JPWO2008146514A1 - Esd保護デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
12 セラミック多層基板
14,14a 混合部
14k 金属材料
15 間隔
16,16b,16c,16d,16s,16t,16x,16y 放電電極
17,17x,17y,17z 対向部
18,18b,18c,18d,18x,18y,18z 放電電極
19,19x,19y,19z 対向部
22,22x,22y 外部電極
24,24x,24y 外部電極
42,44,52,54 外部電極
100 ESD保護デバイス
102 セラミック多層基板
110 素子
113 空洞部
114 混合部
116 放電電極
117 対向部
118 放電電極
119 対向部
120 素子
123 空洞部
124 混合部
126 放電電極
127 対向部
128 放電電極
129 対向部
132,134 外部電極
混合部14の基材中のセラミック材料は、セラミック多層基板12のセラミック材料と同じものであっても、異なるものであってもよいが、同じものにすれば、収縮挙動等をセラミック多層基板12に合わせることが容易になり、使用する材料の種類を少なくすることができる。また、混合部14に含まれる金属材料14kは、放電電極16,18と同じものであっても、異なるものであってもよいが、同じものにすれば、収縮挙動等を放電電極16,18に合わせることが容易になり、使用する材料の種類を少なくすることができる。
セラミック材料には、Ba、Al、Siを中心とした組成からなる材料を用いた。各素材を所定の組成になるよう調合、混合し、800−1000℃で仮焼した。得られた仮焼粉末をジルコニアボールミルで12時間粉砕し、セラミック粉末を得た。このセラミック粉末に、トルエン・エキネンなどの有機溶媒を加え混合する。さらにバインダー、可塑剤を加え混合し、スラリーを得る。このようにして得られたスラリーをドクターブレード法により成形し、厚さ50μmのセラミックグリーンシートを得る。
セラミックグリーンシート上に、混合部14を形成するため、セラミック/金属混合ペーストを2μm〜100μm程度の厚みで、所定のパターンになるよう、スクリーン印刷にて塗布する。セラミック/金属混合ペーストの厚みが大きい場合などには、セラミックグリーンシートに予め設けた凹部に、セラミック/金属混合ペーストを充填するようにしても構わない。
通常のセラミック多層基板と同様に、セラミックグリーンシートを積層し、圧着する。ここでは厚み0.3mm、その中央に放電電極16,18の対向部17,19、空洞部13が配置されるように積層した。
LCフィルタのようなチップタイプの電子部品と同様に、マイクロカッタでカットして、各チップにわける。ここでは1.0mm×0.5mmになるようにカットした。その後端面に電極ペーストを塗布し、外部電極22,24を形成する。
次いで、通常のセラミック多層基板と同様に、N2雰囲気中で焼成する。また、ESDに対する応答電圧を下げるため空洞部13にAr、Neなどの希ガスを導入する場合には、セラミック材料の収縮、焼結が行われる温度領域をAr、Neなどの希ガス雰囲気で焼成すればよい。酸化しない電極材料(Agなど)の場合には、大気雰囲気でも構わない。
LCフィルタのようなチップタイプの電子部品と同様に、外部電極上に電解Ni−Snメッキを行う。
混合部において金属材料の含有率が10vol%以上であるので、焼成の際の混合部の収縮開始温度が、放電電極の対向部の収縮開始温度とセラミック多層基板の収縮開始温度との中間の値となるようにすることができる。一方、金属材料の含有率が50vol%以下であるので、混合部内の金属材料によって放電電極の対向部間がショートすることはない。
Claims (11)
- セラミック多層基板と、
前記セラミック多層基板の内部に形成された空洞部と、
前記空洞部の内に間隔を設けて先端同士が対向するように配置された対向部を有する、少なくとも一対の放電電極と、
前記セラミック多層基板の表面に形成され、前記放電電極と接続される外部電極と、
を有するESD保護デバイスであって、
前記セラミック多層基板は、前記放電電極の設けられた表面近傍であって、少なくとも前記放電電極の前記対向部及び前記対向部間の部分に隣接して配置される、金属材料とセラミック材料とを含む混合部を備えたことを特徴とする、ESD保護デバイス。 - 前記混合部は、前記対向部及び前記対向部間のみに隣接して配置されたことを特徴とする、請求項1に記載のESD保護デバイス。
- 前記放電電極の前記対向部と前記混合部とが重なる方向に透視したとき、前記混合部は、前記空洞部の周縁に接して前記周縁よりも内側のみに形成されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載のESD保護デバイス。
- 前記混合部に含まれる前記セラミック材料は、前記セラミック多層基板の少なくとも1層を形成するセラミック材料と同じであることを特徴とする、請求項1、2又は3に記載のESD保護デバイス。
- 前記混合部は、前記金属材料の含有率が10vol%以上、50vol%以下であることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか一つに記載のESD保護デバイス。
- 前記放電電極は前記セラミック多層基板の外周面から間隔を設けて形成され、
前記セラミック多層基板内において前記放電電極と異なる平面に形成され、前記セラミック多層基板の内部から前記セラミック多層基板の前記外周面まで延在し、前記外部電極に接続される内部電極と、
前記セラミック多層基板内において前記放電電極と前記内部電極との間を接続するビア電極と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一つに記載のESD保護デバイス。 - 一対の前記放電電極のうち、一方はグランド側に接続され、他方は回路側に接続され、
前記一方の前記放電電極の前記対向部の幅が、前記他方の前記放電電極の前記対向部の幅よりも広いことを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一つに記載のESD保護デバイス。 - 一対の前記放電電極のうち、一方はグランド側に接続され、他方は回路側に接続され、
前記他方の前記放電電極の前記対向部の先端が尖っていることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか一つに記載のESD保護デバイス。 - 前記グランド側に接続される一方の前記放電電極と接続される前記外部電極の電極面積が、前記回路側に接続される他方の前記放電電極と接続される前記外部電極の電極面積よりも大きいことを特徴とする、請求項7又は8に記載のESD保護デバイス。
- 前記セラミック多層基板の複数層が積層された方向にずらして、複数対の前記放電電極が配置されたことを特徴とする、請求項1乃至9のいずれか一つに記載のESD保護デバイス。
- 前記セラミック多層基板は、収縮抑制層と基材層とが交互に積層された無収縮基板であることを特徴とする、請求項1乃至10のいずれか一つに記載のESD保護デバイス。
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