についての好ましい実施形態に関連した次の記述から明らかになる。この図面においては、
図１は、本発明の第１実施形態にかかる部品実装ラインにて取り扱われるパネル基板の外観図であり、 図２は、第１実施形態のアウターリードボンディング工程（水平搬送）の模式説明図であり、 図３は、第１実施形態の本圧着装置の外観図であり、 図４は、第１実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図であり、 図５Ａは、第１実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（時間Ｔ１−Ｔ２）であり、 図５Ｂは、第１実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（時間Ｔ２）であり、 図５Ｃは、第１実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（時間Ｔ３）であり、 図５Ｄは、第１実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（時間Ｔ３−Ｔ４）であり、 図６は、（Ａ）の圧着ヘッドの押圧力の時間変化を示すグラフ、（Ｂ）の規制部材とレバーとの接触関係の時間変化を示すグラフ、（Ｃ）の圧着ヘッドの高さ位置の時間変化を示すグラフの時間的な相関性を示すグラフであり、 図７は、第１実施形態の本圧着方法の手順を示すフローチャートであり、 図８は、パネル基板の長辺側端子部に対して本圧着動作を実施している状態の模式説明図であり、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は模式正面図であり、 図９は、パネル基板の短辺側端子部に対して本圧着動作を実施している状態の模式説明図であり、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は模式正面図であり、 図１０は、両端部にたわみが生じたパネル基板をバックアップステージにより保持している状態を示す模式図であり、 図１１は、第１実施形態の水平搬送におけるＴＣＰの垂れ下がり状態を説明する模式説明図であり、 図１２は、本発明の第２実施形態の縦型搬送の状態を示す模式説明図であり、 図１３は、第２実施形態のアウターリードボンディング工程（縦型搬送）の模式説明図であり、 図１４Ａは、第２実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（図６の時間Ｔ１−Ｔ２に相当）であり、 図１４Ｂは、第２実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（図６の時間Ｔ２に相当）であり、 図１４Ｃは、第２実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（図６の時間Ｔ３に相当）であり、 図１４Ｄは、第２実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（図６の時間Ｔ３−Ｔ４に相当）であり、 図１５は、第１および第２実施形態の変形例にかかる本圧着装置の外観図（水平搬送）であり、 図１６は、図１５の変形例の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（水平搬送）であり、 図１７は、変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（縦型搬送）であり、 図１８は、別の変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（縦型搬送）であり、 図１９は、変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（規制構造の変形例）であり、 図２０は、別の変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（規制構造の変形例）であり、 図２１は、さらに別の変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（規制構造の変形例）であり、 図２２Ａは、変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（バックアップステージ昇降部有り）であり、 図２２Ｂは、変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（バックアップステージ昇降部有り）であり、 図２３は、本発明の第３実施形態にかかる本実施形態の部品実装ラインの模式平面図であり、 図２４は、第３実施形態の本圧着装置のＹ軸方向から見た模式正面図であり、 図２５Ａは、第３実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図であり、 図２５Ｂは、第３実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（パネル基板配置状態）であり、 図２５Ｃは、第３実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（本圧着動作実施状態）であり、 図２５Ｄは、第３実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（バックアップステージ昇降部有り、パネル基板配置状態）であり、 図２５Ｅは、第３実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（バックアップステージ昇降部有り、本圧着動作実施状態）であり、 図２６は、１枚のパネル基板の長辺側端子部に対して本圧着動作を実施している状態の模式説明図であり、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は模式正面図であり、 図２７は、１枚のパネル基板の短辺側端子部に対して本圧着動作を実施している状態の模式説明図であり、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は模式正面図であり、 図２８は、２枚のパネル基板の長辺側端子部に対して変形例にかかる本圧着動作を実施している状態の模式説明図であり、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は模式正面図であり、 図２９は、２枚のパネル基板の短辺側端子部に対して変形例にかかる本圧着動作を実施している状態の模式説明図であり、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は模式正面図である。

本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

（第１実施形態）
本発明の第１の実施形態にかかる部品圧着装置及び部品圧着方法を説明するにあたって、まず、これらの部品圧着装置及び方法において取り扱われるパネル基板１の形態と、このパネル基板１に対して施される圧着処理（あるいは実装処理）の概要について、パネル基板１の外観を示す図１を用いて説明する。

まず、図１に示すように、本第１実施形態において取り扱われる基板は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネル基板やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）基板等に代表される基板（以降、「パネル基板」という。）１であり、方形状における互いに隣接する２辺の縁部に、部品が実装される部品実装領域Ｒ１が配置された端子部２を有している。なお、このようなパネル基板１は、一般的に長方形状を有しており、それぞれの端子部２は、長辺側端子部（図１における図示奥側の端子部であり、第１縁部の一例である）と短辺側端子部（図１における図示手前側の端子部であり、第２縁部の一例である）として形成されている。また、それぞれの端子部２には複数の端子電極２ａが形成されており、これらの端子電極２ａにそれぞれの部品が圧着されて実装されることで電気的に接続されることになる。また、パネル基板１における縁部の内側の領域は、画像や文字情報などの映像が表示される表示領域となっている。なお、パネル基板１は、主にガラス材料により形成されており、その厚さが例えば０．５ｍｍ以下となるような薄型化が図られて来ている。

このような構造のパネル基板１に対して、本第１実施形態の部品圧着方法を含む部品実装工程の手順を示す説明図を図２に示す。図２に示すように、部品実装工程を行う装置に搬入されたパネル基板１に対して、まず、接合部材配置工程の一例であるＡＣＦ貼り付け工程Ｓ１００にて、それぞれの端子部２の端子電極２ａに接合部材としてＡＣＦシート３の貼り付けを行い、その後、部品圧着工程の一例である部品仮圧着工程Ｓ２００にて、ＡＣＦシート３を介して部品として例えばＴＣＰ４をそれぞれの端子電極２ａに仮圧着する。さらにその後、本圧着工程Ｓ３００にて、仮圧着された状態のそれぞれのＴＣＰ４をさらに圧着して実装する。なお、この本圧着工程Ｓ３００は、パネル基板１の長辺側端子部に対する本圧着工程Ｓ３１０と、パネル基板１の短辺側端子部に対する本圧着工程Ｓ３２０とに分けて行われる。このようなパネル基板１に対するＴＣＰ４の実装工程は、アウターリードボンディング工程と呼ばれている。

次に、このようなアウターリードボンディング工程の本圧着工程を行う部品圧着装置の一例である本圧着装置１００の構成を示す模式図を図３に示す。

本圧着装置１００は、パネル基板１の長辺側及び短辺側の端子部２にＡＣＦシート３を介して仮圧着された状態のＴＣＰ４を押圧しながら加熱することで、ＡＣＦシート３を介してそれぞれの端子電極２ａにＴＣＰ４を本圧着、すなわち熱圧着（実装）する複数の圧着ユニット１０（例えば４台の圧着ユニット１０）と、移載（搬入）されるパネル基板１を保持するステージ１１と、ステージ１１に保持されたパネル基板１の端子部２に仮圧着されたそれぞれのＴＣＰ４とそれぞれの圧着ユニット１０との位置合わせを行うパネル基板保持装置１２を備えている。なお、パネル基板保持装置１２は、パネル基板１を図示Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動させる機能（ＸＹ移動機能）と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向を含む平面（水平平面）内においてパネル基板１を回転させる機能（θ回転機能）と、Ｚ軸方向にパネル基板１を昇降させる機能（昇降機能）とを有している。このような機能によりパネル基板１の長辺側及び短辺側の端子部２をそれぞれの圧着ユニット１０と位置合わせすることが可能となっている。また、本圧着装置１００には、このような位置合わせを行うために、パネル基板１の端子部２の位置を認識する認識カメラ（図示しない）が備えられている。なお、図３において、Ｘ軸方向とＹ軸方向はパネル基板１の大略表面沿いの方向となっており、パネル基板１の搬送方向がＸ軸方向であり、Ｘ軸方向に直交する方向がＹ軸方向であり、図示鉛直方向がＺ軸方向となっている。

また、本圧着装置１００（あるいは部品実装ライン）には、それぞれの工程を行う装置間にてパネル基板１の搬入および搬出を行う基板搬送装置２０が備えられている。基板搬送装置２０は、パネル基板１の下面を真空吸着手段（図示しない）により解除可能に吸着保持するパネル保持部２１と、パネル保持部２１の昇降動作を行う昇降部２２と、パネル保持部２１及び昇降部２２を図示Ｘ軸方向に沿って移動させることで、パネル基板１の各装置間の搬送を行う移動装置２３とを備えている。なお、本第１実施形態においては、パネル保持部２１が真空吸着手段によりパネル基板１の保持を行うような場合を例として説明するが、このような場合に代えて、機械的なチャック手段を有するパネル保持部によりパネル基板１が保持されるような場合であってもよい。

また、本圧着装置１００には、それぞれの圧着ユニット１０等の構成部の動作制御を互いの動作と関連付けながら統括的に行う制御装置１９が備えられている。この制御装置１９により、各々の圧着ユニット１０等の個別的あるいは統括的な動作制御が行われながら、本圧着装置１００に搬入されるパネル基板１に対する本圧着工程が行われる。

ここで、本圧着装置１００が備える圧着ユニット１０の模式側面図を図４に示し、図３及び図４を参照しながら、本圧着装置１００および圧着ユニット１０の構成について、さらに詳細に説明する。

図３に示すように、本圧着装置１００は、複数の圧着ユニット１０として、例えば合計４台の圧着ユニット１０をＸ軸方向に一列に配列して備えている。各圧着ユニット１０は、パネル基板１の端子部２にＡＣＦシート３を介して仮圧着された状態のＴＣＰ４を押圧して圧着する押圧体の一例である圧着ヘッド３１と、この圧着ヘッド３１による圧着動作の際に、パネル基板１の端子部２をその下面側から支持する縁部支持部材の一例であるバックアップステージ３２を備えている。

図３及び図４に示すように、各圧着ユニット１０において、バックアップステージ３２は、剛体にて形成された大略Ｌ字状の断面を有する柱状体であるユニットフレーム３３の下部に固定されており、圧着ヘッド３１がＺ軸方向に配置されたＬＭガイド３４（押圧体案内部材の一例）を介してその昇降動作を案内可能にユニットフレーム３３（ユニット支持部材の一例）の上部に取り付けられている。なお、本第１実施形態では、バックアップステージ３２はユニットフレーム３３の下部に固定されるような構成について説明するが、このような場合に代えて、例えば、バックアップステージ３２が上下方向に可動式として昇降可能にユニットフレーム３３に支持され、バックアップステージ昇降部によりバックアップステージ３２の昇降動作が行われるような場合であっても良い。

図３及び図４に示すように、本圧着装置１００の基台フレーム１３上には、２本のＬＭガイド３５がＸ軸方向に沿って延在して配置されており、それぞれのＬＭガイド（案内支持部材の一例）３５を介して、４台の圧着ユニット１０におけるユニットフレーム３３がＸ軸方向の進退移動可能に基台フレーム１３に支持されている。また、図４に示すように、各圧着ユニット１０のユニットフレーム３３の下部には、圧着ユニット１０のＸ軸方向沿いの進退移動を駆動するユニット移動用モータ（ユニット移動装置の一例である）３６が備えられている。すなわち、４台の圧着ユニット１０は、個別に圧着ヘッド３１とバックアップステージ３２とを備えるとともに、個別に備えられたユニット移動用モータ３６が駆動されることにより、２本のＬＭガイド３５に沿ってＸ軸方向沿いに案内されながら、それぞれ独立して進退移動することが可能に構成されている。ここで、「それぞれ独立した移動」とは、１台の圧着ユニット１０の移動が、自身が備えるユニット移動用モータ３６の駆動により行われ、他の１台の圧着ユニット１０の移動が、それ自身が備えるユニット移動用モータ３６の駆動により行われ、両者の移動速度や移動のタイミングを個別に設定することが可能な移動のことである。なお、それぞれの圧着ユニット１０が互いに接触することを防止する等、安全制御の実施のために、両者の移動制御が関連付けられるような場合であってもよい。

また、図４に示すように、各圧着ユニット１０は、ほぼ水平に配置されるパネル基板１に対して垂直な方向（Ｚ軸方向）である押圧方向Ｄに沿って、圧着ヘッド３１を進退移動、すなわち昇降動作させるための力を圧着ヘッド３１に付与するとともに、ＴＣＰ４に当接された状態の圧着ヘッド３１に対して本圧着のための力を付与する押圧駆動部である流体圧シリンダの一例の加圧ユニット（例えば、エアシリンダ）３７が備えられている。この加圧ユニット３７は、Ｙ軸方向にてユニットフレーム３３を間に挟んで圧着ヘッド３１と対向して配置され、ユニットフレーム３３に固定されている。すなわち、図４において、ユニットフレーム３３の図示左側に圧着ヘッド３１が配置され、ユニットフレーム３３の図示右側に加圧ユニット３７が配置されている。

また、図４に示すように、それぞれの圧着ユニット１０において、加圧ユニット３７にて発生された力を、圧着ヘッド３１に機械的に伝達するための手段として、リンク機構が採用されている。具体的には、リンク機構は、ユニットフレーム３３の上部先端に回動可能にそのほぼ中央付近にて支持されたレバー３８（レバー部材の一例）が、その図示左端にて、圧着ヘッド３１の上部と回動可能に接続され、その図示右端にて、加圧ユニット３７の内部のピストンに連結されたロッド３７ａの端部と回動可能に接続されることにより構成されている。なお、レバー３８は、大略Ｙ軸方向に沿って配置されており、その支持位置や接続位置における回動は、ＹＺ平面内にて行うことが可能とされている。リンク機構がこのように構成されていることにより、加圧ユニット３７のロッド３７ａとレバー３８との接続位置Ｃ１を「力点」とし、圧着ヘッド３１とレバー３８との接続位置Ｃ２を「作用点」とし、ユニットフレーム３３によるレバー３８の支持位置Ｃ３を「支点」として、加圧ユニット３７にて発生された力を、レバー３８を介して、圧着ヘッド３１に伝達することが可能となっている。すなわち、加圧ユニット３７にて発生されたＺ軸方向沿いに作用する力の方向を、レバー３８にて反転させながら、レバー３８を通して圧着ヘッド３１にこの力を伝達し、圧着ヘッド３１を押圧方向Ｄに沿って動作させることが可能に構成されている。このようにユニットフレーム３３の上部に支持されたレバー３８を用いて、ユニットフレーム３３の一方の側に配置されかつ支持位置Ｃ３より低い位置に配置された加圧ユニット３７にて発生された力を、ユニットフレーム３３の他方の側に配置されかつ支持位置Ｃ３より低い位置に配置された圧着ヘッド３１に伝達可能な構成が採用されていることにより、圧着ユニット１０全体を低くコンパクトな構造とすることができるとともに、圧着ユニット１０における荷重バランスを良好なものにすることができる。したがって、圧着ユニット１０の小型化かつ低重心化を図ることができ、Ｘ軸方向における圧着ユニット１０の移動の迅速化あるいは効率化を図ることができる。

また、図４に示すように、それぞれの圧着ユニット１０が備える加圧ユニット３７は、圧力発生源３９に導圧管等を介して接続されており、圧力制御部４０により制御されながら所望の力（圧力）を生成することができるように、圧縮空気の供給量が制御される。

また、図３及び図４に示すように、基台フレーム１３上には、剛体部材により形成された大略門型形状を有する門型フレーム４１がＸ軸方向に沿って固定されており、この門型フレーム４１の内側に４台の圧着ユニット１０が配列されている。さらに、この門型フレーム４１には、支持位置Ｃ３回りのレバー３８の回動動作を、レバー３８と当接して規制することで、圧着ヘッド３１の押圧方向Ｄ沿いの動作を規制可能なヘッド動作規制装置４２（動作速度規制装置および押圧体移動装置の一例）が設けられている。ヘッド動作規制装置４２は、門型フレーム４１の内側にてＸ軸方向に延在して配置され、４台の圧着ユニット１０のレバー３８の接続位置Ｃ１における端部３８ａの上部と当接可能な棒状部材である１本の規制部材４３と、この規制部材４３を昇降動作（押圧方向Ｄ沿いに進退移動）させる規制部材昇降装置４４とを備えている。なお、規制部材４３は１本としたが、圧着ユニット１０との当接による動作規制に悪影響がなければ、規制部材４３を複数本の分割構造としても良い。

このような構成のヘッド動作規制装置４２を用いて、規制部材昇降装置４４により下降された規制部材４３にて、レバー３８の端部３８ａの上部と規制部材４３の下部とを当接させ、この当接状態にて、加圧ユニット３７により加圧力をレバー３８に伝達するとともに、規制部材昇降装置４２により規制部材４３を所望の速度にて上昇させることで、レバー３８の端部３８ａの上昇速度を、上記所望の速度に規制することができる。特に、加圧ユニット３７のように流体の圧力にてレバー３８を動作させるような構成では、レバー３８の動作速度を迅速に制御することが困難である。そのため、本第１実施形態では、レバー３８の動作速度を確実に制御するために、ヘッド動作規制装置４２を採用している。このようにレバー３８の動作速度を規制することで、レバー３８の支持位置Ｃ３回りの回動速度を規制することが可能となり、その結果、圧着ヘッド３１がバックアップツール３２へと向かう方向の動作速度（下降速度）を高速から低速への切り替え等を含む所定の速度に規制することができる。なお、規制部材４３はその下部においてレバー３８の端部３８ａと当接される構成となっているため、圧着ヘッド３１がバックアップツール３２へと向かう動作が行われる場合に動作速度の規制が行われることになる。また、規制部材昇降装置４２により規制部材４３を上昇させて、レバー３８の端部３８ａから離間させることにより、レバー３８の動作規制を解除することができる。すなわち、規制部材昇降装置４２により規制部材４３を、レバー３８との当接位置と、レバー３８から離間された退避位置との間で進退移動させることが可能となっている。これにより、レバー３８を通して圧着ヘッド３１に加圧ユニット３７の加圧力が直接伝達可能となり、パネル基板１にＡＣＦ３を介して実装される部品であるＴＣＰ４への圧着ヘッド３１の当接の直後に、ＴＣＰ４の圧着の為の所望の加圧力の伝達を確実に行うことができる。また、図３に示すように、このようなヘッド動作規制装置４２は、それぞれの圧着ユニット１０に個別に備えられているのではなく、４台の圧着ユニット１０に共通して１台のヘッド動作規制装置４２が備えられている。このように共通した１台のヘッド動作規制装置４２を備えさせることにより、個々の圧着ユニット１０の構成の簡素化および小型化を図ることができるとともに、圧着ヘッド３１の動作速度を規制する規制部材昇降装置４２の規制部材４３と圧着ユニット１０とを離間可能な構成とすることで、圧着ユニット１０のＸ軸方向沿いの移動の迅速化等を図ることができる。

また、それぞれのユニット移動用モータ３６による圧着ユニット１０のＸ軸方向の移動位置の情報は制御装置１９に取得され、制御装置１９にて互いに圧着ユニット１０同士が干渉することがないように、移動制御が行われる。また、ヘッド動作規制装置４２によりそれぞれの圧着ヘッド３１の一体的あるいは個々に独立した動作速度の規制、および圧力制御部４０による加圧力の制御は、制御装置１９により統括的に行われる。

次に、このような構成の圧着ユニット１０における圧着動作について、図５Ａ〜図５Ｄに示す模式説明図と、図６（Ａ）〜（Ｃ）に示すグラフを用いて説明する。なお、図６（Ａ）は圧着ヘッドの押圧力の変化を示すグラフであり、図６（Ｂ）は規制部材４３とレバー３８との接触関係の変化を示すグラフであり、図６（Ｃ）は圧着ヘッド３１の高さ位置の変化を示すグラフである。

まず、図５Ａに示す状態（時間Ｔ１−Ｔ２）では、レバー３８と規制部材４３とが互いに離間された状態（すなわち、規制部材４３が退避位置に位置された状態）にあり、さらに圧着ヘッド３１は高さ位置Ｈ１に位置されて、バックアップツール３２上に配置されたパネル基板１およびＴＣＰ４から離間された状態にある（図６（Ａ）参照）。このような状態においては、それぞれの圧着ユニット１０のＸ軸方向の移動、すなわちそれぞれの圧着ユニット１０の配置ピッチ等の変更を行うことが可能となっている。

次に、図５Ｂおよび図６（Ｃ）に示すように時間Ｔ２において、規制部材昇降装置４４により下降された規制部材４３と、レバー３８の端部３８ａとを当接させる（すなわち、規制部材４３を当接位置に位置させる。図６（Ｂ）参照）。この当接とともに、加圧ユニット３７にて加圧力を発生させる。このように加圧力が発生されてレバー３８に加圧力が伝達されても、規制部材４３がレバー３８と当接することによりレバー３８の動作が規制されているため、圧着ヘッド３１が急激に下降されることが確実に防止されている。

その後、時間Ｔ２から時間Ｔ３に向けて、規制部材昇降装置４４により規制部材４３が所定の速度にて上昇されることにより、圧着ヘッド３１がパネル基板１へＴＣＰ４を圧着する方向に下降される。なお、このような所定の速度は、一定の速度である場合のみに限られるものではなく、例えば図６（Ｃ）から明らかなように高速から低速への速度切り替えがなされるような場合であってもよい。このように規制部材４３が徐々に上昇されることにより、規制部材４３に倣ってレバー３８が回動され、その結果、圧着ヘッド３１が高さ位置Ｈ１からパネル基板１のＴＣＰ４に向かう方向である押圧方向Ｄに沿って規制された速度にて下降される（図６（Ｃ）参照）。

やがて時間Ｔ３に達すると、図５Ｃに示すように、圧着ヘッド３１が高さ位置Ｈ２にまで下降され、バックアップツール３２上に配置されているパネル基板１の端子部２に仮圧着されているＴＣＰ４に圧着ヘッド３１の下部先端（当接面または押圧面）が当接する。この当接により圧着ヘッド３１の下降動作が実質的に制限される（ただし、押圧により僅かな下降は生じる）ため、加圧ユニット３７により付加されている力がＴＣＰ４に対する押圧力となって生じる（図６（Ａ）参照）。また、それとともに、図５Ｄに示すように、所定の速度（例えば、ＴＣＰ４に圧着ヘッド３１の下部先端が当接する前に高速から低速への速度切り替えされた後の速度）にて上昇が継続されている規制部材４３が、圧着ヘッド３１の下降位置の制限によりその回動動作が制限されているレバー３８の端部３８ａから離間される（図６（Ｂ）参照）。

時間Ｔ４に向けて、圧着ヘッド３１のＴＣＰ４をパネル基板１に押圧する押圧力が上昇し、やがて所定の押圧力Ｆに達し、押圧力ＦにてＴＣＰ４がパネル基板１に押圧されて本圧着動作が行われる。なお、この本圧着動作の際には、図示しないヒータ（圧着ヘッド３１に内蔵）により加熱が行われる。

時間Ｔ４に達すると、本圧着動作が完了し、加圧ユニット３７により逆向きに圧着ヘッド３１が動作（すなわち上昇）されて、圧着ヘッド３１がＴＣＰ４より離間され、時間Ｔ５にて図５Ａに示す状態に戻される。このような一連の動作が行われることにより、パネル基板１へのＴＣＰ４の本圧着動作が行われる。

次に、本圧着装置１００において、パネル基板１に対するＴＣＰ４の本圧着動作が行われる手順の詳細について説明する。この説明にあたって、本圧着動作の手順を示すフローチャートを図７に示し、パネル基板１の長辺側端子部２Ａに対して本圧着動作が行われている状態を示す模式説明図を図８（Ａ）、（Ｂ）に示し、短辺側端子部２Ｂに対して本圧着動作が行われている状態を示す模式説明図を図９（Ａ）、（Ｂ）に示す。

図７のフローチャートのステップＳ１において、本圧着装置１００のパネル基板保持装置１２に１枚のパネル基板１が搬入されて、ステージ１１により保持される。このパネル基板１は、図８（Ａ）に示すように、Ｘ軸方向沿いの端子部を長辺側端子部２Ａとして、Ｙ軸方向沿いの端子部を短辺側端子部２Ｂとした姿勢にてステージ１１に保持される。また、長辺側端子部２Ａには間隔ピッチＰ１にて３個のＴＣＰ４が仮圧着されており、短辺側端子部２Ｂには間隔ピッチＰ２にて２個のＴＣＰ４が仮圧着されている。なお、間隔ピッチＰ１とＰ２は互いに異なっている。

次に、この搬入されたパネル基板１の識別情報と関連付けられて、パネル基板１の長辺側端子部２Ａにおける部品圧着位置情報（第１圧着位置情報）が制御装置１９にて取得される（ステップＳ２）。部品圧着位置情報には、長辺側端子部２ＡにおけるそれぞれのＴＣＰ４の圧着位置、その間隔ピッチＰ１、さらに圧着されるＴＣＰ４の個数の情報などが含まれている。さらにこのような情報の中には、ＴＣＰ４の種類及び熱圧着の加熱温度や加圧力の情報が含まれるような場合であってもよい。また、部品圧着位置情報の取得は、制御装置１９の外部より入力されるような場合であってもよく、あるいは制御装置１９の記憶部等に予め記憶されており、パネル基板１の識別情報あるいは予め選択されているパネル基板１の生産情報に基づいて記憶部等から読み出されるような場合であってもよい。

