JP4582868B2 - セラミックヒータ - Google Patents
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Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、セラミックヒータに関し、特に、板状のセラミック体に埋設された発熱抵抗体とその両端部に設けられたリードパッド部を有するセラミックヒータに関する。
【0002】
【従来の技術】
石油ファンヒータは、家庭用の暖房器具として広範囲に使用されており、このため石油ファンヒータに使用される気化用ヒータの需要も増加の一途である。この気化用のヒータは、シース型の金属ヒータを用いた物と、セラミックヒータを用いた物と、主に2種類に分けられる。このうち、シース型の金属ヒータは、暴走防止のため最初から大きな電力を印加することが出来ないので、どうしても冷始動時の着火が遅くなるという問題があった。これに対し、セラミックヒータを使用する物は、セラミックヒータの立ち上がり時間が早いために、特に急速着火タイプの石油ファンヒータに使用される。
【0003】
図6は、従来使用されていた石油ファンヒータ用のセラミックヒータ21の構造を示す斜視図である。発熱抵抗体を内蔵した板状のセラミック体28のリードパッド部に金属リード27がロウ材29により固定された構造となっていた。
【0004】
さらに、図7を用いて従来のセラミックヒータ21の製法を説明する。セラミックシート22の主面に発熱抵抗体23と電極パッド部24を形成し、該電極パッド部24に対応する位置に穴26を穿設した別のセラミックシート25を重ねて密着し、1500〜1600℃の還元雰囲気中で焼成することにより、セラミック体28を得る。その後、電極パッド部24の表面にNiメッキを施し、ロウ材29を用いて金属リード27を固定することによりセラミックヒータ21を作製していた。
【0005】
このセラミックヒータ21は、従来使用温度が200〜300℃であったために、セラミック体28と同一面に形成されたリードパッド部に金属リード27をロウ付けする構造でも、使用温度が低いために、耐久性に関し何ら問題は発生していなかった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記セラミックヒータ21の加熱温度は、これまでは200℃〜300℃であったが、最近は、石油ファンヒータの冷始動時の立ち上がり時間を短縮するため、使用温度が400〜500℃と高温域下で使用されるようになった。また、ガスセンサ加熱用の用途では、このようなセラミックヒータ21を800℃で使用するという要請もある。
【0007】
これらの高温域下で使用する板状のセラミックヒータ21を使用すると、ロウ付け部29の温度が高温になるため、従来の構造ではロウ付け部29が劣化し耐久性が悪くなるという課題があった。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、鋭意検討した結果、板状のセラミック体に発熱抵抗体を内蔵したセラミックヒータにおいて、前記セラミック体は主面から略垂直方向に突出したリード引出部を有し、その端部にリードパッド部を形成してなり、前記リード引出部を、柱状もしくは筒状の心材の周囲を周回するように配置されたリード電極を内蔵したセラミック柱状体または筒状体からなるものとすることにより、前記課題を解決できることを見出した。
また、本発明者等は、板状のセラミック体に発熱抵抗体を内蔵したセラミックヒータにおいて、前記セラミック体は主面から略垂直方向に突出したリード引出部を有し、その端部にリードパッド部を形成してなり、前記リード引出部を、タングステン、モリブデン、レニウムなどの高融点金属線を埋設し、焼結一体化したセラミック柱状体または筒状体からなるものとすることにより、前記課題を解決できることを見出した。
【0009】
また、前記リード引出部を補強するために、前記セラミックヒータの主面と前記リード引出部との接合部近傍に、セラミックスもしくはガラスからなる補強部材を備えることにより、使用中の衝撃に対し耐久性良好なセラミックヒータにできることを見出した。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の実施形態を図1、2を用いて説明する。
【0011】
