JP4436606B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、デュアルダマシン法を採用した半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路の微細化に伴い、配線のRC遅延がデバイス速度を制限する主な要因となっていることが知られている。
このため、近時、配線材料には、主にCuが用いられている。しかし、Cuそのものに配線パターンを転写することは困難である。このため、Cu配線を形成するに当たっては、層間絶縁膜に配線溝(トレンチ)のパターンを転写し、そこへCuを埋め込んで配線パターンを形成するダマシン法が有効である。また、ダマシン法は、溝のCuとビア(Via)のCuを個別に形成するシングルダマシン法と、溝とビアを同時に作るデュアルダマシン法とに分類される。
【0003】
その一方で、層間絶縁膜の材料についても、RC遅延の問題を解決するため、従来の酸化膜より誘電率が低い低誘電率膜が使用されている。低誘電率膜の材料は、無機材料と有機材料との2種類に大別される。これらは、一般的には、各デバイス特性の要求を満たすように、使い分けられている。
【0004】
層間絶縁膜として、有機の低誘電率膜を用いる場合、層間構造は、先溝ハードマスク方式を用いるのが一般的である。ここで、先溝ハードマスク方式とは、予め、配線溝のパターンを形成するためのハードマスクのパターンを層間絶縁膜上に形成しておき、配線溝パターンの段差上に直接、ビアのパターニングを行い、ビアの加工、層間絶縁膜の配線溝の加工を順次行い、デュアルダマシン構造を形成する方式である。
【0005】
有機の低誘電率膜のエッチングは、N2ガスとH2ガスの混合ガス、NH3ガス又はこれら3種のガスを組み合わせた混合ガスを用いて行うことが、一般に知られている。また、デュアルダマシン法を採用して単一の有機低誘電率膜に対して配線溝及びビアホールを形成する場合には、配線溝の形成に当たって、有機低誘電率膜にハーフエッチングを行う。具体的には、エッチングにより、有機低誘電率膜の途中までビアホールを形成した後、ビアホールの残り及び配線溝を一括して形成する。
【0006】
【特許文献1】
特開2001−118825号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上述のようなデュアルダマシン法では、有機低誘電率膜とハードマスクとの間に薄く形成される密着膜中に含まれるSiや、ハードマスク中のSiが、ハードマスクのスパッタを行った際にSi化合物となって有機低誘電率膜上に付着したり、有機低誘電率膜のエッチング時に、チャンバの内壁に付着していたデポ物(Si化合物)が有機低誘電率膜上に飛来したりすることがある。しかしながら、上記の有機低誘電率膜をエッチングするためのガス(N2ガスとH2ガスの混合ガス、NH3ガス又はこれら3種のガスを組み合わせた混合ガス)では、Si化合物を除去することができない。このため、有機低誘電率膜に溝及びビアホールを形成するためのエッチング時に、Si化合物がマスクとして機能してしまい、最終的に形成された溝の底部に残渣が発生してしまう。
【0008】
図12は、従来の半導体装置の製造方法における途中の状態を示す断面図である。図12には、先溝ハードマスク方式のデュアルダマシン法によりビアホール及び配線溝を形成した状態を示している。この状態では、Cu配線101上に、SiC膜102、有機低誘電率膜103、SiC膜104及びSiO2膜105が積層され、SiC膜102及び有機低誘電率膜103の下部にビアホールが形成され、有機低誘電率膜103の上部、SiC膜104及びSiO2膜105に配線溝が形成されている。しかし、従来の製造方法では、図12に示すように、ビアホール及び配線溝が形成されたときに、配線溝の底部に残渣115が生成されてしまう。このような残渣115が存在していると、歩留りが低下したり、配線の抵抗率が上昇したり、信頼性が低下したりしてしまう。
【0009】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであって、デュアルダマシン法において配線溝を形成する際に生じる残渣を低減することができる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本願発明者は、鋭意検討の結果、以下に示す発明の諸態様に想到した。