制御装置１９において、長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報が取得されると、この取得された部品圧着位置情報に基づいて、それぞれの圧着ユニット１０の配置が調整される（ステップＳ３）。具体的には、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の個数（３個）の情報に基づいて、４台の圧着ユニット１０の中から本圧着動作のために使用される３台の圧着ユニット１０が選択される。このとき、４台の圧着ユニット１０の中央側に位置される圧着ユニット１０から順次選択される。選択された３台の圧着ユニット１０は、その配列における略中央付近の領域である圧着動作実施領域Ｑ１に位置され、一方選択されなかった１台の圧着ユニット４１は、圧着動作実施領域Ｑ１の両側において隣接する領域であるいずれかの退避領域Ｑ２に位置されるように、それぞれの圧着ユニット１０が備えるユニット移動用モータ３６の駆動により、それぞれの圧着ユニット１０がＬＭガイド３５により案内されながら、それぞれ独立してＸ軸方向沿いに移動される。このように本圧着動作を実施する３台の圧着ユニット１０を圧着動作実施領域Ｑ１に位置させ、本圧着動作を実施しない１台の圧着ユニット１０を退避領域Ｑ２に位置させることにより、本圧着動作を実施しない１台の圧着ユニット１０とパネル基板１との干渉を防止して、確実に本圧着動作を実施することができる。さらに、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の圧着位置の間隔ピッチＰ１及びその位置の情報に基づいて、選択された３台の圧着ユニット１０の位置及び配置間隔が、それぞれのユニット移動用モータ３６の駆動により個別に調整される。なお、このようなそれぞれの圧着ユニット１０の移動は、規制部材４３がレバー３８より離間された状態（すなわち規制部材４３が退避位置に位置された状態）にて行われる（図５Ａ参照）。

このようにそれぞれの圧着ユニット１０の配置調整、すなわち位置および配置間隔の調整が完了すると、パネル基板保持装置１２によりパネル基板１の移動が行われて、選択された３台の圧着ユニット１０におけるそれぞれのバックアップステージ３２上に、パネル基板１の３箇所の部品圧着位置が位置決めされるようにパネル基板１の長辺側端子部２Ａが配置される（図５Ａ、図８（Ａ）及び（Ｂ）参照）。図８（Ａ）および（Ｂ）に示すように、退避領域Ｑ２に位置された１台の圧着ユニット１０とパネル基板１との干渉は防止されている。その後、図５Ｂに示すように、加圧ユニット３７およびヘッド動作規制装置４２によりレバー３８の規制しながらのレバー３８の回動動作が行われてそれぞれの圧着ヘッド３１が下降され、図５Ｃに示すように、圧着ヘッド３１の下面である圧着面がＴＣＰ４に当接される。さらに図５Ｄ及び図６に示すように、加圧ユニット３７により所定の加圧力がＴＣＰ４に対して付加されることで、パネル基板１の長辺側端子部２Ａにおける３箇所の部品圧着位置において、ＡＣＦシート３を介して３個のＴＣＰ４が本圧着されて実装される（ステップＳ４）。その後、それぞれの加圧ユニット３７によりそれぞれの圧着ヘッド３１が上昇され、図５Ａに示すような状態となる。

なお、上述の説明では、バックアップステージ３２が固定式である場合についての本圧着動作について説明したが、図２２Ａおよび図２２Ｂに示すように、バックアップステージ３２が可動式であって昇降可能な構成が採用される場合であってもよい。このような構成が採用される場合には、バックアップステージ３２の上方にパネル基板１の長辺側端子部２Ａを配置した後、このパネル１基板の長辺側端子部２Ａに近づく方向に圧着ヘッド３１を動作させるとともに、バックアップステージ昇降部７３によりバックアップステージ３２をパネル１基板の長辺側端子部２Ａに近づく方向に動作させて、ＴＣＰ４をパネル基板１に圧着することができる。この時、圧着動作を行わない圧着ユニット１０については、パネル基板１の支持高さ位置である圧着高さ位置よりも下方の位置である昇降の下降位置（支持解除高さ位置）にバックアップステージ３２を位置させることで、圧着動作を行わない圧着ユニット１０とＴＣＰ４およびパネル基板１との干渉を防止することができる。そのため、例えば、圧着動作を行わない圧着ユニット１０を退避領域Ｑ２ではなく圧着動作実施領域Ｑ１に位置させるような場合であっても、この圧着ユニット１０とパネル基板１との干渉を防止することが可能となる。

次に、長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作が完了すると、パネル基板保持装置１２によりパネル基板１がそれぞれのバックアップステージ３２から離間されるように移動され、保持されているパネル基板１がＸＹ平面内においてθ回転移動されて、パネル基板１の短辺側端子部２ＢがＸ軸方向沿いとなるような姿勢とされる（ステップＳ５）。

次に、制御装置１９において、パネル基板１の短辺側端子部２Ｂにおける部品圧着位置情報（第２圧着位置情報）が取得される（ステップＳ６）。この部品圧着位置情報には、短辺側端子部２ＢにおけるそれぞれのＴＣＰ４の圧着位置、その間隔ピッチＰ２、さらに圧着されるＴＣＰ４の個数（２個）の情報などが含まれている。なお、本第１実施形態の手順の例としては、長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報と、短辺側端子部２Ｂの部品圧着位置情報とが別々に取得されるような場合について説明するが、このような場合に代えて、両情報が同時に取得されるような場合であってもよい。

次に、この取得された部品圧着位置情報に基づいて、図９（Ａ）および（Ｂ）に示すように、短辺側端子部２Ｂの部品圧着位置情報に対応して、それぞれの圧着ユニット１０の配置が調整される（ステップＳ７）。具体的には、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の個数（２個）の情報に基づいて、４台の圧着ユニット１０の中から本圧着動作のために使用される２台の圧着ユニット１０として、４台の圧着ユニット４１の中央に位置される２台の圧着ユニット１０が選択される。選択された２台の圧着ユニット１０は、圧着動作実施領域Ｑ１に位置され、一方選択されなかった両側の２台の圧着ユニット１０は、それぞれの退避領域Ｑ２に１台ずつ位置されるように、それぞれのユニット移動用モータ３６の駆動により、それぞれの圧着ユニット１０がＬＭガイド３５により案内されながら、Ｘ軸方向沿いに移動される。さらに、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の圧着位置の間隔ピッチＰ２及びその位置の情報に基づいて、選択された２台の圧着ユニット１０の位置及び配置間隔が、それぞれのユニット移動用モータ３６の駆動により調整される。なお、このようなそれぞれの圧着ユニット１０の移動は、規制部材４３がレバー３８より離間された状態にて行われる（図５Ａ参照）。

それぞれの圧着ユニット１０の配置調整が完了すると、パネル基板保持装置１２によりパネル基板１の移動が行われて、選択された２台の圧着ユニット１０におけるそれぞれのバックアップステージ３２上に、２箇所の部品圧着位置が位置決めされるようにパネル基板１の短辺側端子部２Ｂが配置される。ここで、図９（Ａ）及び（Ｂ）は、バックアップステージ３２上にパネル基板１の短辺側端子部２Ｂが配置されている状態を示す。図９（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、退避領域Ｑ２に位置された４２の圧着ユニット１０とパネル基板１との干渉は防止されている。その後、加圧ユニット３７およびヘッド動作規制装置４２によりレバー３８を介してそれぞれの圧着ヘッド３１が、規制された動作速度にて下降され、圧着ヘッド３１の下面である圧着面がＴＣＰ４に当接される。さらに加圧ユニット３７により所定の加圧力がＴＣＰ４に対して付加されることで、パネル基板１の短辺側端子部２Ｂにおける２箇所の部品圧着位置において、ＡＣＦシート３を介して２個のＴＣＰ４が本圧着されて実装される（ステップＳ８）。その後、加圧ユニット３７によりそれぞれの圧着ヘッド３１が上昇される。

なお、長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作と同様に、短辺側端子部２Ｂに対する本圧着動作についても、図２２Ａおよび図２２Ｂに示すように、バックアップステージ３２が可動式として昇降可能な構成が採用される場合であってもよい。この場合には、バックアップステージ３２の上方にパネル基板１の短辺側端子部２Ｂを配置した後、このパネル１基板の短辺側端子部２Ｂに近づく方向に、圧着ヘッド３１及びバックアップステージ３２を動作させて、ＴＣＰ４をパネル基板１に圧着することができる。この時、圧着動作を行わない圧着ユニット１０については、圧着位置（支持高さ位置）よりも下方の位置である昇降の下降位置（支持解除高さ位置あるいは退避高さ位置）にバックアップステージ３２を位置させることで、圧着動作を行わない圧着ユニット１０とＴＣＰ４及びパネル基板１との干渉を防止することができる。

短辺側端子部２Ｂに対する本圧着動作が完了すると、パネル基板保持装置１２によりパネル基板１がそれぞれのバックアップステージ３２から離間されるように移動されて、本圧着装置１００からパネル基板１が搬出される（ステップＳ９）。

本第１実施形態によれば、本圧着装置１００において、パネル基板１の端子部２にＴＣＰ４を本圧着する圧着ヘッド３１と、その本圧着の際にパネル基板１の端子部２を支持するバックアップステージ３２とを備える一列に配置された複数の圧着ユニット１０と、複数の圧着ユニット１０に個別に備えられ、Ｘ軸方向沿いに圧着ユニット１０を平行移動させて圧着ユニット１０の配置を変更させる複数のユニット移動用モータ３６とが備えられていることにより、パネル基板１の部品圧着位置情報、すなわち端子部２における複数の部品圧着位置の配置又は個数に応じて、それぞれのユニット移動用モータ３６によりそれぞれの圧着ユニット１０を個別に平行移動させて、圧着ユニット１０の配置を部品圧着位置の配置と合致させることができる。したがって、パネル基板１の仕様に応じて異なる部品圧着位置に対応した本圧着動作を効率的に実施することができる。

また、パネル基板１において、長辺側端子部２Ａと短辺側端子部２Ｂとで、ＴＣＰ４の圧着位置、間隔ピッチ、及び圧着されるＴＣＰ４の個数が異なるような場合であっても、長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報に基づいてそれぞれの圧着ユニット１０の配置調整を行った後、長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作を実施し、その後、短辺側端子部２Ｂの部品圧着位置情報に基づいてそれぞれの圧着ユニット１０の配置調整を行った後、短辺側端子部２Ｂに対する本圧着動作を実施することで、それぞれの端子部２Ａ、２Ｂの仕様に応じた部品圧着を確実かつ効率的に実施することができる。そのため、長辺側用の圧着ユニット及び短辺側用の圧着ユニットとしてそれぞれ専用の圧着ユニットを備えなくても、１台の本圧着装置１００により長辺側端子部２Ａ及び短辺側端子部２Ｂのそれぞれの圧着位置に応じた圧着ピッチに合わせるようにそれぞれの圧着ユニットの位置に迅速に切り替えを行い、パネル基板への部品圧着を効率的に行うことができる。

また、それぞれの圧着ユニット１０において、ユニット移動用モータ３６が個別に備えられていることにより、このようなそれぞれの圧着ユニット１０の配置調整を迅速かつ効率的に行うことができる。

また、それぞれの圧着ユニット１０において、押圧方向Ｄ沿いの圧着ヘッド３１の進退移動および押圧動作は、加圧ユニット３７にて発生された力を、リンク機構を介して圧着ヘッド３１に伝達することにより行われる。このようなリンク機構としては、ユニットフレーム３３に回動可能に支持されたレバー３８を用いて、加圧ユニット３７からレバー３８の一端に付加された力を、テコの原理を用いてレバー３８の他端に接続された圧着ヘッド３１に伝達することにより行われる。さらに、加圧ユニット３７にて発生された力により、圧着ヘッド３１の急激な移動を防止するために、レバー３８の端部３８ａと規制部材４３とを当接させて、規制部材昇降装置４４による規制部材４３の移動速度に圧着ヘッド３１の動作速度を倣わすような構成が採用されている。そのため、圧着ヘッド３１の動作（下降動作）を確実に制御しながらＴＣＰ４に当接させることができ、適切な押圧力にて本圧着動作を行うことができる。

さらに、このようなヘッド動作規制装置４２を複数の圧着ユニット１０にて共通の装置として備えさせていることにより、それぞれの圧着ユニット１０の小型化および構造の簡素化を図ることができ、圧着ユニット１０の配置変更を容易かつ迅速に行うことができる。特に、圧着ヘッド３１を動作させる力を発生する手段として、電動モータ等ではなく、流体圧シリンダ（加圧ユニット３７）を採用することにより、個々の圧着ユニット１０をコンパクトな構造とすることができる。さらに、このような流体圧シリンダの動作を制御（規制）する装置をそれぞれの圧着ユニットに個別に備えさせるのではなく、共通の１台の装置と備えさせることにより、それぞれの圧着ユニット１０をさらにコンパクトな構造として、その軽量化を図ることができる。したがって、ユニット移動用モータ３６による移動性を良好なものとすることができる。

また、４台の圧着ヘッド３１のうちの複数の圧着ヘッド３１が選択される場合には、中央側に位置される圧着ヘッド３１から順次選択されるようにすることで、このような共通のヘッド動作規制装置４２による動作速度の規制が行われながら、ＴＣＰ４の圧着動作が行われる際に、ヘッド動作規制装置４２の構造に対する荷重バランスを良好なものとすることができ、パネル基板１に対するＴＣＰ４の圧着品質をより安定させることができる。

また、各圧着ユニット１０において、圧着ヘッド３１とバックアップステージ３２とが一対とされ、互いの配置関係が保たれた状態にてそれぞれの圧着ユニット１０の配置調整のための移動が行われるような構成が採用されていることにより、どのような位置に移動されても圧着ヘッド３１の圧着面（あるいは押圧面）とバックアップステージ３２のパネル基板１の支持面との平行度（平行関係）を一定に保つことができる。したがって、本圧着工程における圧着精度（実装精度）を向上させることができる。

また、パネル基板１に対する本圧着動作が行われる選択された圧着ユニット１０を圧着動作実施領域Ｑ１に位置させて、本圧着動作を行わない選択されなかった圧着ユニット１０を退避領域Ｑ２に位置させるようにして、本圧着動作を実施する際に、圧着動作実施領域Ｑ１に位置されているバックアップステージ３２のみにより端子部２の支持を行わせることができる。例えば、図１０に示すように、パネル基板１の両端部においてたわみＷが生じているような場合にあっては、このようなたわみが生じている両端部近傍をバックアップステージ３２により支持してしまうと、中央付近の端子部においてバックアップステージ３２よりの浮き上がりが生じる恐れがある。このような浮き上がりを確実に防止するために、図１０に示すように部品圧着位置が位置されている中央部付近のみを支持させることで、本圧着動作をより確実に実施することができる。なお、バックアップステージ３２が可動式として昇降可能な構成であるような場合には、バックアップステージ３２をパネル基板１から離間する方向、すなわち下方に位置（下降位置あるいは支持解除高さ位置）に移動させるようにして、本圧着動作を実施する際に、圧着動作を行う圧着ユニット１０のバックアップステージ３２のみにより端子部２の支持を行わせて、同様の効果を得ることができる。

（第２実施形態）
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、本発明の第２の実施形態にかかる本圧着装置及び方法について以下に説明する。

上記第１実施形態の本圧着装置１００では、パネル基板１がほぼ水平方向沿いの姿勢にてその搬送や本圧着動作が行われている。ここで、このような上記第１実施形態のパネル基板１の搬送方法を「水平搬送」と呼ぶものとする。この水平搬送が行われる場合、図１１の模式図に示すように、仮圧着工程にてパネル基板１の端子部２に仮圧着された状態のＴＣＰ４の端部が、そのフレキシブル性により下方に向けて垂れ下がることになる。このようなＴＣＰ４の垂れ下がりを防止して確実な本圧着動作を行うためには、例えば、ステージ１１やバックアップステージ３２等に、ＴＣＰ４の外方端部を支持するための支持部材を補助的に装備させるなどの対応が必要となる。また、近年、益々パネル基板の大型化の傾向が顕著となりつつあり、このようなアウターリードボンディング工程が行われる各装置において、パネル基板１のθ回転領域を確保するために、平面的な装置サイズの大型化を避けることは難しいという実情が存在する。

このような水平搬送の課題を改良すべく、本第２実施形態では、パネル基板１を垂直方向、すなわちＸＺ平面沿いに配置して、その搬送や本圧着動作などを行う構成（以降、「縦型搬送」とする。）が採用されている。図１２に示すように、縦型搬送を採用することにより、パネル基板１に仮圧着されたＴＣＰ４に垂れ下がり等の現象が生じないようにすることができる。

このような本第２実施形態の縦型搬送が採用されたアウターリードボンディング工程の手順を示す説明図を図１３に示す。図１３に示すように、部品実装工程を行う装置に搬入されたパネル基板１に対して、まず、ＡＣＦ貼り付け工程Ｓ５００にて、それぞれの端子部２の端子電極２ａに接合部材としてＡＣＦシート３の貼り付けを行い、その後、部品仮圧着工程Ｓ６００にて、ＡＣＦシート３を介してＴＣＰ４をそれぞれの端子電極２ａに仮圧着し、さらにその後、本圧着工程Ｓ７００にて、仮圧着された状態のそれぞれのＴＣＰ４をさらに圧着して実装する。なお、この本圧着工程Ｓ７００は、パネル基板１の長辺側端子部に対する本圧着工程Ｓ７１０と、パネル基板１の短辺側端子部に対する本圧着工程Ｓ７２０とに分けて行われる。各工程において、パネル基板１が縦型の姿勢にてその搬送および所定の動作が施される点を除いては、基本的に上記第１実施形態の水平搬送のアウターリードボンディング工程と同様である。

次に、本第２実施形態の縦型搬送のアウターリードボンディング工程の本圧着工程を行う本圧着装置２００の構成について、圧着ユニット２１０および関連する構成を中心として説明する。図１４Ａ〜図１４Ｄは、本圧着動作を説明するための圧着ユニット２１０の模式図であり、ぞれぞれの図は、上記第１実施形態の図５Ａ〜図５Ｄに対応する状態の図である。また、以降の説明においては、その機能および構成が上記第１実施形態の圧着ユニット１０と実質的に同じ構成部材には、同じ参照符号を付すことでその説明を省略するものとする。

本圧着装置２００においては、複数の圧着ユニット２１０として、例えば４台の圧着ユニット２１０がＸ軸方向に沿って一列に配列して備えられている。図１４Ａに示すように、圧着ユニット２１０は、その押圧方向ＤがＹ軸方向となるように圧着ユニット２１０の配置が、上記第１実施形態と比してパネル基板１の搬送方向に対して直交する方向に９０度回転されて実質的に水平面上に配置されている点を除いては、実質的に上記第１実施形態の圧着ユニット１０と同じ構成を有している。

具体的には、図１４Ａに示すように、各圧着ユニット２１０は、圧着ヘッド３１と、バックアップステージ３２を備えており、バックアップステージ３２は、剛体にて形成された大略Ｌ字状の断面を有する柱状体であるユニットフレーム３３の上部側面に固定されており、圧着ヘッド３１がＹ軸方向に配置されたＬＭガイド３４を介してその移動動作を案内可能にユニットフレーム３３の上面に取り付けられている。また、本圧着装置２００の基台フレーム１３上には、大略Ｌ字状の断面を有する支持フレーム２２１が固定されている。この支持フレーム２２１の内側上面および側面のそれぞれの２本ずつのＬＭガイド３５がＸ軸方向に沿って延在して配置されており、それぞれのＬＭガイド３５を介して、４台の圧着ユニット２１０のユニットフレーム３３がＸ軸方向の進退移動可能に基台フレーム１３に支持されている。また、図１４Ａに示すように、各圧着ユニット２１０のユニットフレーム３３の図示右側下部には、圧着ユニット２１０のＸ軸方向沿いの進退移動を駆動するユニット移動用モータ３６が備えられている。すなわち、４台の圧着ユニット２１０は、個別に圧着ヘッド３１とバックアップステージ３２とを備えるとともに、個別に備えられたユニット移動用モータ３６が駆動されることにより、４本のＬＭガイド３５に沿ってＸ軸方向沿いに案内されながら、それぞれ独立して進退移動することが可能に構成されている。

また、図１４Ａに示すように、各圧着ヘッド３１は、ほぼ垂直に配置されるパネル基板１に対して垂直な方向（Ｙ軸方向）である押圧方向Ｄに沿って、圧着ヘッド３１を進退移動、すなわち水平移動動作させるための力を圧着ヘッド３１に付与するとともに、ＴＣＰ４に当接された状態の圧着ヘッド３１に対して本圧着のための力を付与する加圧ユニット３７が備えられている。図１４Ａにおいて、ユニットフレーム３３の図示上方側に圧着ヘッド３１が配置され、ユニットフレーム３３の図示下方側に加圧ユニット３７が配置されている。

また、図１４Ａに示すように、それぞれの圧着ユニット２１０において、加圧ユニット３７にて発生された力を、圧着ヘッド３１に機械的に伝達するための手段として、リンク機構が採用されている。リンク機構は、上記第１実施形態と同様にユニットフレーム３３の図示左側端部に回動可能にそのほぼ中央付近にて支持されたレバー３８が、その図示上端にて、圧着ヘッド３１の左側端部と回動可能に接続され、その図示下端にて、加圧ユニット３７の内部のピストンに連結されたロッド３７ａの端部と回動可能に接続されることにより構成されている。なお、レバー３８は、大略Ｚ軸方向に沿って配置されており、その支持位置や接続位置における回動は、ＹＺ平面内にて行うことが可能とされている。

また、図１４Ａに示すように、支持フレーム２２１には、剛体部材により形成された大略門型形状を有する門型フレーム４１がＸＹ平面に沿って配置された状態で固定されており、この門型フレーム４１の内側に４台の圧着ユニット２１０が配列されている。さらに、この門型フレーム４１には、門型フレーム４１の内側にてＸ軸方向に延在して配置され、４台の圧着ユニット２１０のレバー３８の端部３８ａの図示左側端部と当接可能な規制部材４３と、この規制部材４３をＹ軸方向に沿って移動させる規制部材昇降装置４４とを備えるヘッド動作規制装置４２が設けられている。

このような構成の本第２実施形態の本圧着装置２００において、図１４Ａに示すように、バックアップステージ３２に接するようにパネル基板を配置し、その後、図１４Ｂに示すように、規制部材４３によりレバー３８の回動を規制しながら、加圧ユニット３７にて加圧力を生じさせて、レバー３８を介して圧着ヘッド３１を押圧方向Ｄ、すなわちパネル基板１に部品であるＴＣＰ４を圧着する方向であるＹ軸方向沿いにバックアップステージ３２に向かうように動作させる。やがて、図１４Ｃに示すように、圧着ヘッド３１がパネル基板１に仮圧着されたＴＣＰ４に当接し、圧着ヘッド３１がＴＣＰ４を押圧してパネル基板１への本圧着動作が行われる。それとともに、図１４Ｄに示すように、規制部材４３はレバー３８から離間されて、動作速度の規制が解除され、加圧ユニット３７の加圧力がレバー３８を介して圧着ヘッド３１を所定の押圧力にてパネル基板１へＴＣＰ４を押圧する。その後、本圧着動作が完了すると、加圧ユニット３７により圧着ヘッド３１がＴＣＰ４から離間する方向に動作される。また、それぞれの圧着ユニット２１０のＸ軸方向沿いの移動、すなわち配置ピッチの変更は、図１４Ａに示すように、規制部材４３が、それぞれのレバー３８から離間された状態にて行われる。

上記第２実施形態のように、パネル基板１の縦型搬送が行われるような構成が採用される場合であっても、それぞれの圧着ユニット２１０をＹ軸方向に寝かした状態、すなわち、それぞれの圧着ヘッド３１の押圧方向ＤがＹ軸方向に配置されるように、それぞれの圧着ユニット２１０を配置させることにより、縦型搬送の利点を得ながら上記第１実施形態と同様な効果を得ることができる本圧着装置２００を実現することができる。特に、このような縦型搬送が採用される場合には、Ｙ軸方向における装置幅は装置構成部材の大きさ（幅）により決定されることになるが、パネル基板１の縦型搬送に伴い、特に大型のパネル基板の搬送方向に直交する水平方向の装置幅が小さくなり、またそれぞれの圧着ユニット２１０の小型化および構成の簡素化を図ることにより、さらにパネル基板の搬送方向に直交する水平方向の装置幅の小型化を実現することができる。

（変形例）
次に、上記第１及び第２実施形態の本圧着装置の様々な変形例について図面を用いて説明する。なお、以降の説明において、上記第１及び第２実施形態の本圧着装置が有する構成要素と実質的に同一の構成要素には、同じ参照符号を付してその説明を省略する。

上記第１実施形態では、ヘッド動作規制装置４２を支持するための構造として、門型フレーム４１を採用したが、このような門型フレーム４１に代えて、図１５および図１６の本圧着装置３００の模式図に示すように、それぞれの圧着ユニット１０のＹ軸方向後方側に配置された支持フレーム３５１を用いることもできる。

このような支持フレーム３５１を用いた構成を採用することにより、それぞれの圧着ユニット１０の配列方向に支持フレーム３５１が配置されない構成とすることができる。したがって、それぞれの圧着ユニット１０の移動範囲に制約を無くすことができ、配置ピッチ変更のための移動の自由度を高めることができる。また、支持フレーム３５１を支持する基台フレーム１３を、支持フレーム３５１をＸ軸方向に進退移動させる移載軸（すなわち移動装置）とするような場合（図示せず）には、支持フレーム３５１とともにそれぞれの圧着ユニット１０を一体的にＸ軸方向に移動させることで、Ｘ軸方向におけるそれぞれの圧着ユニット１０の実質的な移動範囲の拡大を行い、パネル基板１の搬送方向であるＸ軸方向に、特に支持フレーム３５１のＸ軸方向の幅を超えて大型化されたパネル基板１に対する部品の圧着作業に、支持フレーム３５１の大型化対応をすることなく、対応することが可能となる。また、このような支持フレームと基台フレームとの相対的な進退移動の構成は、水平搬送の本圧着装置だけでなく、縦型搬送の本圧着装置にも適用することができる。

