JPWO2004097923A1 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2004097923A1 JPWO2004097923A1 JP2004571304A JP2004571304A JPWO2004097923A1 JP WO2004097923 A1 JPWO2004097923 A1 JP WO2004097923A1 JP 2004571304 A JP2004571304 A JP 2004571304A JP 2004571304 A JP2004571304 A JP 2004571304A JP WO2004097923 A1 JPWO2004097923 A1 JP WO2004097923A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- mask
- forming
- hard mask
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 40
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 33
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 47
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 47
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 26
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 46
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 29
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 21
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- SWXQKHHHCFXQJF-UHFFFAOYSA-N azane;hydrogen peroxide Chemical compound [NH4+].[O-]O SWXQKHHHCFXQJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 3
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229940104869 fluorosilicate Drugs 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- USFZMSVCRYTOJT-UHFFFAOYSA-N Ammonium acetate Chemical compound N.CC(O)=O USFZMSVCRYTOJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000005695 Ammonium acetate Substances 0.000 claims description 2
- 239000004254 Ammonium phosphate Substances 0.000 claims description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229940043376 ammonium acetate Drugs 0.000 claims description 2
- 235000019257 ammonium acetate Nutrition 0.000 claims description 2
- 229910000148 ammonium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 235000019289 ammonium phosphates Nutrition 0.000 claims description 2
- MNNHAPBLZZVQHP-UHFFFAOYSA-N diammonium hydrogen phosphate Chemical compound [NH4+].[NH4+].OP([O-])([O-])=O MNNHAPBLZZVQHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 235000011007 phosphoric acid Nutrition 0.000 claims description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 29
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 195
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 25
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 16
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 10
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 3
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide Substances OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005375 organosiloxane group Chemical group 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 150000004760 silicates Chemical class 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02321—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment introduction of substances into an already existing insulating layer
- H01L21/02323—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment introduction of substances into an already existing insulating layer introduction of oxygen
- H01L21/02326—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment introduction of substances into an already existing insulating layer introduction of oxygen into a nitride layer, e.g. changing SiN to SiON
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02126—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC
- H01L21/02131—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC the material being halogen doped silicon oxides, e.g. FSG
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02164—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon oxide, e.g. SiO2