【0011】
本願発明に係る半導体装置の製造方法は、デュアルダマシン法により配線を形成する半導体装置の製造方法を対象とする。本製造方法では、先ず、ビアホール用のマスクを用いて、有機誘電体からなる層間絶縁膜を加工することにより、前記層間絶縁膜に前記層間絶縁膜の厚さよりも浅い孔を形成する。次に、配線溝用のマスクを用いて、前記層間絶縁膜を加工することにより、前記層間絶縁膜に配線溝を形成すると共に、前記孔を下層まで貫通させてビアホールを形成する。次いで、前記配線溝及びビアホール内に配線材料を埋め込む。そして、本製造方法では、前記配線溝を形成するに際して、先ず、前記配線溝用のマスクを用いて、前記層間絶縁膜をフッ素を含有するガスを用いることなく、水素、窒素及びアンモニアからなる群から選択された少なくとも1種のガスのプラズマを用いてエッチングすることにより、前記層間絶縁膜に溝を形成し、前記配線溝用のマスクを用いて、水素、窒素及びアンモニアからなる群から選択されたガスを用いることなく前記溝の底部に向けてフッ素を含有するガスのプラズマを照射して前記溝の底部上のSi化合物を除去する。その後、前記配線溝用のマスクを用いて、前記層間絶縁膜をフッ素を含有するガスを用いることなく、水素、窒素及びアンモニアからなる群から選択された少なくとも1種のガスのプラズマを用いてエッチングすることにより、前記溝の深さを深くして前記配線溝とする。
【0012】
本発明においては、配線溝の形成に当たって、一回の加工によって層間絶縁膜に配線溝を形成するのではなく、一旦加工を停止して、その時点で形成されている溝の底部に向けてフッ素を含有するガスのプラズマを照射する。これにより、その時点で溝の底部に存在しているSi化合物等からなる残渣が除去される。そして、このようにして残渣を除去した後に、更に加工を行って配線溝を形成している。このとき、更なる加工によって残渣が生じ得るが、一般に、デュアルダマシン法では、層間絶縁膜とその下方に位置する配線層との間に絶縁膜が形成されており、この絶縁膜を加工する際に残渣が除去される。従って、歩留りの低下、配線の抵抗率の上昇、及び信頼性の低下等を回避することが可能である。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法について添付の図面を参照して具体的に説明する。
【0014】
(第1の実施形態)
先ず、本発明の第1の実施形態について説明する。図1乃至図3は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。本実施形態では、先溝ハードマスク方式のデュアルダマシン法により半導体装置を製造する。
【0015】
先ず、図1(a)に示すように、Cu配線1上に、エッチングストッパ膜としてSiC膜2を形成する。SiC膜2の厚さは、例えば50nmである。次に、SiC膜2上に、層間絶縁膜として有機低誘電率膜(有機誘電体膜)3を形成する。有機低誘電率膜3の厚さは、例えば450nmである。有機低誘電率膜3の原料としては、例えばダウ・ケミカル社製のSiLK(登録商標)、有機SOG、アモルファスカーボンフロライド及びポリテトラフルオロエチレン(デュポン社のテフロン(登録商標)等)及びポリアリールエーテル(ハネウェル・エレクトロニク・マテリアルズ・ジャパン社のFLARE(登録商標)等)を使用することができる。
【0016】
次いで、有機低誘電率膜3上に、第1のハードマスクとしてSiC膜4を形成し、更に、第2のハードマスクとしてSiO2膜5を形成する。SiC膜4及びSiO2膜5の厚さは、夫々、例えば50nm、100nmである。その後、SiO2膜5上に、感光性レジストを塗布し、これに露光及び現像を施すことにより、配線溝(トレンチ)のパターンが形成されたレジストマスク8aを形成する。
【0017】
続いて、図1(b)に示すように、レジストマスク8aをマスクとして、SiO2膜5をエッチングする。このエッチングは、例えば、C4F6:5〜40sccm、O2:20〜70sccm、Ar:50〜1000sccm、圧力:1.33〜13.3Pa(10〜100mTorr)、RF電源パワー:100〜1000Wの条件の下で、反応性イオンエッチング装置を用いて行う。
【0018】
次に、図1(c)に示すように、全面に感光性レジストを塗布し、これに露光及び現像を施すことにより、ビアホールのパターンが形成されたレジストマスク11aを形成する。
【0019】