これに対して、門型フレーム４１を用いた構成では、規制部材４３を通じて門型フレーム４１に外力（レバー３８の動作速度規制により生じる力）が付与されても、比較的フレームに反り等が発生し難く、より精確にレバー３８の動作速度を規制することができる。

また、このように、門型フレームではなく、支持フレームにヘッド動作規制装置を固定するような構成は、上記第２実施形態のように縦型搬送を採用する本圧着装置にも適用することができる。

具体的には、図１７の本圧着装置４００の模式図に示すように、支持フレーム４４１をＹ軸方向に延在させて、ヘッド動作規制装置４２を支持させるような構成を採用することができる。

また、図１８の本圧着装置５００の模式図に示すように、支持フレーム５４１上に配置された２本のＬＭガイド３５のみにより、それぞれの圧着ユニット２１０のＸ軸方向の移動が案内されるような構成を採用することもできる。特に、圧着ユニット２１０が小型であり軽量化が図られているような場合には、このような構成に対応することが可能である。

また、上記第１および第２実施形態の本圧着装置では、加圧ユニットにて生じた加圧力を、レバー３８を用いたリンク機構を用いて、ユニットフレームを挟んで反対側に配置されている圧着ヘッドに伝達するような構成について説明したが、本発明はこのような構成のみに限定されるものではない。このような構成に代えて、例えば、図１９の本圧着装置６００の模式図に示すような構成を採用することができる。

具体的には、図１９に示すように、本圧着装置６００において、圧着ヘッド６３１の押圧方向Ｄ沿いの動作軸（昇降軸）と同軸上に加圧ユニット６２７を配置し、加圧ユニット６２７のピストン６２７ｂに連結された下方側ロッド６２７ａを直接的に圧着ヘッド６３１に接続する。さらに、ピストン６２７ｂに連結された上方側ロッド６２７ｃの上端部に形成された係合部６２７ｄの下部を、規制部材６４３の上部に係合可能とすることで、ヘッド動作規制装置６４２の規制部材昇降装置６４４により圧着ヘッド６３１の動作速度を規制可能としている。

このような同軸上における圧着ヘッド６３１の動作速度の規制を行う構成では、同軸上にて規制のための力が作用することとなり、力学上のバランスを良好なものとすることができる。一方、上記第１実施形態のように、レバー３８を用いたような構成を採用すれば、圧着ユニットの高さを低く抑えることができ、装置の小型化や低重心化を図ることができ、それぞれの圧着ユニットの移動を迅速かつ容易に行うことができるという利点がある。なお、図１９の本圧着装置６００では、門型フレーム６４１が採用されており、図２０に示す本圧着装置７００では、支持フレーム７４１が採用されている。

また、図１９に示す規制部材６４３と上方側ロッド６２７ｃの係合部６２７ｄとの係合関係は、その他様々な構成を適用することができ、例えば、図２１の本圧着装置８００の模式図に示すように、上方側ロッド８２７ｃの端部が貫通さるように形成され、その内部にて係合部８２７ｄと同軸上にて係合されるような規制部材８４３を有するヘッド動作規制装置８４２を採用することもできる。このような構成では、規制部材８４３の規制位置も含めて門型フレーム６４１の上部梁の面内で圧着ヘッド６３１の動作速度および位置による反力を受けることができ、ほぼ完全に同軸上のみにおいて力を作用させることができるため、力学なバランスをさらに良好にすることができる。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態にかかる部品圧着装置および部品圧着方法について説明する。まず、このような本第３実施形態の部品圧着装置および方法が用いられるアウターリードボンディング工程について、アウターリードボンディング工程を行う部品実装装置の一例である部品実装ライン１００の構成を示す模式平面図を図２３に示す。

図２３に示すように部品実装ライン３００は、パネル基板１に対してＡＣＦ貼り付け工程を行うＡＣＦ貼り付け装置３２０と、ＡＣＦシート３が貼り付けられた状態のパネル基板１に対してＴＣＰ４等の部品の部品仮圧着工程を行う部品仮圧着装置３３０と、パネル基板１の長辺側及び短辺側の端子部２に仮圧着されたＴＣＰ４を本圧着して実装する本圧着工程（本第３実施形態の部品圧着工程の一例である）を行う本圧着装置（本第３実施形態の部品圧着装置の一例である）３４０と、それぞれの装置間のパネル基板１の搬送を行う基板搬送装置３５０とを備えている。なお、それぞれの装置には、パネル基板１を保持する２つのステージを有するパネル基板保持装置が備えられており、予め設定されたサイズ以下のパネル基板１を２枚同時に保持した状態にて、それぞれの工程を実施することが可能となっている。また、予め設定されたサイズを超えるパネル基板１に対しては、例えば２つのステージのうちの一方のステージにより１つのパネル基板１を保持した状態にて、それぞれの工程を実施することも可能となっている。

ＡＣＦ貼り付け装置３２０は、テープ供給部３２１よりテープ回収部３２２へ送り出されるテープ状のＡＣＦシート３を所定の長さに切断してパネル基板１の端子部２に貼り付ける２台の圧着ユニット３２３と、基板搬送装置３５０より搬送されるパネル基板１が移載されるとともにその保持を行い、保持されたパネル基板１の端子部２と圧着ユニット３２３との位置決めを行う基板保持装置の一例であるパネル基板保持装置３２４を備えている。パネル基板保持装置３２４は、パネル基板１を保持する２つのステージ３２４ａ及び３２４ｂを備えており、それぞれのステージ３２４ａ及び３２４ｂに保持されたパネル基板１を図示Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動させる機能（ＸＹ移動機能）と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向を含む平面（水平平面）内においてパネル基板１を回転させる機能（θ回転機能）と、Ｚ軸方向にパネル基板１を昇降させる機能（昇降機能）とを有しており、このような機能によりパネル基板１の長辺側及び短辺側の端子部２をそれぞれの圧着ユニット３２３と位置合わせすることが可能となっている。また、ＡＣＦ貼り付け装置３２０には、このような位置合わせを行うために、パネル基板１の端子部２の位置を認識する２台の認識カメラ３２６が備えられている。また、それぞれの圧着ユニット３２３によるＡＣＦ貼付動作は、パネル基板１の端子部２がその下方側からバックアップツール３２５により支持されて行われる。なお、図２３において、Ｘ軸方向とＹ軸方向はパネル基板１の大略表面沿いの方向となっており、パネル基板１の搬送方向がＸ軸方向であり、Ｘ軸方向に直交する方向がＹ軸方向であり、図示鉛直方向がＺ軸方向となっている。

部品仮圧着装置３３０は、カセット内に収容された状態の複数のＴＣＰ４を供給するＴＣＰ供給カセット部（図示しない）と、ＴＣＰ供給カセット部から供給されるＴＣＰ４を、ＡＣＦシート３を介してそれぞれの端子電極２ａに仮圧着する複数の仮圧着ヘッド（実装ヘッドあるいは押圧体の一例）３３２と、パネル基板１が移載されるとともにその保持を行う２つのステージ３３３ａ及び３３３ｂと、それぞれのステージ３３３ａ及び３３３ｂに保持されたパネル基板１の端子部２と仮圧着ヘッド３３２との位置決めを行うパネル基板保持装置３３３とを備えている。部品仮圧着装置３３０には、仮圧着ヘッド３３２が４台備えられており、それぞれの仮圧着ヘッド３３２が回転可能に同心円上に均等に配置され、円周上における図２３の上方の位置であるＴＣＰ供給位置と、下方の位置である仮圧着位置とに順次それぞれの仮圧着ヘッド３３２が配置されるようないわゆるロータリー方式が採用されている。また、部品仮圧着装置３３０には、パネル基板１の端子部２及び仮圧着ヘッド３３２に吸着保持されたＴＣＰ４の位置を認識するための２台の認識カメラ３３４と、ＴＣＰ供給位置において仮圧着ヘッド３３２に吸着保持されるＴＣＰ４の保持姿勢を認識するためのプリセンタカメラ３３６とがさらに備えられている。なお、パネル基板保持装置３３３は、ＸＹ移動機能、θ回転機能、及び昇降機能を有している。また、それぞれの仮圧着ヘッド３３２による部品仮圧着動作は、パネル基板１の端子部２がその下方側からバックアップツール３３５により支持された状態で行われる。

本圧着装置３４０は、パネル基板１の長辺側及び短辺側の端子部２にＡＣＦシート３を介して仮圧着された状態のＴＣＰ４を押圧しながら加熱することで、ＡＣＦシート３を介してそれぞれの端子電極２ａにＴＣＰ４を本圧着、すなわち熱圧着（実装）する複数の圧着ユニット３４１と、移載されるパネル基板１を保持する２つのステージ３４３ａ及び３４３ｂと、それぞれのステージ３４３ａ及び３４３ｂに保持されたパネル基板１の端子部２に仮圧着されたそれぞれのＴＣＰ４とそれぞれの圧着ユニット３４１との位置合わせを行うパネル基板保持装置３４３を備えている。なお、パネル基板保持装置３４３は、ＸＹ移動機能、θ回転機能、及び昇降機能を有している。また、このような位置合わせを行うために、２枚のパネル基板１のそれぞれの位置の認識を行う２台の認識カメラ３４４が備えられている。なお、圧着ユニット３４１を含む本圧着装置３４０の詳細な構成については後述するものとする。

基板搬送装置３５０は、パネル基板１の下面を真空吸着手段（図示しない）により解除可能に吸着保持するパネル保持部３５１と、パネル保持部３５１の昇降動作を行う昇降部（図示しない）と、パネル保持部３５１及び昇降部を図示Ｘ軸方向に沿って移動させることで、パネル基板１の各装置間の搬送を行う移動装置３５３とを備えている。また、基板搬送装置３５０において、パネル保持部３５１は、それぞれの工程間、すなわちそれぞれの装置間に個別に配置されており、装置間におけるパネル基板１の受け渡しのための搬送を、互いに独立して行うことが可能となっている。なお、本第３実施形態においては、パネル保持部３５１が真空吸着手段によりパネル基板１の保持を行うような場合を例として説明するが、このような場合に代えて、機械的なチャック手段を有するパネル保持部によりパネル基板１が保持されるような場合であってもよい。

また、部品実装ライン３００には、それぞれの装置３２０、３３０、３４０、及び３５０の動作制御を互いの動作と関連付けながら統括的に行う制御装置３１９が備えられている。この制御装置３１９により、各々の装置における個別的な動作制御が行われながら、上流側の装置から下流側の装置へと順次パネル基板１の搬送制御が行われて、複数のパネル基板１に対する部品実装動作が行われる。なお、制御装置３１９の制御方式としては、集中制御方式が採用される場合であってよく、あるいは、各々の装置に個別に備えられ、互いの装置間でパネル基板１の搬送制御信号のやり取りを行うような制御方式が採用されるような場合であってもよい。

次に、このような構成を有する部品実装ライン３００における部品実装動作について説明する。なお、以降に説明するそれぞれの動作は、制御装置３１９により制御されて行われる。

まず、パネル基板１が図２３に示す部品実装ライン３００に搬入される。搬入されたパネル基板１は、基板搬送装置３５０のパネル保持部３５１により保持され、その保持状態にて移動装置３５３により図示Ｘ軸方向に搬送されて、ＡＣＦ貼り付け装置３２０のパネル基板保持装置３２４上に載置される。パネル基板保持装置３２４において載置されたパネル基板１の下面が吸着保持されると、基板搬送装置３５０のパネル保持部３５１による吸着保持が解除される。

次に、パネル基板保持装置３２４により保持されたパネル基板１のＸＹ移動が行われて、長辺側の端子部２と圧着ユニット３２３との位置合わせが行われ、その後、圧着ユニット３２３によりＡＣＦシート３が長辺側の端子部２に貼り付けられる（ＡＣＦ貼り付け工程）。なお、この位置決めされた状態においては、長辺側端子部２はその下面側よりバックアップツール３２５により直接支持された状態とされているため、ＡＣＦシート３の確実な貼り付け動作を行うことができる。その後、パネル基板保持装置３２４によるそれぞれのステージ３２４ａ、３２４ｂのθ回転が行われて、短辺側の端子部２と圧着ユニット３２３との位置合わせが行われて、圧着ユニット３２３によりＡＣＦシート３が短辺側の端子部２に貼り付けられる。ＡＣＦ貼り付け工程が完了すると、基板搬送装置３５０のパネル保持部３５１がパネル基板１の下面を吸着保持するとともに、パネル基板保持装置３２４による吸着保持が解除されて、パネル基板１が基板搬送装置３５０に受け渡される。その後、基板搬送装置３５０により、ＡＣＦシート３が貼り付けられた状態のパネル基板１が部品仮圧着装置３３０へ搬送される。

基板仮圧着装置３３０においては、基板搬送装置３５０により搬送されたパネル基板１が、パネル基板保持装置３３３のそれぞれのステージ３３３ａ、３３３ｂ上に載置されて受け渡される。一方、ＴＣＰ供給位置に位置されている仮圧着ヘッド３３２にＴＣＰ４が供給されて、ＴＣＰ４が仮圧着ヘッド３３２に吸着保持された状態とされる。その後、それぞれの仮圧着ヘッド３３２の回転移動が行われ、ＴＣＰ４を吸着保持した仮圧着ヘッド３３２が仮圧着位置に位置される。それとともに、パネル基板保持装置３３３によりパネル基板１の各種移動が行われることにより、長辺側の端子部２の一の端子電極２ａと仮圧着ヘッド３３２との位置合わせが行われ、その後、仮圧着ヘッド３３２が下降されることにより、ＴＣＰ４がＡＣＦシート３を介して端子電極２ａに仮圧着される。同様な動作が順次繰り返されて、それぞれの端子電極２ａにＴＣＰ４が仮圧着される（部品仮圧着工程）。長辺側の端子部２に対するＴＣＰ４の仮圧着が完了すると、パネル基板保持装置３３３によりパネル基板１のθ回転が行われ、短辺側の端子部２と仮圧着ヘッド３３２との位置合わせが行われ、短辺側の端子部２のそれぞれの端子電極２ａへのＴＣＰ４の仮圧着が順次行われる。部品仮圧着工程が完了すると、基板搬送装置３５０のパネル保持部３５１がパネル基板１の下面を吸着保持するとともに、パネル基板保持装置３３３による吸着保持が解除されて、パネル基板１が基板搬送装置３５０に受け渡される。その後、基板搬送装置３５０により、ＴＣＰ４が仮圧着された状態のパネル基板１が本圧着装置３４０へ搬送される。

本圧着装置３４０において、基板搬送装置３５０により搬送されたパネル基板１が、パネル基板保持装置３４３のそれぞれのステージ３４３ａ、３４３ｂ上に載置されて受け渡される。その後、パネル基板保持装置３４３により、パネル基板１の長辺側端子部２とそれぞれの圧着ユニット３４１との位置合わせが行われ、その後、それぞれの圧着ユニット３４１により、仮付け状態にあるそれぞれのＴＣＰ４がＡＣＦシート３を介してそれぞれの端子電極２ａに押圧されながら加熱されて、熱圧着によるＴＣＰ４の実装が行われる（本圧着工程）。なお、この圧着ユニット３４１によるそれぞれのＴＣＰ４の押圧は、圧着ユニット３４１の押圧面に汚れなどが付着しないように、保護テープ（図示せず）を介して行われる。また、圧着ユニット３４１よりＡＣＦシート３に熱が付与されることによりＡＣＦシート３が熱硬化される。本圧着工程が完了すると、基板搬送装置３５０のパネル保持部３５１がパネル基板１の下面を吸着保持するとともに、パネル基板保持装置３４３による吸着保持が解除されて、パネル基板１が基板搬送装置３５０に受け渡される。その後、基板搬送装置３５０により、それぞれのＴＣＰ４が実装された状態のパネル基板１が搬送されて、部品実装ライン３００より搬出される。部品実装ライン３００においては、基板搬送装置３５０により複数のパネル基板１が順次搬送され、それぞれの装置において所定の工程が施されることにより、アウターリードボンディング工程が行われる。なお、パネル基板１の辺の縁部に部品であるＴＣＰ４を実装する場合を例として示したが、本発明はこのような場合についてのみ限定されるものではなく、例えば、ＣＯＦ（Chip On Film）基板にＩＣチップなどの部品を実装するような場合であっても良い。この場合、ＣＯＦ基板は、パネル基板１のように方形状における互いに隣接する２辺の縁部に部品実装領域が配置されるような場合のみに限られず、種々の位置関係にある複数の部品実装領域が配置されるような場合であっても良い。

次に、部品実装ライン３００において、部品圧着工程の一例である本圧着工程が行われる本圧着装置３４０の構成について、さらに詳細に説明する。この説明にあたって、Ｙ軸方向から見た本圧着装置３４０の模式正面図を図２４に示し、Ｘ軸方向から見た模式側面図を図２５Ａに示す。

図２３、図２４及び図２５Ａに示すように、本圧着装置３４０は、複数の圧着ユニット３４１として、合計６台の圧着ユニット３４１をＸ軸方向に一列に配列して備えている。各圧着ユニット３４１は、パネル基板１の端子部２にＡＣＦシート３を介して仮圧着された状態のＴＣＰ４を押圧して圧着する圧着ヘッド（押圧体の一例）３６１と、この圧着ヘッド３６１による圧着動作の際に、パネル基板１の端子部２をその下面側から支持する縁部支持部材の一例であるバックアップステージ３６２を備えている。

図２５Ａに示すように、各圧着ユニット３４１において、バックアップステージ３６２は、剛体にて形成された大略Ｌ字状の断面を有するユニットフレーム３６３の下部に固定されており、圧着ヘッド３６１がＺ軸方向に配置されたＬＭガイド３６４を介してその昇降動作を案内可能にユニットフレーム３６３の上部に取り付けられている。なお、バックアップステージ３６２はユニットフレーム３６３の下部に固定されるような構成のみに限られず、このような場合に代えて、例えば、図２５Ｄ及び図２５Ｅに示すように、バックアップステージ３６２が上下方向に可動式として昇降可能にユニットフレーム３６３に支持され、バックアップステージ昇降部３７３によりバックアップステージ３６２の昇降動作が行われるような場合であっても良い。

図２４及び図２５Ａに示すように、本圧着装置３４０の基台フレーム３７２上には、２本のＬＭガイド３６５がＸ軸方向に沿って延在して配置されており、それぞれのＬＭガイド（案内支持部材の一例である）３６５を介して、６台の圧着ユニット３４１におけるユニットフレーム３６３がＸ軸方向の進退移動可能に基台フレーム３７２に支持されている。また、図２５Ａに示すように、各圧着ユニット３４１のユニットフレーム３６３の下部には、圧着ユニット３４１のＸ軸方向沿いの進退移動を駆動するユニット移動用モータ（ユニット移動装置の一例である）３６６が備えられている。すなわち、６台の圧着ユニット３４１は、個別に圧着ヘッド３６１とバックアップステージ６２とを備えるとともに、個別に備えられたユニット移動用モータ３６６が駆動されることにより、ＬＭガイド３６５に沿ってＸ軸方向沿いに案内されながら、それぞれ独立して進退移動することが可能に構成されている。ここで、「それぞれ独立した移動」とは、１台の圧着ユニット３４１の移動が、自身が備えるユニット移動用モータ３６６の駆動により行われ、他の１台の圧着ユニット３４１の移動が、それ自身が備えるユニット移動用モータ３６６の駆動により行われ、両者の移動速度や移動のタイミングを個別に設定することが可能な移動のことである。なお、それぞれの圧着ユニット３４１が互いに接触することを防止する等、安全制御の実施のために、両者の移動制御が関連付けられるような場合であってもよい。

図２５Ａに示すように、本圧着装置３４０の基台フレーム３７２には、６台の圧着ヘッド３６１を一体的に昇降させる１台の共通のヘッド昇降装置３６７（共通の押圧体移動装置の一例）が備えられている。共通のヘッド昇降装置３６７は、その昇降駆動力をカムフォロア３７４介してそれぞれの昇降フレーム３６８に伝達し、さらにこのそれぞれの昇降フレーム３６８を介して圧着ヘッド３６１に伝達することで、それぞれの圧着ヘッド３６１の圧着動作における昇降の速度及び位置を駆動動作する。また、それぞれの昇降フレーム３６８は、それぞれのユニットフレーム３６３にＺ軸方向に配置されたＬＭガイド３７５を介してその昇降動作を案内可能にユニットフレーム３６３に支持されている。なお、複数の圧着ヘッド３６１を一体的に昇降させる１台の共通のヘッド昇降装置３６７が備えられるような構成について説明したが、このような場合に代えて、複数の圧着ヘッド３６１のそれぞれにヘッド昇降装置を設けて個々に独立して昇降させるような構成を採用してもよい。

また、図２５Ａに示すように、各圧着ヘッド３６１は、圧着ヘッド３６１における圧着動作のための加圧力を生成する加圧ユニット（例えば、エアシリンダ）３６９を内蔵している。各加圧ユニット３６９は、圧力発生源３７０に導圧管等を介して接続されており、圧力制御部３７１により制御されながら所望の加圧力を生成することができるように、圧縮空気の供給量が制御される。

また、それぞれのユニット移動用モータ３６６による圧着ユニット３４１のＸ軸方向の移動位置の情報は制御装置３１９に取得され、制御装置３１９にて互いに圧着ユニット３４１同士が干渉することがないように、移動制御が行われる。また、ヘッド昇降装置３６７によりそれぞれの圧着ヘッド３６１の一体的あるいは個々に独立した昇降動作、及び圧力制御部３７１により加圧力の制御は、制御装置３１９により統括的に制御される。なお、一部の圧着ユニット３４１が圧着動作を行わない場合は、圧着動作を行わない圧着ユニット３４１の圧着ヘッド３６１の動作アクチュエータである加圧ユニット３６９をパネル基板１へＴＣＰ４の圧着を行う方向とは反対方向へ動作させるあるいは位置させても良い。

次に、このような構成を有する部品実装ラインの本圧着装置３４０において、パネル基板１に対するＴＣＰ４の本圧着動作が行われる手順の詳細について説明する。なお、本圧着装置３４０における本圧着動作の手順は、上記第１実施形態における図７のフローチャートに示す手順と同様である。また、パネル基板１の長辺側端子部２Ａに対して本圧着動作が行われている状態を示す模式説明図を図２６（Ａ）、（Ｂ）に示し、短辺側端子部２Ｂに対して本圧着動作が行われている状態を示す模式説明図を図２７（Ａ）、（Ｂ）に示す。なお、以下の本圧着動作の手順の説明においては、パネル基板保持装置３４３が備える２つのステージ３４３ａ、３４３ｂのうちの１つのステージ３４３ａのみにパネル基板１が保持されて、このパネル基板１に対して本圧着動作が行われる場合を例として説明する。

図７のフローチャートのステップＳ１において、本圧着装置３４０のパネル基板保持装置３４３に１枚のパネル基板１が搬入されて、ステージ３４３ａにより保持される。このパネル基板１は、図２６（Ａ）に示すように、Ｘ軸方向沿いの端子部を長辺側端子部２Ａとして、Ｙ軸方向沿いの端子部を短辺側端子部２Ｂとした姿勢にてステージ３４３ａに保持される。また、長辺側端子部２Ａには間隔ピッチＰ１にて３個のＴＣＰ４が仮圧着されており、短辺側端子部２ｂには間隔ピッチＰ２にて２個のＴＣＰ４が仮圧着されている。なお、間隔ピッチＰ１とＰ２は互いに異なっている。

次に、この搬入されたパネル基板１の識別情報と関連付けられて、パネル基板１の長辺側端子部２Ａにおける部品圧着位置情報（第１圧着位置情報）が制御装置３１９にて取得される（ステップＳ２）。部品圧着位置情報には、長辺側端子部２ＡにおけるそれぞれのＴＣＰ４の圧着位置、その間隔ピッチＰ１、さらに圧着されるＴＣＰ４の個数の情報などが含まれている。さらにこのような情報の中には、ＴＣＰ４の種類及び熱圧着の加熱温度や加圧力の情報が含まれるような場合であってもよい。また、部品圧着位置情報の取得は、制御装置３１９の外部より入力されるような場合であってもよく、あるいは制御装置３１９の記憶部等に予め記憶されており、パネル基板１の識別情報に基づいて記憶部等から読み出されるような場合であってもよい。

制御装置３１９において、長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報が取得されると、この取得された部品圧着位置情報に基づいて、それぞれの圧着ユニット３４１の配置が調整される（ステップＳ３）。具体的には、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の個数（３個）の情報に基づいて、６台の圧着ユニット３４１の中から本圧着動作のために使用される３台の圧着ユニット３４１が選択される。このとき、６台の圧着ユニット３４１の中央側に位置される圧着ユニット３４１から順次選択される。選択された３台の圧着ユニット３４１は、その配列における略中央付近の領域である圧着動作実施領域Ｑ１に位置され、一方選択されなかった両側の３台の圧着ユニット３４１は、圧着動作実施領域Ｑ１の両側において隣接する領域である退避領域Ｑ２に位置されるように、それぞれの圧着ユニット３４１が備えるユニット移動用モータ３６６の駆動により、それぞれの圧着ユニット３４１がＬＭガイド３６５により案内されながら、それぞれ独立してＸ軸方向沿いに移動される。このように本圧着動作を実施する３台の圧着ユニット３４１を圧着動作実施領域Ｑ１に位置させ、本圧着動作を実施しない３台の圧着ユニット３４１をその両側に配置された退避領域Ｑ２に位置させることにより、本圧着動作を実施しない３台の圧着ユニット３４１とパネル基板１との干渉を防止して、確実に本圧着動作を実施することができる。さらに、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の圧着位置の間隔ピッチＰ１及びその位置の情報に基づいて、選択された３台の圧着ユニット３４１の位置及び配置間隔が、それぞれのユニット移動用モータ３６６の駆動により調整される。

