JPWO2006011520A1 - セラミックヒーター及びそれを用いた加熱用コテ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、また、高い耐久性を有する加熱コテを提供することを目的とする。
尚、本発明における識別可能とは、2種類以上の金属が固溶体となることなく入り混じっていることをいい、例えば、ロウ付け部の断面を走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、反射電子像(BEI)を見ることで各金属相が確認できることをいう。観察時の倍率は、例えば、50倍以上である。
従って、本発明に係る第1のセラミックヒーターによれば、耐久性に優れた高信頼性の接合が形成でき、耐久性の高いセラミックヒーターを提供することが可能になる。
2:セラミック芯材、
3:セラミックシート、
4:導体、
5:リード引出部、
6:端子取り出し電極、
6a:メタライズ層、
6b:メッキ層、
7:ビアホール、
8:接着層、
9:セラミック体、
10:リード部材、
11:ロウ材、
12:電極取出部、
13:ボイド、
14:リード部材の成分のロウ材への拡散層、
16:近位端、
17:遠位端、
18:被覆領域の被覆高さ
22:セラミック芯材、
23:セラミックグリーンシート、
24:導体、
25:リード引出部、
26:メタライズ層、
27:ビアホール用の貫通孔、
28:電極取出部。
実施の形態1.
図1Aは、本発明に係る実施の形態1のセラミックヒーターを模式的に示した斜視図であり、図1Bは、図1AにおけるA−A線についての断面図、図2は、接合部の詳細構造を示す断面図である。
すなわち、端子取り付け電極6とリード部材10の接合部において、リード部材10の横断面における被覆高さ18が、端子取り付け電極6に最も近い近接端16から端子取り付け電極6から遠い上端17までの距離(以下、この距離を本明細書においてリード高さと呼ぶ)の40%未満であると、リード部材10とロウ材11との接合界面の面積が小さいために初期のリード接合強度が低く、ばらつきが大きくなってしまう。しかしながら、本実施の形態1のように、ロウ材11の被覆高さがリード高さの40%〜99%である場合には、接合面積を十分確保することができるために、初期のリード接合強度を高くでき、かつばらつきを小さくできる。
尚、図2に示すように、リード部材10が円形の断面を有する線材である場合には、リード高さは、リード部材10の円形断面の直径となる。
すなわち、リード部材10が、被覆高さ18に対してリード高さが99%を超えるような範囲までロウ材に覆われていると、リード部材10とロウ材11の線熱膨張差によってリード部材とロウ材の界面に応力が発生し、応力の逃げ場がないために界面にクラックが発生してしまう。尚、リード部材10とロウ材11の線熱膨張の値を比較すると、リード部材10<ロウ材11となる。具体的には、リード部材がロウ材に全周方向を覆われているもので熱サイクル試験を行った場合、リード部材とロウ材の界面にクラックが発生してしまう。
さらに、本実施の形態1において、リード部材10の成分のロウ材11への拡散層14が無い場合には、初期と熱サイクル後のリード接合強度が低く、界面に拡散層14が有る場合に、初期のリード接合強度が高くなる。これは、リード部材10の成分がロウ材11へ拡散することで界面の一部が物理接合から、化学接合へ変化してリード接合強度が高くなったと考えられる。
したがって、本発明において、リード部材10の成分がロウ材11に拡散していることが好ましい。
次に、本発明に係る実施の形態2のセラミックヒーター100について図面を参照しながら説明する。
図4及び図5に示す本実施の形態2のセラミックヒーター100は、実施の形態1と同様、セラミック基体9の内部に導体4が内蔵されてなり、セラミック基体9の表面まで延びる電極取出部12の上にその電極取出部12に接続されたメタライズ層6aが形成され、そのメタライズ層6aによって構成される端子取り付け電極6にリード部材10がロウ材11でロウ付けされた構造となっている。なお、メタライズ層6aには必要に応じてメッキ層が形成されて(図示しない)メタライズ層6aとメッキ層とによって、端子取り付け電極6が構成される。
尚、ここでは、好ましい例として、Cu層6cの凹凸面について説明したが、本発明はCuに限られるものではなく、高さが10μm以下の凸部を有し該凸部を含む層全体の厚みが20μm以下であるCu以外の金属層が界面に存在する場合であっても、界面における密着強度を向上させることができ、信頼性・耐久性を向上させることができる。