次いで、図2(a)に示すように、レジストマスク11aをマスクとして、SiO2膜5及びSiC膜4をエッチングする。このエッチングは、例えば、CF4:50〜200sccm、Ar:0〜500sccm、圧力:2.66〜26.6Pa(20〜200mTorr)、RF電源パワー:100〜1000Wの条件の下で、反応性イオンエッチング装置を用いて行う。このエッチングにより、SiC膜4がビアホールの平面形状にパターニングされる。
【0020】
その後、図2(b)に示すように、2層のハードマスクをマスクとして、有機低誘電率膜3を200nm程度だけエッチングすると同時に、レジストマスク11aを除去する。このエッチングは、例えば、NH3:50〜300sccm、圧力:2.66〜20Pa(20〜150mTorr)、RF電源パワー:100〜800Wの条件の下で、反応性イオンエッチング装置を用いて行う。このエッチングにより有機低誘電率膜3に形成された孔は、ビアホールの一部となる。
【0021】
続いて、図2(c)に示すように、SiO2膜5をマスクとして、SiC膜4をエッチングする。このエッチングは、例えば、CHF3:5〜30sccm、N2:0〜50sccm、O2:0〜100sccm、圧力:1.33〜13.3Pa(10〜100mTorr)、RF電源パワー:50〜200Wの条件の下で、反応性イオンエッチング装置を用いて行う。このエッチングにより、SiC膜4が配線溝の平面形状にパターニングされる。また、SiO2膜5の膜厚が減少する。
【0022】
次に、図3(a)に示すように、SiO2膜5及びSiC膜4をマスクとして、層間絶縁膜である有機低誘電率膜3のエッチングを行う。このエッチングは、例えば、NH3:50〜200sccm、Ar:0〜300sccm、圧力:26.6〜106Pa(200〜800mTorr)、RF電源パワー:50〜400Wの条件の下で、反応性イオンエッチング装置を用いて行う。
【0023】
但し、図3(a)に示すように、このエッチングは、エッチングにより形成される溝12aの深さが、形成しようとする配線の厚さ(設計値)に達する前に、例えば溝12aの深さが配線の厚さの約半分に達したときに停止する。例えば、厚さが200nmの配線を形成しようとする場合には、このエッチングは、溝12aの深さが100nm程度ととなったときに停止すればよい。また、このエッチングにより、前の工程で有機低誘電率膜3に形成されていた孔が深くなる。この孔は、図3(a)に示すように、SiC膜2まで到達してビアホール13が形成されてもよく、SiC膜2まで到達しなくてもよい。
【0024】
このエッチングが行われた後には、図3(a)に示すように、Si化合物を含む残渣15が溝12aの底部に存在する。
【0025】
次いで、溝12aの底部に、F(フッ素)を含有するガスのプラズマを照射することにより、残渣15を除去する。この処理は、例えば、CH2F2:5〜50sccm、O2:5〜50sccm、圧力:0.665〜13.3Pa(5〜100mTorr)、RF電源パワー:50〜200Wの条件の下で、反応性イオンエッチング装置を用いて行う。
【0026】
その後、図3(b)に示すように、再度、SiO2膜5及びSiC膜4をマスクとして、有機低誘電率膜3のエッチングを行う。このエッチングは、例えば、NH3:50〜200sccm、Ar:0〜300sccm、圧力:26.6〜106Pa(200〜800mTorr)、RF電源パワー:50〜400Wの条件の下で、反応性イオンエッチング装置を用いて行う。このエッチングにより、溝12aの深さを深くして配線溝12を形成する。また、有機低誘電率膜3に形成されていた孔が、残渣15を除去する前のエッチング後にSiC膜2まで到達していない場合には、このエッチングにより孔をSiC膜2まで到達させる。
【0027】
このエッチングが行われた後には、図示しないが、Si化合物を含む残渣が配線溝12の底部に存在する。
【0028】
続いて、SiO2膜5、SiC膜4及び有機低誘電率膜3をマスクとして、SiC膜2のエッチングを行う。この結果、デュアルダマシンの形状が完成する。このエッチングは、例えば、CH2F2:5〜50sccm、O2:5〜50sccm、N2:10〜100sccm、圧力:0.665〜13.3Pa(5〜100mTorr)、RF電源パワー:50〜2000Wの条件の下で、反応性イオンエッチング装置を用いて行う。このエッチングにより、配線溝12の底部に存在していた残渣が除去される。