このようにそれぞれの圧着ユニット３４１の配置調整が完了すると、パネル基板保持装置３４３によりパネル基板１の移動が行われて、選択された３台の圧着ユニット３４１におけるそれぞれのバックアップステージ３６２上あるいはその上方に、３箇所の部品圧着位置が位置決めされるようにパネル基板１の長辺側端子部２Ａが配置される。ここで、図２５Ｂ、並びに図２６（Ａ）及び（Ｂ）は、バックアップステージ３６２上にパネル基板１の長辺側端子部２Ａが配置されている状態の例を示す図である。図２６（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、退避領域Ｑ２に位置された３台の圧着ユニット３４１とパネル基板１との干渉は防止されている。その後、図２５Ｃに示すように、ヘッド昇降装置３６７により昇降フレーム３６８を介してそれぞれの圧着ヘッド３６１が下降され、圧着ヘッド３６１の下面である圧着面がＴＣＰ４に当接される。さらに加圧ユニット３６９により所定の加圧力がＴＣＰ４に対して付加されることで、パネル基板１の長辺側端子部２Ａにおける３箇所の部品圧着位置において、ＡＣＦシート３を介して３個のＴＣＰ４が本圧着されて実装される（ステップＳ４）。その後、ヘッド昇降装置３６７によりそれぞれの圧着ヘッド３６２が上昇される。なお、バックアップステージ３６２が固定式である場合についての本圧着動作について説明したが、バックアップステージ３６２が可動式として昇降可能な構成が採用される場合には、バックアップステージ３６２の上方にパネル基板１の長辺側端子部２Ａを配置した後、このパネル１基板の長辺側端子部２Ａに近づく方向に、圧着ヘッド３６１及びバックアップステージ３６２を動作させて、ＴＣＰ４をパネル基板１に圧着することができる。この時、圧着動作を行わない圧着ユニット３４１については、パネル基板１の支持高さ位置である圧着高さ位置よりも下方の位置である昇降の下降位置（支持解除高さ位置）にバックアップステージ３６２を位置させることで、圧着動作を行わない圧着ユニット３４１とＴＣＰ４及びパネル基板１との干渉を防止することができる。そのため、例えば、圧着動作を行わない圧着ユニット３４１を退避領域Ｑ２ではなく圧着動作実施領域Ｑ１に位置させるような場合であっても、この圧着ユニット３４１とパネル基板１との干渉を防止することが可能となる。

長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作が完了すると、パネル基板保持装置３４３によりパネル基板１がそれぞれのバックアップステージ３６２から離間されるように移動され、保持されているパネル基板１がＸＹ平面内においてθ回転移動されて、パネル基板１の短辺側端子部２ＢがＸ軸方向沿いとなるような姿勢とされる（ステップＳ５）。

次に、制御装置３１９において、パネル基板１の短辺側端子部２Ｂにおける部品圧着位置情報（第２圧着位置情報）が取得される（ステップＳ６）。この部品圧着位置情報には、短辺側端子部２ＢにおけるそれぞれのＴＣＰ４の圧着位置、その間隔ピッチＰ２、さらに圧着されるＴＣＰ４の個数（２個）の情報などが含まれている。なお、本第３実施形態の手順の例としては、長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報と、短辺側端子部２Ｂの部品圧着位置情報とが別々に取得されるような場合について説明するが、このような場合に代えて、両情報が同時に取得されるような場合であってもよい。

次に、この取得された部品圧着位置情報に基づいて、それぞれの圧着ユニット３４１の配置が調整される（ステップＳ７）。具体的には、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の個数（２個）の情報に基づいて、６台の圧着ユニット３４１の中から本圧着動作のために使用される２台の圧着ユニット３４１として、６台の圧着ユニット３４１の中央に位置される２台の圧着ユニット３４１が選択される。選択された２台の圧着ユニット３４１は、圧着動作実施領域Ｑ１に位置され、一方選択されなかった両側の４台の圧着ユニット３４１は、それぞれの退避領域Ｑ２に２台ずつ位置されるように、それぞれのユニット移動用モータ３６６の駆動により、それぞれの圧着ユニット３４１がＬＭガイド３６５により案内されながら、Ｘ軸方向沿いに移動される。さらに、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の圧着位置の間隔ピッチＰ２及びその位置の情報に基づいて、選択された２台の圧着ユニット３４１の位置及び配置間隔が、それぞれのユニット移動用モータ３６６の駆動により調整される。

それぞれの圧着ユニット３４１の配置調整が完了すると、パネル基板保持装置３４３によりパネル基板１の移動が行われて、選択された２台の圧着ユニット３４１におけるそれぞれのバックアップステージ３６２上あるいはその上方に、２箇所の部品圧着位置が位置決めされるようにパネル基板１の短辺側端子部２Ｂが配置される。ここで、図２７（Ａ）及び（Ｂ）は、バックアップステージ３６２上にパネル基板１の短辺側端子部２Ｂが配置されている状態を示す。図２７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、退避領域Ｑ２に位置された４台の圧着ユニット３４１とパネル基板１との干渉は防止されている。その後、ヘッド昇降装置３６７により昇降フレーム３６８を介してそれぞれの圧着ヘッド３６１が下降され、圧着ヘッド３６１の下面である圧着面がＴＣＰ４に当接される。さらに加圧ユニット３６９により所定の加圧力がＴＣＰ４に対して付加されることで、パネル基板１の短辺側端子部２Ｂにおける２箇所の部品圧着位置において、ＡＣＦシート３を介して２個のＴＣＰ４が本圧着されて実装される（ステップＳ８）。その後、ヘッド昇降装置３６７によりそれぞれの圧着ヘッド３６２が上昇される。なお、長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作と同様に、短辺側端子部２Ｂに対する本圧着動作についても、バックアップステージ３６２が可動式として昇降可能な構成が採用される場合には、バックアップステージ３６２の上方にパネル基板１の短辺側端子部２Ｂを配置した後、このパネル１基板の短辺側端子部２Ｂに近づく方向に、圧着ヘッド３６１及びバックアップステージ３６２を動作させて、ＴＣＰ４をパネル基板１に圧着することができる。この時、圧着動作を行わない圧着ユニット３４１については、圧着位置（支持高さ位置）よりも下方の位置である昇降の下降位置（支持解除高さ位置あるいは退避高さ位置）にバックアップステージ３６２を位置させることで、圧着動作を行わない圧着ユニット３４１とＴＣＰ４及びパネル基板１との干渉を防止することができる。

短辺側端子部２Ｂに対する本圧着動作が完了すると、パネル基板保持装置３４３によりパネル基板１がそれぞれのバックアップステージ３６２から離間されるように移動されて、本圧着装置３４０からパネル基板１が搬出される（ステップＳ９）。

本第３実施形態によれば、本圧着装置３４０において、パネル基板１の端子部２にＴＣＰ４を本圧着する圧着ヘッド３６１と、その本圧着の際にパネル基板１の端子部２を支持するバックアップステージ３６２とを備える一列に配置された複数の圧着ユニット３４１と、複数の圧着ユニット３４１に個別に備えられ、Ｘ軸方向沿いに圧着ユニット３４１を平行移動させて圧着ユニット３４１の配置を変更させる複数のユニット移動用モータ３６６とが備えられていることにより、パネル基板１の部品圧着位置情報、すなわち端子部２における複数の部品圧着位置の配置又は個数に応じて、それぞれのユニット移動用モータ３６６によりそれぞれの圧着ユニット３４１を個別に平行移動させて、圧着ユニット３４１の配置を部品圧着位置の配置と合致させることができる。したがって、パネル基板１の仕様に応じて異なる部品圧着位置に対応した本圧着動作を効率的に実施することができる。

また、パネル基板１において、長辺側端子部２Ａと短辺側端子部２Ｂとで、ＴＣＰ４の圧着位置、間隔ピッチ、及び圧着されるＴＣＰ４の個数が異なるような場合であっても、長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報に基づいてそれぞれの圧着ユニット３４１の配置調整を行った後、長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作を実施し、その後、短辺側端子部２Ｂの部品圧着位置情報に基づいてそれぞれの圧着ユニット３４１の配置調整を行った後、短辺側端子部２Ｂに対する本圧着動作を実施することで、それぞれの端子部２Ａ、２Ｂの仕様に応じた部品圧着を確実かつ効率的に実施することができる。そのため、長辺側用の圧着ユニット及び短辺側用の圧着ユニットとしてそれぞれ専用の圧着ユニットを備えなくても、１台の本圧着装置３４０により長辺側端子部２Ａ及び短辺側端子部２Ｂのそれぞれの圧着位置に応じた圧着ピッチに合わせるようにそれぞれの圧着ユニットの位置に迅速に切り替えを行い、パネル基板への部品圧着を効率的に行うことができる。

また、それぞれの圧着ユニット３４１において、ユニット移動用モータ３６６が個別に備えられていることにより、このようなそれぞれの圧着ユニット３４１の配置調整を迅速かつ効率的に行うことができる。

一方、それぞれの圧着ユニット３４１には、圧着ヘッド３６１の昇降動作を行う昇降装置を個別に備えさせることなく、６台の圧着ヘッド３６１を一体的に昇降させる共通の１台のヘッド昇降装置３６７を備えさせるような構成が採用されていることがより好ましい。このような構成を採用することにより、個々の圧着ユニット３４１を簡単な構造として、その軽量化を図ることができ、ユニット移動用モータ３６６による移動性を良好なものとすることができる。

また、６台の圧着ヘッド３４１のうちの複数の圧着ヘッド３４１が選択される場合には、中央側に位置される圧着ヘッド３４１から順次選択されるようにすることで、このような共通のヘッド昇降装置３６７による昇降動作が行われ、ＴＣＰ４の圧着動作が行われる際に、ヘッド昇降装置３６７の構造に対する荷重バランスを良好なものとすることができ、パネル基板１に対するＴＣＰ４の圧着品質をより安定させることができる。

また、各圧着ユニット３４１において、圧着ヘッド３６１とバックアップステージ３６２とが一対とされ、互いの配置関係が保たれた状態にてそれぞれの圧着ユニット３４１の配置調整のための移動が行われるような構成が採用されていることにより、どのような位置に移動されても圧着ヘッド３６１の圧着面（あるいは押圧面）とバックアップステージ３６２のパネル基板１の支持面との平行度（平行関係）を一定に保つことができる。したがって、本圧着工程における圧着精度（実装精度）を向上させることができる。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、本第３実施形態の変形例にかかる本圧着方法について、図２８（Ａ）、（Ｂ）及び図２９（Ａ）、（Ｂ）に示す模式説明図を用いて以下に説明する。

上記実施形態の説明では、本圧着装置３４０に搬入されるパネル基板１が１枚である場合について説明したが、本変形例では２枚のパネル基板１が本圧着装置３４０に搬入される場合について説明する。

図２８（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、搬入された２枚のパネル基板１は、パネル基板保持装置３４３のそれぞれのステージ３４３ａ、３４３ｂに個別に保持される。それぞれのパネル基板１の長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報に基づいて、６台の圧着ユニット３４１の配置調整が行われる。具体的には、１枚のパネル基板１に対して３台の圧着ユニット３４１が選択されてその配置調整が行われる。その後、パネル基板保持装置３４３によりそれぞれのパネル基板１が移動されて、圧着ユニット３４１との位置決めが行われ、それぞれのバックアップステージ３６２上に長辺側端子部２Ａが配置される。この状態が図２８（Ａ）及び（Ｂ）に示す状態である。その後、それぞれの圧着ヘッド３６１により長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作が行われる。

長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作が完了すると、それぞれのパネル基板１がバックアップステージ３６２上から退避され、その後、それぞれのパネル基板１のθ回転移動が行われ、短辺側端子部２ＢがＸ軸方向沿いに配置される。それぞれのパネル基板１の短辺側端子部２Ｂの部品圧着位置情報に基づいて、６台の圧着ユニット３４１の配置調整が行われる。具体的には、１枚のパネル基板１に対して２台の圧着ユニット３４１が選択されて、選択されなかった両端の２台の圧着ユニット３４１は、退避領域Ｑ２に移動されるように、それぞれの配置調整が行われる。その後、パネル基板保持装置３４３によりそれぞれのパネル基板１が移動されて、圧着ユニット３４１との位置決めが行われ、それぞれのバックアップステージ３６２上に短辺側端子部２Ｂが配置される。この状態が図２９（Ａ）及び（Ｂ）に示す状態である。その後、それぞれの圧着ヘッド３６１により短辺側端子部２Ａに対する本圧着動作が行われる。その後、それぞれのパネル基板１は、本圧着装置３４０から搬出される。なお、バックアップステージ３６２が可動式として昇降可能な構成を有する場合には、上述の選択されなかった両端の２台の圧着ユニット３４１について、バックアップステージ３６２をパネル基板１から離れる方向に退避（例えば下降）させて、これら２台の圧着ユニット３４１について圧着動作が行われないようにすることもできる。

本変形例にように、パネル基板保持装置３４３に２枚のパネル基板１が保持されてその本圧着動作が行われるような場合であっても、長辺側端子部２Ａと短辺側端子部２Ｂとの部品圧着位置の相違に対応して本圧着動作を確実かつ効率的に実施することができる。

なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

２００７年１２月４日に出願された日本国特許出願Ｎｏ．２００７−３１３７１８号、Ｎｏ．２００７−３１３７２２号、およびＮｏ．２００７−３１３７２７号の明細書、図面、及び特許請求の範囲の開示内容は、全体として参照されて本明細書の中に取り入れられるものである。

本発明は、部品圧着領域をその縁部に有する基板、特に液晶ガラスパネル基板やプラズマディスプレイパネル基板などに代表される基板の部品圧着領域に部品を押圧して圧着する部品圧着装置及び方法に関する。

従来、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネル基板やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）基板等の基板（以下、「パネル基板」とする）に、電子部品、機械部品、光学部品等の部品、フレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ基板）等の基板、あるいはＣＯＧ（Chip On Glass）、ＣＯＦ（Chip On Film）、ＩＣチップ、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）等の半導体パッケージの部品などが圧着して実装されることで、ディスプレイ装置の製造が行われている。

このようなパネル基板（例えば、液晶ディスプレイ基板）に対する部品実装装置（部品実装ライン）においては、部品保持装置により保持されたパネル基板１の１辺あるいは２辺の縁部に形成されたそれぞれの端子部（部品圧着領域）に対して、異方性導電膜（ＡＣＦ）シートを貼り付けるＡＣＦ貼り付け工程を行うＡＣＦ貼り付け装置、それぞれの端子部においてＡＣＦシートを介してＴＣＰ等の部品を圧着ユニットにより仮圧着する部品仮圧着工程を行う部品仮圧着装置、端子部に仮圧着された部品を、仮圧着により高い圧力と温度で加圧しながら加熱してＡＣＦシートを介して圧着して実装する本圧着工程を行う本圧着装置、及びパネル基板をその下面側より保持して、それぞれの装置にて作業可能に順次搬送する基板搬送装置を備えている。このような構成の従来の部品実装ラインにおいて、パネル基板を基板搬送装置により順次搬送させながら、それぞれの装置において所定の工程を施すことで、パネル基板のそれぞれの端子部に対する部品の実装が行われる。

近年、このような従来の部品実装ラインにおいて取り扱われるパネル基板は、例えば携帯電話向けの比較的小型のパネル基板からパーソナルコンピュータ向けの比較的大型のパネル基板などというように様々なサイズのものが取り扱われる。また、取り扱われるパネル基板の種類に応じて、その端子部における部品の圧着位置の配置も異なる。このような様々な種類のパネル基板に対する部品の圧着に対応するために、例えば、特許第３２７５７４４号公報（文献１）及び特開２００６−２８７０１１号公報（文献２）のように、圧着ヘッドとこの圧着動作の際にパネル基板の端子部を下側から支持するバックアップステージとを、パネル基板の端子部沿いに移動させて、パネル基板の種類に応じた部品の圧着位置の相違に対応できるような構成が採用されている。

特許第３２７５７４４号公報 特開２００６−２８７０１１号公報

特に文献２では、圧着ヘッドとバックアップステージとが一対とされた圧着ユニットを複数台配列させて、パネル基板の仕様に応じて圧着ユニットの配置位置や使用台数を任意に選択できるような構成が採用されている。しかしながら、文献２の構成では、複数の圧着ユニットに対して設けられている１台のユニット位置調整手段により、１台のみの圧着ユニットの配置を調整することができるのみであり、同時に複数の圧着ユニットの配置を調整することはできない。そのため、部品実装ラインにて取り扱われるパネル基板の種類が変わる毎に、ユニット位置調整手段によりそれぞれの圧着ユニットの位置を順次調整して、新たな種類のパネル基板の圧着位置の配置に対応することとなる。すなわち、文献２の構成では、このようなそれぞれの圧着ユニットの位置調整には当然に時間を要することとなる。

一方、近年、パネル基板の仕様もさらに多様化する傾向にあり、パネル基板の長辺側の端子部と短辺側の端子部とでは、部品の圧着位置の配置ピッチや個数が異なるようなパネル基板も少なくない。しかしながら、文献２の構成を有する従来の装置では、このようなパネル基板に対しては、長辺側の端子部への部品圧着を実施した後、短辺側の端子部への部品圧着を行う毎に、それぞれの圧着ユニットの配置位置を調整する必要があり、効率的な部品圧着を行うことができない。そのため、長辺側の端子部に対する部品圧着を行う長辺側本圧着装置と、短辺側の端子部に対する部品圧着を行う短辺側本圧着装置というように、別々の圧着装置を部品実装ラインに備えさせることで、このようなパネル基板に対する部品圧着に対応している。

さらに、仮に複数の圧着ユニットに対して複数のユニット位置調整手段により、それぞれの圧着ユニットの配置を調整するような構成を考えるような場合であっても、それぞれの圧着ユニットの配置変更の迅速化の観点からは、装置構成をより小型化かつ簡素化を図ることが望まれる。

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、部品装着領域をその縁部に有する基板に対する部品圧着において、圧着ヘッドと縁部支持部材とを備える複数の圧着ユニットの配置を容易かつ迅速に変更することができ、基板の縁部の部品圧着位置の配置に応じた効率的な部品圧着を行うことができる部品圧着装置及び方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。

本発明の第１態様によれば、基板の縁部の部品圧着領域に部品を押圧して圧着する部品圧着装置において、
基板に対して垂直な方向である押圧方向に移動することで、基板の部品圧着領域に部品を押圧する押圧体と、押圧体による押圧の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材とを備える一列に配列され、かつ基板の縁部沿いに平行移動可能な複数の圧着ユニットと、
複数の押圧体を一体的に押圧方向に移動させる共通の押圧体移動装置とを備え、
各々の圧着ユニットは、
押圧方向に押圧体の進退移動を案内する押圧体案内部材と、
押圧体案内部材および縁部支持部材が設けられ、押圧体案内部材を介して押圧体を支持するユニット支持部材と、
ユニット支持部材に設けられ、かつ押圧方向沿いに押圧体を進退移動させるための力および部品を基板に圧着するための力を、押圧体に付与する押圧駆動部とをさらに備え、
押圧駆動部により縁部支持台に向けて動作されるそれぞれの押圧体の動作速度を、複数の圧着ユニットにて共通して規制する規制部材を有する共通の動作速度規制装置を、共通の押圧体移動装置として備える、部品圧着装置を提供する。

本発明の第２態様によれば、複数の圧着ユニットに個別に備えられ、基板の縁部沿いに圧着ユニットを、それぞれ独立した動作にて平行移動させて圧着ユニットの配置を変更させる複数のユニット移動装置をさらに備える、第１態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第３態様によれば、動作速度規制装置において、規制部材は、押圧体が縁部支持台に向かう方向にて直接的または間接的に押圧体と係合可能であって、
動作速度規制装置は、押圧方向沿いに規制部材を進退移動させる規制部材移動装置とを備え、
それぞれのユニット移動装置による圧着ユニットの基板の縁部沿いの平行移動は、規制部材と押圧体との直接的または間接的な係合が解除された状態にて行われる、第２態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第４態様によれば、それぞれの圧着ユニットにおいて、ユニット支持部材の一方側に配置された押圧駆動部にその一端が回動可能に接続され、ユニット支持部材の他方側に配置された押圧体にその他端が回動可能に接続され、一端と他端との間にてユニット支持部材に回動可能に支持されたレバー部材をさらに備え、
レバー部材は、ユニット支持部材による支持位置を支点とし、一端を押圧駆動部による力が付与される力点とし、他端を付与された力を押圧体に作用させる作用点とする、第３態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第５態様によれば、それぞれの圧着ユニットにおいて、押圧方向沿いの押圧体の進退移動の軸上に押圧駆動部が配置され、進退移動の軸上にて規制部材が押圧駆動部と係合されることにより、押圧体の動作速度の規制が行われる、第３態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第６態様によれば、それぞれの圧着ユニットを基板の縁部沿いの方向に移動可能に支持するとともに、動作速度規制装置を支持する支持フレームと、
支持フレームを複数の圧着ユニットとともに一体的に基板の縁部沿いの方向に進退移動させる移動装置とをさらに備える、第２態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第７態様によれば、基板を保持して、部品が圧着される縁部を、縁部支持部材上あるいはその上方に配置させるように基板の移動を行う基板保持装置と、
基板の縁部の部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置情報を有し、圧着位置情報に基づいてそれぞれのユニット移動装置を制御して、複数の圧着ユニットの配置を複数の部品の圧着位置に合致させるように、それぞれ独立した動作にて複数の圧着ユニットを基板の縁部沿いに平行移動させるとともに、基板保持装置を制御して、それぞれの圧着位置における縁部を縁部支持部材上あるいはその上方に配置させる制御装置とをさらに備える、第２態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第８態様によれば、基板に対する圧着動作を行う圧着ユニットが配置される圧着動作実施領域と、圧着動作実施領域の両端側に隣接して配置され、圧着動作を行わない圧着ユニットが配置される退避領域とにおいて、ユニット移動装置による基板の縁部沿いの平行移動を案内可能にそれぞれの圧着ユニットを支持する案内支持部材をさらに備える、第２態様に記載の部品圧着装置を提供する。

本発明の第９態様によれば、基板の縁部の部品圧着領域に複数の部品を押圧して圧着する部品圧着方法において、
基板の部品圧着領域に部品を押圧する押圧体と、押圧体による圧着の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材が設けられたユニット支持部材と、ユニット支持部材に設けられ、かつ基板に対して垂直な方向である押圧方向沿いに押圧体を進退移動させるための力を、押圧体に付与する押圧駆動部とを備え、一列に配列された複数の圧着ユニットを、基板の縁部における部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置に合致させるように縁部沿いの方向にそれぞれ独立して移動させて、それぞれの位置決めを行い、
基板の縁部の複数の圧着位置を縁部支持部材上あるいはその上方に配置し、
その後、それぞれの圧着ユニットの押圧駆動部にて、押圧体を進退移動させるための力を発生させて、縁部支持台に向けて押圧体を動作させるとともに、押圧体が縁部支持台に向かう方向にて、複数の圧着ユニットにて共通の規制部材を直接的または間接的にそれぞれの押圧体に係合させながら共通の規制部材の移動速度を制御することにより、それぞれの押圧体の動作速度を共通して規制し、
それぞれの押圧体が部品と当接する際に、押圧体と共通の規制部材との係合を解除して、それぞれの押圧体により縁部に対して複数の部品を圧着する、部品圧着方法を提供する。

本発明の第１０態様によれば、基板の縁部における複数の部品の圧着位置と、複数の圧着ユニットとの位置決めを行う際に、それぞれの圧着ユニットを基板の縁部沿いの方向に移動可能に支持するとともに、共通の規制部材を支持する支持フレームを、基板の縁部沿いの方向に複数の圧着ユニットとともに一体的に移動させる、第９態様に記載の部品圧着方法を提供する。

本発明の一の態様によれば、部品圧着装置において、基板の部品圧着領域に部品を押圧する押圧体と、基板に対して垂直な方向である押圧方向に押圧体の進退動作を案内する押圧体案内部材および押圧体による圧着の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材が設けられたユニット支持部材と、ユニット支持部材に設けられ、かつ押圧方向沿いに押圧体を進退移動させるための力および部品を圧着するための力を押圧体に付与する押圧駆動部とを備える複数の圧着ユニットと、複数の圧着ユニットに個別に備えられ、基板の縁部沿いの方向に圧着ユニットをそれぞれ独立した動作にて移動させて圧着ユニットの配置を変更させる複数のユニット移動装置とを備える構成が採用されている。このような構成により、基板の部品圧着領域における複数の部品圧着位置の配置又は個数に応じて、それぞれのユニット移動装置によりそれぞれの圧着ユニットを個別に独立した並列動作にて（それぞれ独立した動作にて）基板の縁部沿いの方向に移動させて、圧着ユニットの配置を部品圧着位置と合致させるように変更可能に動作させることができる。