図1は本発明のセラミックヒータを示す斜視図、図2はその分解斜視図である。本発明のセラミックヒータ1は板状のセラミック体2の内部に発熱抵抗体9が埋設され、セラミック体2の主面に穿設された穴3に、発熱抵抗体9と接続する電極パッド10が設置され、さらにリード電極14を内蔵したリード引出部4が前記セラミック体2に対し略垂直方向となるように穴3に接続され、リード引出部4の端部に形成されたリードパッド部5に金属リード6がロウ材7によりロウ付けされた構造となっている。
【0012】
このように、発熱抵抗体9を内蔵するセラミック体2からリードパッド部5を略垂直方向に離して形成することにより、セラミック体2が400℃以上の温度に加熱されても、リードパッド部5を300℃以下の温度に保つことができ、耐久性良好なセラミックヒータ1を得ることができるようになった。
【0013】
このように、リード引出部4をセラミック体2から垂直に取り出すのは、省スペース化のためと、セラミック体2面内の温度の均一性を向上させてセラミック体2にクラックが発生するのを防止するためである。
【0014】
石油ファンヒータにおいて、気化器部分は板状のセラミックヒータ1と、その上に設置され灯油を加熱気化させるための容器とからなる。例えば、リード引出部4をセラミック体2の主面に平行な横方向に取り出すようにすると、このリード引出部4を保持するための取付構造が複雑になり、装着方法を考えるとこのリード引出部4のため占有容積が大きくなり、小型軽量化ができなくなってしまう。これに対し、本発明のようにリード引出部4をセラミック体2から垂直に取り出すようにすると、セラミック体2の開口面積があれば装置に装着でき、リード引出部4を下向きに装着すれば対流によるリードパッド部5の冷却も期待できるので、この構造とすることが好ましい。
【0015】
また、セラミック体2面内の均熱については、リード引出部4を横方向に取り出すと、その部分からの熱引きにより、面内の温度分布が悪くなる。セラミック体2の面積が大きくなればなる程この影響が大きくなり、セラミック体2の外周部に発生する温度分布によりセラミック体2が割れるようになってしまう。その点、本発明のようにリード引出部4をセラミック体2から垂直に取り出すと、セラミック体2の外周部に生じる温度分布を低減できるので、耐久性良好なセラミックヒータ1とすることができる。
【0016】
さらに、図2に示す展開斜視図を用いて、本発明のセラミックヒータ1の製造方法を詳細に説明する。
【0017】
まず、セラミックグリーンシート8の表面に発熱抵抗体9と電極パッド部10をW、Mo、Re等の高融点金属からなるペーストを用いてプリント法により形成し、その上に該電極パッド部10に対応する部分に穴3が穿設されたセラミックグリーンシート11を密着し、電極パッド部10に発熱抵抗体9と同質の材料からなる密着液を塗布した後、リード引き出し部4を穴3に挿入する。このとき、図3に示すようにリード引出部4に形成したリード電極14と電極パッド10が接続し、隙間に発熱抵抗体9と前記密着液からなる充填層20を形成し表面をセラミックグリーンシートと8と同質の材料でコートした後、1500〜1600℃の還元雰囲気中で焼成することによりセラミック体2とリード引き出し部4を一体化した焼結体とする。
【0018】
リード引出部4は、図2に示すようにセラミック製の柱状体もしくは筒状体からなる心材13の周囲に、リード電極14をプリントしたセラミックグリーンシート15をリード電極14を内側に巻き込むように密着したものである。このとき、セラミックグリーンシート15と心材13とを密着するための密着液中に高融点金属を分散させたものを用いる。密着液は単に心材13とセラミックグリーンシート15との間だけでなく、穴3に挿入する心材13の表面にも塗布し、リード電極14と電極パッド部10とが接続されるようにする。
【0019】
また、セラミックグリーンシート15を密着した際に形成される溝には、セラミック体2と同材質のペーストを塗布し、高融点金属からなるリード電極14および前記密着液が、セラミック体2との接合部以外に露出しないようにする。リード電極14は、セラミックグリーンシート15の端部から0.5mm以上の密着しろをとるようにプリントすることが好ましい。また、リード電極14の厚みは、10〜30μmとすることが好ましい。
【0020】