【0029】
そして、図3(c)に示すように、ビアホール13及び配線溝12内にCu配線14を埋め込む。その後、必要に応じて、更に層間絶縁膜及び配線等の形成を行い、半導体装置を完成させる。
【0030】
図4は、本実施形態を適用して製造した半導体装置の構造を示す断面図である。図4に示す例では、半導体基板21の表面に、素子分離領域22が形成され、この素子分離領域22により区画された素子活性領域内にトランジスタが形成されている。このトランジスタには、半導体基板21の表面に形成されたソース・ドレイン領域23、半導体基板21上に形成されたゲート絶縁膜24、ゲート絶縁膜24上に形成されたゲート電極25、及びゲート電極25の側方に形成されたサイドウォール26が設けられている。そして、このトランジスタを覆うようにして層間絶縁膜27が形成されている。層間絶縁膜27には、ソース・ドレイン領域23まで到達するコンタクトプラグ28が埋め込まれている。このコンタクトプラグ28が図1乃至図3中のCu配線1に相当する。
【0031】
更に、全面にSiC膜29、層間絶縁膜30、SiC膜33、層間絶縁膜34及びSiC膜37が順次積層されている。そして、これらの膜にビアプラグ31、配線32、ビアプラグ35及び配線36が埋め込まれている。ビアプラグ31及び35が図3(c)中のCu配線14のビアホール13内に存在する部分に相当し、配線32及び36が配線溝12内に存在する部分に相当する。このように、図4に示す例では、上述の実施形態に係る製造方法により、少なくとも2層の多層配線が形成されている。
【0032】
このように、本実施形態に係る製造方法によれば、デュアルダマシン法により単一の有機低誘電率膜3内にビアホール及び配線溝を形成する際に、配線溝の形成に当たって、エッチングの途中でFを含有するガスのプラズマを用いた処理によりSi化合物を除去しているため、ビアホール及び配線溝が形成されたときに、残渣15が存在しない。このため、その後に形成されるCu配線14の特性が安定するので、歩留りが向上し、抵抗率の上昇を抑制し、高い信頼性を得ることが可能である。
【0033】
なお、従来の製造方法でも、有機低誘電率膜内にビアホール及び配線溝を形成した後のSiC膜のエッチングの際に、残渣が若干除去される。しかしながら、SiC膜のエッチングを行う直前に存在している残渣が大量であるため、多くの残渣が残ってしまい、信頼性の低下等の不具合を回避することはできない。
【0034】
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。第2の実施形態は、より微細なパターンの形成に好適な方法である。図5乃至図9は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。本実施形態でも、先溝ハードマスク方式のデュアルダマシン法により半導体装置を製造する。
【0035】
先ず、図5(a)に示すように、Cu配線1上に、エッチングストッパ膜としてSiC膜2を形成する。次に、SiC膜2上に、層間絶縁膜として有機低誘電率膜3を形成する。
【0036】
次いで、有機低誘電率膜3上に、第1のハードマスクとしてSiC膜4を形成し、更に、第2のハードマスクとしてSiO2膜5を形成する。続いて、SiO2膜5上に、第3のハードマスクとしてSi3N4膜6を形成する。Si3N4膜6は、配線溝のハードマスクパターンを形成する際の被エッチング膜となる。その後、Si3N4膜6上に、パターニング時に必要な反射防止膜として有機BARC(Bottom anti-reflection coating)7を形成する。そして、有機BARC7上に、有機系の感光性レジストを塗布し、これに露光及び現像を施すことにより、配線溝のパターンが形成されたレジストマスク8bを形成する。
【0037】
次に、図5(b)に示すように、レジストマスク8bをマスクとして、有機BARC7をエッチングする。
【0038】
次いで、図5(c)に示すように、レジストマスク8b及び有機BARC7をマスクとして、Si3N4膜をエッチングする。この結果、Si3N4膜が配線溝のパターンにパターニングされる。
【0039】
続いて、図6(a)に示すように、レジストマスク8b及び有機BARC7を、アッシングにより除去する。そして、層間絶縁膜である有機低誘電率膜3等に、ビアホールのパターンを形成する。ここでは、Si3N4膜6に形成された配線溝のパターンに対して、トリレベル技術を用いる。