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02167—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon carbide not containing oxygen, e.g. SiC, SiC:H or silicon carbonitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/0217—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon nitride not containing oxygen, e.g. SixNy or SixByNz
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/022—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being a laminate, i.e. composed of sublayers, e.g. stacks of alternating high-k metal oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/02274—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition in the presence of a plasma [PECVD]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02337—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to a gas or vapour
- H01L21/0234—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to a gas or vapour treatment by exposure to a plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
- H01L21/0332—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their composition, e.g. multilayer masks, materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/033—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers
- H01L21/0334—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane
- H01L21/0337—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising inorganic layers characterised by their size, orientation, disposition, behaviour, shape, in horizontal or vertical plane characterised by the process involved to create the mask, e.g. lift-off masks, sidewalls, or to modify the mask, e.g. pre-treatment, post-treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31105—Etching inorganic layers
- H01L21/31111—Etching inorganic layers by chemical means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31105—Etching inorganic layers
- H01L21/31111—Etching inorganic layers by chemical means
- H01L21/31116—Etching inorganic layers by chemical means by dry-etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31127—Etching organic layers
- H01L21/31133—Etching organic layers by chemical means
- H01L21/31138—Etching organic layers by chemical means by dry-etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31144—Etching the insulating layers by chemical or physical means using masks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/314—Inorganic layers
- H01L21/3143—Inorganic layers composed of alternated layers or of mixtures of nitrides and oxides or of oxinitrides, e.g. formation of oxinitride by oxidation of nitride layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76801—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing
- H01L21/76802—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing by forming openings in dielectrics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76801—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing
- H01L21/76802—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing by forming openings in dielectrics
- H01L21/76807—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing by forming openings in dielectrics for dual damascene structures
- H01L21/76811—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing by forming openings in dielectrics for dual damascene structures involving multiple stacked pre-patterned masks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76801—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing
- H01L21/76802—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing by forming openings in dielectrics