また、リード引出部4の表面に形成されるリードパッド部7とリード電極14は、不図示のビアホールによって接続される。ビアホールの径は、0.2〜0.6mmとすることが好ましく、接続の信頼性向上の上からひとつの電極パッド部5に対し複数設置することが好ましい。
【0021】
また、このリード引出部4は、例えば図4に示すようにセラミック円筒体18の中に例えばWやMoの金属線17を挿入し、焼成時に焼き締めるようにして形成しても構わない。この場合、セラミック円筒体18の収縮を見込んで、該セラミック円筒体18の内径を金属線17の外径より15%程度大きくすることが、焼成時に該セラミック円筒体18に発生するクラックを防止する上で好ましい。
金属線17の全長についても同様である。
【0022】
また、セラミック円筒体18の端部にはスルーホールを形成し、中に高融点金属からなるインクを充填し、その外周部にはリードパッド部5を形成する。焼成後さらに、リードパッド部5の表面にNiメッキを施し、ロウ材7により金属リード6を固定してセラミックヒータ1とする。
【0023】
また、これらのリード引出部4の寸法は、リード引出部4の中心軸に垂直な断面積Sとセラミック体2の主面からリードパッド部5までの距離Lの関係が、L/S≧1.5の関係を満足することが好ましい。L/Sが1.5より小さいと、セラミック体2からの熱伝導により電極パッド5の温度が300℃以上となり、ロウ付け部が劣化してセラミックヒータ1の耐久性が低下するからである。
【0024】
また、リード引出部4は、上記のL/Sの関係から細くて長い形状になるため、金属リード6に振動や引っ張り応力が掛かった際に、セラミック体2との接合部の根元の部分から折れたり、根元からリード引出部4が外れたりしてしまうおそれがある。そこで、根元部分を補強するために、図5に示すように、リード引き出し部4の接合部に補強部材19を設置すると、前記課題を解決できることが判った。
【0025】
補強部材19としては、セラミック体2と同材質のセラミックスを押出成形した筒状体を一体化してフランジ状としたものを用いることが可能である。このとき、補強部材19をなす筒状体の内径をリード引出部4の外径より0.1mm程度大きくし、焼成時の収縮率をリード引出部4のそれより3〜5%大きくすることにより強固に一体化することが可能である。また、リード引出部4の根元付近にセラミックグリーンシートをさらに巻き付けてセラミック体2と接合してから焼成して補強部材19とすることもできる。そして、補強材19の外径はリード引出部4の外径+2mm程度、長さは5mm以下とすることが好ましい。
【0026】
本発明のセラミックヒータ1に使用するセラミックスとしては、アルミナ、ムライト、窒化珪素、窒化アルミニウム等の電気絶縁性セラミックスを使用することが可能である。
【0027】
例えば、アルミナとしては、88〜96重量%のアルミナに対し焼結助材として1〜6重量%のSiO2、1〜3重量%のMgO、1〜3重量%のCaOを含有するものを使用することが可能である。1500〜1600℃の還元雰囲気中で焼成することにより、緻密な焼結体を得ることができる。
【0028】
また、ムライトは、68〜75重量%のアルミナと25〜32重量%のSiO2と不可避不純物を含有するものを使用することが可能である。絶縁抵抗を低下させない程度に、Ti、Mn、Mo、Co等の着色成分を添加しても構わない。
1500〜1700℃の還元雰囲気中で焼成することにより、緻密な焼結体を得ることができる。
【0029】
また、窒化珪素は、窒化珪素90〜95重量%に対し、4〜9重量%の希土類元素酸化物、0.5〜1.0重量%のアルミナと、原料や焼成中の雰囲気等の影響により生成してくるSiO 2 を含有する窒化珪素を使用することが可能である。1650〜1750℃でホットプレス焼成するか、高圧窒素雰囲気中1700〜1900℃で焼成することにより緻密な焼結体を得ることができる。
【0030】
また、窒化アルミニウムとしては、窒化アルミニウム92〜97重量%に対し、3〜8重量%の希土類元素酸化物と0〜2重量%のCaOを含有するものを使用することが可能である。高圧窒素雰囲気中1700〜1950℃で焼成することにより緻密な焼結体を得ることができる。
【0031】
また、発熱抵抗体9、電極パッド部、10、リードパッド部5、密着液等は、W、Mo、Reの1種以上を主成分とし、適宜バインダと溶剤を含有するものを使用すればよい。
【0032】