【0040】
具体的には、先ず、図6(b)に示すように、Si3N4膜6の段差を埋めて平坦化する下層樹脂膜(有機膜)9を形成する。次に、下層樹脂膜9上に、下層樹脂膜9のエッチングの際にマスクとして使用するSOG(Spin On Glass)膜(無機膜)10を形成する。続いて、SOG膜10上に、有機系の感光性レジストを塗布し、これに露光及び現像を施すことにより、ビアホールのパターンが形成されたレジストマスク(感光性レジスト膜)11bを形成する。
【0041】
次に、図6(c)に示すように、レジストマスク11bをマスクとして、SOG膜10をエッチングする。
【0042】
次いで、図7(a)に示すように、SOG膜10をマスクとして、下層樹脂膜9をエッチングすると同時に、レジストマスク11bを除去する。このエッチングでは、下層樹脂膜9が、レジストマスク11と同様に、有機系であるため、これらのエッチング選択比は1程度である。従って、レジストマスク11bの膜厚が、下層樹脂膜9の膜厚よりも著しく厚い場合は、下層樹脂膜9のエッチングが終了しても、SOG膜10上にレジストマスク11が残り得る。このため、レジストマスク11の膜厚は、下層樹脂膜9の膜厚よりも同等以下であることが望ましい。
【0043】
続いて、図7(b)に示すように、下層樹脂膜9をマスクとして、Si3N4膜6、SiO2膜5及びSiC膜4(3層のハードマスク)をエッチングすることにより、これらの膜にビアホールのパターンを形成すると同時に、SOG膜10を除去する。このエッチングでは、SOG膜10と3層のハードマスクとのエッチング選択比が1程度となる条件を用いることにより、SOG膜11の除去を同時にできるようにしている。従って、SOG膜10の膜厚が、3層のハードマスクの総厚よりも著しく厚い場合は、3層のハードマスクのエッチングが終了しても、SOG膜10が残り得る。このため、SOG膜10の膜厚は、Si3N4膜6、SiO2膜5及びSiC膜4の総厚よりも同等以下であることが望ましい。
【0044】
その後、図7(c)に示すように、3層のハードマスクをマスクとして、有機低誘電率膜3を200〜400nm程度だけエッチングすると同時に、下層樹脂膜9を除去する。このエッチングにより有機低誘電率膜3に形成された孔は、ビアホールの一部となる。
【0045】
次に、下層樹脂膜9の除去により露出されたSi3N4膜6をマスクとして、SiO2膜5のエッチングを行う。この結果、図8(a)に示すように、SiO2膜5にも、配線溝のパターンが形成される。
【0046】
次いで、Si3N4膜6及びSiO2膜5をマスクとして、SiC膜4のエッチングを行う。この結果、図8(b)に示すように、SiC膜4にも、配線溝のパターンが形成されると同時に、Si3N4膜6が除去される。
【0047】
続いて、SiO2膜5及びSiC膜4をマスクとして、層間絶縁膜である有機低誘電率膜3のエッチングを行う。但し、図8(c)に示すように、図3(a)に示す工程と同様に、このエッチングは、エッチングにより形成される溝12aの深さが、形成しようとする配線の厚さ(設計値)に達する前に、例えば溝12aの深さが配線の厚さの半分に達したときに停止する。例えば、厚さが200nmの配線を形成しようとする場合には、このエッチングは、溝12aの深さが100nm程度ととなったときに停止すればよい。また、このエッチングにより、前の工程で有機低誘電率膜3に形成されていた孔が深くなる。この孔は、図8(c)に示すように、SiC膜2まで到達してビアホール13が形成されてもよく、SiC膜2まで到達しなくてもよい。
【0048】
このエッチングが行われた後には、図8(c)に示すように、Si化合物を含む残渣15が溝12aの底部に存在する。
【0049】
次いで、第1の実施形態と同様に、溝12aの底部に、Fを含有するガスのプラズマを照射することにより、残渣15を除去する。
【0050】
その後、図9(a)に示すように、再度、SiO2膜5及びSiC膜4をマスクとして、有機低誘電率膜3のエッチングを行う。このエッチングにより、溝12aの深さを深くして配線溝12を形成する。また、有機低誘電率膜3に形成されていた孔が、残渣15を除去する前のエッチング後にSiC膜2まで到達していない場合には、このエッチングにより孔をSiC膜2まで到達させる。
【0051】
このエッチングが行われた後には、図示しないが、Si化合物を含む残渣が配線溝12の底部に存在する。