また、押圧駆動部により縁部支持台に向けて動作されるそれぞれの押圧体の動作速度を規制する動作速度規制装置を、それぞれの圧着ユニットに個別に備えさせるのではなく、複数の圧着ユニットにて共通して規制する共通の動作速度規制装置として備えさせた構成が採用されている。これにより、押圧駆動部を用いた押圧体への力の伝達を確実に圧着のための圧力として生じさせることを可能としながら、押圧方向への押圧体の動作速度を規制して、適切な動作速度にて押圧体を部品に当接させることができる。さらに、このような動作速度規制装置を複数の圧着ユニットにて共通の装置として備えさせていることにより、それぞれの圧着ユニットの小型化および構造の簡素化を図ることができ、圧着ユニットの配置変更を容易かつ迅速に行うことができる。したがって、基板の仕様に応じて異なる部品圧着位置に対応した圧着動作を効率的に実現することができる。

本発明の他の態様によれば、部品圧着装置において、基板の部品圧着領域に部品を圧着する押圧体と、その圧着の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材とを備える一列に配置された複数の圧着ユニットと、複数の圧着ユニットに個別に備えられ、縁部沿いに圧着ユニットを平行移動させて圧着ユニットの配置を変更させる複数のユニット移動装置とを備える構成が採用されている。このような構成により、基板の部品圧着領域における複数の部品圧着位置の配置又は個数に応じて、それぞれのユニット移動装置によりそれぞれの圧着ユニットを個別に独立した並列動作にて（それぞれ独立した動作にて）平行移動させて、圧着ユニットの配置を部品圧着位置と合致させるように変更可能に動作させることができる。したがって、基板の仕様に応じて異なる部品圧着位置に対応した圧着動作を効率的に実現することができる。

また、複数の押圧体を個別ではなく、一体的に昇降させることで、それぞれの押圧体を押圧方向に一体的に進退移動させる共通の押圧体昇降装置を備える構成が採用されている。これにより、それぞれの圧着ユニットの小型化および構造の簡素化を図ることができ、それぞれの圧着ユニットの平行移動による配置変更を容易かつ迅速に行うことができる。したがって、基板の仕様に応じて異なる部品圧着位置に対応した圧着動作を効率的に実現することができる。

また、部品が圧着される第１縁部と第２縁部を有する基板の互いに直交する第１縁部と第２縁部の部品圧着領域に複数の部品を押圧して圧着する部品圧着方法において、基板の部品圧着領域に部品を圧着する押圧体と、圧着の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材とを備える一列に配置された複数の圧着ユニットを、基板の第１縁部における部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置に合致させるように第１縁部沿いにそれぞれ独立して平行移動させて、それぞれの位置決めを行い、その後、第１縁部の複数の圧着位置を縁部支持部材上あるいはその上方に配置して、複数の押圧体を共通の押圧体昇降装置により一体的に下降させることにより第１縁部に対して複数の部品を圧着することができる。その後、第１縁部と縁部支持部材とを離間させて、さらに、基板の第２縁部における部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置に合致させるように、複数の圧着ユニットを第２縁部沿いにそれぞれ独立して平行移動させて、それぞれの位置決めを行い、その後、第２縁部の複数の圧着位置を縁部支持部材上に配置し、複数の押圧体を共通の押圧体昇降装置により一体的に下降させることにより第２縁部に対して複数の部品を圧着することができる。このような部品圧着方法によれば、基板において第１縁部の部品圧着位置と第２縁部の部品圧着位置とで、その配置や個数が相違するような場合であっても、圧着動作が行われる縁部の仕様に応じてそれぞれの圧着ユニットの配置を効率的かつ迅速に変更することができる。また、複数の押圧体を下降させる際に、個別の昇降装置を用いるのではなく、共通の押圧体昇降装置を用いて一体的な下降動作を行っているため、圧着ユニットの構造の簡素化および軽量化が可能となり、それぞれの圧着ユニットの平行移動を効率的に行うことが可能となる。したがって、特に第１縁部と第２縁部とで互いに異なる部品圧着位置の配置に対応した部品圧着を効率的に実現することができる。

本発明のこれらの態様と特徴は、添付された図面についての好ましい実施形態に関連した次の記述から明らかになる。この図面においては、
図１は、本発明の第１実施形態にかかる部品実装ラインにて取り扱われるパネル基板の外観図であり、 図２は、第１実施形態のアウターリードボンディング工程（水平搬送）の模式説明図であり、 図３は、第１実施形態の本圧着装置の外観図であり、 図４は、第１実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図であり、 図５Ａは、第１実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（時間Ｔ１−Ｔ２）であり、 図５Ｂは、第１実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（時間Ｔ２）であり、 図５Ｃは、第１実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（時間Ｔ３）であり、 図５Ｄは、第１実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（時間Ｔ３−Ｔ４）であり、 図６は、（Ａ）の圧着ヘッドの押圧力の時間変化を示すグラフ、（Ｂ）の規制部材とレバーとの接触関係の時間変化を示すグラフ、（Ｃ）の圧着ヘッドの高さ位置の時間変化を示すグラフの時間的な相関性を示すグラフであり、 図７は、第１実施形態の本圧着方法の手順を示すフローチャートであり、 図８は、パネル基板の長辺側端子部に対して本圧着動作を実施している状態の模式説明図であり、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は模式正面図であり、 図９は、パネル基板の短辺側端子部に対して本圧着動作を実施している状態の模式説明図であり、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は模式正面図であり、 図１０は、両端部にたわみが生じたパネル基板をバックアップステージにより保持している状態を示す模式図であり、 図１１は、第１実施形態の水平搬送におけるＴＣＰの垂れ下がり状態を説明する模式説明図であり、 図１２は、本発明の第２実施形態の縦型搬送の状態を示す模式説明図であり、 図１３は、第２実施形態のアウターリードボンディング工程（縦型搬送）の模式説明図であり、 図１４Ａは、第２実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（図６の時間Ｔ１−Ｔ２に相当）であり、 図１４Ｂは、第２実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（図６の時間Ｔ２に相当）であり、 図１４Ｃは、第２実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（図６の時間Ｔ３に相当）であり、 図１４Ｄは、第２実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（図６の時間Ｔ３−Ｔ４に相当）であり、 図１５は、第１および第２実施形態の変形例にかかる本圧着装置の外観図（水平搬送）であり、 図１６は、図１５の変形例の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（水平搬送）であり、 図１７は、変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（縦型搬送）であり、 図１８は、別の変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（縦型搬送）であり、 図１９は、変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（規制構造の変形例）であり、 図２０は、別の変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（規制構造の変形例）であり、 図２１は、さらに別の変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（規制構造の変形例）であり、 図２２Ａは、変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（バックアップステージ昇降部有り）であり、 図２２Ｂは、変形例にかかる本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（バックアップステージ昇降部有り）であり、 図２３は、本発明の第３実施形態にかかる本実施形態の部品実装ラインの模式平面図であり、 図２４は、第３実施形態の本圧着装置のＹ軸方向から見た模式正面図であり、 図２５Ａは、第３実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図であり、 図２５Ｂは、第３実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（パネル基板配置状態）であり、 図２５Ｃは、第３実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（本圧着動作実施状態）であり、 図２５Ｄは、第３実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（バックアップステージ昇降部有り、パネル基板配置状態）であり、 図２５Ｅは、第３実施形態の本圧着装置のＸ軸方向から見た模式側面図（バックアップステージ昇降部有り、本圧着動作実施状態）であり、 図２６は、１枚のパネル基板の長辺側端子部に対して本圧着動作を実施している状態の模式説明図であり、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は模式正面図であり、 図２７は、１枚のパネル基板の短辺側端子部に対して本圧着動作を実施している状態の模式説明図であり、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は模式正面図であり、 図２８は、２枚のパネル基板の長辺側端子部に対して変形例にかかる本圧着動作を実施している状態の模式説明図であり、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は模式正面図であり、 図２９は、２枚のパネル基板の短辺側端子部に対して変形例にかかる本圧着動作を実施している状態の模式説明図であり、（Ａ）は模式平面図、（Ｂ）は模式正面図である。

本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

（第１実施形態）
本発明の第１の実施形態にかかる部品圧着装置及び部品圧着方法を説明するにあたって、まず、これらの部品圧着装置及び方法において取り扱われるパネル基板１の形態と、このパネル基板１に対して施される圧着処理（あるいは実装処理）の概要について、パネル基板１の外観を示す図１を用いて説明する。

まず、図１に示すように、本第１実施形態において取り扱われる基板は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネル基板やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）基板等に代表される基板（以降、「パネル基板」という。）１であり、方形状における互いに隣接する２辺の縁部に、部品が実装される部品実装領域Ｒ１が配置された端子部２を有している。なお、このようなパネル基板１は、一般的に長方形状を有しており、それぞれの端子部２は、長辺側端子部（図１における図示奥側の端子部であり、第１縁部の一例である）と短辺側端子部（図１における図示手前側の端子部であり、第２縁部の一例である）として形成されている。また、それぞれの端子部２には複数の端子電極２ａが形成されており、これらの端子電極２ａにそれぞれの部品が圧着されて実装されることで電気的に接続されることになる。また、パネル基板１における縁部の内側の領域は、画像や文字情報などの映像が表示される表示領域となっている。なお、パネル基板１は、主にガラス材料により形成されており、その厚さが例えば０．５ｍｍ以下となるような薄型化が図られて来ている。

このような構造のパネル基板１に対して、本第１実施形態の部品圧着方法を含む部品実装工程の手順を示す説明図を図２に示す。図２に示すように、部品実装工程を行う装置に搬入されたパネル基板１に対して、まず、接合部材配置工程の一例であるＡＣＦ貼り付け工程Ｓ１００にて、それぞれの端子部２の端子電極２ａに接合部材としてＡＣＦシート３の貼り付けを行い、その後、部品圧着工程の一例である部品仮圧着工程Ｓ２００にて、ＡＣＦシート３を介して部品として例えばＴＣＰ４をそれぞれの端子電極２ａに仮圧着する。さらにその後、本圧着工程Ｓ３００にて、仮圧着された状態のそれぞれのＴＣＰ４をさらに圧着して実装する。なお、この本圧着工程Ｓ３００は、パネル基板１の長辺側端子部に対する本圧着工程Ｓ３１０と、パネル基板１の短辺側端子部に対する本圧着工程Ｓ３２０とに分けて行われる。このようなパネル基板１に対するＴＣＰ４の実装工程は、アウターリードボンディング工程と呼ばれている。

次に、このようなアウターリードボンディング工程の本圧着工程を行う部品圧着装置の一例である本圧着装置１００の構成を示す模式図を図３に示す。

本圧着装置１００は、パネル基板１の長辺側及び短辺側の端子部２にＡＣＦシート３を介して仮圧着された状態のＴＣＰ４を押圧しながら加熱することで、ＡＣＦシート３を介してそれぞれの端子電極２ａにＴＣＰ４を本圧着、すなわち熱圧着（実装）する複数の圧着ユニット１０（例えば４台の圧着ユニット１０）と、移載（搬入）されるパネル基板１を保持するステージ１１と、ステージ１１に保持されたパネル基板１の端子部２に仮圧着されたそれぞれのＴＣＰ４とそれぞれの圧着ユニット１０との位置合わせを行うパネル基板保持装置１２を備えている。なお、パネル基板保持装置１２は、パネル基板１を図示Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動させる機能（ＸＹ移動機能）と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向を含む平面（水平平面）内においてパネル基板１を回転させる機能（θ回転機能）と、Ｚ軸方向にパネル基板１を昇降させる機能（昇降機能）とを有している。このような機能によりパネル基板１の長辺側及び短辺側の端子部２をそれぞれの圧着ユニット１０と位置合わせすることが可能となっている。また、本圧着装置１００には、このような位置合わせを行うために、パネル基板１の端子部２の位置を認識する認識カメラ（図示しない）が備えられている。なお、図３において、Ｘ軸方向とＹ軸方向はパネル基板１の大略表面沿いの方向となっており、パネル基板１の搬送方向がＸ軸方向であり、Ｘ軸方向に直交する方向がＹ軸方向であり、図示鉛直方向がＺ軸方向となっている。

また、本圧着装置１００（あるいは部品実装ライン）には、それぞれの工程を行う装置間にてパネル基板１の搬入および搬出を行う基板搬送装置２０が備えられている。基板搬送装置２０は、パネル基板１の下面を真空吸着手段（図示しない）により解除可能に吸着保持するパネル保持部２１と、パネル保持部２１の昇降動作を行う昇降部２２と、パネル保持部２１及び昇降部２２を図示Ｘ軸方向に沿って移動させることで、パネル基板１の各装置間の搬送を行う移動装置２３とを備えている。なお、本第１実施形態においては、パネル保持部２１が真空吸着手段によりパネル基板１の保持を行うような場合を例として説明するが、このような場合に代えて、機械的なチャック手段を有するパネル保持部によりパネル基板１が保持されるような場合であってもよい。

また、本圧着装置１００には、それぞれの圧着ユニット１０等の構成部の動作制御を互いの動作と関連付けながら統括的に行う制御装置１９が備えられている。この制御装置１９により、各々の圧着ユニット１０等の個別的あるいは統括的な動作制御が行われながら、本圧着装置１００に搬入されるパネル基板１に対する本圧着工程が行われる。

ここで、本圧着装置１００が備える圧着ユニット１０の模式側面図を図４に示し、図３及び図４を参照しながら、本圧着装置１００および圧着ユニット１０の構成について、さらに詳細に説明する。

図３に示すように、本圧着装置１００は、複数の圧着ユニット１０として、例えば合計４台の圧着ユニット１０をＸ軸方向に一列に配列して備えている。各圧着ユニット１０は、パネル基板１の端子部２にＡＣＦシート３を介して仮圧着された状態のＴＣＰ４を押圧して圧着する押圧体の一例である圧着ヘッド３１と、この圧着ヘッド３１による圧着動作の際に、パネル基板１の端子部２をその下面側から支持する縁部支持部材の一例であるバックアップステージ３２を備えている。

図３及び図４に示すように、各圧着ユニット１０において、バックアップステージ３２は、剛体にて形成された大略Ｌ字状の断面を有する柱状体であるユニットフレーム３３の下部に固定されており、圧着ヘッド３１がＺ軸方向に配置されたＬＭガイド３４（押圧体案内部材の一例）を介してその昇降動作を案内可能にユニットフレーム３３（ユニット支持部材の一例）の上部に取り付けられている。なお、本第１実施形態では、バックアップステージ３２はユニットフレーム３３の下部に固定されるような構成について説明するが、このような場合に代えて、例えば、バックアップステージ３２が上下方向に可動式として昇降可能にユニットフレーム３３に支持され、バックアップステージ昇降部によりバックアップステージ３２の昇降動作が行われるような場合であっても良い。

図３及び図４に示すように、本圧着装置１００の基台フレーム１３上には、２本のＬＭガイド３５がＸ軸方向に沿って延在して配置されており、それぞれのＬＭガイド（案内支持部材の一例）３５を介して、４台の圧着ユニット１０におけるユニットフレーム３３がＸ軸方向の進退移動可能に基台フレーム１３に支持されている。また、図４に示すように、各圧着ユニット１０のユニットフレーム３３の下部には、圧着ユニット１０のＸ軸方向沿いの進退移動を駆動するユニット移動用モータ（ユニット移動装置の一例である）３６が備えられている。すなわち、４台の圧着ユニット１０は、個別に圧着ヘッド３１とバックアップステージ３２とを備えるとともに、個別に備えられたユニット移動用モータ３６が駆動されることにより、２本のＬＭガイド３５に沿ってＸ軸方向沿いに案内されながら、それぞれ独立して進退移動することが可能に構成されている。ここで、「それぞれ独立した移動」とは、１台の圧着ユニット１０の移動が、自身が備えるユニット移動用モータ３６の駆動により行われ、他の１台の圧着ユニット１０の移動が、それ自身が備えるユニット移動用モータ３６の駆動により行われ、両者の移動速度や移動のタイミングを個別に設定することが可能な移動のことである。なお、それぞれの圧着ユニット１０が互いに接触することを防止する等、安全制御の実施のために、両者の移動制御が関連付けられるような場合であってもよい。

また、図４に示すように、各圧着ユニット１０は、ほぼ水平に配置されるパネル基板１に対して垂直な方向（Ｚ軸方向）である押圧方向Ｄに沿って、圧着ヘッド３１を進退移動、すなわち昇降動作させるための力を圧着ヘッド３１に付与するとともに、ＴＣＰ４に当接された状態の圧着ヘッド３１に対して本圧着のための力を付与する押圧駆動部である流体圧シリンダの一例の加圧ユニット（例えば、エアシリンダ）３７が備えられている。この加圧ユニット３７は、Ｙ軸方向にてユニットフレーム３３を間に挟んで圧着ヘッド３１と対向して配置され、ユニットフレーム３３に固定されている。すなわち、図４において、ユニットフレーム３３の図示左側に圧着ヘッド３１が配置され、ユニットフレーム３３の図示右側に加圧ユニット３７が配置されている。

また、図４に示すように、それぞれの圧着ユニット１０において、加圧ユニット３７にて発生された力を、圧着ヘッド３１に機械的に伝達するための手段として、リンク機構が採用されている。具体的には、リンク機構は、ユニットフレーム３３の上部先端に回動可能にそのほぼ中央付近にて支持されたレバー３８（レバー部材の一例）が、その図示左端にて、圧着ヘッド３１の上部と回動可能に接続され、その図示右端にて、加圧ユニット３７の内部のピストンに連結されたロッド３７ａの端部と回動可能に接続されることにより構成されている。なお、レバー３８は、大略Ｙ軸方向に沿って配置されており、その支持位置や接続位置における回動は、ＹＺ平面内にて行うことが可能とされている。リンク機構がこのように構成されていることにより、加圧ユニット３７のロッド３７ａとレバー３８との接続位置Ｃ１を「力点」とし、圧着ヘッド３１とレバー３８との接続位置Ｃ２を「作用点」とし、ユニットフレーム３３によるレバー３８の支持位置Ｃ３を「支点」として、加圧ユニット３７にて発生された力を、レバー３８を介して、圧着ヘッド３１に伝達することが可能となっている。すなわち、加圧ユニット３７にて発生されたＺ軸方向沿いに作用する力の方向を、レバー３８にて反転させながら、レバー３８を通して圧着ヘッド３１にこの力を伝達し、圧着ヘッド３１を押圧方向Ｄに沿って動作させることが可能に構成されている。このようにユニットフレーム３３の上部に支持されたレバー３８を用いて、ユニットフレーム３３の一方の側に配置されかつ支持位置Ｃ３より低い位置に配置された加圧ユニット３７にて発生された力を、ユニットフレーム３３の他方の側に配置されかつ支持位置Ｃ３より低い位置に配置された圧着ヘッド３１に伝達可能な構成が採用されていることにより、圧着ユニット１０全体を低くコンパクトな構造とすることができるとともに、圧着ユニット１０における荷重バランスを良好なものにすることができる。したがって、圧着ユニット１０の小型化かつ低重心化を図ることができ、Ｘ軸方向における圧着ユニット１０の移動の迅速化あるいは効率化を図ることができる。

また、図４に示すように、それぞれの圧着ユニット１０が備える加圧ユニット３７は、圧力発生源３９に導圧管等を介して接続されており、圧力制御部４０により制御されながら所望の力（圧力）を生成することができるように、圧縮空気の供給量が制御される。

また、図３及び図４に示すように、基台フレーム１３上には、剛体部材により形成された大略門型形状を有する門型フレーム４１がＸ軸方向に沿って固定されており、この門型フレーム４１の内側に４台の圧着ユニット１０が配列されている。さらに、この門型フレーム４１には、支持位置Ｃ３回りのレバー３８の回動動作を、レバー３８と当接して規制することで、圧着ヘッド３１の押圧方向Ｄ沿いの動作を規制可能なヘッド動作規制装置４２（動作速度規制装置および押圧体移動装置の一例）が設けられている。ヘッド動作規制装置４２は、門型フレーム４１の内側にてＸ軸方向に延在して配置され、４台の圧着ユニット１０のレバー３８の接続位置Ｃ１における端部３８ａの上部と当接可能な棒状部材である１本の規制部材４３と、この規制部材４３を昇降動作（押圧方向Ｄ沿いに進退移動）させる規制部材昇降装置４４とを備えている。なお、規制部材４３は１本としたが、圧着ユニット１０との当接による動作規制に悪影響がなければ、規制部材４３を複数本の分割構造としても良い。

このような構成のヘッド動作規制装置４２を用いて、規制部材昇降装置４４により下降された規制部材４３にて、レバー３８の端部３８ａの上部と規制部材４３の下部とを当接させ、この当接状態にて、加圧ユニット３７により加圧力をレバー３８に伝達するとともに、規制部材昇降装置４２により規制部材４３を所望の速度にて上昇させることで、レバー３８の端部３８ａの上昇速度を、上記所望の速度に規制することができる。特に、加圧ユニット３７のように流体の圧力にてレバー３８を動作させるような構成では、レバー３８の動作速度を迅速に制御することが困難である。そのため、本第１実施形態では、レバー３８の動作速度を確実に制御するために、ヘッド動作規制装置４２を採用している。このようにレバー３８の動作速度を規制することで、レバー３８の支持位置Ｃ３回りの回動速度を規制することが可能となり、その結果、圧着ヘッド３１がバックアップツール３２へと向かう方向の動作速度（下降速度）を高速から低速への切り替え等を含む所定の速度に規制することができる。なお、規制部材４３はその下部においてレバー３８の端部３８ａと当接される構成となっているため、圧着ヘッド３１がバックアップツール３２へと向かう動作が行われる場合に動作速度の規制が行われることになる。また、規制部材昇降装置４２により規制部材４３を上昇させて、レバー３８の端部３８ａから離間させることにより、レバー３８の動作規制を解除することができる。すなわち、規制部材昇降装置４２により規制部材４３を、レバー３８との当接位置と、レバー３８から離間された退避位置との間で進退移動させることが可能となっている。これにより、レバー３８を通して圧着ヘッド３１に加圧ユニット３７の加圧力が直接伝達可能となり、パネル基板１にＡＣＦ３を介して実装される部品であるＴＣＰ４への圧着ヘッド３１の当接の直後に、ＴＣＰ４の圧着の為の所望の加圧力の伝達を確実に行うことができる。また、図３に示すように、このようなヘッド動作規制装置４２は、それぞれの圧着ユニット１０に個別に備えられているのではなく、４台の圧着ユニット１０に共通して１台のヘッド動作規制装置４２が備えられている。このように共通した１台のヘッド動作規制装置４２を備えさせることにより、個々の圧着ユニット１０の構成の簡素化および小型化を図ることができるとともに、圧着ヘッド３１の動作速度を規制する規制部材昇降装置４２の規制部材４３と圧着ユニット１０とを離間可能な構成とすることで、圧着ユニット１０のＸ軸方向沿いの移動の迅速化等を図ることができる。

また、それぞれのユニット移動用モータ３６による圧着ユニット１０のＸ軸方向の移動位置の情報は制御装置１９に取得され、制御装置１９にて互いに圧着ユニット１０同士が干渉することがないように、移動制御が行われる。また、ヘッド動作規制装置４２によりそれぞれの圧着ヘッド３１の一体的あるいは個々に独立した動作速度の規制、および圧力制御部４０による加圧力の制御は、制御装置１９により統括的に行われる。

次に、このような構成の圧着ユニット１０における圧着動作について、図５Ａ〜図５Ｄに示す模式説明図と、図６（Ａ）〜（Ｃ）に示すグラフを用いて説明する。なお、図６（Ａ）は圧着ヘッドの押圧力の変化を示すグラフであり、図６（Ｂ）は規制部材４３とレバー３８との接触関係の変化を示すグラフであり、図６（Ｃ）は圧着ヘッド３１の高さ位置の変化を示すグラフである。

まず、図５Ａに示す状態（時間Ｔ１−Ｔ２）では、レバー３８と規制部材４３とが互いに離間された状態（すなわち、規制部材４３が退避位置に位置された状態）にあり、さらに圧着ヘッド３１は高さ位置Ｈ１に位置されて、バックアップツール３２上に配置されたパネル基板１およびＴＣＰ４から離間された状態にある（図６（Ａ）参照）。このような状態においては、それぞれの圧着ユニット１０のＸ軸方向の移動、すなわちそれぞれの圧着ユニット１０の配置ピッチ等の変更を行うことが可能となっている。

次に、図５Ｂおよび図６（Ｃ）に示すように時間Ｔ２において、規制部材昇降装置４４により下降された規制部材４３と、レバー３８の端部３８ａとを当接させる（すなわち、規制部材４３を当接位置に位置させる。図６（Ｂ）参照）。この当接とともに、加圧ユニット３７にて加圧力を発生させる。このように加圧力が発生されてレバー３８に加圧力が伝達されても、規制部材４３がレバー３８と当接することによりレバー３８の動作が規制されているため、圧着ヘッド３１が急激に下降されることが確実に防止されている。

その後、時間Ｔ２から時間Ｔ３に向けて、規制部材昇降装置４４により規制部材４３が所定の速度にて上昇されることにより、圧着ヘッド３１がパネル基板１へＴＣＰ４を圧着する方向に下降される。なお、このような所定の速度は、一定の速度である場合のみに限られるものではなく、例えば図６（Ｃ）から明らかなように高速から低速への速度切り替えがなされるような場合であってもよい。このように規制部材４３が徐々に上昇されることにより、規制部材４３に倣ってレバー３８が回動され、その結果、圧着ヘッド３１が高さ位置Ｈ１からパネル基板１のＴＣＰ４に向かう方向である押圧方向Ｄに沿って規制された速度にて下降される（図６（Ｃ）参照）。

