JP2005317233A - セラミックヒータおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2つのセラミック基体の間に発熱抵抗体を形成し、所望の抵抗値に加工したのち、封止部の熱膨張率と厚み、ボイド率を調整する。
【選択図】図1
Description
Al2O3を主成分とし、SiO2、CaO、MgO、ZrO2を合計10重量%以内になるように調整したセラミックシートを準備し、所定の寸法になるように切断およびスナップ加工した後、1600℃の酸化雰囲気中でセラミック基体2を焼成した。この表面に、Wとガラスを混合したペーストからなる発熱抵抗体3とリード引出部4をプリントし、1200℃の還元雰囲気中で焼き付けた。
ここでは、封止部10のボイド率と耐久性の関係を調べた。
Al2O3を主成分とし、SiO2、CaO、MgO、ZrO2を合計10重量%以内になるように調整したセラミックシートを準備し、所定の寸法になるように切断およびスナップ加工した後、1600℃の酸化雰囲気中でセラミック基体2を焼成した。この表面に、Wとガラスを混合したペーストからなる発熱抵抗体3とリード引出部4をプリントし、1200℃の還元雰囲気中で焼き付けた。そして、スナップラインに沿ってセラミック基体2を各々分割した。
ここでは、封止部10の厚みを調整して、冷却の熱衝撃に対する影響を調査した。ボイド率については、20〜22%に調整した。
2:セラミック基体
3:発熱抵抗体
4:リード引出部
7:メッキ
8:ロウ材
9:リード部材
10:封止部
11:ボイド
12:切り欠き
Claims (11)
- 発熱抵抗体をセラミック基体内に内蔵してなるセラミックヒータにおいて、前記セラミック基体が少なくとも2種類の無機材料の積層構造からなることを特徴とするセラミックヒータ。
- 前記発熱抵抗体が気密封止された封止部を有することを特徴とする請求項1記載のセラミックヒータ。
- 前記発熱抵抗体に接している無機材料のうち少なくともひとつが、ガラスを主成分とすることを特徴とする請求項1または2記載のセラミックヒータ。
- 前記ガラスを主成分とする無機材料のボイド率を40%以下としたことを特徴とする請求項3に記載のセラミックヒータ。
- 前記ガラスを主成分とする無機材料を平均1mm以下の厚みとしたことを特徴とする請求項3に記載のセラミックヒータ
- 前記無機材料のそれぞれの熱膨張係数の差を1×10−5/℃以下としたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のセラミックヒータ。
- 前記セラミック基体が少なくとも3層以上の積層構造からなることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のセラミックヒータ。
- 前記無機材料の少なくともひとつが、主にアルミナまたは窒化珪素からなることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のセラミックヒータ。
- 前記発熱抵抗体が、主に6a族金属または6a族化合物からなることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載のセラミックヒータ。
- 請求項1乃至9に記載のセラミックヒータを用いたことを特徴とするヘアゴテ。
- セラミック基体上に塗布したガラスを一旦溶解し、脱気をしてから別のセラミック基体を重ねて封止することを特徴とするセラミックヒータの製造方法。
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