【0052】
続いて、図9(b)に示すように、SiO2膜5、SiC膜4及び有機低誘電率膜3をマスクとして、SiC膜2のエッチングを行う。この結果、デュアルダマシンの形状が完成する。また、このエッチングにより、配線溝12の底部に存在していた残渣が除去される。
【0053】
そして、図9(c)に示すように、ビアホール13及び配線溝12内にCu配線14を埋め込む。その後、必要に応じて、更に層間絶縁膜及び配線等の形成を行い、半導体装置を完成させる。
【0054】
このような第2の実施形態によっても、第1の実施形態と同様の効果が得られる。更に、第2の実施形態によれば、多層レジストを用いてパターニングを行っているため、より一層微細な加工が可能となる。
【0055】
図10(a)及び(b)は、第2の実施形態に基づいて実際に製造したときに得られた走査型電顕微鏡(SEM)写真であり、図11(a)及び(b)は、従来の方法に基づいて実際に製造したときに得られたSEM写真である。なお、図10は図2(c)に相当し、図11は図12に相当する。
【0056】
これらの写真を比較すると分かるように、図11(a)及び(b)に示すSEM写真では、針状の残渣が満遍なく存在しているが、図10(a)及び(b)に示すSEM写真では、残渣が全く存在しない。
【0057】
なお、残渣の除去に使用するプラズマは、フッ素を含有するガスのプラズマであればよく、上記のCH2F2には限定されない。例えば、CF4、C4F6、C4F8、C5F8、CHF3又はCH3F等のガスのプラズマを用いることができる。
【0058】
また、フッ素を含有するガスのプラズマの照射は、1回に限定されるものではなく、層間絶縁膜の厚さ及び残渣の発生量に応じて、複数回行ってもよい。
【0059】
更に、第2の実施形態では、層間絶縁膜上に3層のハードマスクを形成しているが、Si3N4膜6を形成せずに、SiO2膜5を配線溝用のマスクとし、SiC膜4をビアホール用のマスクとしてもよい。
【0060】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、配線溝を形成する際に生じる残渣を低減することができる。このため、歩留りの低下及び配線の抵抗率の上昇を防止することができると共に、初期特性及び信頼性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図2】図1に引き続き、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図3】図2に引き続き、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図4】本発明の第1の実施形態を適用して製造した半導体装置の構造を示す断面図である。
【図5】本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図6】図5に引き続き、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図7】図6に引き続き、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図8】図7に引き続き、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図9】図8に引き続き、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図10】本発明の第2の実施形態に基づいて半導体装置を製造したときに得られた走査型電顕微鏡写真である。
【図11】従来の方法に基づいて半導体装置を製造したときに得られた走査型顕微鏡写真である。
【図12】従来の半導体装置の製造方法における途中の状態を示す断面図である。
【符号の説明】
1;Cu配線
2;SiC膜
3;有機低誘電率膜
4;SiC膜
5;SiO2膜
6;Si3N4膜
7;有機BARC
8a、8b;レジストマスク
9;下層樹脂膜
10;SOG膜
11a、11b;レジストマスク
12;配線溝
13;ビアホール
14;Cu配線
15;残渣
Claims (11)
- デュアルダマシン法により配線を形成する半導体装置の製造方法において、
ビアホール用のマスクを用いて、有機誘電体からなる層間絶縁膜を加工することにより、前記層間絶縁膜に前記層間絶縁膜の厚さよりも浅い孔を形成する工程と、
