JP4688376B2 - セラミックヒーター - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本製品は各種産業機器、半田ごて、ヘアーごて、石油ストーブ点火・気化器、シール機、自動車酸素センサーなどに使用するセラミックヒーターに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から、セラミックヒーターは平板状・円柱状・円筒状などの形状をしたものが使用されている。図4(a)は、従来の円柱状のセラミックヒーターの構造を示す図であり、図4(b)はその断面図である。セラミックヒーター21の表面に形成された電極パッド26の表面には、Niからなるメッキ層26aが形成され、その表面にリード線30がロウ材29によりロウ付けされている。
【0003】
また、太いリード線30を取り付けたセラミックヒーターの一例として、セラミック体に形成した内壁面にリード線がロウ付けされた構造が、特開昭62−76277号公報に記載されている。これは、セラミクヒーターの外径からの飛び出しが問題となる場合に採用されている構造である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
大型・大容量のセラミックヒーターに於いては、セラミックヒーターを所定の温度に加熱するために大電流を流さねばならないものがある。このような用途では、細いリード線を用いた場合、リード線が発熱しリード線を固定しているロウ付け部および電極パッドが劣化して、セラミックヒーターの耐久性が低下するという問題があった。
【0005】
そこで、リード線の発熱を防止するため線径の太いリード線を用いている。しかし、外表面にリード線を設けると、線径が太いため曲げ応力によりリード線のロウ付け部の剥離等強度が低下するという問題が生じてくる。図4を用いて具体的に説明すると、リード線30にセラミックヒーター21の全長方向に引張応力が掛かった場合は、リード線10は良好な強度を有するが、リード線10に該リード線10を電極パッド26から垂直に引き剥がす方向に応力が働くと、その応力はロウ材の端部29aに集中し、この部分でロウ材29が電極パッド26から剥離してしまうという問題があった。
【0006】
また、特開昭62−76277号公報に記載されたように、セラミック体に形成された溝の内壁面の電極パッドにリード線がロウ付けされた構造のセラミックヒーターがある。しかし、リード線の線径が太いため、取り扱い時にリード線のロウ付け部の端部が剥離したり、電極パッドが形成された部分のセラミックスに欠け・割れ等が発生したりして品質が低下するという問題があった。
【0007】
本発明は、従来の欠点に鑑み提案されたもので、太い線径によるリードロウ付け強度の低下、及びセラミックシートに欠け・割れ等を無くし、品質を向上させたセラミックヒーターを安定提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明のセラミックヒーターは、セラミック体中に発熱抵抗体を内蔵し、電極パッドにリード線を具備してなるセラミックヒーターに於いて、前記リード線が線径1mm以上であり且つ側面に、前記リード線の長さ方向の幅が1mm以上、切り込み深さが0.5mm以上で前記線径の1/2以下の溝を、前記リード線の前記電極パッド側の先端から前記溝までの距離を前記電極パッドの長さよりも1mm以上短くして設けたことを特徴とする。
【0009】
また、前記リード線の溝から前記電極パッド側の先端までの部分が前記電極パッドにロウ付けされていることを特徴とする。
【0010】
また、前記リード線の前記電極パッド側の先端部および前記溝部の内側にロウ材のメニスカスが形成されていることを特徴とする。
【0011】
そして、前記リード線の電極パッド接合部と反対側の端部をボルト構造とし、ナットにて他部材と接合できる構造としたことを特徴とする。
【0012】
【作用】
本発明により、1mm以上の太い線径のリード線を取り付けた際に、リード線のロウ付け強度が低下したり、セラミック体に欠け・割れ等が発生したりすることを無くし、品質の向上したセラミックヒーターを提供することが可能となる。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、図1、2を用いて詳細に説明する。
【0014】
図1は、円柱状のセラミックヒーターを示す図であり、セラミックグリーンシート3の一方の主面に形成された発熱抵抗体4および電極引出部5が、これらを内側に包み込むようにセラミック芯材2の外周に周回密着されている。また、前記電極引出部5の端部にはビアホール7が形成され、前記セラミックグリーンシート3の他方の主面に形成された電極パッド6と接続されている。このようにして形成された生成形体を1500〜1650℃の還元雰囲気中で焼成することによりセラミック体7を得、その後、図2に示すように、前記電極パッド6の表面にNiからなるメッキ層6aを形成した後、リード線10をロウ材9により固定することによりセラミックヒーター1を得る。
【0015】
本発明のセラミックヒーター1は、前記リード線10が線径1mm以上であり、且つ前記リード線10に幅1mm以上、切り込み深さ0.5mm以上の溝11を設けたことを特徴とする。
【0016】