やがて時間Ｔ３に達すると、図５Ｃに示すように、圧着ヘッド３１が高さ位置Ｈ２にまで下降され、バックアップツール３２上に配置されているパネル基板１の端子部２に仮圧着されているＴＣＰ４に圧着ヘッド３１の下部先端（当接面または押圧面）が当接する。この当接により圧着ヘッド３１の下降動作が実質的に制限される（ただし、押圧により僅かな下降は生じる）ため、加圧ユニット３７により付加されている力がＴＣＰ４に対する押圧力となって生じる（図６（Ａ）参照）。また、それとともに、図５Ｄに示すように、所定の速度（例えば、ＴＣＰ４に圧着ヘッド３１の下部先端が当接する前に高速から低速への速度切り替えされた後の速度）にて上昇が継続されている規制部材４３が、圧着ヘッド３１の下降位置の制限によりその回動動作が制限されているレバー３８の端部３８ａから離間される（図６（Ｂ）参照）。

時間Ｔ４に向けて、圧着ヘッド３１のＴＣＰ４をパネル基板１に押圧する押圧力が上昇し、やがて所定の押圧力Ｆに達し、押圧力ＦにてＴＣＰ４がパネル基板１に押圧されて本圧着動作が行われる。なお、この本圧着動作の際には、図示しないヒータ（圧着ヘッド３１に内蔵）により加熱が行われる。

時間Ｔ４に達すると、本圧着動作が完了し、加圧ユニット３７により逆向きに圧着ヘッド３１が動作（すなわち上昇）されて、圧着ヘッド３１がＴＣＰ４より離間され、時間Ｔ５にて図５Ａに示す状態に戻される。このような一連の動作が行われることにより、パネル基板１へのＴＣＰ４の本圧着動作が行われる。

次に、本圧着装置１００において、パネル基板１に対するＴＣＰ４の本圧着動作が行われる手順の詳細について説明する。この説明にあたって、本圧着動作の手順を示すフローチャートを図７に示し、パネル基板１の長辺側端子部２Ａに対して本圧着動作が行われている状態を示す模式説明図を図８（Ａ）、（Ｂ）に示し、短辺側端子部２Ｂに対して本圧着動作が行われている状態を示す模式説明図を図９（Ａ）、（Ｂ）に示す。

図７のフローチャートのステップＳ１において、本圧着装置１００のパネル基板保持装置１２に１枚のパネル基板１が搬入されて、ステージ１１により保持される。このパネル基板１は、図８（Ａ）に示すように、Ｘ軸方向沿いの端子部を長辺側端子部２Ａとして、Ｙ軸方向沿いの端子部を短辺側端子部２Ｂとした姿勢にてステージ１１に保持される。また、長辺側端子部２Ａには間隔ピッチＰ１にて３個のＴＣＰ４が仮圧着されており、短辺側端子部２Ｂには間隔ピッチＰ２にて２個のＴＣＰ４が仮圧着されている。なお、間隔ピッチＰ１とＰ２は互いに異なっている。

次に、この搬入されたパネル基板１の識別情報と関連付けられて、パネル基板１の長辺側端子部２Ａにおける部品圧着位置情報（第１圧着位置情報）が制御装置１９にて取得される（ステップＳ２）。部品圧着位置情報には、長辺側端子部２ＡにおけるそれぞれのＴＣＰ４の圧着位置、その間隔ピッチＰ１、さらに圧着されるＴＣＰ４の個数の情報などが含まれている。さらにこのような情報の中には、ＴＣＰ４の種類及び熱圧着の加熱温度や加圧力の情報が含まれるような場合であってもよい。また、部品圧着位置情報の取得は、制御装置１９の外部より入力されるような場合であってもよく、あるいは制御装置１９の記憶部等に予め記憶されており、パネル基板１の識別情報あるいは予め選択されているパネル基板１の生産情報に基づいて記憶部等から読み出されるような場合であってもよい。

制御装置１９において、長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報が取得されると、この取得された部品圧着位置情報に基づいて、それぞれの圧着ユニット１０の配置が調整される（ステップＳ３）。具体的には、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の個数（３個）の情報に基づいて、４台の圧着ユニット１０の中から本圧着動作のために使用される３台の圧着ユニット１０が選択される。このとき、４台の圧着ユニット１０の中央側に位置される圧着ユニット１０から順次選択される。選択された３台の圧着ユニット１０は、その配列における略中央付近の領域である圧着動作実施領域Ｑ１に位置され、一方選択されなかった１台の圧着ユニット４１は、圧着動作実施領域Ｑ１の両側において隣接する領域であるいずれかの退避領域Ｑ２に位置されるように、それぞれの圧着ユニット１０が備えるユニット移動用モータ３６の駆動により、それぞれの圧着ユニット１０がＬＭガイド３５により案内されながら、それぞれ独立してＸ軸方向沿いに移動される。このように本圧着動作を実施する３台の圧着ユニット１０を圧着動作実施領域Ｑ１に位置させ、本圧着動作を実施しない１台の圧着ユニット１０を退避領域Ｑ２に位置させることにより、本圧着動作を実施しない１台の圧着ユニット１０とパネル基板１との干渉を防止して、確実に本圧着動作を実施することができる。さらに、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の圧着位置の間隔ピッチＰ１及びその位置の情報に基づいて、選択された３台の圧着ユニット１０の位置及び配置間隔が、それぞれのユニット移動用モータ３６の駆動により個別に調整される。なお、このようなそれぞれの圧着ユニット１０の移動は、規制部材４３がレバー３８より離間された状態（すなわち規制部材４３が退避位置に位置された状態）にて行われる（図５Ａ参照）。

このようにそれぞれの圧着ユニット１０の配置調整、すなわち位置および配置間隔の調整が完了すると、パネル基板保持装置１２によりパネル基板１の移動が行われて、選択された３台の圧着ユニット１０におけるそれぞれのバックアップステージ３２上に、パネル基板１の３箇所の部品圧着位置が位置決めされるようにパネル基板１の長辺側端子部２Ａが配置される（図５Ａ、図８（Ａ）及び（Ｂ）参照）。図８（Ａ）および（Ｂ）に示すように、退避領域Ｑ２に位置された１台の圧着ユニット１０とパネル基板１との干渉は防止されている。その後、図５Ｂに示すように、加圧ユニット３７およびヘッド動作規制装置４２によりレバー３８の規制しながらのレバー３８の回動動作が行われてそれぞれの圧着ヘッド３１が下降され、図５Ｃに示すように、圧着ヘッド３１の下面である圧着面がＴＣＰ４に当接される。さらに図５Ｄ及び図６に示すように、加圧ユニット３７により所定の加圧力がＴＣＰ４に対して付加されることで、パネル基板１の長辺側端子部２Ａにおける３箇所の部品圧着位置において、ＡＣＦシート３を介して３個のＴＣＰ４が本圧着されて実装される（ステップＳ４）。その後、それぞれの加圧ユニット３７によりそれぞれの圧着ヘッド３１が上昇され、図５Ａに示すような状態となる。

なお、上述の説明では、バックアップステージ３２が固定式である場合についての本圧着動作について説明したが、図２２Ａおよび図２２Ｂに示すように、バックアップステージ３２が可動式であって昇降可能な構成が採用される場合であってもよい。このような構成が採用される場合には、バックアップステージ３２の上方にパネル基板１の長辺側端子部２Ａを配置した後、このパネル１基板の長辺側端子部２Ａに近づく方向に圧着ヘッド３１を動作させるとともに、バックアップステージ昇降部７３によりバックアップステージ３２をパネル１基板の長辺側端子部２Ａに近づく方向に動作させて、ＴＣＰ４をパネル基板１に圧着することができる。この時、圧着動作を行わない圧着ユニット１０については、パネル基板１の支持高さ位置である圧着高さ位置よりも下方の位置である昇降の下降位置（支持解除高さ位置）にバックアップステージ３２を位置させることで、圧着動作を行わない圧着ユニット１０とＴＣＰ４およびパネル基板１との干渉を防止することができる。そのため、例えば、圧着動作を行わない圧着ユニット１０を退避領域Ｑ２ではなく圧着動作実施領域Ｑ１に位置させるような場合であっても、この圧着ユニット１０とパネル基板１との干渉を防止することが可能となる。

次に、長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作が完了すると、パネル基板保持装置１２によりパネル基板１がそれぞれのバックアップステージ３２から離間されるように移動され、保持されているパネル基板１がＸＹ平面内においてθ回転移動されて、パネル基板１の短辺側端子部２ＢがＸ軸方向沿いとなるような姿勢とされる（ステップＳ５）。

次に、制御装置１９において、パネル基板１の短辺側端子部２Ｂにおける部品圧着位置情報（第２圧着位置情報）が取得される（ステップＳ６）。この部品圧着位置情報には、短辺側端子部２ＢにおけるそれぞれのＴＣＰ４の圧着位置、その間隔ピッチＰ２、さらに圧着されるＴＣＰ４の個数（２個）の情報などが含まれている。なお、本第１実施形態の手順の例としては、長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報と、短辺側端子部２Ｂの部品圧着位置情報とが別々に取得されるような場合について説明するが、このような場合に代えて、両情報が同時に取得されるような場合であってもよい。

次に、この取得された部品圧着位置情報に基づいて、図９（Ａ）および（Ｂ）に示すように、短辺側端子部２Ｂの部品圧着位置情報に対応して、それぞれの圧着ユニット１０の配置が調整される（ステップＳ７）。具体的には、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の個数（２個）の情報に基づいて、４台の圧着ユニット１０の中から本圧着動作のために使用される２台の圧着ユニット１０として、４台の圧着ユニット４１の中央に位置される２台の圧着ユニット１０が選択される。選択された２台の圧着ユニット１０は、圧着動作実施領域Ｑ１に位置され、一方選択されなかった両側の２台の圧着ユニット１０は、それぞれの退避領域Ｑ２に１台ずつ位置されるように、それぞれのユニット移動用モータ３６の駆動により、それぞれの圧着ユニット１０がＬＭガイド３５により案内されながら、Ｘ軸方向沿いに移動される。さらに、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の圧着位置の間隔ピッチＰ２及びその位置の情報に基づいて、選択された２台の圧着ユニット１０の位置及び配置間隔が、それぞれのユニット移動用モータ３６の駆動により調整される。なお、このようなそれぞれの圧着ユニット１０の移動は、規制部材４３がレバー３８より離間された状態にて行われる（図５Ａ参照）。

それぞれの圧着ユニット１０の配置調整が完了すると、パネル基板保持装置１２によりパネル基板１の移動が行われて、選択された２台の圧着ユニット１０におけるそれぞれのバックアップステージ３２上に、２箇所の部品圧着位置が位置決めされるようにパネル基板１の短辺側端子部２Ｂが配置される。ここで、図９（Ａ）及び（Ｂ）は、バックアップステージ３２上にパネル基板１の短辺側端子部２Ｂが配置されている状態を示す。図９（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、退避領域Ｑ２に位置された４２の圧着ユニット１０とパネル基板１との干渉は防止されている。その後、加圧ユニット３７およびヘッド動作規制装置４２によりレバー３８を介してそれぞれの圧着ヘッド３１が、規制された動作速度にて下降され、圧着ヘッド３１の下面である圧着面がＴＣＰ４に当接される。さらに加圧ユニット３７により所定の加圧力がＴＣＰ４に対して付加されることで、パネル基板１の短辺側端子部２Ｂにおける２箇所の部品圧着位置において、ＡＣＦシート３を介して２個のＴＣＰ４が本圧着されて実装される（ステップＳ８）。その後、加圧ユニット３７によりそれぞれの圧着ヘッド３１が上昇される。

なお、長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作と同様に、短辺側端子部２Ｂに対する本圧着動作についても、図２２Ａおよび図２２Ｂに示すように、バックアップステージ３２が可動式として昇降可能な構成が採用される場合であってもよい。この場合には、バックアップステージ３２の上方にパネル基板１の短辺側端子部２Ｂを配置した後、このパネル１基板の短辺側端子部２Ｂに近づく方向に、圧着ヘッド３１及びバックアップステージ３２を動作させて、ＴＣＰ４をパネル基板１に圧着することができる。この時、圧着動作を行わない圧着ユニット１０については、圧着位置（支持高さ位置）よりも下方の位置である昇降の下降位置（支持解除高さ位置あるいは退避高さ位置）にバックアップステージ３２を位置させることで、圧着動作を行わない圧着ユニット１０とＴＣＰ４及びパネル基板１との干渉を防止することができる。

短辺側端子部２Ｂに対する本圧着動作が完了すると、パネル基板保持装置１２によりパネル基板１がそれぞれのバックアップステージ３２から離間されるように移動されて、本圧着装置１００からパネル基板１が搬出される（ステップＳ９）。

本第１実施形態によれば、本圧着装置１００において、パネル基板１の端子部２にＴＣＰ４を本圧着する圧着ヘッド３１と、その本圧着の際にパネル基板１の端子部２を支持するバックアップステージ３２とを備える一列に配置された複数の圧着ユニット１０と、複数の圧着ユニット１０に個別に備えられ、Ｘ軸方向沿いに圧着ユニット１０を平行移動させて圧着ユニット１０の配置を変更させる複数のユニット移動用モータ３６とが備えられていることにより、パネル基板１の部品圧着位置情報、すなわち端子部２における複数の部品圧着位置の配置又は個数に応じて、それぞれのユニット移動用モータ３６によりそれぞれの圧着ユニット１０を個別に平行移動させて、圧着ユニット１０の配置を部品圧着位置の配置と合致させることができる。したがって、パネル基板１の仕様に応じて異なる部品圧着位置に対応した本圧着動作を効率的に実施することができる。

また、パネル基板１において、長辺側端子部２Ａと短辺側端子部２Ｂとで、ＴＣＰ４の圧着位置、間隔ピッチ、及び圧着されるＴＣＰ４の個数が異なるような場合であっても、長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報に基づいてそれぞれの圧着ユニット１０の配置調整を行った後、長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作を実施し、その後、短辺側端子部２Ｂの部品圧着位置情報に基づいてそれぞれの圧着ユニット１０の配置調整を行った後、短辺側端子部２Ｂに対する本圧着動作を実施することで、それぞれの端子部２Ａ、２Ｂの仕様に応じた部品圧着を確実かつ効率的に実施することができる。そのため、長辺側用の圧着ユニット及び短辺側用の圧着ユニットとしてそれぞれ専用の圧着ユニットを備えなくても、１台の本圧着装置１００により長辺側端子部２Ａ及び短辺側端子部２Ｂのそれぞれの圧着位置に応じた圧着ピッチに合わせるようにそれぞれの圧着ユニットの位置に迅速に切り替えを行い、パネル基板への部品圧着を効率的に行うことができる。

また、それぞれの圧着ユニット１０において、ユニット移動用モータ３６が個別に備えられていることにより、このようなそれぞれの圧着ユニット１０の配置調整を迅速かつ効率的に行うことができる。

また、それぞれの圧着ユニット１０において、押圧方向Ｄ沿いの圧着ヘッド３１の進退移動および押圧動作は、加圧ユニット３７にて発生された力を、リンク機構を介して圧着ヘッド３１に伝達することにより行われる。このようなリンク機構としては、ユニットフレーム３３に回動可能に支持されたレバー３８を用いて、加圧ユニット３７からレバー３８の一端に付加された力を、テコの原理を用いてレバー３８の他端に接続された圧着ヘッド３１に伝達することにより行われる。さらに、加圧ユニット３７にて発生された力により、圧着ヘッド３１の急激な移動を防止するために、レバー３８の端部３８ａと規制部材４３とを当接させて、規制部材昇降装置４４による規制部材４３の移動速度に圧着ヘッド３１の動作速度を倣わすような構成が採用されている。そのため、圧着ヘッド３１の動作（下降動作）を確実に制御しながらＴＣＰ４に当接させることができ、適切な押圧力にて本圧着動作を行うことができる。

さらに、このようなヘッド動作規制装置４２を複数の圧着ユニット１０にて共通の装置として備えさせていることにより、それぞれの圧着ユニット１０の小型化および構造の簡素化を図ることができ、圧着ユニット１０の配置変更を容易かつ迅速に行うことができる。特に、圧着ヘッド３１を動作させる力を発生する手段として、電動モータ等ではなく、流体圧シリンダ（加圧ユニット３７）を採用することにより、個々の圧着ユニット１０をコンパクトな構造とすることができる。さらに、このような流体圧シリンダの動作を制御（規制）する装置をそれぞれの圧着ユニットに個別に備えさせるのではなく、共通の１台の装置と備えさせることにより、それぞれの圧着ユニット１０をさらにコンパクトな構造として、その軽量化を図ることができる。したがって、ユニット移動用モータ３６による移動性を良好なものとすることができる。

また、４台の圧着ヘッド３１のうちの複数の圧着ヘッド３１が選択される場合には、中央側に位置される圧着ヘッド３１から順次選択されるようにすることで、このような共通のヘッド動作規制装置４２による動作速度の規制が行われながら、ＴＣＰ４の圧着動作が行われる際に、ヘッド動作規制装置４２の構造に対する荷重バランスを良好なものとすることができ、パネル基板１に対するＴＣＰ４の圧着品質をより安定させることができる。

また、各圧着ユニット１０において、圧着ヘッド３１とバックアップステージ３２とが一対とされ、互いの配置関係が保たれた状態にてそれぞれの圧着ユニット１０の配置調整のための移動が行われるような構成が採用されていることにより、どのような位置に移動されても圧着ヘッド３１の圧着面（あるいは押圧面）とバックアップステージ３２のパネル基板１の支持面との平行度（平行関係）を一定に保つことができる。したがって、本圧着工程における圧着精度（実装精度）を向上させることができる。

また、パネル基板１に対する本圧着動作が行われる選択された圧着ユニット１０を圧着動作実施領域Ｑ１に位置させて、本圧着動作を行わない選択されなかった圧着ユニット１０を退避領域Ｑ２に位置させるようにして、本圧着動作を実施する際に、圧着動作実施領域Ｑ１に位置されているバックアップステージ３２のみにより端子部２の支持を行わせることができる。例えば、図１０に示すように、パネル基板１の両端部においてたわみＷが生じているような場合にあっては、このようなたわみが生じている両端部近傍をバックアップステージ３２により支持してしまうと、中央付近の端子部においてバックアップステージ３２よりの浮き上がりが生じる恐れがある。このような浮き上がりを確実に防止するために、図１０に示すように部品圧着位置が位置されている中央部付近のみを支持させることで、本圧着動作をより確実に実施することができる。なお、バックアップステージ３２が可動式として昇降可能な構成であるような場合には、バックアップステージ３２をパネル基板１から離間する方向、すなわち下方に位置（下降位置あるいは支持解除高さ位置）に移動させるようにして、本圧着動作を実施する際に、圧着動作を行う圧着ユニット１０のバックアップステージ３２のみにより端子部２の支持を行わせて、同様の効果を得ることができる。

（第２実施形態）
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、本発明の第２の実施形態にかかる本圧着装置及び方法について以下に説明する。

上記第１実施形態の本圧着装置１００では、パネル基板１がほぼ水平方向沿いの姿勢にてその搬送や本圧着動作が行われている。ここで、このような上記第１実施形態のパネル基板１の搬送方法を「水平搬送」と呼ぶものとする。この水平搬送が行われる場合、図１１の模式図に示すように、仮圧着工程にてパネル基板１の端子部２に仮圧着された状態のＴＣＰ４の端部が、そのフレキシブル性により下方に向けて垂れ下がることになる。このようなＴＣＰ４の垂れ下がりを防止して確実な本圧着動作を行うためには、例えば、ステージ１１やバックアップステージ３２等に、ＴＣＰ４の外方端部を支持するための支持部材を補助的に装備させるなどの対応が必要となる。また、近年、益々パネル基板の大型化の傾向が顕著となりつつあり、このようなアウターリードボンディング工程が行われる各装置において、パネル基板１のθ回転領域を確保するために、平面的な装置サイズの大型化を避けることは難しいという実情が存在する。

このような水平搬送の課題を改良すべく、本第２実施形態では、パネル基板１を垂直方向、すなわちＸＺ平面沿いに配置して、その搬送や本圧着動作などを行う構成（以降、「縦型搬送」とする。）が採用されている。図１２に示すように、縦型搬送を採用することにより、パネル基板１に仮圧着されたＴＣＰ４に垂れ下がり等の現象が生じないようにすることができる。

このような本第２実施形態の縦型搬送が採用されたアウターリードボンディング工程の手順を示す説明図を図１３に示す。図１３に示すように、部品実装工程を行う装置に搬入されたパネル基板１に対して、まず、ＡＣＦ貼り付け工程Ｓ５００にて、それぞれの端子部２の端子電極２ａに接合部材としてＡＣＦシート３の貼り付けを行い、その後、部品仮圧着工程Ｓ６００にて、ＡＣＦシート３を介してＴＣＰ４をそれぞれの端子電極２ａに仮圧着し、さらにその後、本圧着工程Ｓ７００にて、仮圧着された状態のそれぞれのＴＣＰ４をさらに圧着して実装する。なお、この本圧着工程Ｓ７００は、パネル基板１の長辺側端子部に対する本圧着工程Ｓ７１０と、パネル基板１の短辺側端子部に対する本圧着工程Ｓ７２０とに分けて行われる。各工程において、パネル基板１が縦型の姿勢にてその搬送および所定の動作が施される点を除いては、基本的に上記第１実施形態の水平搬送のアウターリードボンディング工程と同様である。

次に、本第２実施形態の縦型搬送のアウターリードボンディング工程の本圧着工程を行う本圧着装置２００の構成について、圧着ユニット２１０および関連する構成を中心として説明する。図１４Ａ〜図１４Ｄは、本圧着動作を説明するための圧着ユニット２１０の模式図であり、ぞれぞれの図は、上記第１実施形態の図５Ａ〜図５Ｄに対応する状態の図である。また、以降の説明においては、その機能および構成が上記第１実施形態の圧着ユニット１０と実質的に同じ構成部材には、同じ参照符号を付すことでその説明を省略するものとする。

本圧着装置２００においては、複数の圧着ユニット２１０として、例えば４台の圧着ユニット２１０がＸ軸方向に沿って一列に配列して備えられている。図１４Ａに示すように、圧着ユニット２１０は、その押圧方向ＤがＹ軸方向となるように圧着ユニット２１０の配置が、上記第１実施形態と比してパネル基板１の搬送方向に対して直交する方向に９０度回転されて実質的に水平面上に配置されている点を除いては、実質的に上記第１実施形態の圧着ユニット１０と同じ構成を有している。

具体的には、図１４Ａに示すように、各圧着ユニット２１０は、圧着ヘッド３１と、バックアップステージ３２を備えており、バックアップステージ３２は、剛体にて形成された大略Ｌ字状の断面を有する柱状体であるユニットフレーム３３の上部側面に固定されており、圧着ヘッド３１がＹ軸方向に配置されたＬＭガイド３４を介してその移動動作を案内可能にユニットフレーム３３の上面に取り付けられている。また、本圧着装置２００の基台フレーム１３上には、大略Ｌ字状の断面を有する支持フレーム２２１が固定されている。この支持フレーム２２１の内側上面および側面のそれぞれの２本ずつのＬＭガイド３５がＸ軸方向に沿って延在して配置されており、それぞれのＬＭガイド３５を介して、４台の圧着ユニット２１０のユニットフレーム３３がＸ軸方向の進退移動可能に基台フレーム１３に支持されている。また、図１４Ａに示すように、各圧着ユニット２１０のユニットフレーム３３の図示右側下部には、圧着ユニット２１０のＸ軸方向沿いの進退移動を駆動するユニット移動用モータ３６が備えられている。すなわち、４台の圧着ユニット２１０は、個別に圧着ヘッド３１とバックアップステージ３２とを備えるとともに、個別に備えられたユニット移動用モータ３６が駆動されることにより、４本のＬＭガイド３５に沿ってＸ軸方向沿いに案内されながら、それぞれ独立して進退移動することが可能に構成されている。

また、図１４Ａに示すように、各圧着ヘッド３１は、ほぼ垂直に配置されるパネル基板１に対して垂直な方向（Ｙ軸方向）である押圧方向Ｄに沿って、圧着ヘッド３１を進退移動、すなわち水平移動動作させるための力を圧着ヘッド３１に付与するとともに、ＴＣＰ４に当接された状態の圧着ヘッド３１に対して本圧着のための力を付与する加圧ユニット３７が備えられている。図１４Ａにおいて、ユニットフレーム３３の図示上方側に圧着ヘッド３１が配置され、ユニットフレーム３３の図示下方側に加圧ユニット３７が配置されている。

また、図１４Ａに示すように、それぞれの圧着ユニット２１０において、加圧ユニット３７にて発生された力を、圧着ヘッド３１に機械的に伝達するための手段として、リンク機構が採用されている。リンク機構は、上記第１実施形態と同様にユニットフレーム３３の図示左側端部に回動可能にそのほぼ中央付近にて支持されたレバー３８が、その図示上端にて、圧着ヘッド３１の左側端部と回動可能に接続され、その図示下端にて、加圧ユニット３７の内部のピストンに連結されたロッド３７ａの端部と回動可能に接続されることにより構成されている。なお、レバー３８は、大略Ｚ軸方向に沿って配置されており、その支持位置や接続位置における回動は、ＹＺ平面内にて行うことが可能とされている。

また、図１４Ａに示すように、支持フレーム２２１には、剛体部材により形成された大略門型形状を有する門型フレーム４１がＸＹ平面に沿って配置された状態で固定されており、この門型フレーム４１の内側に４台の圧着ユニット２１０が配列されている。さらに、この門型フレーム４１には、門型フレーム４１の内側にてＸ軸方向に延在して配置され、４台の圧着ユニット２１０のレバー３８の端部３８ａの図示左側端部と当接可能な規制部材４３と、この規制部材４３をＹ軸方向に沿って移動させる規制部材昇降装置４４とを備えるヘッド動作規制装置４２が設けられている。