配線溝用のマスクを用いて、前記層間絶縁膜を加工することにより、前記層間絶縁膜に配線溝を形成すると共に、前記孔を下層まで貫通させてビアホールを形成する工程と、
前記配線溝及びビアホール内に配線材料を埋め込む工程と、
を有し、
前記配線溝を形成する工程は、
前記配線溝用のマスクを用いて、前記層間絶縁膜をフッ素を含有するガスを用いることなく、水素、窒素及びアンモニアからなる群から選択された少なくとも1種のガスのプラズマを用いてエッチングすることにより、前記層間絶縁膜に溝を形成する工程と、
前記配線溝用のマスクを用いて、水素、窒素及びアンモニアからなる群から選択されたガスを用いることなく前記溝の底部に向けてフッ素を含有するガスのプラズマを照射して前記溝の底部上のSi化合物を除去する工程と、
前記配線溝用のマスクを用いて、前記層間絶縁膜をフッ素を含有するガスを用いることなく、水素、窒素及びアンモニアからなる群から選択された少なくとも1種のガスのプラズマを用いてエッチングすることにより、前記溝の深さを深くして前記配線溝とする工程と、
を順に行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記フッ素を含有するガスとして、化学式Cx1Fy1又はCHx2Fy2で表されるガスを用いることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記層間絶縁膜を加工する工程は、水素、窒素及びアンモニアからなる群から選択された少なくとも1種のガスのプラズマを用いて前記層間絶縁膜のエッチングを行う工程を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記孔を形成する工程の前に、前記層間絶縁膜上に前記配線溝用のマスク及び前記ビアホール用のマスクを形成する工程を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記配線溝用のマスク及び前記ビアホール用のマスクを形成する工程の前に、前記層間絶縁膜上に第1及び第2の絶縁膜を順次形成する工程を有し、
前記配線溝用のマスク及び前記ビアホール用のマスクを形成する工程は、
前記第2の絶縁膜を前記配線溝の平面形状に加工する工程と、
前記第1の絶縁膜を前記ビアホールの平面形状に加工する工程と、
を有することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記配線溝用のマスク及び前記ビアホール用のマスクを形成する工程は、
前記第2の絶縁膜上に配線溝用のレジストマスクを形成する工程と、
前記配線溝用のレジストマスクを用いて前記第2の絶縁膜をエッチングする工程と、
を有することを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記配線溝用のマスク及び前記ビアホール用のマスクを形成する工程は、
前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜上にビアホール用のレジストマスクを形成する工程と、
前記レジストマスクを用いて前記第1の絶縁膜をエッチングする工程と、
を有することを特徴とする請求項5又は6に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記配線溝用のマスク及び前記ビアホール用のマスクを形成する工程は、前記ビアホール用のレジストマスクとして、下地樹脂膜、SOG膜及びレジストが順に形成された多層レジストからなるマスクを形成することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の絶縁膜として、互いに材質の異なる2つの膜からなる積層膜を形成することを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記孔を形成する工程において、同時に前記ビアホール用のレジストの少なくとも一部を除去することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記孔を形成する工程において、同時に前記ビアホール用の前記下地樹脂膜の少なくとも一部を除去することを特徴とする請求項8又は9に記載の半導体装置の製造方法。
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