また、ロウ材11の表面には、高温耐久性向上及び腐食からロウ材11を保護するためにNiからなるメッキ層を形成することが好ましい。このNiメッキ層を保護層として機能させるためには、メッキ層を構成する結晶の粒径を10μm以下にするとよく、ロウ付け部の表面に緻密で、密度の高いメッキ層として存在させることができる。この粒径を5μm以下にすると表面のメッキ層はさらに緻密化すると同時に、ロウ材11の内部へNiを拡散させることができる。Niはヤング率が250MPaと硬いため、ロウ材11の内部へ拡散したNiは、ロウ材11の内部の硬度をあげ、ロウ材11の内部の強度が向上するため、電極取出部とロウ材およびリード部材との初期接合強度と耐久後の接合強度を向上させることができる。これにより、セラミックヒーターの信頼性・耐久性を向上させることができる。
まず、アルミナを主成分とし、焼結助剤として、6重量%のSiO2、2重量%のMgO、2重量%のCaO、1.5重量%のZrO2を含有する原料を調製した。この調整された原料を用いて、外径15mmのセラミック芯材2および厚み800μmのセラミックグリーンシート23を、押出成形およびテープキャスティング法により準備した。
以上のようにして得られた試料の端子取り付け電極6の上に、リード部材10をロウ付けするが、この実施例1では、Agロウからなるロウ材11の量を変えてリード部材10の接合を行い、リード部材10の表面へのロウ材の被覆高さ18が、リード高さの20〜100%の範囲内で異なる評価用サンプルを作製した。そして、これらの評価用サンプルについてそれぞれ、初期のリード接合強度、熱サイクル試験(25℃・3分−400℃・3分)3,000サイクル試験後のリード接合強度および、界面のクラック発生割合を確認した。
No.1,6は、本発明の範囲外のものである。また、表中の熱サイクル試験後のデータは、熱サイクル試験を3000サイクル繰り返した後のデータである。なお、表1中の「リード高さに対する被覆高さ」の値は、リード部材の長さ方向において、リード高さに対する被覆高さが最も高い部分を測定した値である。
Claims (12)
- 内蔵された導体とその導体と導通するメタライズ層とを有するセラミック体と、前記メタライズ層にロウ材で接合されたリード部材とを備え、
前記ロウ材の前記リード部材を覆う被覆領域が、前記リード部材における前記メタライズ層に最も近い近接端と前記メタライズ層から最も離れた上端までの距離の40〜99%の範囲に設定されていることを特徴とするセラミックヒーター。 - 前記リード部材と前記ロウ材の界面に、直径0.1〜200μmのボイドが存在することを特徴とする請求項1記載のセラミックヒーター。
- 前記ボイドによって、前記リード部材と前記ロウ材との接触面積が前記界面全体の60〜99%になっていることを特徴とする請求項2記載のセラミックヒーター。
- 前記リード部材の成分が前記ロウ材に拡散しており、その拡散深さが前記界面から0.1μm〜30μmの範囲にあることを特徴とする請求項2または3に記載のセラミックヒーター。
- 前記リード部材の算術平均表面粗さRaが0.05〜5μmであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のセラミックヒーター。
- 内蔵された導体とその導体と導通するメタライズ層とを有するセラミック体と、前記メタライズ層にロウ材で接合されたリード部材とを備え、
前記ロウ材が2種類以上の金属を含有してなり、該2種類以上の金属が前記ロウ材において識別可能な状態で各々存在することを特徴とするセラミックヒーター。 - 前記2種類以上の金属が周期律表第10族金属及び11族の金属からなる群から選ばれたことを特徴とする請求項6記載のセラミックヒーター。
- 前記2種類以上の金属のうちの1つがヤング率180GPa以下の第1金属であり、該第1金属が前記ロウ材と前記リード部材の境界部及び前記ロウ材と前記メタライズ層の境界部の少なくとも一方の境界部に在ることを特徴とする請求項6または7記載のセラミックヒーター。
- 前記第1金属は、前記リード部材との界面、又は前記メタライズ層との界面との反対側に凹凸を有し、該凸部の高さが10μm以下であって該凸部を含む層全体の厚みが20μm以下であることを特徴とする請求項8に記載のセラミックヒーター。
- 前記メタライズ層が主成分として熱膨張率5.5×10−6/℃以下の金属を含有してなり、該金属がロウ材中に拡散していることを特徴とする請求項6〜9のうちのいずれか1つに記載のセラミックヒーター。
- 前記ロウ材中にNiが拡散していることを特徴とする請求項6〜10のうちのいずれか1つに記載のセラミックヒーター。
- 請求項1〜11のいずれかに記載セラミックヒーターを発熱手段として用いたことを特徴とする加熱用コテ。
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