リード線10の線径を1mm以上とするのは、使用する電流によるリード線10の発熱を防止するためである。また、前記リード線10に形成する溝11の幅を1mm以上、切り込み深さを0.5mm以上とする理由は、これより溝11を小さくすると、ロウ材9が溝を埋めてしまって、溝11を形成した効果が得られなくなってしまうからである。
【0017】
なお、リード線10に形成する溝11の切り込み深さは、リード線10の線径の1/2以下とすることが好ましい。該切り込み深さをリード線10の線径の1/2を超える値とすると、リード線10に対する電極パッド6に垂直な方向の応力に対し、ロウ材9の端部9aにおける応力を緩和する効果はあるが、リード線10自体の強度が低下してしまうので好ましくない。
【0018】
また、前記リード線10の先端から前記溝11までの距離dが電極パッド6の長さLよりも1mm以上短くなるように前記溝11が形成されており、前記リード線10の溝11から先端までの部分が前記電極パッド6にロウ付けされている。このリード線10の溝11から先端までの距離dは、十分なロウ付け強度を確保するためには、2mm以上の長さとすることが好ましい。
【0019】
このような溝11を形成することにより、図2(b)に示すように、リード線10の先端部及び溝11の内側の両方にロウ材9のメニスカスを富士山の裾野のような形状に形成することができるので、リード線10の引張強度を向上させることが可能となる。
【0020】
また、リード線10に対し、リード線10を電極パッド6から垂直に剥がすような成分の力が掛かった場合には、前記溝11の部分でリード線が変形して応力を容易に吸収するので、電極パッド6からリード線10が剥がれることを防止することができる。
【0021】
また、前記リード線10の先端から電極パッド6の長さLよりも1mm以上短い部分に前記リード線10の溝11が形成され、前記リード線10の溝11から先端までの部分が前記電極パッド6にロウ付けされるようにすることが好ましい。このようにする事により、ロウ材9のメニスカスを好ましい形状にすることが可能となる。前記リード線10の先端から溝11までの距離dが前記電極パッド6の長さLよりも長いか、もしくは短いとしてもその差が1mm未満であれば、ロウ材9の端部9aにおけるメニスカスの形状が悪くなるので十分な引張強度が得られなくなるので好ましくない。
【0022】
また、図2に示すように、前記リード線10をの電極パッド6との接合部と反対側の端部をボルト構造とし、ナットにて他部材と接合できる構造とすると、リード線10と外部の電気回路との接続の信頼性を向上させることが可能となる。電気的接続の信頼性改善のため、今後、このような電気的接続の需要が増えてくるものと予想している。
【0023】
セラミックヒーター1の材質としては、アルミナ、窒化珪素、窒化アルミニウム、炭化珪素、ムライト等を使用することが可能である。
【0024】
例えば、アルミナとしては、Al2O388〜95重量%、SiO22〜7重量%、CaO0.5〜3重量%、MgO0.5〜3重量%、ZrO20〜3重量%からなるものを使用することができる。Al2O3含有量をこれより少なくすると、ガラス質が多くなるため通電時のマイグレーションが大きくなるので好ましくない。また、逆にAl2O3含有量をこれより増やすと、内蔵する発熱抵抗体4の金属層内に拡散するガラス量が減少し、セラミックヒーター1の耐久性が劣化するので好ましくない。
【0025】
窒化珪素としては、Si3N485〜95重量%、Y2O3やYb2O3、Er2O3のような希土類元素酸化物2〜12重量%、Al2O30.3〜2.0重量%、これに加えて酸素をSiO2換算で0.5〜3重量%含有するようなものを使用することが可能である。
【0026】
窒化アルミニウムとしては、AlN85〜97重量%、Y2O3やYb2O3、Er2O3のような希土類元素酸化物2〜8重量%、CaO0〜5重量%、これに不純物として酸素をAl2O3換算で0〜1重量%含有するものを使用することが可能である。
【0027】
ムライトとしては、Al2O358〜75重量%、SiO225〜42重量%と、1重量%以下の不可避不純物からなるものを使用することが可能である。
【0028】
また、セラミックヒーター1の形状としては、円筒および円柱状に加え、図3(a)、(b)に示すような板状のものであっても構わない。
【0029】
板状のセラミックヒーターの製法について説明すると、セラミックグリーンシート3の表面にW、Mo、Re等の高融点金属を主成分とするペーストを用いて発熱抵抗体4、リード引出部6、およびスルーホール7を形成し、その裏面には電極パッド8を形成する。そして、発熱抵抗体4を形成した面にさらに別のセラミックグリーンシート3を重ねて密着し、1500〜1650℃の還元雰囲気中で焼成することにより、板状のセラミックヒーター1とする。また、焼成後、電極パッド6の上にはメッキ層6aを形成し、リード線10をロウ材9で固定した後、さらにロウ材9の上にメッキ層を形成する。
【0030】
また、セラミックヒーター1の寸法については、例えば外径ないしは幅が8〜20mm、長さが40〜200mm程度にすることが可能である。
【0031】
次にリード線10の材質としては、耐熱性良好なNi系やFe−Ni−Co系合金等を使用することが好ましい。発熱抵抗体4からの熱伝達により、使用中にリード線10の温度が上昇し、劣化する可能性があるからである。
【0032】