- H01L21/76807—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing by forming openings in dielectrics for dual damascene structures
- H01L21/76813—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing by forming openings in dielectrics for dual damascene structures involving a partial via etch
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76801—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing
- H01L21/76829—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the dielectrics, e.g. smoothing characterised by the formation of thin functional dielectric layers, e.g. dielectric etch-stop, barrier, capping or liner layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
Description
しかしながら、従来のダマシン法では、シングルダマシン法及びデュアルダマシン法のいずれにおいても、途中で発生したパーティクルの影響で十分な歩留りが得られないことがある。
ここで、図4Aに示すように、有機低誘電率膜等の層間絶縁膜101上にシリコン窒化膜102を形成し、シリコン窒化膜102をマスクとして用いて層間絶縁膜101の領域104に開口部を形成する場合の不具合について説明する。半導体装置を製造するに当たっては、現状では、成膜時や膜のエッチング時にパーティクルが半導体基板上に形成されている膜の上に乗ることは避けられない。特に、プラズマCVD法でシリコン窒化膜を形成した場合に、図4Aに示すように、パーティクル103がシリコン窒化膜102上に乗りやすい。
このような状態で、レジストマスク等を用いてシリコン窒化膜102のパターニングを行うと、シリコン窒化膜102をエッチングするための条件ではパーティクル103が除去されず、図4Bに示すように、開口部を形成しようとしている領域104の上にパーティクル103及びシリコン窒化膜102が残存してしまう。
このため、そのままシリコン窒化膜102をハードマスクとして用いて層間絶縁膜101のエッチングを行っても、図4Cに示すように、領域104内に層間絶縁膜101が残ってしまう。
この結果、十分な歩留りが得られない。
本願発明に係る第1の半導体装置の製造方法では、被加工膜上に第1のマスク用膜を形成した後、前記第1のマスク用膜を覆う酸化物を形成する。次に、前記酸化物上に第2のマスク用膜を形成する。次いで、前記第2のマスク用膜にパターンを形成する。その後、前記酸化物の前記第2のマスク用膜から露出している部分を除去する。続いて、前記第2のマスク用膜をマスクとして用いて前記第1のマスク用膜をパターニングすることにより、前記第1のマスク用膜に開口部を形成する。そして、前記第1のマスク用膜を残存させた状態で前記被加工膜をパターニングする。
本願発明に係る第2の半導体装置の製造方法は、デュアルダマシン法により配線を形成する工程を有する半導体装置の製造方法を対象とする。この製造方法では、導電層上に層間絶縁膜を形成した後、前記層間絶縁膜上に、第1のハードマスクを形成する。次に、前記第1のハードマスク上に、第2のハードマスクを形成する。次いで、前記第2のハードマスク上に、第3のハードマスクを形成する。その後、前記第3のハードマスクを覆う酸化物を形成する。続いて、配線溝のパターンが形成された第1のレジストマスクを用いて前記酸化物及び前記第3のハードマスクをパターニングする。次に、前記第1のレジストマスクを除去する。次いで、全面に樹脂膜を形成する。その後、ビアホールのパターンが形成された第2のレジストマスクを用いて前記樹脂膜をパターニングする。続いて、前記酸化物の前記樹脂膜から露出している部分を除去する。次に、前記樹脂膜をマスクとして用いて前記第3のハードマスク、前記第2のハードマスク及び前記第1のハードマスクをパターニングする。次いで、前記第2のハードマスクを用いて前記層間絶縁膜をパターニングすることにより、前記層間絶縁膜に前記層間絶縁膜の厚さよりも浅い孔を形成する。その後、前記第3のハードマスクを用いて前記第2のハードマスクをパターニングする。続いて、前記第2のハードマスクを用いて前記第1のハードマスクをパターニングする。次に、前記第2のハードマスクを用いて前記層間絶縁膜をパターニングすることにより、前記孔を下層まで貫通させてビアホールを形成すると共に、前記層間絶縁膜に配線溝を形成する。そして、前記ビアホール及び配線溝内に配線材料を埋め込む。
一般的に、半導体装置の製造途中で半導体基板上に飛来するパーティクルの化学的性質はシリコン酸化物の性質に類似している。そこで、本願発明では、このようなパーティクルの存在が問題となる膜を覆うようにして酸化物を形成し、その後、酸化物を除去する。このため、酸化物の除去と同時にパーティクルも除去され、被加工膜のパターニングが良好に行われる。
図2は、第1の実施形態を適用して製造した半導体装置の構造を示す断面図である。
図3A乃至図3Kは、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
図4A乃至図4Cは、従来の半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
(第1の実施形態)
先ず、本発明の第1の実施形態について説明する。図1A乃至図1Qは、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。本実施形態では、先溝ハードマスク方式のデュアルダマシン法により半導体装置を製造する。ここで、先溝ハードマスク方式とは、予め、配線溝のパターンを形成するためのハードマスクのパターンを層間絶縁膜上に形成しておき、配線溝パターンの段差上に直接、ビアのパターニングを行い、ビアの加工、層間絶縁膜の溝の加工を順次行い、デュアルダマシン構造を形成する方式である。
先ず、図1Aに示すように、Cu配線1上に、エッチングストッパ膜としてSiC膜2を形成する。SiC膜2の厚さは、例えば30nmである。次に、SiC膜2上に、層間絶縁膜として有機低誘電率膜3を形成する。有機低誘電率膜3の厚さは、例えば450nmである。有機低誘電率膜3の原料としては、例えばダウ・ケミカル社製のSiLK(登録商標)、ASM社製のFLEA(商標又は登録商標)、有機SOG、アモルファスカーボンフロライド及びポリテトラフルオロエチレン(デュポン社製のテフロン(登録商標)等)を使用することができる。
次いで、有機低誘電率膜3上に、第1のハードマスクとしてSiC膜4を形成し、更に、第2のハードマスク(被加工膜)としてSiO2膜5を形成する。SiC膜4及びSiO2膜5の厚さは、夫々、例えば50nm、100nmである。続いて、SiO2膜5上に、第3のハードマスク(第1のマスク用膜)としてシリコン窒化膜6を、例えばプラズマCVD法により形成する。シリコン窒化膜6は、配線溝のハードマスクパターンを形成する際の被エッチング膜となる。シリコン窒化膜6の厚さは、例えば50nmである。その後、シリコン窒化膜6の表面に対してO2プラズマ処理を施すことにより、シリコン窒化膜6の表面にシリコン酸化膜(酸化物層)7を形成する。酸化物層7の厚さはSiO2膜5よりも薄く、例えば0.1nm〜10nm程度である。