このような構成の本第２実施形態の本圧着装置２００において、図１４Ａに示すように、バックアップステージ３２に接するようにパネル基板を配置し、その後、図１４Ｂに示すように、規制部材４３によりレバー３８の回動を規制しながら、加圧ユニット３７にて加圧力を生じさせて、レバー３８を介して圧着ヘッド３１を押圧方向Ｄ、すなわちパネル基板１に部品であるＴＣＰ４を圧着する方向であるＹ軸方向沿いにバックアップステージ３２に向かうように動作させる。やがて、図１４Ｃに示すように、圧着ヘッド３１がパネル基板１に仮圧着されたＴＣＰ４に当接し、圧着ヘッド３１がＴＣＰ４を押圧してパネル基板１への本圧着動作が行われる。それとともに、図１４Ｄに示すように、規制部材４３はレバー３８から離間されて、動作速度の規制が解除され、加圧ユニット３７の加圧力がレバー３８を介して圧着ヘッド３１を所定の押圧力にてパネル基板１へＴＣＰ４を押圧する。その後、本圧着動作が完了すると、加圧ユニット３７により圧着ヘッド３１がＴＣＰ４から離間する方向に動作される。また、それぞれの圧着ユニット２１０のＸ軸方向沿いの移動、すなわち配置ピッチの変更は、図１４Ａに示すように、規制部材４３が、それぞれのレバー３８から離間された状態にて行われる。

上記第２実施形態のように、パネル基板１の縦型搬送が行われるような構成が採用される場合であっても、それぞれの圧着ユニット２１０をＹ軸方向に寝かした状態、すなわち、それぞれの圧着ヘッド３１の押圧方向ＤがＹ軸方向に配置されるように、それぞれの圧着ユニット２１０を配置させることにより、縦型搬送の利点を得ながら上記第１実施形態と同様な効果を得ることができる本圧着装置２００を実現することができる。特に、このような縦型搬送が採用される場合には、Ｙ軸方向における装置幅は装置構成部材の大きさ（幅）により決定されることになるが、パネル基板１の縦型搬送に伴い、特に大型のパネル基板の搬送方向に直交する水平方向の装置幅が小さくなり、またそれぞれの圧着ユニット２１０の小型化および構成の簡素化を図ることにより、さらにパネル基板の搬送方向に直交する水平方向の装置幅の小型化を実現することができる。

（変形例）
次に、上記第１及び第２実施形態の本圧着装置の様々な変形例について図面を用いて説明する。なお、以降の説明において、上記第１及び第２実施形態の本圧着装置が有する構成要素と実質的に同一の構成要素には、同じ参照符号を付してその説明を省略する。

上記第１実施形態では、ヘッド動作規制装置４２を支持するための構造として、門型フレーム４１を採用したが、このような門型フレーム４１に代えて、図１５および図１６の本圧着装置３００の模式図に示すように、それぞれの圧着ユニット１０のＹ軸方向後方側に配置された支持フレーム３５１を用いることもできる。

このような支持フレーム３５１を用いた構成を採用することにより、それぞれの圧着ユニット１０の配列方向に支持フレーム３５１が配置されない構成とすることができる。したがって、それぞれの圧着ユニット１０の移動範囲に制約を無くすことができ、配置ピッチ変更のための移動の自由度を高めることができる。また、支持フレーム３５１を支持する基台フレーム１３を、支持フレーム３５１をＸ軸方向に進退移動させる移載軸（すなわち移動装置）とするような場合（図示せず）には、支持フレーム３５１とともにそれぞれの圧着ユニット１０を一体的にＸ軸方向に移動させることで、Ｘ軸方向におけるそれぞれの圧着ユニット１０の実質的な移動範囲の拡大を行い、パネル基板１の搬送方向であるＸ軸方向に、特に支持フレーム３５１のＸ軸方向の幅を超えて大型化されたパネル基板１に対する部品の圧着作業に、支持フレーム３５１の大型化対応をすることなく、対応することが可能となる。また、このような支持フレームと基台フレームとの相対的な進退移動の構成は、水平搬送の本圧着装置だけでなく、縦型搬送の本圧着装置にも適用することができる。

これに対して、門型フレーム４１を用いた構成では、規制部材４３を通じて門型フレーム４１に外力（レバー３８の動作速度規制により生じる力）が付与されても、比較的フレームに反り等が発生し難く、より精確にレバー３８の動作速度を規制することができる。

また、このように、門型フレームではなく、支持フレームにヘッド動作規制装置を固定するような構成は、上記第２実施形態のように縦型搬送を採用する本圧着装置にも適用することができる。

具体的には、図１７の本圧着装置４００の模式図に示すように、支持フレーム４４１をＹ軸方向に延在させて、ヘッド動作規制装置４２を支持させるような構成を採用することができる。

また、図１８の本圧着装置５００の模式図に示すように、支持フレーム５４１上に配置された２本のＬＭガイド３５のみにより、それぞれの圧着ユニット２１０のＸ軸方向の移動が案内されるような構成を採用することもできる。特に、圧着ユニット２１０が小型であり軽量化が図られているような場合には、このような構成に対応することが可能である。

また、上記第１および第２実施形態の本圧着装置では、加圧ユニットにて生じた加圧力を、レバー３８を用いたリンク機構を用いて、ユニットフレームを挟んで反対側に配置されている圧着ヘッドに伝達するような構成について説明したが、本発明はこのような構成のみに限定されるものではない。このような構成に代えて、例えば、図１９の本圧着装置６００の模式図に示すような構成を採用することができる。

具体的には、図１９に示すように、本圧着装置６００において、圧着ヘッド６３１の押圧方向Ｄ沿いの動作軸（昇降軸）と同軸上に加圧ユニット６２７を配置し、加圧ユニット６２７のピストン６２７ｂに連結された下方側ロッド６２７ａを直接的に圧着ヘッド６３１に接続する。さらに、ピストン６２７ｂに連結された上方側ロッド６２７ｃの上端部に形成された係合部６２７ｄの下部を、規制部材６４３の上部に係合可能とすることで、ヘッド動作規制装置６４２の規制部材昇降装置６４４により圧着ヘッド６３１の動作速度を規制可能としている。

このような同軸上における圧着ヘッド６３１の動作速度の規制を行う構成では、同軸上にて規制のための力が作用することとなり、力学上のバランスを良好なものとすることができる。一方、上記第１実施形態のように、レバー３８を用いたような構成を採用すれば、圧着ユニットの高さを低く抑えることができ、装置の小型化や低重心化を図ることができ、それぞれの圧着ユニットの移動を迅速かつ容易に行うことができるという利点がある。なお、図１９の本圧着装置６００では、門型フレーム６４１が採用されており、図２０に示す本圧着装置７００では、支持フレーム７４１が採用されている。

また、図１９に示す規制部材６４３と上方側ロッド６２７ｃの係合部６２７ｄとの係合関係は、その他様々な構成を適用することができ、例えば、図２１の本圧着装置８００の模式図に示すように、上方側ロッド８２７ｃの端部が貫通さるように形成され、その内部にて係合部８２７ｄと同軸上にて係合されるような規制部材８４３を有するヘッド動作規制装置８４２を採用することもできる。このような構成では、規制部材８４３の規制位置も含めて門型フレーム６４１の上部梁の面内で圧着ヘッド６３１の動作速度および位置による反力を受けることができ、ほぼ完全に同軸上のみにおいて力を作用させることができるため、力学なバランスをさらに良好にすることができる。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態にかかる部品圧着装置および部品圧着方法について説明する。まず、このような本第３実施形態の部品圧着装置および方法が用いられるアウターリードボンディング工程について、アウターリードボンディング工程を行う部品実装装置の一例である部品実装ライン１００の構成を示す模式平面図を図２３に示す。

図２３に示すように部品実装ライン３００は、パネル基板１に対してＡＣＦ貼り付け工程を行うＡＣＦ貼り付け装置３２０と、ＡＣＦシート３が貼り付けられた状態のパネル基板１に対してＴＣＰ４等の部品の部品仮圧着工程を行う部品仮圧着装置３３０と、パネル基板１の長辺側及び短辺側の端子部２に仮圧着されたＴＣＰ４を本圧着して実装する本圧着工程（本第３実施形態の部品圧着工程の一例である）を行う本圧着装置（本第３実施形態の部品圧着装置の一例である）３４０と、それぞれの装置間のパネル基板１の搬送を行う基板搬送装置３５０とを備えている。なお、それぞれの装置には、パネル基板１を保持する２つのステージを有するパネル基板保持装置が備えられており、予め設定されたサイズ以下のパネル基板１を２枚同時に保持した状態にて、それぞれの工程を実施することが可能となっている。また、予め設定されたサイズを超えるパネル基板１に対しては、例えば２つのステージのうちの一方のステージにより１つのパネル基板１を保持した状態にて、それぞれの工程を実施することも可能となっている。

ＡＣＦ貼り付け装置３２０は、テープ供給部３２１よりテープ回収部３２２へ送り出されるテープ状のＡＣＦシート３を所定の長さに切断してパネル基板１の端子部２に貼り付ける２台の圧着ユニット３２３と、基板搬送装置３５０より搬送されるパネル基板１が移載されるとともにその保持を行い、保持されたパネル基板１の端子部２と圧着ユニット３２３との位置決めを行う基板保持装置の一例であるパネル基板保持装置３２４を備えている。パネル基板保持装置３２４は、パネル基板１を保持する２つのステージ３２４ａ及び３２４ｂを備えており、それぞれのステージ３２４ａ及び３２４ｂに保持されたパネル基板１を図示Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動させる機能（ＸＹ移動機能）と、Ｘ軸方向及びＹ軸方向を含む平面（水平平面）内においてパネル基板１を回転させる機能（θ回転機能）と、Ｚ軸方向にパネル基板１を昇降させる機能（昇降機能）とを有しており、このような機能によりパネル基板１の長辺側及び短辺側の端子部２をそれぞれの圧着ユニット３２３と位置合わせすることが可能となっている。また、ＡＣＦ貼り付け装置３２０には、このような位置合わせを行うために、パネル基板１の端子部２の位置を認識する２台の認識カメラ３２６が備えられている。また、それぞれの圧着ユニット３２３によるＡＣＦ貼付動作は、パネル基板１の端子部２がその下方側からバックアップツール３２５により支持されて行われる。なお、図２３において、Ｘ軸方向とＹ軸方向はパネル基板１の大略表面沿いの方向となっており、パネル基板１の搬送方向がＸ軸方向であり、Ｘ軸方向に直交する方向がＹ軸方向であり、図示鉛直方向がＺ軸方向となっている。

部品仮圧着装置３３０は、カセット内に収容された状態の複数のＴＣＰ４を供給するＴＣＰ供給カセット部（図示しない）と、ＴＣＰ供給カセット部から供給されるＴＣＰ４を、ＡＣＦシート３を介してそれぞれの端子電極２ａに仮圧着する複数の仮圧着ヘッド（実装ヘッドあるいは押圧体の一例）３３２と、パネル基板１が移載されるとともにその保持を行う２つのステージ３３３ａ及び３３３ｂと、それぞれのステージ３３３ａ及び３３３ｂに保持されたパネル基板１の端子部２と仮圧着ヘッド３３２との位置決めを行うパネル基板保持装置３３３とを備えている。部品仮圧着装置３３０には、仮圧着ヘッド３３２が４台備えられており、それぞれの仮圧着ヘッド３３２が回転可能に同心円上に均等に配置され、円周上における図２３の上方の位置であるＴＣＰ供給位置と、下方の位置である仮圧着位置とに順次それぞれの仮圧着ヘッド３３２が配置されるようないわゆるロータリー方式が採用されている。また、部品仮圧着装置３３０には、パネル基板１の端子部２及び仮圧着ヘッド３３２に吸着保持されたＴＣＰ４の位置を認識するための２台の認識カメラ３３４と、ＴＣＰ供給位置において仮圧着ヘッド３３２に吸着保持されるＴＣＰ４の保持姿勢を認識するためのプリセンタカメラ３３６とがさらに備えられている。なお、パネル基板保持装置３３３は、ＸＹ移動機能、θ回転機能、及び昇降機能を有している。また、それぞれの仮圧着ヘッド３３２による部品仮圧着動作は、パネル基板１の端子部２がその下方側からバックアップツール３３５により支持された状態で行われる。

本圧着装置３４０は、パネル基板１の長辺側及び短辺側の端子部２にＡＣＦシート３を介して仮圧着された状態のＴＣＰ４を押圧しながら加熱することで、ＡＣＦシート３を介してそれぞれの端子電極２ａにＴＣＰ４を本圧着、すなわち熱圧着（実装）する複数の圧着ユニット３４１と、移載されるパネル基板１を保持する２つのステージ３４３ａ及び３４３ｂと、それぞれのステージ３４３ａ及び３４３ｂに保持されたパネル基板１の端子部２に仮圧着されたそれぞれのＴＣＰ４とそれぞれの圧着ユニット３４１との位置合わせを行うパネル基板保持装置３４３を備えている。なお、パネル基板保持装置３４３は、ＸＹ移動機能、θ回転機能、及び昇降機能を有している。また、このような位置合わせを行うために、２枚のパネル基板１のそれぞれの位置の認識を行う２台の認識カメラ３４４が備えられている。なお、圧着ユニット３４１を含む本圧着装置３４０の詳細な構成については後述するものとする。

基板搬送装置３５０は、パネル基板１の下面を真空吸着手段（図示しない）により解除可能に吸着保持するパネル保持部３５１と、パネル保持部３５１の昇降動作を行う昇降部（図示しない）と、パネル保持部３５１及び昇降部を図示Ｘ軸方向に沿って移動させることで、パネル基板１の各装置間の搬送を行う移動装置３５３とを備えている。また、基板搬送装置３５０において、パネル保持部３５１は、それぞれの工程間、すなわちそれぞれの装置間に個別に配置されており、装置間におけるパネル基板１の受け渡しのための搬送を、互いに独立して行うことが可能となっている。なお、本第３実施形態においては、パネル保持部３５１が真空吸着手段によりパネル基板１の保持を行うような場合を例として説明するが、このような場合に代えて、機械的なチャック手段を有するパネル保持部によりパネル基板１が保持されるような場合であってもよい。

また、部品実装ライン３００には、それぞれの装置３２０、３３０、３４０、及び３５０の動作制御を互いの動作と関連付けながら統括的に行う制御装置３１９が備えられている。この制御装置３１９により、各々の装置における個別的な動作制御が行われながら、上流側の装置から下流側の装置へと順次パネル基板１の搬送制御が行われて、複数のパネル基板１に対する部品実装動作が行われる。なお、制御装置３１９の制御方式としては、集中制御方式が採用される場合であってよく、あるいは、各々の装置に個別に備えられ、互いの装置間でパネル基板１の搬送制御信号のやり取りを行うような制御方式が採用されるような場合であってもよい。

次に、このような構成を有する部品実装ライン３００における部品実装動作について説明する。なお、以降に説明するそれぞれの動作は、制御装置３１９により制御されて行われる。

まず、パネル基板１が図２３に示す部品実装ライン３００に搬入される。搬入されたパネル基板１は、基板搬送装置３５０のパネル保持部３５１により保持され、その保持状態にて移動装置３５３により図示Ｘ軸方向に搬送されて、ＡＣＦ貼り付け装置３２０のパネル基板保持装置３２４上に載置される。パネル基板保持装置３２４において載置されたパネル基板１の下面が吸着保持されると、基板搬送装置３５０のパネル保持部３５１による吸着保持が解除される。

次に、パネル基板保持装置３２４により保持されたパネル基板１のＸＹ移動が行われて、長辺側の端子部２と圧着ユニット３２３との位置合わせが行われ、その後、圧着ユニット３２３によりＡＣＦシート３が長辺側の端子部２に貼り付けられる（ＡＣＦ貼り付け工程）。なお、この位置決めされた状態においては、長辺側端子部２はその下面側よりバックアップツール３２５により直接支持された状態とされているため、ＡＣＦシート３の確実な貼り付け動作を行うことができる。その後、パネル基板保持装置３２４によるそれぞれのステージ３２４ａ、３２４ｂのθ回転が行われて、短辺側の端子部２と圧着ユニット３２３との位置合わせが行われて、圧着ユニット３２３によりＡＣＦシート３が短辺側の端子部２に貼り付けられる。ＡＣＦ貼り付け工程が完了すると、基板搬送装置３５０のパネル保持部３５１がパネル基板１の下面を吸着保持するとともに、パネル基板保持装置３２４による吸着保持が解除されて、パネル基板１が基板搬送装置３５０に受け渡される。その後、基板搬送装置３５０により、ＡＣＦシート３が貼り付けられた状態のパネル基板１が部品仮圧着装置３３０へ搬送される。

基板仮圧着装置３３０においては、基板搬送装置３５０により搬送されたパネル基板１が、パネル基板保持装置３３３のそれぞれのステージ３３３ａ、３３３ｂ上に載置されて受け渡される。一方、ＴＣＰ供給位置に位置されている仮圧着ヘッド３３２にＴＣＰ４が供給されて、ＴＣＰ４が仮圧着ヘッド３３２に吸着保持された状態とされる。その後、それぞれの仮圧着ヘッド３３２の回転移動が行われ、ＴＣＰ４を吸着保持した仮圧着ヘッド３３２が仮圧着位置に位置される。それとともに、パネル基板保持装置３３３によりパネル基板１の各種移動が行われることにより、長辺側の端子部２の一の端子電極２ａと仮圧着ヘッド３３２との位置合わせが行われ、その後、仮圧着ヘッド３３２が下降されることにより、ＴＣＰ４がＡＣＦシート３を介して端子電極２ａに仮圧着される。同様な動作が順次繰り返されて、それぞれの端子電極２ａにＴＣＰ４が仮圧着される（部品仮圧着工程）。長辺側の端子部２に対するＴＣＰ４の仮圧着が完了すると、パネル基板保持装置３３３によりパネル基板１のθ回転が行われ、短辺側の端子部２と仮圧着ヘッド３３２との位置合わせが行われ、短辺側の端子部２のそれぞれの端子電極２ａへのＴＣＰ４の仮圧着が順次行われる。部品仮圧着工程が完了すると、基板搬送装置３５０のパネル保持部３５１がパネル基板１の下面を吸着保持するとともに、パネル基板保持装置３３３による吸着保持が解除されて、パネル基板１が基板搬送装置３５０に受け渡される。その後、基板搬送装置３５０により、ＴＣＰ４が仮圧着された状態のパネル基板１が本圧着装置３４０へ搬送される。

本圧着装置３４０において、基板搬送装置３５０により搬送されたパネル基板１が、パネル基板保持装置３４３のそれぞれのステージ３４３ａ、３４３ｂ上に載置されて受け渡される。その後、パネル基板保持装置３４３により、パネル基板１の長辺側端子部２とそれぞれの圧着ユニット３４１との位置合わせが行われ、その後、それぞれの圧着ユニット３４１により、仮付け状態にあるそれぞれのＴＣＰ４がＡＣＦシート３を介してそれぞれの端子電極２ａに押圧されながら加熱されて、熱圧着によるＴＣＰ４の実装が行われる（本圧着工程）。なお、この圧着ユニット３４１によるそれぞれのＴＣＰ４の押圧は、圧着ユニット３４１の押圧面に汚れなどが付着しないように、保護テープ（図示せず）を介して行われる。また、圧着ユニット３４１よりＡＣＦシート３に熱が付与されることによりＡＣＦシート３が熱硬化される。本圧着工程が完了すると、基板搬送装置３５０のパネル保持部３５１がパネル基板１の下面を吸着保持するとともに、パネル基板保持装置３４３による吸着保持が解除されて、パネル基板１が基板搬送装置３５０に受け渡される。その後、基板搬送装置３５０により、それぞれのＴＣＰ４が実装された状態のパネル基板１が搬送されて、部品実装ライン３００より搬出される。部品実装ライン３００においては、基板搬送装置３５０により複数のパネル基板１が順次搬送され、それぞれの装置において所定の工程が施されることにより、アウターリードボンディング工程が行われる。なお、パネル基板１の辺の縁部に部品であるＴＣＰ４を実装する場合を例として示したが、本発明はこのような場合についてのみ限定されるものではなく、例えば、ＣＯＦ（Chip On Film）基板にＩＣチップなどの部品を実装するような場合であっても良い。この場合、ＣＯＦ基板は、パネル基板１のように方形状における互いに隣接する２辺の縁部に部品実装領域が配置されるような場合のみに限られず、種々の位置関係にある複数の部品実装領域が配置されるような場合であっても良い。

次に、部品実装ライン３００において、部品圧着工程の一例である本圧着工程が行われる本圧着装置３４０の構成について、さらに詳細に説明する。この説明にあたって、Ｙ軸方向から見た本圧着装置３４０の模式正面図を図２４に示し、Ｘ軸方向から見た模式側面図を図２５Ａに示す。

図２３、図２４及び図２５Ａに示すように、本圧着装置３４０は、複数の圧着ユニット３４１として、合計６台の圧着ユニット３４１をＸ軸方向に一列に配列して備えている。各圧着ユニット３４１は、パネル基板１の端子部２にＡＣＦシート３を介して仮圧着された状態のＴＣＰ４を押圧して圧着する圧着ヘッド（押圧体の一例）３６１と、この圧着ヘッド３６１による圧着動作の際に、パネル基板１の端子部２をその下面側から支持する縁部支持部材の一例であるバックアップステージ３６２を備えている。

図２５Ａに示すように、各圧着ユニット３４１において、バックアップステージ３６２は、剛体にて形成された大略Ｌ字状の断面を有するユニットフレーム３６３の下部に固定されており、圧着ヘッド３６１がＺ軸方向に配置されたＬＭガイド３６４を介してその昇降動作を案内可能にユニットフレーム３６３の上部に取り付けられている。なお、バックアップステージ３６２はユニットフレーム３６３の下部に固定されるような構成のみに限られず、このような場合に代えて、例えば、図２５Ｄ及び図２５Ｅに示すように、バックアップステージ３６２が上下方向に可動式として昇降可能にユニットフレーム３６３に支持され、バックアップステージ昇降部３７３によりバックアップステージ３６２の昇降動作が行われるような場合であっても良い。

図２４及び図２５Ａに示すように、本圧着装置３４０の基台フレーム３７２上には、２本のＬＭガイド３６５がＸ軸方向に沿って延在して配置されており、それぞれのＬＭガイド（案内支持部材の一例である）３６５を介して、６台の圧着ユニット３４１におけるユニットフレーム３６３がＸ軸方向の進退移動可能に基台フレーム３７２に支持されている。また、図２５Ａに示すように、各圧着ユニット３４１のユニットフレーム３６３の下部には、圧着ユニット３４１のＸ軸方向沿いの進退移動を駆動するユニット移動用モータ（ユニット移動装置の一例である）３６６が備えられている。すなわち、６台の圧着ユニット３４１は、個別に圧着ヘッド３６１とバックアップステージ６２とを備えるとともに、個別に備えられたユニット移動用モータ３６６が駆動されることにより、ＬＭガイド３６５に沿ってＸ軸方向沿いに案内されながら、それぞれ独立して進退移動することが可能に構成されている。ここで、「それぞれ独立した移動」とは、１台の圧着ユニット３４１の移動が、自身が備えるユニット移動用モータ３６６の駆動により行われ、他の１台の圧着ユニット３４１の移動が、それ自身が備えるユニット移動用モータ３６６の駆動により行われ、両者の移動速度や移動のタイミングを個別に設定することが可能な移動のことである。なお、それぞれの圧着ユニット３４１が互いに接触することを防止する等、安全制御の実施のために、両者の移動制御が関連付けられるような場合であってもよい。

図２５Ａに示すように、本圧着装置３４０の基台フレーム３７２には、６台の圧着ヘッド３６１を一体的に昇降させる１台の共通のヘッド昇降装置３６７（共通の押圧体移動装置の一例）が備えられている。共通のヘッド昇降装置３６７は、その昇降駆動力をカムフォロア３７４介してそれぞれの昇降フレーム３６８に伝達し、さらにこのそれぞれの昇降フレーム３６８を介して圧着ヘッド３６１に伝達することで、それぞれの圧着ヘッド３６１の圧着動作における昇降の速度及び位置を駆動動作する。また、それぞれの昇降フレーム３６８は、それぞれのユニットフレーム３６３にＺ軸方向に配置されたＬＭガイド３７５を介してその昇降動作を案内可能にユニットフレーム３６３に支持されている。なお、複数の圧着ヘッド３６１を一体的に昇降させる１台の共通のヘッド昇降装置３６７が備えられるような構成について説明したが、このような場合に代えて、複数の圧着ヘッド３６１のそれぞれにヘッド昇降装置を設けて個々に独立して昇降させるような構成を採用してもよい。

また、図２５Ａに示すように、各圧着ヘッド３６１は、圧着ヘッド３６１における圧着動作のための加圧力を生成する加圧ユニット（例えば、エアシリンダ）３６９を内蔵している。各加圧ユニット３６９は、圧力発生源３７０に導圧管等を介して接続されており、圧力制御部３７１により制御されながら所望の加圧力を生成することができるように、圧縮空気の供給量が制御される。

