JP6525849B2 - 試料保持具 - Google Patents
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Description
部位であって、基体3の下側主面に接して、ろう付け等によって接合されて基体3と一体になるように設けられている。鍔部41は、幅方向に広がりを持った上面が基体3の下側主面に対向している。鍔部41の寸法は、基体3の寸法に応じて適宜設定されるが、円板状の基体3に対しては、例えば、内径を20〜450mm程度に、円環の幅を2〜15mm程度に設定できる。
銅の比率が質量比で62:38の銀銅ろうシートを、中央部52となる部分には銀と銅の比率が質量比で82:18の銀銅シートを用いることができる。これらを、積層して接合層5を形成することによって、中央部52において銀の含有率を高めることができる。
2:筺体
20:貫通孔
3:基体
30:試料保持面
4:支持体
41:鍔部
42:筒部
5:接合層
51:凹部
10:試料処理装置
Claims (3)
- セラミックスからなり一方の主面に試料保持面を有する基体と、前記基体の他方の主面に設けられた支持体と、前記基体と前記支持体とを接合する接合層とを有しており、該接合層は銀および銅から成るとともに、前記接合層を前記基体側から基体側部、中央部および支持体側部の3つの領域に分けたときに、前記中央部における銀の含有率が前記基体側部および前記支持体側部における銀の含有率よりも大きいことを特徴とする試料保持具。
- 前記基体側部において、前記基体側に銅の成分が偏って存在していることを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。
- 前記試料保持面に垂直な断面を見たときに、前記支持体側部において、銅の成分が前記支持体側から前記基体側に向かって伸びる形状であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の試料保持具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015213283A JP6525849B2 (ja) | 2015-10-29 | 2015-10-29 | 試料保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015213283A JP6525849B2 (ja) | 2015-10-29 | 2015-10-29 | 試料保持具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017081797A JP2017081797A (ja) | 2017-05-18 |
JP6525849B2 true JP6525849B2 (ja) | 2019-06-05 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015213283A Active JP6525849B2 (ja) | 2015-10-29 | 2015-10-29 | 試料保持具 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6525849B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2760987B2 (ja) * | 1987-08-08 | 1998-06-04 | 株式会社東芝 | セラミックスと金属との接合方法 |
JPH0782050A (ja) * | 1993-09-14 | 1995-03-28 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | セラミックスと金属の接合方法 |
JP3336485B2 (ja) * | 1994-10-26 | 2002-10-21 | 日本特殊陶業株式会社 | タペット |
JP3037669B1 (ja) * | 1998-11-30 | 2000-04-24 | 京セラ株式会社 | セラミック部材と金属部材の接合体及びこれを用いたウエハ支持部材 |
KR101201388B1 (ko) * | 2004-07-28 | 2012-11-14 | 쿄세라 코포레이션 | 세라믹 히터 및 그것을 사용한 가열용 인두 |
JP2006327888A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Nissan Motor Co Ltd | セラミックスと金属のろう付け構造体 |
-
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- 2015-10-29 JP JP2015213283A patent/JP6525849B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017081797A (ja) | 2017-05-18 |
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A621 | Written request for application examination |
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