続いて、図1Bに示すように、酸化物層7上に、パターニング時に必要な反射防止膜として有機BARC(Bottom anti−reflection coating)8を形成する。有機BARC8の厚さは、例えば87nmである。そして、有機BARC8上に、有機系の感光性レジストを塗布し、これに露光及び現像を施すことにより、配線溝のパターンが形成されたレジストマスク9を形成する。レジストマスク9の厚さは、例えば300nmである。
なお、第1乃至第3のハードマスクの材料は特に限定されるものではなく、例えばシリコンナイトライド、二酸化シリコン、シリコンカーバイド、アモルファス水素化シリコンカーバイド、シリコンカーバイドナイトライド、有機シリケートガラス、シリコンリッチオキサイド、テトラエチルオルトシリケート、ホスホシリケート、有機シロキサンポリマー、炭素ドープシリケートガラス、水素ドープシリケートガラス、シルセスキオキサンガラス、スピンオンガラス及びフッ素化シリケートガラス等の無機材料を使用することができる。
次に、図1Cに示すように、レジストマスク9をマスクとして、有機BARC8をエッチングする。このエッチングは、例えば、CF4:0〜200sccm、Ar:0〜1000sccm、O2:0〜100sccm、圧力:0.13〜40Pa(1〜300mTorr)、RF電源パワー:100〜1000W、磁場:0〜10mT(0〜100G)の条件の下で、プラズマエッチング装置を用いて行う。
次いで、図1Dに示すように、レジストマスク9及び有機BARC8をマスクとして、酸化物層7及びシリコン窒化膜6をエッチングする。このエッチングは、CF4:0〜200sccm、Ar:0〜1000sccm、O2:0〜100sccm、圧力:0.13〜40Pa(1〜300mTorr)、RF電源パワー:100〜1000W、磁場:0〜10mT(0〜100G)の条件の下で、プラズマエッチング装置を用いて行う。この結果、酸化物層7及びシリコン窒化膜6が配線溝のパターンにパターニングされる。
その後、図1Eに示すように、レジストマスク9及び有機BARC8を、アッシングにより除去する。このアッシングは、例えば、O2:1〜100sccm、圧力:0.13〜67Pa(1〜500mTorr)、RF電源パワー:100〜1000Wの条件の下で、プラズマアッシング装置を用いて行う。この結果、SiO2膜5及び酸化物層7上にパーティクルが堆積する。パーティクルは、成膜チャンバの内壁に付着していたものと考えられ、その化学的な性質はSi酸化物に似ている。
そして、層間絶縁膜である有機低誘電率膜3等に、ビアホールのパターンを形成する。ここでは、シリコン窒化膜6に形成された配線溝のパターンに対して、トリレベル技術を用いる。
具体的には、先ず、図1Fに示すように、シリコン窒化膜6の段差を埋めて平坦化する下層樹脂膜(第2のマスク用膜)10を形成する。下層樹脂膜10の厚さは、有機低誘電率膜3の厚さよりも薄く、有機低誘電率膜3の厚さが100乃至600nmの場合、例えば70乃至400nm、本実施形態では300nmである。次に、下層樹脂膜10上に、下層樹脂膜10のエッチングの際にマスクとして使用するSOG(Spin On Glass)膜11を形成する。SOG膜11の厚さは、SiC膜4、SiO2膜5及びシリコン窒化膜6の総厚よりも薄く、例えば30乃至200nm、本実施形態では86nmである。続いて、SOG膜11上に、有機系の感光性レジストを塗布し、これに露光及び現像を施すことにより、ビアホールのパターンが形成されたレジストマスク(感光性レジスト膜)12を形成する。レジストマスク12の厚さは、下層樹脂膜9と同程度であり、例えば70乃至400nm、本実施形態では300nmである。
なお、感光性レジストとしては、例えばKrFレーザ(波長:248nm)に感光する材料、ArFレーザ(波長:193nm)に感光する材料及びF2レーザ(波長:157nm)に感光する材料並びに電子線に感光する材料等を使用することができる。
また、SOG膜11の原料としては、例えば有機シリケートガラス及び有機シロキサンポリマー等のSOG材料を使用することができ、下層樹脂膜10の原料としては、例えば塗布型の有機樹脂材料を使用することができる。
次に、図1Gに示すように、レジストマスク12をマスクとして、SOG膜11をエッチングする。このエッチングは、例えば、CF4:0〜200sccm、Ar:0〜1000sccm、O2:0〜100sccm、圧力:0.13〜40Pa(1〜300mTorr)、RF電源パワー:100〜1000W、磁場:0〜10mT(0〜100G)の条件の下で、プラズマエッチング装置を用いて行う。
次いで、図1Hに示すように、SOG膜11をマスクとして、下層樹脂膜10をエッチングすると同時に、レジストマスク12を除去する。このエッチングは、例えば、NH3:1〜500sccm、圧力:0.13〜40Pa(1〜300mTorr)、RF電源パワー:100〜1000W、磁場:0〜10mT(0〜100G)の条件の下で、プラズマエッチング装置を用いて行う。このエッチングでは、下層樹脂膜10が、レジストマスク12と同様に、有機系であるため、これらのエッチング選択比は1程度である。従って、レジストマスク12の膜厚が、下層樹脂膜10の膜厚よりも著しく厚い場合は、下層樹脂膜10のエッチングが終了しても、SOG膜11上にレジストマスク12が残り得る。このため、レジストマスク12の膜厚は、下層樹脂膜10の膜厚よりも同等以下であることが望ましい。また、このエッチングの結果、SiO2膜5及び酸化物層7上に再度パーティクルが堆積する。
その後、図1Iに示すように、酸化物層7のSOG膜11から露出している部分を除去すると共に、SiO2膜5の表層部を除去することにより、SiO2膜5及び酸化物層7上に堆積していたパーティクルを除去する。このパーティクル等の除去では、例えばフッ酸、希フッ酸、アンモニア過酸化水素水、フッ化アンモニウム、リン酸、リン酸アンモニウム、酢酸アンモニウム等を用いることができるが、フッ酸を用いた処理が最も好ましい。また、このパーティクル等の除去の後には、消イオン化された水を噴霧することによりすすぎを行うことが好ましい。
続いて、図1Jに示すように、下層樹脂膜10をマスクとして、シリコン窒化膜6、SiO2膜5及びSiC膜4(3層のハードマスク)をエッチングすることにより、これらの膜にビアホールのパターンを形成すると同時に、SOG膜11を除去する。このエッチングは、例えば、CF4:0〜200sccm、Ar:0〜1000sccm、O2:0〜100sccm、圧力:0.13〜40Pa(1〜300mTorr)、RF電源パワー:100〜1000W、磁場:0〜10mT(0〜100G)の条件の下で、プラズマエッチング装置を用いて行う。このエッチングでは、SOG膜11と3層のハードマスクとのエッチング選択比が1程度となる条件を用いることにより、SOG膜11の除去を同時にできるようにしている。従って、SOG膜11の膜厚が、3層のハードマスクの総厚よりも著しく厚い場合は、3層のハードマスクのエッチングが終了しても、SOG膜11が残り得る。このため、SOG膜11の膜厚は、シリコン窒化膜6、SiO2膜5及びSiC膜4の総厚よりも同等以下であることが望ましい。
その後、図1Kに示すように、3層のハードマスクをマスクとして、有機低誘電率膜3を200〜400nm程度だけエッチングすると同時に、下層樹脂膜10を除去する。このエッチングは、例えば、NH3:1〜500sccm、圧力:0.13〜40Pa(1〜300mTorr)、RF電源パワー:100〜1000W、磁場:0〜10mT(0〜100G)の条件の下で、プラズマエッチング装置を用いて行う。このエッチングにより有機低誘電率膜3に形成された孔は、ビアホールの一部となる。
次に、下層樹脂膜10の除去により露出されたシリコン窒化膜6をマスクとして、SiO2膜5のエッチングを行う。この結果、図1Lに示すように、SiO2膜5にも、配線溝のパターンが形成されると共に、酸化物層7が除去される。このエッチングは、例えば、C4F6:1〜100sccm、Ar:1〜500sccm、O2:1〜100sccm、圧力:0.13〜40Pa(1〜300mTorr)、RF電源パワー:100〜2000W、磁場:0〜10mT(0〜100G)の条件の下で、プラズマエッチング装置を用いて行う。