中でも、リード線10の材質としてNiやFe−Ni−Co合金を使用する場合、その平均結晶粒径を400μm以下とすることが好ましい。前記平均粒径が400μmを超えると、使用時の振動および熱サイクルにより、ロウ付け部近傍のリード線10が疲労し、クラックが発生するので好ましくない。他の材質についても、例えばリード線10の粒径がリード線10の厚みより大きくなると、ロウ材9とリード線10の境界付近の粒界に応力が集中して、クラックが発生するので好ましくない。
【0033】
また、ロウ材9の材質としては、Agロウ、Ag−Cuロウ、Au−Cuロウ、Au−Niロウ、Cuロウから選ばれたものを使用することができる。
【0034】
【実施例】
以下、本発明の実施例を説明する。
【0035】
実施例 1
まず、アルミナを主成分とし、焼結助剤として、6重量%のSiO2、2重量%のMgO、2重量%のCaO、1.5重量%のZrO2を含有する原料を調製し、外径15mmセラミック芯材2および厚み800μmのセラミックグリーンシート3を、押出成形およびテープキャスティング法により準備した。
【0036】
その後、セラミックグリーンシート3の一方の主面にWからなる発熱抵抗体4と電極引出部5をプリント形成し、前記電極引出部5の端部の裏面に電極パッド6をプリント形成し、さらに、電極パッド6に穴を形成し該穴にWからなるペーストを埋めこむことによりビアホール7を形成し電極引出部5と電極パッド6とを接続する。
【0037】
こうして準備した生のセラミック体を還元雰囲気中1600℃で焼成して焼結させ、前記電極パッド6の表面にNiからなる無電界メッキによりメッキ層6aを5μm形成し、その上にリード線10を設置し、Agロウからなるロウ材9によりロウ付け固定した。
【0038】
この時、リード線10の外径を2mmとし、溝幅を0.8mm、1.0mm、1.2mmと変更し、また溝深さを0.3mm、0.5mm,1.0mm,及び溝無しと変更したサンプルを準備して試料を作製した。
【0039】
そして、電極パッド6に対して垂直な方向のリード線10の引張強度を、このようにして準備した試料について評価した。引張強度が300N未満のものはNGとし、引張強度が300N以上のものをOKとして評価した。
【0040】
結果は、表1に示した。
【0041】
【表1】
【0042】
表1から判るように、溝11の幅が1mmより小さいNo.1〜5、および溝11の深さ0.5mm未満であるNo.6、9、13はロウ材9で溝11が埋まってしまい、ロウ材9の端部9aにおいて良好なメニスカスを形成できなかったため、剥離強度が300N未満となり好ましくなかった。
【0043】
これに対し、前記溝11の幅および深さが本発明の請求範囲であるNo.7〜9、11〜13、15〜17はロウ材9のメニスカスの状態も良好で、300N以上の引張強度が得られた。
【0044】
【発明の効果】
本発明によれば、セラミック体中に発熱抵抗体を内蔵し、該発熱抵抗体に通電するための電極パッドを前記セラミック体の表面に備え、前記電極パッドにリード線をロウ付けしてなるセラミックヒーターにおいて、前記リード線が線径1mm以上であり且つ側面に、前記リード線の長さ方向の幅が1mm以上、切り込み深さが0.5mm以上で前記線径の1/2以下の溝を、前記リード線の前記電極パッド側の先端から前記溝までの距離を前記電極パッドの長さよりも1mm以上短くして設けることにより、大電流を流さなければならずリード線の発熱を考慮した場合やリード線を用いてセラミックヒーターを保持するために太いリード線を用いる場合でも、リード線のロウ付け部の引張強度を向上させ、良好なセラミックヒーターとすることが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のセラミックヒーターの展開斜視図である。
【図2】(a)は、本発明のセラミックヒーターの平面図であり、(b)は、そのリード線接合部の縦断面図である。
【図3】(a)は、本発明のセラミックヒーターの別の実施形態を示す展開斜視図であり、(b)はそのリード線接合部の縦断面図である。
【図4】(a)は、従来のセラミックヒーターを示す図であり、(b)はそのZ−Z線断面図である。
【符号の説明】
1:セラミックヒーター
2:セラミック芯材
3:セラミックグリーンシート
4:発熱抵抗体
5:電極引出部
6:電極パッド
7:ビアホール
8:セラミック体
9:ロウ材
10:リード線
11:溝
Claims (4)
- セラミック体中に発熱抵抗体を内蔵し、該発熱抵抗体に通電するための電極パッドを前記セラミック体の表面に備え、前記電極パッドにリード線をロウ付けしてなるセラミックヒーターにおいて、前記リード線が線径1mm以上であり且つ側面に、前記リード線の長さ方向の幅が1mm以上、切り込み深さが0.5mm以上で前記線径の1/2以下の溝を、前記リード線の前記電極パッド側の先端から前記溝までの距離を前記電極パッドの長さよりも1mm以上短くして設けたことを特徴とするセラミックヒーター。
- 前記リード線の溝から前記電極パッド側の先端までの部分のみが前記電極パッドにロウ付けされていることを特徴とする請求項1記載のセラミックヒーター。
- 前記リード線の前記電極パッド側の先端部および前記溝部の内側にロウ材のメニスカスが形成されていることを特徴とする請求項1記載のセラミックヒーター。
- 前記リード線の電極パッド接合部と反対側の端部をボルト構造とし、ナットにて他部材と接合できる構造としたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックヒーター。
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