また、それぞれのユニット移動用モータ３６６による圧着ユニット３４１のＸ軸方向の移動位置の情報は制御装置３１９に取得され、制御装置３１９にて互いに圧着ユニット３４１同士が干渉することがないように、移動制御が行われる。また、ヘッド昇降装置３６７によりそれぞれの圧着ヘッド３６１の一体的あるいは個々に独立した昇降動作、及び圧力制御部３７１により加圧力の制御は、制御装置３１９により統括的に制御される。なお、一部の圧着ユニット３４１が圧着動作を行わない場合は、圧着動作を行わない圧着ユニット３４１の圧着ヘッド３６１の動作アクチュエータである加圧ユニット３６９をパネル基板１へＴＣＰ４の圧着を行う方向とは反対方向へ動作させるあるいは位置させても良い。

次に、このような構成を有する部品実装ラインの本圧着装置３４０において、パネル基板１に対するＴＣＰ４の本圧着動作が行われる手順の詳細について説明する。なお、本圧着装置３４０における本圧着動作の手順は、上記第１実施形態における図７のフローチャートに示す手順と同様である。また、パネル基板１の長辺側端子部２Ａに対して本圧着動作が行われている状態を示す模式説明図を図２６（Ａ）、（Ｂ）に示し、短辺側端子部２Ｂに対して本圧着動作が行われている状態を示す模式説明図を図２７（Ａ）、（Ｂ）に示す。なお、以下の本圧着動作の手順の説明においては、パネル基板保持装置３４３が備える２つのステージ３４３ａ、３４３ｂのうちの１つのステージ３４３ａのみにパネル基板１が保持されて、このパネル基板１に対して本圧着動作が行われる場合を例として説明する。

図７のフローチャートのステップＳ１において、本圧着装置３４０のパネル基板保持装置３４３に１枚のパネル基板１が搬入されて、ステージ３４３ａにより保持される。このパネル基板１は、図２６（Ａ）に示すように、Ｘ軸方向沿いの端子部を長辺側端子部２Ａとして、Ｙ軸方向沿いの端子部を短辺側端子部２Ｂとした姿勢にてステージ３４３ａに保持される。また、長辺側端子部２Ａには間隔ピッチＰ１にて３個のＴＣＰ４が仮圧着されており、短辺側端子部２ｂには間隔ピッチＰ２にて２個のＴＣＰ４が仮圧着されている。なお、間隔ピッチＰ１とＰ２は互いに異なっている。

次に、この搬入されたパネル基板１の識別情報と関連付けられて、パネル基板１の長辺側端子部２Ａにおける部品圧着位置情報（第１圧着位置情報）が制御装置３１９にて取得される（ステップＳ２）。部品圧着位置情報には、長辺側端子部２ＡにおけるそれぞれのＴＣＰ４の圧着位置、その間隔ピッチＰ１、さらに圧着されるＴＣＰ４の個数の情報などが含まれている。さらにこのような情報の中には、ＴＣＰ４の種類及び熱圧着の加熱温度や加圧力の情報が含まれるような場合であってもよい。また、部品圧着位置情報の取得は、制御装置３１９の外部より入力されるような場合であってもよく、あるいは制御装置３１９の記憶部等に予め記憶されており、パネル基板１の識別情報に基づいて記憶部等から読み出されるような場合であってもよい。

制御装置３１９において、長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報が取得されると、この取得された部品圧着位置情報に基づいて、それぞれの圧着ユニット３４１の配置が調整される（ステップＳ３）。具体的には、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の個数（３個）の情報に基づいて、６台の圧着ユニット３４１の中から本圧着動作のために使用される３台の圧着ユニット３４１が選択される。このとき、６台の圧着ユニット３４１の中央側に位置される圧着ユニット３４１から順次選択される。選択された３台の圧着ユニット３４１は、その配列における略中央付近の領域である圧着動作実施領域Ｑ１に位置され、一方選択されなかった両側の３台の圧着ユニット３４１は、圧着動作実施領域Ｑ１の両側において隣接する領域である退避領域Ｑ２に位置されるように、それぞれの圧着ユニット３４１が備えるユニット移動用モータ３６６の駆動により、それぞれの圧着ユニット３４１がＬＭガイド３６５により案内されながら、それぞれ独立してＸ軸方向沿いに移動される。このように本圧着動作を実施する３台の圧着ユニット３４１を圧着動作実施領域Ｑ１に位置させ、本圧着動作を実施しない３台の圧着ユニット３４１をその両側に配置された退避領域Ｑ２に位置させることにより、本圧着動作を実施しない３台の圧着ユニット３４１とパネル基板１との干渉を防止して、確実に本圧着動作を実施することができる。さらに、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の圧着位置の間隔ピッチＰ１及びその位置の情報に基づいて、選択された３台の圧着ユニット３４１の位置及び配置間隔が、それぞれのユニット移動用モータ３６６の駆動により調整される。

このようにそれぞれの圧着ユニット３４１の配置調整が完了すると、パネル基板保持装置３４３によりパネル基板１の移動が行われて、選択された３台の圧着ユニット３４１におけるそれぞれのバックアップステージ３６２上あるいはその上方に、３箇所の部品圧着位置が位置決めされるようにパネル基板１の長辺側端子部２Ａが配置される。ここで、図２５Ｂ、並びに図２６（Ａ）及び（Ｂ）は、バックアップステージ３６２上にパネル基板１の長辺側端子部２Ａが配置されている状態の例を示す図である。図２６（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、退避領域Ｑ２に位置された３台の圧着ユニット３４１とパネル基板１との干渉は防止されている。その後、図２５Ｃに示すように、ヘッド昇降装置３６７により昇降フレーム３６８を介してそれぞれの圧着ヘッド３６１が下降され、圧着ヘッド３６１の下面である圧着面がＴＣＰ４に当接される。さらに加圧ユニット３６９により所定の加圧力がＴＣＰ４に対して付加されることで、パネル基板１の長辺側端子部２Ａにおける３箇所の部品圧着位置において、ＡＣＦシート３を介して３個のＴＣＰ４が本圧着されて実装される（ステップＳ４）。その後、ヘッド昇降装置３６７によりそれぞれの圧着ヘッド３６２が上昇される。なお、バックアップステージ３６２が固定式である場合についての本圧着動作について説明したが、バックアップステージ３６２が可動式として昇降可能な構成が採用される場合には、バックアップステージ３６２の上方にパネル基板１の長辺側端子部２Ａを配置した後、このパネル１基板の長辺側端子部２Ａに近づく方向に、圧着ヘッド３６１及びバックアップステージ３６２を動作させて、ＴＣＰ４をパネル基板１に圧着することができる。この時、圧着動作を行わない圧着ユニット３４１については、パネル基板１の支持高さ位置である圧着高さ位置よりも下方の位置である昇降の下降位置（支持解除高さ位置）にバックアップステージ３６２を位置させることで、圧着動作を行わない圧着ユニット３４１とＴＣＰ４及びパネル基板１との干渉を防止することができる。そのため、例えば、圧着動作を行わない圧着ユニット３４１を退避領域Ｑ２ではなく圧着動作実施領域Ｑ１に位置させるような場合であっても、この圧着ユニット３４１とパネル基板１との干渉を防止することが可能となる。

長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作が完了すると、パネル基板保持装置３４３によりパネル基板１がそれぞれのバックアップステージ３６２から離間されるように移動され、保持されているパネル基板１がＸＹ平面内においてθ回転移動されて、パネル基板１の短辺側端子部２ＢがＸ軸方向沿いとなるような姿勢とされる（ステップＳ５）。

次に、制御装置３１９において、パネル基板１の短辺側端子部２Ｂにおける部品圧着位置情報（第２圧着位置情報）が取得される（ステップＳ６）。この部品圧着位置情報には、短辺側端子部２ＢにおけるそれぞれのＴＣＰ４の圧着位置、その間隔ピッチＰ２、さらに圧着されるＴＣＰ４の個数（２個）の情報などが含まれている。なお、本第３実施形態の手順の例としては、長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報と、短辺側端子部２Ｂの部品圧着位置情報とが別々に取得されるような場合について説明するが、このような場合に代えて、両情報が同時に取得されるような場合であってもよい。

次に、この取得された部品圧着位置情報に基づいて、それぞれの圧着ユニット３４１の配置が調整される（ステップＳ７）。具体的には、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の個数（２個）の情報に基づいて、６台の圧着ユニット３４１の中から本圧着動作のために使用される２台の圧着ユニット３４１として、６台の圧着ユニット３４１の中央に位置される２台の圧着ユニット３４１が選択される。選択された２台の圧着ユニット３４１は、圧着動作実施領域Ｑ１に位置され、一方選択されなかった両側の４台の圧着ユニット３４１は、それぞれの退避領域Ｑ２に２台ずつ位置されるように、それぞれのユニット移動用モータ３６６の駆動により、それぞれの圧着ユニット３４１がＬＭガイド３６５により案内されながら、Ｘ軸方向沿いに移動される。さらに、部品圧着位置情報に含まれるＴＣＰ４の圧着位置の間隔ピッチＰ２及びその位置の情報に基づいて、選択された２台の圧着ユニット３４１の位置及び配置間隔が、それぞれのユニット移動用モータ３６６の駆動により調整される。

それぞれの圧着ユニット３４１の配置調整が完了すると、パネル基板保持装置３４３によりパネル基板１の移動が行われて、選択された２台の圧着ユニット３４１におけるそれぞれのバックアップステージ３６２上あるいはその上方に、２箇所の部品圧着位置が位置決めされるようにパネル基板１の短辺側端子部２Ｂが配置される。ここで、図２７（Ａ）及び（Ｂ）は、バックアップステージ３６２上にパネル基板１の短辺側端子部２Ｂが配置されている状態を示す。図２７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、退避領域Ｑ２に位置された４台の圧着ユニット３４１とパネル基板１との干渉は防止されている。その後、ヘッド昇降装置３６７により昇降フレーム３６８を介してそれぞれの圧着ヘッド３６１が下降され、圧着ヘッド３６１の下面である圧着面がＴＣＰ４に当接される。さらに加圧ユニット３６９により所定の加圧力がＴＣＰ４に対して付加されることで、パネル基板１の短辺側端子部２Ｂにおける２箇所の部品圧着位置において、ＡＣＦシート３を介して２個のＴＣＰ４が本圧着されて実装される（ステップＳ８）。その後、ヘッド昇降装置３６７によりそれぞれの圧着ヘッド３６２が上昇される。なお、長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作と同様に、短辺側端子部２Ｂに対する本圧着動作についても、バックアップステージ３６２が可動式として昇降可能な構成が採用される場合には、バックアップステージ３６２の上方にパネル基板１の短辺側端子部２Ｂを配置した後、このパネル１基板の短辺側端子部２Ｂに近づく方向に、圧着ヘッド３６１及びバックアップステージ３６２を動作させて、ＴＣＰ４をパネル基板１に圧着することができる。この時、圧着動作を行わない圧着ユニット３４１については、圧着位置（支持高さ位置）よりも下方の位置である昇降の下降位置（支持解除高さ位置あるいは退避高さ位置）にバックアップステージ３６２を位置させることで、圧着動作を行わない圧着ユニット３４１とＴＣＰ４及びパネル基板１との干渉を防止することができる。

短辺側端子部２Ｂに対する本圧着動作が完了すると、パネル基板保持装置３４３によりパネル基板１がそれぞれのバックアップステージ３６２から離間されるように移動されて、本圧着装置３４０からパネル基板１が搬出される（ステップＳ９）。

本第３実施形態によれば、本圧着装置３４０において、パネル基板１の端子部２にＴＣＰ４を本圧着する圧着ヘッド３６１と、その本圧着の際にパネル基板１の端子部２を支持するバックアップステージ３６２とを備える一列に配置された複数の圧着ユニット３４１と、複数の圧着ユニット３４１に個別に備えられ、Ｘ軸方向沿いに圧着ユニット３４１を平行移動させて圧着ユニット３４１の配置を変更させる複数のユニット移動用モータ３６６とが備えられていることにより、パネル基板１の部品圧着位置情報、すなわち端子部２における複数の部品圧着位置の配置又は個数に応じて、それぞれのユニット移動用モータ３６６によりそれぞれの圧着ユニット３４１を個別に平行移動させて、圧着ユニット３４１の配置を部品圧着位置の配置と合致させることができる。したがって、パネル基板１の仕様に応じて異なる部品圧着位置に対応した本圧着動作を効率的に実施することができる。

また、パネル基板１において、長辺側端子部２Ａと短辺側端子部２Ｂとで、ＴＣＰ４の圧着位置、間隔ピッチ、及び圧着されるＴＣＰ４の個数が異なるような場合であっても、長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報に基づいてそれぞれの圧着ユニット３４１の配置調整を行った後、長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作を実施し、その後、短辺側端子部２Ｂの部品圧着位置情報に基づいてそれぞれの圧着ユニット３４１の配置調整を行った後、短辺側端子部２Ｂに対する本圧着動作を実施することで、それぞれの端子部２Ａ、２Ｂの仕様に応じた部品圧着を確実かつ効率的に実施することができる。そのため、長辺側用の圧着ユニット及び短辺側用の圧着ユニットとしてそれぞれ専用の圧着ユニットを備えなくても、１台の本圧着装置３４０により長辺側端子部２Ａ及び短辺側端子部２Ｂのそれぞれの圧着位置に応じた圧着ピッチに合わせるようにそれぞれの圧着ユニットの位置に迅速に切り替えを行い、パネル基板への部品圧着を効率的に行うことができる。

また、それぞれの圧着ユニット３４１において、ユニット移動用モータ３６６が個別に備えられていることにより、このようなそれぞれの圧着ユニット３４１の配置調整を迅速かつ効率的に行うことができる。

一方、それぞれの圧着ユニット３４１には、圧着ヘッド３６１の昇降動作を行う昇降装置を個別に備えさせることなく、６台の圧着ヘッド３６１を一体的に昇降させる共通の１台のヘッド昇降装置３６７を備えさせるような構成が採用されていることがより好ましい。このような構成を採用することにより、個々の圧着ユニット３４１を簡単な構造として、その軽量化を図ることができ、ユニット移動用モータ３６６による移動性を良好なものとすることができる。

また、６台の圧着ヘッド３４１のうちの複数の圧着ヘッド３４１が選択される場合には、中央側に位置される圧着ヘッド３４１から順次選択されるようにすることで、このような共通のヘッド昇降装置３６７による昇降動作が行われ、ＴＣＰ４の圧着動作が行われる際に、ヘッド昇降装置３６７の構造に対する荷重バランスを良好なものとすることができ、パネル基板１に対するＴＣＰ４の圧着品質をより安定させることができる。

また、各圧着ユニット３４１において、圧着ヘッド３６１とバックアップステージ３６２とが一対とされ、互いの配置関係が保たれた状態にてそれぞれの圧着ユニット３４１の配置調整のための移動が行われるような構成が採用されていることにより、どのような位置に移動されても圧着ヘッド３６１の圧着面（あるいは押圧面）とバックアップステージ３６２のパネル基板１の支持面との平行度（平行関係）を一定に保つことができる。したがって、本圧着工程における圧着精度（実装精度）を向上させることができる。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、本第３実施形態の変形例にかかる本圧着方法について、図２８（Ａ）、（Ｂ）及び図２９（Ａ）、（Ｂ）に示す模式説明図を用いて以下に説明する。

上記実施形態の説明では、本圧着装置３４０に搬入されるパネル基板１が１枚である場合について説明したが、本変形例では２枚のパネル基板１が本圧着装置３４０に搬入される場合について説明する。

図２８（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、搬入された２枚のパネル基板１は、パネル基板保持装置３４３のそれぞれのステージ３４３ａ、３４３ｂに個別に保持される。それぞれのパネル基板１の長辺側端子部２Ａの部品圧着位置情報に基づいて、６台の圧着ユニット３４１の配置調整が行われる。具体的には、１枚のパネル基板１に対して３台の圧着ユニット３４１が選択されてその配置調整が行われる。その後、パネル基板保持装置３４３によりそれぞれのパネル基板１が移動されて、圧着ユニット３４１との位置決めが行われ、それぞれのバックアップステージ３６２上に長辺側端子部２Ａが配置される。この状態が図２８（Ａ）及び（Ｂ）に示す状態である。その後、それぞれの圧着ヘッド３６１により長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作が行われる。

長辺側端子部２Ａに対する本圧着動作が完了すると、それぞれのパネル基板１がバックアップステージ３６２上から退避され、その後、それぞれのパネル基板１のθ回転移動が行われ、短辺側端子部２ＢがＸ軸方向沿いに配置される。それぞれのパネル基板１の短辺側端子部２Ｂの部品圧着位置情報に基づいて、６台の圧着ユニット３４１の配置調整が行われる。具体的には、１枚のパネル基板１に対して２台の圧着ユニット３４１が選択されて、選択されなかった両端の２台の圧着ユニット３４１は、退避領域Ｑ２に移動されるように、それぞれの配置調整が行われる。その後、パネル基板保持装置３４３によりそれぞれのパネル基板１が移動されて、圧着ユニット３４１との位置決めが行われ、それぞれのバックアップステージ３６２上に短辺側端子部２Ｂが配置される。この状態が図２９（Ａ）及び（Ｂ）に示す状態である。その後、それぞれの圧着ヘッド３６１により短辺側端子部２Ａに対する本圧着動作が行われる。その後、それぞれのパネル基板１は、本圧着装置３４０から搬出される。なお、バックアップステージ３６２が可動式として昇降可能な構成を有する場合には、上述の選択されなかった両端の２台の圧着ユニット３４１について、バックアップステージ３６２をパネル基板１から離れる方向に退避（例えば下降）させて、これら２台の圧着ユニット３４１について圧着動作が行われないようにすることもできる。

本変形例にように、パネル基板保持装置３４３に２枚のパネル基板１が保持されてその本圧着動作が行われるような場合であっても、長辺側端子部２Ａと短辺側端子部２Ｂとの部品圧着位置の相違に対応して本圧着動作を確実かつ効率的に実施することができる。

なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。

本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

２００７年１２月４日に出願された日本国特許出願Ｎｏ．２００７−３１３７１８号、Ｎｏ．２００７−３１３７２２号、およびＮｏ．２００７−３１３７２７号の明細書、図面、及び特許請求の範囲の開示内容は、全体として参照されて本明細書の中に取り入れられるものである。

Claims (13)

1. 基板の縁部の部品圧着領域に部品を押圧して圧着する部品圧着装置において、
   基板に対して垂直な方向である押圧方向に移動することで、基板の部品圧着領域に部品を押圧する押圧体と、押圧体による押圧の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材とを備える一列に配列された複数の圧着ユニットと、
   複数の押圧体を一体的に押圧方向に移動させる共通の押圧体移動装置と、
   複数の圧着ユニットに個別に備えられ、基板の縁部沿いに圧着ユニットを、それぞれ独立した動作にて平行移動させて圧着ユニットの配置を変更させる複数のユニット移動装置とを備える、部品圧着装置。
2. 各々の圧着ユニットは、
   押圧方向に押圧体の進退移動を案内する押圧体案内部材と、
   押圧体案内部材および縁部支持部材が設けられ、押圧体案内部材を介して押圧体を支持するユニット支持部材と、
   ユニット支持部材に設けられ、かつ押圧方向沿いに押圧体を進退移動させるための力および部品を基板に圧着するための力を、押圧体に付与する押圧駆動部とをさらに備え、
   押圧駆動部により縁部支持台に向けて動作されるそれぞれの押圧体の動作速度を、複数の圧着ユニットにて共通して規制する規制部材を有する共通の動作速度規制装置を、共通の押圧体移動装置として備える、請求項１に記載の部品圧着装置。
3. 動作速度規制装置において、規制部材は、押圧体が縁部支持台に向かう方向にて直接的または間接的に押圧体と係合可能であって、
   動作速度規制装置は、押圧方向沿いに規制部材を進退移動させる規制部材移動装置とを備え、
   それぞれのユニット移動装置による圧着ユニットの基板の縁部沿いの平行移動は、規制部材と押圧体との直接的または間接的な係合が解除された状態にて行われる、請求項２に記載の部品圧着装置。
4. それぞれの圧着ユニットにおいて、ユニット支持部材の一方側に配置された押圧駆動部にその一端が回動可能に接続され、ユニット支持部材の他方側に配置された押圧体にその他端が回動可能に接続され、一端と他端との間にてユニット支持部材に回動可能に支持されたレバー部材をさらに備え、
   レバー部材は、ユニット支持部材による支持位置を支点とし、一端を押圧駆動部による力が付与される力点とし、他端を付与された力を押圧体に作用させる作用点とする、請求項３に記載の部品圧着装置。
5. それぞれの圧着ユニットにおいて、押圧方向沿いの押圧体の進退移動の軸上に押圧駆動部が配置され、進退移動の軸上にて規制部材が押圧駆動部と係合されることにより、押圧体の動作速度の規制が行われる、請求項３に記載の部品圧着装置。
6. それぞれの圧着ユニットを基板の縁部沿いの方向に移動可能に支持するとともに、動作速度規制装置を支持する支持フレームと、
   支持フレームを複数の圧着ユニットとともに一体的に基板の縁部沿いの方向に進退移動させる移動装置とをさらに備える、請求項２に記載の部品圧着装置。
7. 基板を保持して、部品が圧着される縁部を、縁部支持部材上あるいはその上方に配置させるように基板の移動を行う基板保持装置と、
   基板の縁部の部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置情報を有し、圧着位置情報に基づいてそれぞれのユニット移動装置を制御して、複数の圧着ユニットの配置を複数の部品の圧着位置に合致させるように、それぞれ独立した動作にて複数の圧着ユニットを基板の縁部沿いに平行移動させるとともに、基板保持装置を制御して、それぞれの圧着位置における縁部を縁部支持部材上あるいはその上方に配置させる制御装置とをさらに備える、請求項１に記載の部品圧着装置。
8. それぞれの押圧体を一体的に昇降させることで、それぞれの押圧体を押圧方向に進退移動させる共通の押圧体昇降装置を、共通の押圧体移動装置として備える、請求項１に記載の部品圧着装置。
9. 基板に対する圧着動作を行う圧着ユニットが配置される圧着動作実施領域と、圧着動作実施領域の両端側に隣接して配置され、圧着動作を行わない圧着ユニットが配置される退避領域とにおいて、基板の縁部沿いの平行移動を案内可能にそれぞれの圧着ユニットを支持する案内支持部材をさらに備える、請求項８に記載の部品圧着装置。
10. 基板の縁部の部品圧着領域に複数の部品を押圧して圧着する部品圧着方法において、
    基板の部品圧着領域に部品を押圧する押圧体と、押圧体による圧着の際に基板の縁部を支持する縁部支持部材が設けられたユニット支持部材と、ユニット支持部材に設けられ、かつ基板に対して垂直な方向である押圧方向沿いに押圧体を進退移動させるための力を、押圧体に付与する押圧駆動部とを備え、一列に配列された複数の圧着ユニットを、基板の縁部における部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置に合致させるように縁部沿いの方向にそれぞれ独立して移動させて、それぞれの位置決めを行い、
    基板の縁部の複数の圧着位置を縁部支持部材上あるいはその上方に配置し、
    その後、それぞれの圧着ユニットの押圧駆動部にて、押圧体を進退移動させるための力を発生させて、縁部支持台に向けて押圧体を動作させるとともに、押圧体が縁部支持台に向かう方向にて、複数の圧着ユニットにて共通の規制部材を直接的または間接的にそれぞれの押圧体に係合させながら共通の規制部材の移動速度を制御することにより、それぞれの押圧体の動作速度を共通して規制し、
    それぞれの押圧体が部品と当接する際に、押圧体と共通の記載部材との係合を解除して、それぞれの押圧体により縁部に対して複数の部品を圧着する、部品圧着方法。
11. 基板の縁部における複数の部品の圧着位置と、複数の圧着ユニットとの位置決めを行う際に、それぞれの圧着ユニットを基板の縁部沿いの方向に移動可能に支持するとともに、共通の規制部材を支持する支持フレームを、基板の縁部沿いの方向に複数の圧着ユニットとともに一体的に移動させる、請求項１０に記載の部品圧着方法。
12. 基板の第１縁部と第２縁部の部品圧着領域に複数の部品を押圧して圧着する部品圧着方法において、
    基板の部品圧着領域に部品を圧着する押圧体と、圧着の際に基板の第１縁部又は第２縁部を支持する縁部支持部材とを備える一列に配置された複数の圧着ユニットを、基板の第１縁部における部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置に合致させるように第１縁部沿いにそれぞれ独立して平行移動させて、それぞれの位置決めを行い、
    その後、第１縁部の複数の圧着位置を縁部支持部材上あるいはその上方に配置して、複数の押圧体を共通の押圧体昇降装置により一体的に下降させることにより第１縁部に対して複数の部品を圧着し、
    その後、第１縁部と縁部支持部材とを離間させ、基板の第２縁部における部品圧着領域に圧着される複数の部品の圧着位置に合致させるように、複数の圧着ユニットを第２縁部沿いにそれぞれ独立して平行移動させて、それぞれの位置決めを行い、
    その後、第２縁部の複数の圧着位置を縁部支持部材上あるいはその上方に配置し、複数の押圧体を共通の押圧体昇降装置により一体的に下降させることにより第２縁部に対して複数の部品を圧着する、部品圧着方法。
13. 基板の第１縁部あるいは第２縁部に対する圧着動作を行う際に、部品の圧着処理を行う複数の圧着ユニットの縁部支持部材により第１縁部あるいは第２縁部を支持可能に、圧着処理を行う複数の圧着ユニットを圧着動作実施領域に配置させるとともに、部品の圧着処理を行わない複数の圧着ユニットの縁部支持部材により第１縁部あるいは第２縁部の支持が行われないように、圧着処理を行わない複数の圧着ユニットを、圧着動作実施領域の少なくとも一端側に位置された退避領域に配置させる、請求項１２に記載の部品圧着方法。

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