次いで、シリコン窒化膜6及びSiO2膜5をマスクとして、SiC膜4のエッチングを行う。この結果、図1Mに示すように、SiC膜4にも、配線溝のパターンが形成されると同時に、シリコン窒化膜6が除去される。このエッチングは、例えば、CHF3:0〜100sccm、CH2F2:0〜100sccm、N2:1〜500sccm、O2:1〜100sccm、圧力:0.13〜40Pa(1〜300mTorr)、RF電源パワー:100〜2000W、磁場:0〜10mT(0〜100G)の条件の下で、プラズマエッチング装置を用いて行う。
続いて、SiO2膜5及びSiC膜4をマスクとして、層間絶縁膜である有機低誘電率膜3のエッチングを行うことにより、図1Nに示すように、深さが200nm程度の配線溝13を形成すると同時に、SiC膜2まで到達するビアホール12を形成する。このエッチングは、例えば、NH3:1〜500sccm、H2:0〜500sccm、Ar:0〜500sccm、圧力:0.13〜133Pa(1〜1000mTorr)、RF電源パワー:100〜1000W、磁場:0〜10mT(0〜100G)の条件の下で、プラズマエッチング装置を用いて行う。
なお、この工程では、配線溝の深さを200nm程度としているため、図1Kに示す工程で、孔の深さを浅くしすぎていると、例えば250nm以下としていると、この工程では、ビアホール12がSiC膜2まで到達しない虞がある。
その後、SiO2膜5、SiC膜4及び有機低誘電率膜3をマスクとして、SiC膜2のエッチングを行うことにより、図1Oに示すように、ビアホール12をCu配線1まで到達させる。この結果、デュアルダマシンの形状が完成する。このエッチングは、例えば、CHF3:0〜100sccm、CH2F2:0〜100sccm、N2:1〜500sccm、O2:1〜100sccm、圧力:1〜300mTorr、RF電源パワー:100〜2000W、磁場:0〜100Gの条件の下で、プラズマエッチング装置を用いて行う。
そして、図1Pに示すように、ビアホール12及び配線溝13内に、バリアメタル膜(図示せず)を形成した後、Cu15を埋め込み、図1Qに示すように、Cu15にCMPを施すことにより、Cu配線16を形成する。その後、必要に応じて、更に層間絶縁膜及び配線等の形成を行い、半導体装置を完成させる。
図2は、本実施形態を適用して製造した半導体装置の構造を示す断面図である。図2に示す例では、上述の実施形態に係る製造方法により、少なくとも2層の多層配線が形成されている。そして、最上層のCu配線16及び有機低誘電率膜3上に、シリコン窒化物等からなるパッシベーション膜17が形成されている。更に、パッシベーション膜17上に、SiO膜18及びシリコン窒化膜19からなるカバー膜が形成されている。カバー膜には、適宜パッド引出用の開口部(図示せず)が形成されている。
このような第1の実施形態によれば、ハードマスクの一部として用いるシリコン窒化膜6を覆う酸化物層7を形成しているので、酸化物層7を露出してから酸化物層7を除去するまでの間にシリコン窒化膜6に向かって飛来してきたパーティクルは全て酸化物層7上に乗る。このため、酸化物層7を除去すると同時にパーティクルも除去される。また、特にプラズマCVD法の場合、シリコン窒化膜6の成膜時にシリコン窒化膜6の上にパーティクルが乗ることもあるが、このようなパーティクルの化学的な性質はシリコン酸化物の性質に似ているため、このようなパーティクルも酸化物層7の除去と同時に除去される。従って、酸化物層7を除去した直後では、シリコン窒化膜6の上にパーティクルが存在しない。そして、このような状態でシリコン窒化膜6のエッチングを行うため、シリコン窒化膜6には所定のパターンが形成される。このため、層間絶縁膜である有機低誘電率膜3のパターニングも良好なものとなる。
なお、第1の実施形態では、先溝ハードマスク方式が採用されているが、先ビアハードマスク方式を採用してもよい。
ここで、本願発明者が行った実験の結果について説明する。この実験では、パーティクルの除去時に用いる処理液としてフッ酸及びアンモニア過酸化水素水を用い、2種類の構造のウェハについて処理前後のパーティクルの数を調べた。この結果を表1に示す。なお、処理後のパーティクルの数は、消イオン化された水を用いたすすぎの後の数である。また、処理時間は30秒間とし、すすぎの時間も30秒間とした。表1に示すように、各試料において、パーティクルが大幅に減少した。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図3A乃至図3Kは、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。本実施形態では、シングルダマシン法により半導体装置を製造する。
先ず、図3Aに示すように、Cu配線21上に、エッチングストッパ膜としてSiC膜22を形成する。次に、SiC膜22上に、層間絶縁膜(被加工膜)として有機低誘電率膜23を形成する。次いで、有機低誘電率膜23上に、ハードマスク(第1のマスク用膜)としてシリコン窒化膜26を、例えばプラズマCVD法により形成する。
その後、図3Bに示すように、シリコン窒化膜26の表面に対してO2プラズマ処理を施すことにより、シリコン窒化膜26の表面にシリコン酸化膜(酸化物層)27を形成する。続いて、図3Cに示すように、酸化物層27上に、有機系の感光性レジスト(第2のマスク用膜)を塗布し、これに露光及び現像を施すことにより、配線溝のパターンが形成されたレジストマスク29を形成する。このとき、酸化物層27上にパーティクルが堆積する。
次に、図3Dに示すように、酸化物層27のレジストマスク29から露出している部分を除去することにより、酸化物層27上に堆積していたパーティクルを除去する。このパーティクル等の除去では、例えば希フッ酸、アンモニア過酸化水素水等を用いることができる。次いで、図3Eに示すように、レジストマスク29をマスクとして、シリコン窒化膜26をエッチングする。
その後、図3Fに示すように、レジストマスク29を除去する。続いて、図3Gに示すように、酸化物層27及びシリコン窒化膜26をマスクとして有機低誘電率膜23をエッチングする。このエッチングにより有機低誘電率膜23に配線溝33が形成される。
次に、図3Hに示すように、酸化物層27を除去する。次いで、シリコン窒化膜26をマスクとして、SiC膜22のエッチングを行うことにより、図3Iに示すように、配線溝33をCu配線31まで到達させる。
そして、図3Jに示すように、配線溝33内に、Cu35を埋め込み、図3Kに示すように、Cu35にCMPを施すことにより、Cu配線36を形成する。その後、必要に応じて、更に層間絶縁膜及び配線等の形成を行い、半導体装置を完成させる。
このような第2の実施形態では、シリコン窒化膜26上にパーティクルが存在していても、酸化物層27と共に除去される。このため、有機低誘電率膜23のパターニングを良好に行うことが可能である。
なお、第1及び第2の実施形態のいずれにおいても、シリコン酸化膜(酸化物層)の形成に当たっては、プラズマ酸化だけではなく、熱酸化を行ってもよく、また、Si窒化膜を覆うシリコン酸化膜をCVD法等により堆積して形成してもよい。
また、第1のマスク用膜(ハードマスク)として、シリコン窒化膜以外に、シリコン炭化(SiC)膜、シリコン酸炭化(SiOC)膜及びフッ化珪酸塩ガラス(FSG)膜等を用いてもよい。
更に、層間絶縁膜としては、必ずしも低誘電率のものを用いなくてもよい。また、有機系の層間絶縁膜のみならず無機系の層間絶縁膜を用いてもよい。
Claims (16)
- 被加工膜上に第1のマスク用膜を形成する工程と、
前記第1のマスク用膜を覆う酸化物を形成する工程と、
前記酸化物上に第2のマスク用膜を形成する工程と、
前記第2のマスク用膜にパターンを形成する工程と、
前記酸化物の前記第2のマスク用膜から露出している部分を除去する工程と、
前記第2のマスク用膜をマスクとして用いて前記第1のマスク用膜をパターニングすることにより、前記第1のマスク用膜に開口部を形成する工程と、