なお、金属リード6をロウ付けするロウ材7としては、Au−Cuロウ、Au−Niロウ、Agロウ、Au−Cuロウ等を用いることができる。
【0033】
本発明のセラミックヒータ1は、石油ファンヒータの石油気化器や酸素濃度分析装置用の素子加熱用ヒータだけでなく、工業用ヒータとして例えば金型加熱等に使用される。
【0034】
【実施例】
実施例1
図1、2に示すように、アルミナからなる厚さ1mmのセラミックグリーンシート8の上に、Wを主成分とするペーストを用いて発熱抵抗体9と電極パッド部10をプリントし、その上に電極パッド部10に対応する部分に穴3を穿設した別のセラミックグリーント11を重ねて密着した。その後、電極パッド部10の周囲の穴3の側面に電極パッド部10と同質のペーストを塗布し、外径3mm、全長15mmのリード引出部4を電極パッド部10に挿入し、隙間を前記ペーストにより充填することにより固定し、さらに表面をセラミックグリーンシートと同材質のペーストでコートした後、1500℃〜1600℃の還元雰囲気中で焼成してセラミック体2とした。
【0035】
リード引出部4は、アルミナからなる心材13に、表面にリード電極14をプリントし、その裏面に電極パッド部7を形成し、ビアホールで両者を接続したセラミックグリーンシート15を、リード電極14を内側に巻き込むように密着したものである。このとき、密着液は発熱抵抗体9と同材質の高融点金属粉末を含有するものを用いた。
【0036】
その後、電極パッド部5の表面に3μmの無電解メッキ膜を形成した後、Ni線からなる金属リード6をAu−Cuロウを用いて接合して、図1に示す本発明のセラミックヒータ1とした。
【0037】
また、比較例として、図7に示すようにアルミナからなる厚さ1mmのセラミックグリーンシート22の上に、Wを主成分とするペーストを用いて発熱抵抗体23と電極パッド部24をプリントし、その上に電極パッド部24に対応する部分に穴26を穿設したアルミナからなる別のセラミックグリーンシート25を重ねて密着した後焼成し、その後、電極パッド部24に3μmの無電解Niメッキ膜を形成した後、Niからなる金属リード27をAu−Cuロウを用いて接合して、従来のセラミックヒータ21を作製した。
【0038】
この様にして作製した本発明のセラミックヒータ1と比較例のセラミックヒータ21について、発熱抵抗体9、23に印加する電圧を変化させ、セラミックヒータ1、21の表面温度を300℃、500℃、700℃、800℃、900℃と変化させ、その時のリードパッド部5、24部分の温度を線径0.1mmのCA(クロメル−アルメル)の熱電対により測定した。結果を表1に示す。
【0039】
【表1】
【0040】
表1の測温結果より、比較例のセラミックヒータ21は、セラミックヒータ表面の温度を700℃以上に加熱するとリードパッド部の温度が700℃以上になってしまい好ましくなかった。
【0041】
これに対し、本発明のセラミックヒータ1では、セラミックヒータ1の表面温度を900℃にしても、リードパッド部5の温度が250℃以下と良好な温度であることが判った。以上の結果より、リードパッド部5を垂直方向に突出させたリード引出部4の端部に位置させることにより、セラミックヒータ1の表面温度を700〜900℃まで上昇させてもリードパッド部5の温度を300℃以下にすることができるので、ロウ付け部の信頼性は確保できることが判る。
【0042】
次に、上記サンプルの耐久評価を行った。
【0043】
評価条件としては、セラミックヒータ1の表面が1000℃となるような電圧を印加して3分間印加/3分間強制冷却を1サイクルとしたサイクルを繰り返す断続試験を行った。評価は、1000サイクル毎にセラミックヒータ1の抵抗変化率をチェックした。
【0044】
結果を表2に示す。
【0045】
【表2】
【0046】
表2の結果より、比較例のセラミックヒータ21では、1000サイクルで大きな抵抗変化を示した。サンプルを観察したところ、ロウ付け部が抵抗変化していることが確認できた。中には、ロウ付け部分が脱落している物もあった。これは、前述の如くロウ付け部分の温度上昇に伴いロウ付け部分が劣化したものと判断した。
【0047】
これに対し、本発明のセラミックヒータ1は、4000サイクル経過後でも大きな抵抗変化はなく良好であることが確認できた。
【0048】
実施例2
次に、本発明のセラミックヒータ1において、リード引出部4の断面積S(mm2)とセラミック体2の表面からリードパッド部5までの距離L(mm)の関係L/Sとリードパッド部5の温度の関係を調べた。径及び長さの異なるリード引出部4を種々準備し、実施例1と同様な方法で本発明のセラミックヒータ1を作製し、これらのセラミックヒータ1に表面の最高温度が600℃および900℃となるような電圧を印加し、その時のリードパッド部5の温度を調査した。リードパッド部5の温度は、CAの熱電対を使用して測定した。
【0049】
結果を表3に示す。
【0050】
【表3】
【0051】
表3に示すように、L/S<1.5となるNo.1、2はセラミックヒータ1の表面温度を900℃とした場合、電極パッド部5の温度が300℃を超えてしまうので、好ましくない。しかしながら、L/S≧1.5であるNo.3〜6は、電極パッド部5の温度は300℃以下となった。また、セラミックヒータ1の表面温度が600℃の場合、L/Sが1.1〜2.1の全範囲で電極パッド部5の温度が300℃以下となった。
【0052】
実施例3
リード引出部4とセラミック体2との接合部近傍にセラミック、ガラスからなる補強部材19を備えた物及び補強部材なしのサンプルを作製し、リード引出部4の電極パッド部5に対し垂直方向の荷重を加えて破壊強度を測定した。補強部材19の寸法は、リード引出部4の外径2.5mmに対し、補強部材19の外径が4mm、長さ4mmとなるようにした。また、セラミック体2から電極パッド部5までの長さは10mmとした。
【0053】
結果を表4に示す。
【0054】
【表4】
【0055】
結果に示す如く、補強をしなかったリード引出部4の破壊強度が40Nであるのに対し、セラミックあるいはガラスからなる補強部材19を備えることで、80〜130Nと破壊強度が格段に向上することが判った。
【0056】
【発明の効果】
以上述べたように、板状のセラミック体に発熱抵抗体を内蔵したセラミックヒータにおいて、上記セラミック体は主表面から略垂直方向に突出したリード引出部を有し、その端部にリードパッド部を形成することにより、ロウ付け部の温度を下げることが可能となり、セラミックヒータ本体の温度を高温まで昇温させて使用することが可能となった。
【0057】
また、リード引出部とセラミックヒータ本体の接合部近傍をセラミックスあるいはガラスからなる補強材で補強することで、接合部の強度も向上させることができることが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のセラミックヒータを示す斜視図である。
【図2】本発明のセラミックヒータの製造方法を示す分解斜視図である。
【図3】本発明のセラミックヒータを示す部分断面図である。
【図4】本発明のセラミックヒータのリード引出部の一例を示す一部切り欠き図である。
【図5】本発明のセラミックヒータの他の実施形態を示す部分断面図である。
【図6】従来のセラミックヒータの斜視図である。
【図7】従来のセラミックヒータの分解斜視図である。
【符号の説明】
1:セラミックヒータ
2:セラミック体
3:穴
4:リード引出部
5:リードパッド部
6:金属リード
7:ロウ材
8:セラミックグリーンシート
9:発熱抵抗体
10:電極パッド
11:セラミックグリーンシート
19:補強材
Claims (3)
- 板状のセラミック体に発熱抵抗体を内蔵したセラミックヒータにおいて、前記セラミック体は主面から略垂直方向に突出したリード引出部を有し、その端部にリードパッド部を形成してなり、前記リード引出部は、柱状もしくは筒状の心材の周囲を周回するように配置されたリード電極を内蔵したセラミック柱状体または筒状体からなることを特徴とするセラミックヒータ。
- 板状のセラミック体に発熱抵抗体を内蔵したセラミックヒータにおいて、前記セラミック体は主面から略垂直方向に突出したリード引出部を有し、その端部にリードパッド部を形成してなり、前記リード引出部は、タングステン、モリブデン、レニウムなどの高融点金属線を埋設し、焼結一体化したセラミック柱状体または筒状体からなることを特徴とするセラミックヒータ。
- 前記セラミック体の主面と前記リード引出部との接合部近傍に、セラミックスもしくはガラスからなる補強部材を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載のセラミックヒータ。
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