前記第1のマスク用膜を残存させた状態で前記被加工膜をパターニングする工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1のマスク用膜として、シリコン窒化膜、シリコン炭化膜、シリコン酸炭化膜及びフッ化珪酸塩ガラス膜からなる群から選択された1の絶縁膜を形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化物を形成する工程は、前記第1のマスク用膜の表面を熱酸化する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化物を形成する工程は、前記第1のマスク用膜の表面に対してO2プラズマ処理を施す工程を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のマスク用膜を、プラズマCVD法により形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化物の前記第2のマスク用膜から露出している部分を除去する工程は、フッ酸、希フッ酸、アンモニア過酸化水素水、フッ化アンモニウム、リン酸、リン酸アンモニウム及び酢酸アンモニウムからなる群から選択された1の液に前記酸化物の前記マスクから露出している部分を晒す工程を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化物の前記第2のマスク用膜から露出している部分を除去する工程の後に、前記第1のマスク用膜の前記第2のマスク用膜から露出している部分をすすぐ工程を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のマスク用膜の前記第2のマスク用膜から露出している部分をすすぐ工程は、消イオン化された水を前記第1のマスク用膜の前記第2のマスク用膜から露出している部分に噴霧する工程を有することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2のマスク用膜を形成する工程の前に、前記第1のマスク用膜をデュアルダマシン法における配線溝用の形状に加工する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2のマスク用膜にパターンを形成する工程において、ビアホール用のパターンを形成することを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記被加工膜として、有機物からなる絶縁膜を用いることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記被加工膜として、低誘電率絶縁膜を用いることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記被加工膜として、導電層上に層間絶縁膜を形成し、
前記被加工膜をパターニングする工程において、前記第1のマスク用膜をマスクとして用いて前記層間絶縁膜に開口部を形成し、
前記開口部内に配線材料を埋め込む工程を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1のマスク用膜を形成する工程の前に、
導電層上に層間絶縁膜を順次形成する工程と、
前記層間絶縁膜上に、第1のハードマスクを形成する工程と、
を有し、
前記被加工膜として、前記第1のハードマスク上に第2のハードマスクを形成し、
前記第1のマスク用膜として、前記第2のハードマスク上に第3のハードマスクを形成し、
前記第2のマスク用膜を形成する工程の前に、
配線溝のパターンが形成された第1のレジストマスクを用いて前記酸化物及び前記第3のハードマスクをパターニングする工程と、
前記第1のレジストマスクを除去する工程と、
を有し、
前記第2のマスク用膜として、全面に樹脂膜を形成し、
前記被加工膜をパターニングする工程の後に、
第3のハードマスクをパターニングする工程と、
前記第1乃至第3のハードマスクを用いて前記層間絶縁膜をパターニングすることにより、前記層間絶縁膜に開口部を形成する工程と、
前記開口部内に配線材料を埋め込む工程と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - デュアルダマシン法により配線を形成する工程を有する半導体装置の製造方法において、
導電層上に層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜上に、第1のハードマスクを形成する工程と、
前記第1のハードマスク上に、第2のハードマスクを形成する工程と、
前記第2のハードマスク上に、第3のハードマスクを形成する工程と、
前記第3のハードマスクを覆う酸化物を形成する工程と、
配線溝のパターンが形成された第1のレジストマスクを用いて前記酸化物及び前記第3のハードマスクをパターニングする工程と、
前記第1のレジストマスクを除去する工程と、
全面に樹脂膜を形成する工程と、
ビアホールのパターンが形成された第2のレジストマスクを用いて前記樹脂膜をパターニングする工程と、
前記酸化物の前記樹脂膜から露出している部分を除去する工程と、
前記樹脂膜をマスクとして用いて前記第3のハードマスク、前記第2のハードマスク及び前記第1のハードマスクをパターニングする工程と、
前記第2のハードマスクを用いて前記層間絶縁膜をパターニングすることにより、前記層間絶縁膜に前記層間絶縁膜の厚さよりも浅い孔を形成する工程と、
前記第3のハードマスクを用いて前記第2のハードマスクをパターニングする工程と、
前記第2のハードマスクを用いて前記第1のハードマスクをパターニングする工程と、
前記第2のハードマスクを用いて前記層間絶縁膜をパターニングすることにより、前記孔を下層まで貫通させてビアホールを形成すると共に、前記層間絶縁膜に配線溝を形成する工程と、
前記ビアホール及び配線溝内に配線材料を埋め込む工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第3のハードマスクとして、シリコン窒化膜、シリコン炭化膜、シリコン酸炭化膜及びフッ化珪酸塩ガラス膜からなる群から選択された1の絶縁膜を形成することを特徴とする請求項15に記載の半導体装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2003/005506 WO2004097923A1 (ja) | 2003-04-30 | 2003-04-30 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2004097923A1 true JPWO2004097923A1 (ja) | 2006-07-13 |
JP4256347B2 JP4256347B2 (ja) | 2009-04-22 |
Family
ID=33398131
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004571304A Expired - Fee Related JP4256347B2 (ja) | 2003-04-30 | 2003-04-30 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7211519B2 (ja) |
JP (1) | JP4256347B2 (ja) |
WO (1) | WO2004097923A1 (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7354852B2 (en) * | 2004-12-09 | 2008-04-08 | Asm Japan K.K. | Method of forming interconnection in semiconductor device |
JP4618786B2 (ja) * | 2005-01-28 | 2011-01-26 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置の製造方法 |
KR20070047624A (ko) * | 2005-11-02 | 2007-05-07 | 주성엔지니어링(주) | 박막 패턴 형성 방법 |
JP4868840B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2012-02-01 | Jsr株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US7358182B2 (en) * | 2005-12-22 | 2008-04-15 | International Business Machines Corporation | Method of forming an interconnect structure |
US7910289B2 (en) * | 2006-01-06 | 2011-03-22 | Texas Instruments Incorporated | Use of dual mask processing of different composition such as inorganic/organic to enable a single poly etch using a two-print-two-etch approach |
US8227172B2 (en) * | 2006-10-12 | 2012-07-24 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Method of producing semiconductor device using resist underlayer film by photo-crosslinking curing |
WO2008047715A1 (fr) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | procédé de fabrication d'un dispositif semi-conducteur à l'aide d'un stratifié à quatre couches |
KR100819673B1 (ko) * | 2006-12-22 | 2008-04-04 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자 및 그의 패턴 형성 방법 |
US8614143B2 (en) * | 2008-12-03 | 2013-12-24 | Texas Instruments Incorporated | Simultaneous via and trench patterning using different etch rates |
US8048810B2 (en) * | 2010-01-29 | 2011-11-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method for metal gate N/P patterning |
US8796150B2 (en) | 2011-01-24 | 2014-08-05 | International Business Machines Corporation | Bilayer trench first hardmask structure and process for reduced defectivity |
US8399359B2 (en) * | 2011-06-01 | 2013-03-19 | United Microelectronics Corp. | Manufacturing method for dual damascene structure |
US8828878B2 (en) | 2011-06-01 | 2014-09-09 | United Microelectronics Corp. | Manufacturing method for dual damascene structure |
GB201217712D0 (en) * | 2012-10-03 | 2012-11-14 | Spts Technologies Ltd | methods of plasma etching |
US8969207B2 (en) * | 2013-03-13 | 2015-03-03 | Globalfoundries Inc. | Methods of forming a masking layer for patterning underlying structures |
US20140273432A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Byung-hee Kim | Fabricating method of semiconductor device |
US10049916B2 (en) * | 2014-05-23 | 2018-08-14 | Massachusetts Institute Of Technology | Method of manufacturing a germanium-on-insulator substrate |
JP6919350B2 (ja) * | 2017-06-09 | 2021-08-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
US10522394B2 (en) * | 2017-09-25 | 2019-12-31 | Marvell World Trade Ltd. | Method of creating aligned vias in ultra-high density integrated circuits |
US11404245B2 (en) * | 2018-02-28 | 2022-08-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | DC bias in plasma process |
US11587782B2 (en) * | 2018-11-30 | 2023-02-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Semiconductor arrangement and method for making |
FR3100377A1 (fr) * | 2019-08-30 | 2021-03-05 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Prise de contact sur du germanium |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06314679A (ja) * | 1993-04-30 | 1994-11-08 | Sony Corp | 半導体基板の洗浄方法 |
US6162583A (en) * | 1998-03-20 | 2000-12-19 | Industrial Technology Research Institute | Method for making intermetal dielectrics (IMD) on semiconductor integrated circuits using low dielectric constant spin-on polymers |
JP3436221B2 (ja) * | 1999-03-15 | 2003-08-11 | ソニー株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP3742243B2 (ja) * | 1999-03-16 | 2006-02-01 | 株式会社東芝 | ドライエッチング方法および半導体装置の製造方法 |
JP2001077196A (ja) * | 1999-09-08 | 2001-03-23 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2001237168A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-31 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2001338978A (ja) * | 2000-05-25 | 2001-12-07 | Hitachi Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
US7122900B2 (en) * | 2000-06-26 | 2006-10-17 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor device and method manufacturing the same |
JP4377040B2 (ja) * | 2000-07-24 | 2009-12-02 | Necエレクトロニクス株式会社 | 半導体の製造方法 |
US6630407B2 (en) * | 2001-03-30 | 2003-10-07 | Lam Research Corporation | Plasma etching of organic antireflective coating |
US20030119305A1 (en) * | 2001-12-21 | 2003-06-26 | Huang Robert Y. S. | Mask layer and dual damascene interconnect structure in a semiconductor device |
US7226853B2 (en) * | 2001-12-26 | 2007-06-05 | Applied Materials, Inc. | Method of forming a dual damascene structure utilizing a three layer hard mask structure |
JP4193438B2 (ja) * | 2002-07-30 | 2008-12-10 | ソニー株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US6864152B1 (en) * | 2003-05-20 | 2005-03-08 | Lsi Logic Corporation | Fabrication of trenches with multiple depths on the same substrate |
-
2003
- 2003-04-30 WO PCT/JP2003/005506 patent/WO2004097923A1/ja active Application Filing
- 2003-04-30 JP JP2004571304A patent/JP4256347B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-03-31 US US11/094,578 patent/US7211519B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7211519B2 (en) | 2007-05-01 |
US20050191852A1 (en) | 2005-09-01 |
JP4256347B2 (ja) | 2009-04-22 |
WO2004097923A1 (ja) | 2004-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4256347B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US10340178B2 (en) | Via patterning using multiple photo multiple etch | |
KR100768363B1 (ko) | 반도체 집적회로장치의 제조방법 및 반도체 집적회로장치 | |
US6140225A (en) | Method of manufacturing semiconductor device having multilayer wiring | |
US7741224B2 (en) | Plasma treatment and repair processes for reducing sidewall damage in low-k dielectrics | |
JP2006128543A (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
JP2004281936A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4057972B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4108228B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005116801A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3781729B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US7282436B2 (en) | Plasma treatment for silicon-based dielectrics | |
JP4523351B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2004282082A (ja) | 金属埋立て方法 | |
JP2005159008A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005328060A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006054251A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2004193627A (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法 | |
US7538025B2 (en) | Dual damascene process flow for porous low-k materials | |
EP1646083B1 (en) | Alternative dual damascene patterning approach | |
US20060148244A1 (en) | Method for cleaning a semiconductor substrate | |
KR100440080B1 (ko) | 반도체 소자의 금속배선 형성방법 | |
JP4550786B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3683570B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4436606B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20080731 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081021 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081209 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090113 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090129 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4256347 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130206 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140206 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |