JPS6388682A

JPS6388682A - 物体の欠陥を検出する方法および装置

Info

Publication number: JPS6388682A
Application number: JP62174048A
Authority: JP
Inventors: ドナルド・エフ・スペチト; テイム・エス・ウイール; スコツト・エイ・ヤング; ジエームズ・ジエイ・ヘーガー，ジユニア; マシユー・ビイ・ラツカー
Original assignee: KLA Instruments Corp
Current assignee: KLA Corp
Priority date: 1986-07-14
Filing date: 1987-07-14
Publication date: 1988-04-19
Anticipated expiration: 2011-01-31
Also published as: JPH0810463B2; US4805123B1; US4805123A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔利用分野〕本発明は全体として微細な物を検査する方法および装置
に関するものであり、更に詳しくいえば、検査されるホ
トマスク等の部分を同じホトマスクの他の部分、または
既存のデータベースに格納されている類似の部分に対応
するデータと比較することにより、ホトマスク等におけ
る極めて小さい欠陥を自動的に検出および識別できる改
良したホトマスクおよび焦点板（レチクル）を検査する
方法および装置に関するものである。

〔従来技術および問題点〕

繰返えされる幾何学的デザインのアレイを含んでいるホ
トマスクおよびその他の物体中の欠陥は、アレイの１つ
の部分をアレイの別の領域の対応する部分と比較するこ
とにより検出できることがかなり以前から知られている
。たとえば、米国特許第４．２．１７，２０３号および
第４，７４３．００１号明細書に開示されている装置に
おいては、欠陥が々ければ同一である同じホトマスクの
細い条の２つの部分を同時に走査することにより、ホト
マスクの欠陥が光学的に検出される。２つの検出の間の
どのような差も、ホトマスク部分の１つに可能な欠陥が
存在することを示し、その欠陥の位置をとくに定め、識
別できる。それらの装置はホトマスクの欠陥を長い間確
実に検出してきているが、実際には欠陥が存在しなりの
に出力におい′〔欠陥として示す偽の信号を検出装置自
体が発生することが見出されている。それらの「誤った
欠陥」は、検査されているホトマスク部分の形状の僅か
な違ｂ、検出器への映像の集束の違い、照明の違い、装
置の変動、検査される映像と基準映像の位置の狂い、断
続的な記憶ビットおよびその他の類似の問題の二うｉ事
柄から生ずる。

誤った欠陥の問題を解決する努力が米国￥ｊ許第４．４
４８．５３２号明細書に開示されている。その米国特許
明細古に開示されている装置においては、同じホトマス
クの細い条の２つの部分を同時（二走査することにより
同様に光学的に検出される。しかし７、欠陥が記録され
た時に各走査を再び走査し、それの出力を比較し、２回
の走査に共通でない検出された欠陥は廃棄することに：
す「誤った欠陥」は避けられる。更に詳しくいえば、１
回目の走査で欠陥が見つからなければ、走査線を再び走
査する理由はない。］２．かし欠陥が検出されたら、同
じ走査線を逆の向きに再び走査し、２回の走査の結果を
比較し１、一致しない欠陥指示を廃棄する。共通の欠陥
だけが真の欠陥として識別される。

技術が改良されるにつれて、従来の検査装置は隅近くの
欠陥に対する検出効率が比較的低いことが判明している
。そのような低検出効率を向上させるための１つの試み
が、ある種のテンプレート一致技術を使用することであ
った。しかし、映像の隅または隅の近くに生じている欠
陥が見逃されるような異常な量子化を含む場合が常に存
在していた。

検出効率とホトマスク検査装置の検出効率と検出確度を
向上させるための更に別の試みが、１９８３年５弓９日
付の米国特許出願筒４９２．６５８号明細書に開示され
ている。この米国特許出願明細書に開示されている技術
に従って、欠陥をホトマスク内の複製された型パターン
の間の違いとして欠陥を識別するために、面積減算技術
が用いられる。１個のホトマスクの２個の形パターン（
捷たはホトマスクの型パターンと、予め記録されている
データベースから得た対応するデータ）の対応する面積
について、隣接するピクセルの７行、７列の２つの正方
形ウィンドウ・マトリックスが定められる。各ウィンド
ウ・マトリックスの中心の３Ｘ３マトリツクスが比較マ
トリックスとして定められ、各マトリックスはそれの境
界内に３×３の隣接するピクセルの２５の独特のサブセ
ットを有する。

それら２５個のサブセットは、中心の１個に、中心から
１つの方向または両方向に１ピクセルまたは２ピクセル
だけずらされた他の２４個を加えたものでおる。それか
ら、各サブセットの９個のピクセル値の各ピクセル値と
逆圧較マトリックスの対応するピクセル値の間の差の平
方を加え合わせることにより、各ウィンドウマトリック
スの各サブセットに対して誤差値が計算される。欠陥が
なく、２つの表現の間の不整列の大きさがおよそピクセ
ル２個分より小さいとすると、少くとも１つの誤差値は
あるしきい値誤差値より小さい。１つの比較マトリック
スに関連する２５個の誤差値がそのしきい値より小さい
とすると、比較マトリックス内または逆ウィンドウマト
リックス内に欠陥が存在するものと仮定される。そうす
ると、ウィンドウマトリックス内の縁部の異なる量子化
によりひき起された誤差を補償するために、それらの縁
部の数に従ってしきい値誤差の大きさが山勘的に変えら
れる。

この技術の利点の１っは、完全に整列させられた２つの
ピクセル表現を必要とすることなしに、欠陥を識別する
ことによりホトマスクを動的かつ正確に検査することで
ある。更に、誤った欠陥検出を少くして実際の欠陥検出
を向上させるように、欠陥検出回路の感度レベルが適応
させられる。

上記の装置はホトマスクの欠陥を確実に検出でき、誤っ
た欠陥検出を大幅に減少しているが、臨界寸法変動、デ
ータ修正変動、スキュー変動、拡大変動および位置合わ
せ変動を電子的に修正するために検出装置−層改良する
ことが依然として望ましい。また、周囲の形状とは無関
係に欠陥検出感度を高くシ、とくに隅の近くに生ずる欠
陥の検出感度を高くすることが望ましい。

前記米国特許および米国特許出願は本願の出願人に譲渡
されている。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、位置合わせの変動、光学的な異常およ
び信号処理によりひき起される誤差に対して一層強い改
良した欠陥検出方法および装置を得ることである。

本発明の別の目的は、ホトマスク、焦点板、半導体ウェ
ハ、印刷回路板等の欠陥を検出するのにとくに適する上
記のような方法および装置を得ることである。

本発明の別の目的は、臨界寸法変動を補償する手段が設
けられた上記のような方法および装置を得ることである
。

本発明の別の目的は、スキュー変動と倍率変動を補償す
る手段が設けられた上記のようか方法および装置を得る
ことである。

本発明の別の目的は、面積減算技術を高い確度で、かつ
過大な偽の欠陥を検出することなしに、利用できるよう
に、臨界寸法変動、スキュー変動および倍率変動を修正
し、正確に整列させることにより、周囲の形状とは無関
係に欠陥に対する感度を高くした上記のＸうか方法およ
び装置を得ることである。

本発明の別の目的は、スキュー変動、倍率変動および臨
界寸法変動を電子的に修正する手段を有し、欠陥検出を
新規なやり方で行う上記のような改良した方法および装
置を得ることである。

本発明の別の目的は、左側および右側からのデータを副
ピクセルの大きさの増分で移動できるように、両側のデ
ジタル化されたデータの再標本化が行われる上記のよう
な方法および装置を得ることである。

本発明の別の目的は、整列副装置が、多くの灰色調にデ
ジタル化された２つの映像の間の平方された和をフルデ
ータ速度で高速で計算シ７、その情報を用いて、検査さ
れる映像と基準映像を電子的に整列さぜる上記のような
方法および装置を得ることである。

本発明の別の目的は、１つの光学的対象物からのデータ
のｎＸｎの副アレイの各ピクセルと、別の光学的対象物
からのデータのｎｘｎの副アレイの各ピクセルとの間、
またはデー　タベ〜スの対応するデータとの間の平方さ
れた差の和の測定を基にして動作する検出器を含む上記
のような方法および装置を得ることである。

本発明の更に別の目的は、検出器“アルゴリズムおよび
整列アルゴリズムの機械化を経済的に可能にするために
ゲートアレイを用いる上記のような方法および装置を得
ることである。

〔発明の概要〕

要約すれば、本発明の１つの面は、物体の選択された表
面領域を検査し、それの各ピクセルの映像内容を表す信
号値を持つ第１０）データ流を発生する過程と、第２の
データ流の各ピクセルの映像内容を表す信号値を持つ前
記第２のデータ流を発生する過程と、第１０）データ流
と第２のデータ流の対応する部分を記憶装置に格納する
過程と、前記第１０）データ流の格納されている部分と
前記第２のデータ流の格納されている部分の間の任意の
不一致を検出する過程と、データの格納されている第１
０）部分と第２の部分を整数個のピクセルの移動と副ピ
クセル補間との少くとも１つを用いて整列させ、それら
の間の検出された不一致を修正する過程と、データの格
納されて、合わせられた第１０）部分と第２の部分の対
応する列部分を比較して、それらの間の差を検出し、差
を検出した時に、検査されている物体上の特定のピクセ
ル場所における欠陥の存在を指示する過程と、を備える
ホトマスク、焦点板、ウェハー、印刷回路板のような物
体中の欠陥を検出する方法で実施される。

別の実施例においては本発明はこの方法を実施する装置
を含む。

本発明の重要な利点は、開示された再標本化技術を用い
て、互いに位相が異なる２つのデータ流における対応す
る形状に適合する標本化グリッドに関連する問題の多く
が避けられることである。

本発明の別の利点は、整列装置が、従来可能であった線
幅よう細い線幅に対して正確な整列を維持できることで
ある。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

まず、本発明のホトマスク検査装置の簡略化したブロッ
ク図が示されている第１図を参照する。

図示のように、走査機構１２の一部を構成している可動
キャリッジ（図示せず）の上にホトマスク１０が置かれ
る。装置のプロセッサの制御の下に、走査機構１２は、
ホトマスク１０に金遣れている各型の同一の部分に光軸
が交差するように互いに離れて位置させられている一対
の光検出ヘッド１４゜１６に対して、ホトマスク１０を
所定のやり方で郡動させる。前記米国特許明細書に詳し
く述べられているように、ホトマスク１０は光検出ヘッ
ド１４．１６に対して所定のやり方で移動させられて、
ホトマスタ１０の表面を横切る所定の走査パターンを描
く、、走査が行われるとホトマスク１０からの光が光検
出ヘッド１４．１６を通って左検出器１８と右検出器２
０へ送られる。それらの検出器は、好適な実施例におい
ては、ホトダイオードのＩＸｎ個のアレイを含む。それ
らのホトダイオ−ドは電子的に走査されてホトマスク１
０の各ピクセルに対応するデータを発生する。

ここで、走査方向と、検出されたピクセルの以前の７行
とを示すために、ＩＸｎのアレイが重畳されているホト
マスクの一部を示す第２図も参照する。

検出器１８．２０の出力は光物体ヘッド増幅器２２．２
４へそれぞれ与えられ、それらの増幅器により増幅され
、調整されてからデジタイザ２Ｇ。

２８へ与えられる。それらのデジタイザは多レベル（こ
こで説明している実施例においては１６レベル）のピク
セルデータをデータマルチプレクサへ与える。あるいは
、予め格納されているピクセルデータをデータベース３
２からデータマルチプレクサ３０−＼与えて、そのピク
セルデータを走査入力の１つと比較させることもできる
。ここで説明している実施例においては、４つの隣接す
るピクセル（ピクセル当り４ビツト）からの情報を送る
ことができるように、データマルチプレクサ３０への入
力と、データマルチプレクサからの出力は各データ源か
ら並列１６ビツトの形式で行われる。

データマルチプレクサ３０はデジタイザ２Ｇと２８から
のデータ、またはデジタイザの一方（通常は左検出器流
）およびデータベース３２からのデータをスキューおよ
び拡大（８４Ｍ）修正器３４へ入力する。そのスキュー
および拡大修正器３４は、左検出器１４と右検出器１６
の間、またはデータベース３２と選択された光物体の間
、のスキュー（映像回転）の差および拡大（光学的歪み
）の差を修正する。これについては後で詳しく説明する
。拡大修正器３４は以前の４回の走査データ、および修
正すべき物体についての現在の走査を格納する走査記憶
装置で構成される。たとえば、ピクセルデータは以前に
走査された行４〜７（第２図）に対応する。第２図にお
いては行８は現在の行であると見なしている。拡大修正
器３４は２つのデータ流出力の間のスキュー差、拡大差
および歪み差をピクセルの１６分の１以下に修正するコ
ｊト幅であることに気づくであろう。この実施例におい
ては、装置のこの点における切捨て誤差を避けＳために
、左側においては８ビツトのデータが用いられる。８ビ
ツトを臨界寸法修正器へ与えることに要する費用の増加
は少いが、臨界寸法修正器からの付加ビットを走査遅延
器およびホトマスク記憶装置を通じて送る費用は高くつ
く。したがって、データは臨界寸？ｊ：、悠正器３６の
出力の４ビツト／ピクセルに切捨てられる。

拡大修正器３４からのデータは臨界寸法お：びＤＣオフ
セット修正器３６へ入力される。この臨界寸法およびＤ
Ｃオフセット修正器３６は左物体から右物体へ、または
物体からデータベースへの臨界寸法の変動を、デジタル
化しきい値を上または下へ異って動かすことにより補償
する。臨界寸法変動はプロセスの変動によｌ−き起され
る線幅の変動が典型的なものである。光点波が９関数を
表すエアリ−（Ａｉｒｙ）　　関数とともに基本的な形
状がコンボルブ（ｅｏｎｖｏｌｖｅ）　　される、とい
う避けることができない事実を臨界寸法（ＣＤ）および
ＤＣオフセット修正器３６は使用する。デジタル化しき
い値を上下に動かすことによ）、ホトマスク１０上のト
レースを実効的に広くしたり、狭くしたシできる。これ
と同じ効果を、デジタイザからの灰色調のデジタル再マ
ツピングにより得ることができる。

後で更に説明するように、ＣＤ／ＤＣ修正器３６は再マ
ツピングＦＲＯＭプラス検出回路で構成される。その検
出回路は両側の白と黒の差を測定し、マツピング関数を
選択して適切な補償を行う。差の符号が変化の向きを決
定する。変化の大きさは、差の面積を含まれている縁部
ピクセルの数で除すことＫよ）決定される。臨界寸法修
正器３６はデジタイザ２６．２８からの灰色ＤＣオフセ
ットの１つの陰影も修正する。灰色値のヒストグラムの
モードが、デジタイザの範囲の終りの値が「０」および
ｒＦＪではなくて「１」またはｒＥＪであることを示す
と、１が０にマツプされ、ＥがＦにマツプされる。

臨界寸法修正器３６の出力は整列器３８へ入力される。

この整列器３８は、左映像と右映像の間の位置合わせ誤
差を動的に決定する機能を行う。

そｉｌは映像データバッファ、整列誤差検出器および整
列プロセッサで構成される。整列誤差検出器は、両方の
寸法における０と、＋／−１、２）３、４。

５．６．７のピクセルの相対的な寸法に対して、高さく
Ｙ）が４８０ピクセルで、幅（Ｘ）が５ピクセルである
ウィンドウにわたる平方された差の和（ＳＳＯ。

すなわちＳｕｍ　ｏｆ　５ｑｕａｒｅｄ　Ｄｉｆｆｓｒ
ｓｒｘｅｅ　）を見つける。この結果としてＳＳＤ測定
の１５Ｘ１５　のマツプとなる。

整列器３８は、一対の連続して標本化されたＳＳＤマツ
プを類似のマツプにまず組合わせる。それらのマツプは
データの１０回の走査￥ｒ基に１ノ〔おり、データの５
回の走査ごと４（：　：ｌλ暢再又れろ３．１０個の走
査マツプから整列器３８はマツプ中のｉＣ−小値を見出
！７、それからその最小値と、その最小値の近くの値の
間で補間して、最適な移１助を÷７′−〇、２５ピクセ
ルの確度、および＋／−０，０７ピクセルの精度で計算
する。

補間アルゴリズムは、　ＳＳＤの表向が最小値の領斌に
おいて部分的に放物線形であるという前回を基にして（
八る。この場合には５つのケースが取扱われる。−殻に
、相関ウィンドウ内の形状が２つ以上の向きの縁部を含
むものとすると、表面の平方の和は、主軸が任意の向き
である局部的に三次元放物面であると仮定される。相関
ウィンドウ内の形状がただ１つの向きのトレースより成
るものとすると、正方形表面の和は横断面が放物線であ
る隆起であると仮定される。このケースは両方隆起と、
水子隆起と、任意の向きの隆起とに更に分けられる。残
りのケースは、相関ウィンドウ内に形状がないケースで
あり、そのケースにおいてはＳＳＯ表面は平らか、はと
んど平らである。相関アルゴリズムは、それら３つのケ
ースのうちどのケースが存在するかを判定し、下記のよ
うにしてそれらのケースを取扱う。

１、　マツプが平らか、はとんど平らであると、Ｘおよ
びＹの不整列に対する最後の値出力に対して変更は加え
ない。

２）相関ウィンドウ内の形状が２つ以上の向きの縁部を
含んでいるものとすると、整列プロセッサはＳＳＤマツ
プの最小値を見つけ、その最小値を中心とするＳＳＤ値
の５ｘ５副アレイに対するそれ以上の計算を制限する。

第１および第２の差と標準的な数学技術を使用すること
により、それは放物面の底の場所を計算する。その底の
座標は整列器のＸ移動出力およびＸ移動出力である。

３４３つの隆起のケースに対しては、放物面ではなくて
放物線の底を見つけることに探索が制限される。ＳＳＤ
マツプ中の隆起は、全てほぼ同じである点の線である（
最小）。１つの最小点から別の最小点へランダムノイズ
を基【して飛越すことを避けるために、移動出力の変化
が相関ウィンドウ内の形状に対して垂直な方向であるよ
うに、それらのケースにおける結果は更に強制される。

補間計算の結果はＸとＹの整数ピクセルおよび端数ピク
セル（検出器の要求に応じて］／１５または１／１６の
ピクセルまで）の位置の狂いでρ）る。

このデータをマスク記憶装置および検出器へ送る前に、
整列プロセッサ内のファームウェアを用いてデータ流は
低域沖波される。約２００　Ｔ（ｙ、という装置の周波
数応答により、整列器は機械的震動に追従し、その機械
的震動を修正する。帯域幅の低い値が相関ウィンドウの
寸法を動子的に大きくする。そのために、機械的震動数
を低くできる場合には整列確度が高くなる。

走査遅延器３γ、３９が映像データを３〜３２の走査だ
け遅らせて、整列器内での計算の遅れを補償する。遅延
の長さはプログラム可能でちる。

プログラム可能な走査遅延器３７は左ピクセルデータを
マスク記憶装置４０へ与え、プログラム可能な走査遅延
器３９は右ピクセルデータをマスク記憶装置４２へ与え
る。

欠陥検出器４４は、型−データベースモード動作で使用
する検出器と、型−型モード動作で使用する検出器とで
構成される。しかし、いずれの検出器もいずれかの動作
モードで使用できる。型−データベース検出器部分は５
×５ピクセルウインドウで最小自乗誤差基＄を用い、両
方の寸法に一カ。

−１／３．Ｏ，＋１／３．＋２／３　　ピクセルだけ歩
進させて２５種類の可能な移動のうちの遵良の移動を見
つける。欠陥が存在するか否かを判定するために、最小
自乗誤差にしきい値が加えられる。整列器の要求により
マスク記憶装置は整数ピクセルだけ移動させるが、０〜
＋１４／１５ピクセルの移動の残りが検出器において１
／１５ピクセルのステップで行われる。整列プロセッサ
は、副ピクセルの残りが常に正であるように、マスク記
憶装置を移動させる。

欠陥検出器４４の型−型検出器部は、一方の側の２×２
ピクセルウインドウを他方の側の２×２ピクセルウイン
ドウから単に差し引くことを基にしている。一方の側を
整列器から部分ピクセルだけ移動させた後で、４個のピ
クセルを互いに加え合わせ、その和を他の側からの４個
のピクセルの和から引いて、差の絶対値をしきい値と比
較する。検出された欠陥データは連結器４６へ出力され
る。

上記の部品に加えて、この装置は種々の装置の動作を制
御する８０８６制御プロセツサ４８を含む。

スキューおよび拡大修正器次に、第３図を参照してスキューおよび拡大修正器３４
について説明する。図示のように、このスキューおよび
拡大修正器は５つの部分に分割できる。それらの部分は
走査記憶回路５０と、Ｘ補間回路５２と、Ｘ補間回路５
４と、制御回路５Ｇとである。それらの回路の全ては左
側データ路を形成する。スキューおよび拡大修正器３４
はパイプライン調節回路５８も含む。このパイプライン
調節回路は右側データ路を形成する。図示のように、４
ピクセルに対応する１６レベルピクセルデータが入力端
子Ｃｏ　、　ＣＩ　、　Ｃ２）Ｃ３へ並列に入力される
。データの１６ビツトがレジスタまたはフリップ７コツ
プ６０を通ってクロックされて第１０）ＲＡＭ６２へ入
力される。その第１０）ＲＡＭはデータの１走査を格納
する。次のクロックにおいてデータの第２の走査がＲＡ
Ｍ６２　に入力され、第１０）走査データがフリップ７
０ツグ６４を介して第２のＲＡＭ６６へ入力される。

次の２個のクロック中に第１０）走査データセットがフ
リップフロップγ０を介してＲＡＭ６８へ入力され、そ
れから７リツプフロツプＴ４を介してＲＡＭ７２へ入力
される。したがって、この点で最後の４個の走査データ
がＲＡＭ６２　、６６　、６８　、７０　に格納され、
現在の走査が７リツプ７０ツブ６０の入力端子に現われ
ることがわかるであろう。し、たがって、５つの７リツ
プフロツプ６０，６４．γ０゜７４．７６が５つの１６
ビツト幅データ流を並列に形成する。それらのデータ流
は、４対１マルチプレクサ（４：Ｉ　ＭＵＸ）　７　Ｂ
によりピクセル並列フォーマットからピクセル直列フォ
ーマットに変換されて５個の４ビツトデータ流ＸＯ〜Ｘ
４　を形成する。

データ流ＸＯ〜Ｘ３は第１０）４対１マルチグレクサ（
４：Ｉ　ＭＵＸ）　８０へ入力され、データ流Ｘ１〜Ｘ
４は第２の４対１マルチグレクサ８２へ入力される。

それらのマルチプレクサ８０．８２は、どのマルチプレ
クサの決定が正しい向きであるかに応じて、隣り合うビ
ット流対を選択し、それらのビット流をレジスタ（Ｆ／
Ｆ’　）　８３を介してＸ補間ＰＲＯＭ８４へ入力する
。

修正を求められないと、データ流Ｘ２はマルチプレクサ
８０．８２を通るだけである。しかし、Ｘ補間ＰＲＯＭ
８４へ入力するために隣シ合う任意のピクセル流対を選
択できる。それから、Ｘ補間されたデータが一連のレジ
スタ８６を通じて与えられる。それらのレジスタはデー
タ流ＹＯ，Ｙｌ、Ｙ２を発生する。それから、七れら３
つのデータ流のうちの２つがＹ補間のために２対１マル
チプレクサ（２：Ｉ　ＭＵＸ）　８８によυ選択されて
、多重化修正を行う。そうすると、Ｙ補間ＦＲＯＭ９０
が２つの入力から１つのピクセルデータを形成する。そ
のデータは８ビツトで切捨てられる。

第４図に左側データの取扱いの図形例が示されている。

この例においては、求められたＸ移動（シフト）がＡか
らＢ−４でピクセルの＋１／４であること、およびすぐ
下側の次のピクセル対をピクセルの鈴だけＸ方向に移動
させることを仮定している。Ｘ補間はＡ−Ｂ対に対して
初めに行ってピクセルＥを発生し、次にＣ−Ｄ対に対し
て行ってピクセルＦを発生する。したがって、ピクセル
Ｅの値はピクセルＡの値の３／４にピクセルＢの値の１
／４を加えたものに等しいことがわかるであろう。同様
に、ピクセルＦの値はピクセルＣの値の７、／８にピク
セルＤの値のＶ８を加えたものに等しい。これはＸ方向
の直線補間である。それから、図示のように、ピクセル
の１／１６だけＹ方向下向きに移動することを求められ
る。その結果として、ピクセルＥとＦの直線的な組合わ
せの結果としてピクセルＧが発生される。したがって、
ピクセルＧの値はピクセルＥの値の１５／１６にピクセ
ルＦの値の１／１６を加えたものに等しい。第４図の下
の方にＸ補間とＸ補間が３個の式により数学的に表現さ
れている。

再び第３図を参照して、スキューおよび拡大修正器３４
の制御回路が一対のＥＥＰＩＭ９２　、９４　　を含ん
でいることが示されている。それらのＥＥＰＲＤＭ９２
．９４はＸ補間動作とＸ補間動作をそれぞれ制御する。

また、この制御回路はピクセルアドレス発生器ＦＲＯＭ
９６と、クロックバッファ９８と、バッファ１００とを
含む。ＥＥＰＲＯＭ９２　、９４　は、較正中に装置制
御器４８（第１図）から低速補間データ負荷を受ける。

実際の走査動作中に用いられる９ビツトは、ピクセルＦ
ＲＯＭアドレス発生器９６（カウンタ）により発生され
た８ビツトに、制御プロセッサ４８から与えられて、現
在の段階の向きを示す１ビツトを加えたものである。そ
のカウンタはどの修正を必要とするかをＦＲＯＭに指示
する。検出器１８．２０（第１図）に含まれているダイ
オードアレイが上から下まで走査された時に、補間情報
の６ビツトがＥＥＰＲＯＭ９２　　Ｋよｐｘ補間回路５
２へ与えられ、情報の５ビツトがＸ補間回路５４へ即時
に与えられる。ＥＥＰＲＯＭ９２　、９４　へダウンロ
ードされた修正が適切な較正手続きを基にされると、補
間回路はダイオードアレイの回転と、拡大の差と、光学
装置の歪みとを修正できる。

左側データが上記のようにして処理されている間は、右
側データは、Ｘ補間回路５４からの左側データの出力に
対応する適切な時刻にパイプライン調節回路５８から出
るように、パイプライン調節回路５８における遅延の種
々の段階を単に通るだけである。

スキューおよび拡大修正器についての上記説明は１つの
特定の実施例についてのものであるが、いくつかの改良
が可能であり、実際に好ましい。

第１に、Ｘ補間ＰＲＯＭ８４とＸ補間ＰＲＯＭ９０は、
入力ピクセルの直線的々組合わせに限定されない探索表
とすることができる。ホトマスクおよび焦点板を検査す
るための値の１つの直線的々やり方はＳカーブ補間であ
る。このＳカーブ補間は、ホトマスクの不透明な部分か
ら透明な部分への遷移がＳ形カーブの特性に従うという
、先験的々知識を用いる。２個の入力ピクセルが正確に
１ピクセルだけ離れている情報から、その情報に合致す
るように基本のＳカーブを伸長または収縮できる。補・
間されたデータは、一方の入力ピクセルから他方の入力
ピクセルへの希望の部分ピクセルである横座標値に対応
する縦座標値として見出すことができる。

第２に、第３図はただ２個のピクセル値を基にした副ピ
クセル補間を示す。各副ピクセル補間に対する多くのピ
クセル標本を基にしたより一般的な補間技術は補間を著
るしく減少できるが、格納せねばならない走査の数を含
めて、ハードウェアに対する要求が増加する。高次多項
式フィツトすなわち廁ｉ補間のような補間手法をＦＲＯ
Ｍ　（またはＲＡＭ）と加算器の組合わせとして実現で
きる。

次に第５図を参照する。臨界寸法（ＣＤ／ＤＣ）修正器
３６の主な部品はデータ修正器１０２と、ホストインタ
ーフェイス１０４と、測定プロセッサ１０６と、ＣＤ／
ＤＣ修正再マツピング・ハードウェア１０８とを含んで
いるのが示されている。先に述べたように、ＣＤ／ＤＣ
修正器３６の目的は、両方のｆ−タ淀において同じ幅で
ホトマスク上にトレースするζ、と、ずス・わち、プロ
セスに依存する臨界寸法の変化を６１１：、、　するこ
とである。そのような臨界寸法の変化の性フイの概略が
第５藤図に示されている。集積回路製造の観点からホト
マスク上の線幅の僅ｄ、な変動は許容できるが、そのよ
うな変動は欠陥検出装置に大きな差を生じ嬬せることか
ある。３したがって、偽の欠陥の発生を避けるように、
デー　、々丁〉（欠陥検出器４４へ入力される前に、そ
の変化を補償する措置を講じなければならない。

一般的にいえば、臨界寸法修正器３６は、１つの物体の
下側の広いウィンドウの上のトレース線の全面積を積分
ｊ〜、それから他の物体に対して同じことを行うように
動作する。それから、ウィン（・′つが十分に大きい占
すると、任意の欠陥の面積が広いＪ：いう基本的な仮定
を行う。このようにして、本発明の装置は、トレースの
面積が両方のウィンドウに対して等しいように、トレー
スの面積を１周節する。

右４１１１０）物体の下伺のトレースと左側の物体の下
側のトレースは、エアリ−関数で両方ともコンボルブさ
れる。したがって、１５レベルのデータを０レベルのデ
ータに連結する垂直側を有する代υに、第５ｂ図に示す
ように、透明な領域から不透明な領域へ徐々に移行する
ｒ　Ｓ−，１カーブを両側が有する。プロセスの変動と
、おそらくは光学的変化が一方の側から他方の間で起き
るから、トレ−ス線の幅が同じでないことがある。線の
幅を同じにするために、一方の側が他方の側と比較して
広すぎるという判定が行われ、広い方の側の線を狭くす
ると同時に、他方の側を広くするように装置は機能する
。このことは、一方の側のトレースの幅を広くするため
、または狭くするために好適であると信ぜられる。

更に詳しくいえば、ＣＤ誤差の測定中にデータ修正器１
０２のバッファ１１０ｉ１２が、マスク記憶装置４０．
４２からそれぞれ左データと右データを受ける。このデ
ータの差が減算器１１４により屯田され、累算器１１６
が全体の走査のためにその差を累算する。それからその
累算された差を測定プロ゛セッサ１０６が使用するため
に、その累算された差ヲハツ７ア１１８がバッファする
。

それと同時に、厚初のピクセルと最後のピクセルがＥピ
憶装置１２０に格納され、整列器３８からバッファ１２
４を介（〜で推奨されるピクセル補間を行うために、バ
ッファ１２２を介して利用できるようにさｉｌ−Ａ。寸
だ、との間に、左側と右側の各側に対し゛〔垂直縁部と
水平縁部の少くとも一方にビクセ）ｐ：つ’ｉあるかど
うかを縁部検出器１２６、１２８が判定する、それら事
象はカウンタ１３０によりカウントさね、副ピクセル輔
間のために、記１意装置１３４によりバッファ１３６を
介して与えられる最初と最後のビク七ル壕部佇ｔ＠とと
もに、バッファ１３２を介して１）］定プロ七ツサ１０
Ｇが利用できるようにされる。

Ｄ（”修正を行っている間は、データコレクタ１０２ば
、スキ、：＋−，−および私大（Ｓ、φＭすなわち、Ｓ
ｋｅｗ　ａｌｌｄ　Ｍａｇｎｉｆｌｃａｔｉｏｎ　）　
　修正器３４からバッファ１３Ｂと１４０全介し２て与
えられたデータ入力を用いて、左「）または右側の０．
１．Ｅ、Ｆ　　ヶＤＣレベル検出器１４２において同時
に検出する。それらの検出はカウンタ１３０によりカウ
ントされ、バッファ１３２を介して測定プロセッサ１０
６カ；利用できるようにされる。

好適な実施例においては、測定プロセッサ１０６は１チ
ツプ８０８６マイクロプロセツサ１４４で構成される。

このマイクロプロセッサは割込み制御器１４６と、プロ
グラムＥＥＰＲＯＭ１４８　　と、ＲＡＭ１５０と、ア
ドレスデコーダ１５２とを有する。マイクロプロセッサ
１４４は、それのプログラムをＥＥＰＲＯＭ１４８内で
走らせながら、装置のＣＰＵからバス１５４を介して適
切な指令と情報を受け、各走査の後でデータコレクタ１
０２からデータを集め、それをＲＡＭ１５０に格納する
。十分な数の走査が集められた後で、このデータは処理
され、修正係数がバス１５４を介して再マツプハードウ
ェア１０８へ出力さを測定プロセッサからバッファ１５
６に受け、それらを再マツピングＦＲＯＭ１５１３　、
１６０　　のアドレスヘ鳥えるとともに、スキューおよ
び拡大修正器３４から線１６２，１６４に受けた入力デ
ータもそれらのアドレスへ与える。それから、再マツプ
された出力ピクセルはフォーマット変更器１６６．１６
８においてフォーマットを変更され、整列器３８と走査
遅延器３γ、３９へ入力される。

装置バスインターフェイス１０４を介して装置ＣＰＵす
なわち制御プロセッサ４８（第１図）は、指令レジスタ
１７０と、状態レジスタ１７２と、データレジスタ１７
４　、１７６とを用いて測定プロセツーサ１０６と通信
できる。装置ＣＰＵけＣＤ修正器を初期設定し、実行時
間パラメータを与え、このインターフェイスを介してサ
ブシステムの状態を監視する。

整列器図示のように、臨界寸法修正器３６の出力が整列器３８
へ入力される。この整列器の周辺部品が第６図に示され
ている。・データは初めに左データバッファ１８０と右
データバッファ１８２へ入る。１度に１本の垂直走査線
である。各データバッファの出力は８本の垂直走査線で
あつ゛ｒ１整列誤差検出器１８４に並列に入力される。

データバッファの重要な特徴は、一方の側を他方の側に
対していずれの向きにも７回の走査まで移動できるよう
（・こ、十分な数の走査をデルタバッフ７゛が含むとと
である。移動は整列プロセッサ１８６の部分ＡＰＩの制
御の下に行われる。

整列プロセッサ１８６は、１つの映像を他の映像に対し
て整数個のピクセル量だけ移動さＩ±、各可能な移動に
対して差の映像の平方の和を計算するととにより、左の
映像と右の映像の間の最良の整列を見出す。このように
して、ＸとＹの整数移動（ＸとＹの方向に一７ピクセル
から４７ビクー（仁ル）の２２５種類の組合わせに対し
て平方された差の和マツプ（ＳＳＤ）が計算される。

整列プロセッサ１８６は２つの部分ＡＰＩとＡＰ２に分
けられる。その理由は、このプ「コセツサは、高速のビ
ットスライス・アーキテクチャを用いたとしても、フル
データ速度で全補間タスクを行うためには速度が十分で
はないという簡単なものである。部分ＡＰＩとＡＰ２は
ほぼ同一の汎用ビットスライス・コンピュータである。

部分ＡＰＩの目的は１５Ｘ１５　ＳＳＤマツプを組立て
ること、マツプを平均すること、平均されたマツプのう
ち最小のものを見つけること、最後にその最小お工びそ
の最小を中心とする５Ｘ５副アレイを部分ＡＰ２へ転送
することである。部分ＡＰ２はＡＰＩおよび装置の制御
器と通信し、副ピクセル補間を行い、整数個ピクセル移
動情報と副ピクセル情報を他のサブシステムへ出力する
ことである。

整列誤差検出器１８４は、第１１図を参照して後で説明
する回路を含む半特注ゲートアレイチップを４５個含む
。それらの回路は平方された差の和を高速で計算し、各
チップは５ピクセル幅×フルセンサ高さの帯状のＳＳＤ
を１回の走査時間内（て計算できる。第６＆図を参照し
て、整列誤差検出器１８４は、左側の５Ｘ４８０　ピク
セルの帯状データを右側の１９Ｘ４８０ピクセルの帯状
データと比較する。

１個のＳＳＤチップは左側の全帯状データを右側の帯状
データの中央の５ピクセルと比較する。別のＳＳＤチッ
プが同じ左側の帯状データを、ピクセル整数個分だけ初
めの部分から移動させられた右側の帯状データの５ピク
セル幅部分と比較する。原則的には、１５Ｘ１５　ＳＳ
Ｄマツプを１回の走査時間中に計算するために２２５個
のＳＳＤチップを使用できる。５回の走査時間では新し
いデータを得ることはできないから、２２５個の値の全
てを同時に計算する必要はない。したがって、たつ−！
ｒ４５個のＳＳＤチップが用いられる。５回の走査とデ
ータの適切な移動を行った後では、２２５個の値の全て
が部分ＡＰＸにより計算され、読取られている。

平方された差の和の最小値を求めることは、縁部効果の
増扱いの違いを除き、相互相関関数の最大値を求めるこ
とと大要は同じである。

最小値を含んでいるＳＳＤマツプの５ｘ５副マトリツク
スを基にして、部分ＡＰ２は次の３・りのケー・スのう
ちどのケースを適用するかを決定する１、ケースＡ２２
個以上の線の角度が表さ、ｈ−ている形状が相関ウィン
ドウに存在する。この場倫（／７′は、８８０表面が局
部的に放物面であると仮定している。

最小点と、それの周囲の８個の点とにより表されている
データにパラボラをあてはめ、第１と第２の部分微分を
用いてそのパラボラの最小値の場所を計算することによ
り変位が求められる。

ケースＢ：ただ１つの線の角度が表されている形状が相
関ウィンドウに存在する。この場合には、直線を形成す
る最小値の軌跡を８８０表面が有すると仮定している。

絶対最小点（これはランダムノイズにより決定できる）
へ飛越すのではなくて、アルゴリズムの選択は以前に決
定された点から線に垂直な方向に動くことである（最短
ユークリッド距ｆｉ）。

ケースＣ：相関ウィンドウには形状はない。この場合に
は、ウィンドウの両側に新しい形状が現われる昔では変
更はされない。

フル二次元相互相関を採用している整列装置を用いるこ
との利点は、一一一任意の種類の形状、たとえば円、ドツグボーン（
ｄｏｇｂｏｎｓ＋ｓ）　、直線部分のある１または直線
部分のない、任意のカーブを整列させること、一一黒から白への完全な変換なしに良く機能すること、である。このことは細い線幅に対して重要で芝）シ、低
いコントラスト比（酸化鉄のような）でマスクする。整
列誤差検出器の好適な実施例は平方された差の和技術を
用いるが、他の差関数も使用できることがわかるであろ
う。

ＡＰ２の概観スキュー（マたはオフセット）のどの値をマスク記憶装
置４０．４２と欠陥検出器４４へ送るべきかの決定を下
すために、部分ＡＰ２は差の平方の和（ＳＳＤ）マツプ
に必要なデータを部分ＡＰＩから受ｆｆる。ＳＳＤマツ
プは、種々の整数ピクセルオフセットにおける左側と右
側の映像の平方された差の和を与える。その和は１０回
の走査だけの幅、およびアクテイフ゛・センサの高さの
ウィンドウの上である。好適な実施例においては、各側
における検出は、１ピクセル幅×４８０ビクセール高さ
のセンサアレイにより行われる。対応する各ピクセル対
において差が計算され、平方され、累算器内に加えられ
る。平方の差が整列誤差検出器１８４内の「マクロセル
」において計算され、部分ＡＰＩによ勺読取られる。

部分ＡＰ２がスキュー値をマスク記憶装置と欠陥検出器
へ送る前に、部分ＡＰ２が実行する３つの基本的な動作
がある。ピクセルの一部だけの「最良の」オフセットを
見出すために、部分ＡＰ２は穏々の整数ピクセル移動に
おいてＳＳＤ値に対して補間アルゴリズムを用いる。「
最良の」オフセットというのは、ある映像に対する別の
映像の移動でろって、考察しているウィンドウ上の最小
平方和をテ１成する映像移動を食味する。第２に、部分
ＡＰ２は標本の信頼度を評価し、その標本におけるそれ
の信頼度を定Ｊ化するために重みづけ係数を発生する。

最後に、部分ＡＰ２は、時間の関数として徐々【て変化
する機械的な不整列を修正するだけであるから、一連の
スキュー値を低域ろ波する。

この実施例における欠陥検出器４４は正の部分オフセッ
トだけを取扱うことができ、マスク記憶装置４０．４２
は整数個のピクセル分だけ移動させることができる。し
たがって、計算されたスキューは正の端数値と整数値に
書式（フォーマット）化される。前者は欠陥検出器へ送
られ、後者はマスク記憶装置へ送られる。

部分ＡＰ２の別の機能は、整列器３８をバスインターフ
ェイスを介して装置ＣＰＵ４８　にインターフェイスさ
せるために、外部とインターフェイスすることである。

ＡＰ２補間プレートの走査中に、部分ＡＰ２は、整列誤差検出器１
８４から部分ＡＰＩが読取る１５Ｘ１５のアレイ中の最
小値を中心とするＳＳＯマツプの５×５の部分を部分Ａ
ＰＩから受ける。この情報とともに、５Ｘ５副アレイの
中心座標が来る。

整数オフセット点におけるＳＳＤマツプの知識を基にし
て、部分ＡＰ２は連続ＳＳＤ関数の表面のモデルをスキ
ュー変数（Ｘとｙ）の第二種関数として作成する。この
関数が最小となる位置は、最小自乗基準により２つの映
像を整列させるスキューを与える。

副ビクセＡ・補間の一忙的な理論副ピクセル補間は、Ｘとｙの二次方程式である放物面に
より、ＳＳＤマツプをそれの最小に近くモデル化するこ
とにより行われる。その方程式は５ＳＤ（２，２）であ
る最小点を中心とする二次元テーラ−級数である。ＳＳ
Ｄマツプおよび微分の評価は次の通りである。

ＳＳＤマツプは５×５である。これは下に（ｘ、ｙ）＝
（２，２）に中心を置いている様子が示されている。

（コードにおいては、このマツプは、列と行に対して、
５ＳＤＹＸとして与えられる。）ＳＳＤ（０，０）　５
ＳＤ（０，１）　５ＳＤ（０，２）　５ＳＤ（０，３）
　５ＳＤ（０，４）ＳＳＤ（１，０）　５ＳＤ（１，１
）　ＳＳＤ　（１，２）　５ＳＤ（１，３）　５ＳＤ（
１，４）ＳＳＤ（２，０）　５ＳＤ（２，１）　ＳＳＤ
　（２，２）　５ＳＤ（２，３）　５Ｓｒｌ（２，４）
ＳＳＤ（３，０）　５ＳＤ（３Ｊ）　ＳＳＤ　（３，２
）　５ＳＤ（３，３）　５ＳＩ）（３，４）ＳＳＤ（４
，０）　５ＳＤ（４，１）　ＳＳＤ　（４，２）　５Ｓ
Ｄ（４，３）　５ＳＤ（４，４）上のマツプが与えられ
ると、微分の評価は次の通りである。

θ２／θｘ−（ＳＳＤ（２，３）−８ＳＤ（２，１））
／２θｚ／ａｙ−（５ＳＤ（３、２）−８ＳＤ（１、２
）　）／２θ″２／θｘ”−８ＳＤ（２）３）＋５ＳＤ
（２）１）−２″５ＳＤ（２，２）θ”ｚ／／ａｙ’ｓ
ｓ［）（３，２）＋５ＳＤ（１，２）−２’５ＳＤ（２
，２）θ”ｚ／ａｘａｙ＝ｓｓＤ（３、３）＋５ＳＤ（
１、１’）−８ＳＤ（１、３）−８ＳＤ（３，１）ＳＳ
Ｄ関数は下記のようにして表すことができる。

ｆ　−Ｚ　ｏ”！　（θ２／θｘ）＋ｙ（θ２／δ）’
）”（１／２）ｘ　（ｃｌ　ｚ／θＸ）＋（１／２）ｙ
”（θ２ｚ／’ｌ”ｙ）＋ｙ：ｙ（θ２．／δＩθｙ）
ここに、ｚ＝ｓｓＤ（ｙ、ｘ）、ｚｏ＝ＳＳＤ（２，２
）であや、全ての部分は（ｙ、ｘ）−（２，２）におい
てとられる。

最小値においては勾配はゼロでなければならない。した
がって、 θｆ／θＸ＝θｉ／ａ７＝０である。これは δｚ／ａｘ＋ｘ（θ３ｚ／θＸ”）＋ｙ（θ２Ｊａｘθ
ｙ）−０θ２／θｙ＋ｚ（θ″２／θＸａｙ）＋ｙ（θ
２ｚ／θｙ”）−０を意味する。

したがって、Ｘ（θ２ｚ／θｘ’：Ｄｙ（δ−／θｘａｙ　）＝−（
δ２／θＸ）Ｘ（θ２／θＸθｙ）＋ｙ（ａ　ｚ／θｙ
　）−（θ２／θｙ）平らなマツプの場合全ての係数が零であると、Ｘとｙの任意の値が方程式の
解となる。このことは全ての点が同じＳＳＤを有するこ
とを意味する。この場合には（これを平らなマツプの場
合と呼ぶことにする）、情報が表いから部分ＡＰ２は現
在のスキュー値を維持する。

２つの方程式の一方の係数が他方の方程式の係数の直線
倍数であると、ＳＳＤ関数により達成される最小値を有
する全ての点が沿う線が存在する。

すなわち、ある定数μに対して、（ａ″ｚ／θｘｇ）−μｃ　ａ　２　ｚ／θｘａｙ）お
よびμ（ａｚ／θｙ）＝（θ２／θｘａｙ　）すなわち（θ２／θＸ　）（θ２／θｙ）−（θ２／θｘａｙ）
　＝０である。

上の方程式が真であると、一対の一次方程式が従属する
といえる。それらの方程式が本当に従属しておシ、少く
とも１つの係敬が非零であるとすると（すなわち、平ら
なマツプの場合では危い）、ただ１つの方向にのみ情報
を有する。情報が存在する方向のみのスキューを修正し
、その方向に垂直で、情報がない方向には何の変更も行
わないことが望ましい。情報がない方向は軸の１本に平
行である必要がないことに注意されたい。

独立している一対の一次方程式により決定される二次元
情報が存在する場合が最後の場合である。

この場合には最良の最小自乗整列に対して独特の最小点
が存在する。

補間コードはＸ方向とＸ方向に純粋の二次微分を計算す
ることにより始まる。装置のソフトウェアにより与ぐ−
られるしきい値に対してそれらの値をテストすることに
より、部分ＡＰ２は値が零より大幅に大きいか否かを判
定する。両方とも大きいとすると、平らなマツプの場合
が適用され、スキュー値は不変の廿ツにされる。

一次元マンハッタン形状部分ＡＩ”１が５×５の中心を見出す方法のために、モ
デル化されている関数が局部的な最小の附近にちる、す
なわち平らであることを知る。このことは、１つの変数
における二次微分が零であるとすると、その車数におけ
る一次微分も零である。さもないと、二次微分が零であ
るような軸に平行ｉ方向の１つにおいて関数は減少する
から、最小にはならない。混合された部分（θ２／θＸ
θｙ）も零でなければ÷らず、またけとうば点を有する
。

純粋の二次微分のただ１つが有効であれば、部分ＡＰ２
：′：１′純粋罠−次元補間を次のようにし、て行う（
それがＸにあると仮定して）。

θｆ／ｃ７ｘ＝ｏ−θ２／θｘ＋ｘ（θ２ｒ、／δＸ２
）等々である。

Ｘ　　＝−（δｚ／ａｘ）／（＆　ｚ／θＸ　）隆起の
場合両方の二次微分が有効であると、２個の一次方程式の直
線的な依存性を調べることにより二次元情報が存在する
かどうかを判定することが依然として必要である。その
ために、混合された二次部分微分を！！ｉ′算すること
が必要になる。依存性条件（岸一方程式の条件）が、装
置のソフトウェアにより与えられるしきい値により決定
される特異（ｓｌｎｇｕｌａｒ）　　に近いとすると、
隆起の場合に入る。

隆起の場合には、部分ＡＰ２は一次元問題を非マンハッ
タンの方向に取扱う。第６ｂ図に示すように、それら２
つの映像妙瓢　ウィンドウ内で見えているのみの場合に
、それら２つの映像が完全に整列させられる多くのｘ−
ｙ移動がある。

隆起の場合は、ＳＳＯ関数が同じ最小を得る線が存在す
ると仮定している。その線を隆起線と呼ぶことにする。

しかし、部分ＡＰＩはこれを知らず、現在の整列点から
１遠く離れている」最小を隆起線に沿って識別すること
ができる。隆起線に沿ってこの多少任意に選択された局
部的な最小から計算されたスキューは実際の隆起線上に
あるが、隆起線に対して垂直方向にのみ動く希望をうち
砕く。

すなわち、情報かある方向にのみ動く。実際に、隆起線
に沿う動きは制御されないから、スキューは異常になり
得る。

したがって、隆起線に沿う２種類の点における最小に対
して２つの一次元補間を行うことによｐ隆起の場合が取
扱われる。新しいスキューは、隆起線に沿う点のうち、
古いスキュー値に最も近い点により決定される。すなわ
ち、古いスキュー点の隆起線上への直角射影である。（
２個の点が十分に隔てられていると、隆起線に対して良
く適合し、隆起線に平行などのようなりリービングもな
い、、）クリーピングに対して更に保障するものとして
、一連の隆起に留っている限りは、新しいスキューを計
算す乙ために同じ点をスタート位置として常に使用する
。この点はその一連の隆起の場合に入る前の最後の既知
のスキューであるから、最後のスキュー（第６Ｃ図参照
）と呼ばれる。

これを行うために、どの方向（Ｘまたはｙ）が最も多く
の情報を有するかを決定することをまず必要とするから
、補間のためにその方向を使用できる。これは二次微分
の最大値を求めることにより決定される。たとえば、Ｘ
二次微分がより大きいとすると、隆起線に沿う１つの点
が、Ｘ方向Ｉｃ最小値を中心として一次元補間を行うこ
とにより決定され、点Ｒ１”（７２）Ｘｆｉ　）を与え
る（第６ｃ図参照）。

点Ｒ１とＲ２を通る方程式は（Δｙ／Δｘ）＝（ｙ−ｙ　１　）／（Ｘ−ＸＩ　）で
ある。ここに、 ΔＸ−Ｘ２−ＸＩ　　ｌ”）’−ｙ２”’）’１である
。

これに垂直な線の勾配は−（ΔＸ／Δｙ）である。した
がって、スキューを失った点−（Ｘｉ、／Ｙ、　８）を
通るその線の方程式は −（・へｘ７乙ムｙ＞（ｙ−ｙｌ、）／（ｘ−ｘｌ、）
である。そうすると、上の２つの方程式は、Δｙｘ−Δ
￥ｙ″′へｙＸ　１−へＸ７１Δｘｘ−Δｙｙ−Δｙｙ
ｌ、＋ΔＸ　Ｘ　１　Ｂとなる。

１Δｙ１＝１および（Δｘ）２≧０であるから、一対の
一次方程式の独特の解がある。（元の一次方程式が独特
の解を有していたかどうかを決定した前記諸条件を参照
されたい。ここでは電性は（Δｙ）＋（Δｘ）−〇　　
である、）シたがって、新しいスキューの座標は次式に
より与えられる。

ｘ、、−（范Δｙ（ｙ　１．−ｙｌ）＋（Δｙ）　２ｚ
　１＋（Δｘ）”Ｘ１８）％（Δｘ）”＋（Δｙ）”）
ｙｎｓ＝（ムＸ、へ）’（”１５−ｘｌ　）”（Δｙ）
２ｙ１ｓ＋（Δｘ）”ｙｔ）／（（Δｘ）９＋（Δｙ）
２）隆起の場合を適用するかどうかを決定するために用
いられる方程式が非零であると、勾配を零に等しく設定
することから生じた一対の一次方程式に対する独特の解
が存在する。その解は次の通りである。

−２，−（ａｚ／ａｙ　）（ａ”　ｚｌＦＪｘｅｙ　）
−（ｃ）ｚ、、／ａｘ　）（δ”　Ｊａｙ”　）／ｄｏ
　ｎｏｍ％６ａ−（ｉ’ｊｚ７”’ｘ’＞（””ｚ／ａ
ｘａｙ’）−（δｙ、／Ｂｙ　）（ａ”ｚ、／ｉ’）ｘ
”　）／ｄｅｎｏｍここに、ｄ＠ｎｏｍ＝（ａ″ｚ／ａｘ”）（δ１１．／θ７”）
−（’ｚ／ｃｉ’ｚ＆ｙ）”大きい欠陥が大きな不整列
をひき起すことがあるから、プロセッサは２つの側がど
れ位良く一致するかを決定し、「良さ」と呼ばれる重み
づけ係数を発生する。縁部の数により正規化された、最
小値におけ％　ｓｓｏ関数の値は、２つの側がどれだけ
良く・一致するかの指示を与オ、る。正規化係数は純粋
の二次微分の和である。これは、ある一定の倍数まで、
ＳＳＤウィンドウ内の縁部の数の測定値を与える。それ
から、ソフトウェアにより充される探索表を介しで、正
規化された最小値が用いて重みづけ係数を与える。この
係数は、古いスヤユーと新しいスキューの重みづけられ
た平均中の新しい標本にどれ位の重みを与えるかを示す
。

部分ＡＰ２は、低周波数の、機械的にひき起されたスキ
ュー変化のみを修正するから、スキニー値は単極フィル
タを用いて低域ろ波される。そのフィルタの時定数は装
置のソフトウェアにより与えられる。

スキュー計算の各繰返えしに対して、新しいスキュー値
が古いスキュー値と新しいスキニー値の重みづけられた
平均（Ｘとｙについて別々に）として次のように計算さ
れる。

新スキュー−４／（時定数）ヰ良さ殖新スキュー＋　（
１−１／　（時定数）’）　Ｋ　ｇｏｏｄｅｎｔＸ古ス
キューｇｏｏｄｅｎｔ　＝　１　／　（時定数）軽良さ＋（１
−１／（時定数’）　）　ｋ　ｇｏｏｄｅｎｔ新スキュ
ー＝新スキュー／　ｇｏｏｄｃｎｔ最後に、マスク記憶
装置４０．４２へ整数スキューを与えるために新しいス
キューがフォーマットされ、０から１までの範囲で正の
部分スキューを欠陥検出器４４まで通る。

データベースモードデータベースモードにおいては、部分ＡＰ２は最小と最
大のｙスキューに従う。１つの列が終ると、装置ソフト
ウェアは最小と最大のｙスキニーを読増り、それらを用
いて、データベース映像に対するセンサ位置を調節する
。

データベースモードにおいては、部分ＡＰ２は装置のプ
ラスまたはマイナスの周波数変調（ＦＭ）線（図示せず
）を制御する。このＦΔ・ｌを用いてデータベースモー
ドにおけるＸランアウトを修正する。

実行されると、ＦＭはＲＩＡ　；７０ツク（図示せず）
を、ピクセルの１／７４のスキュー変化が各走査線上で
行わＪｌ、るように、伸長ま／ｌ−は短縮される。Ｘス
キー−ｏｐ対値が２をこえろとＦＭは常に可能状態にさ
れる。

欠陥検出器先に述べカニように、欠陥検出ｇに４４（第１し１）は
、第７図と第９図に別々に示されている２つの検出回路
で実際に構成される。第７図には、差の平方の和（ＳＳ
Ｄ）検出器を実現するｎｘｎ論理回路が、ｎ−５である
例について示されている。この検出器は型−データベー
ス検出のために通常用いられるが、型−型評価のために
用いることもできる。第７図に示されてい６回路により
実現される概念を良く理解するために、第８図を参照す
る。

第８図は左側データ流からのピクセルＣＰＬ上に中心を
ｆｉｌ　（５ｘ　５ピクセルアレイと、ピクセルＣＰＲ
上に中心を置く対応する右側５×５ピクセルとをグラフ
的に示すものである。

矢印で示すように、右側アレイの各ピクセルは、示でれ
ている副ピクセル移動だけデータがオフセットされる２
４個の付加アレイを形成するように、右側アレイはＸと
Ｙの両方向にピクセルの１／′３の増分だけ種々に移動
させられる。それから、左側アレイの各ピクセルが、移
動させられた各右側アレイからの各ピクセルから引かれ
、その差を自乗して加え合わせる。その和の値をしきい
値沼と比較して、図示のアンドゲートへの２５の入力端
チェ］〜Ｉ２５の１つに欠陥イ３′号寸たけ非欠陥信号
を生ずる。

アンドゲートへの入力の全てが欠陥を指示したら、その
アンドゲートは欠陥出力信号を発生する。

しかし、アンドゲートへのいずれかの入力が非欠陥を示
したとすると、アンドゲートは非欠陥を示す出力信号を
発生する。説明を明確にするために、第８図の左側に示
されているアレイは、ピクセルＬ３６に中心を置く第２
図に示されているピクセルアレイに一致することがある
ことがわかるであろう。

再び第７図を参照して、５×５の検出回路を構成する回
路が差の和ゲートアレイ２００（第１１図を参照して後
で説明する）を２５個含む。６差の和ゲートアレイは、
マスク記憶装置４０から受けた左側データ流からの５つ
の４ビツトピクセル入力と、マスク記憶装置４２から受
けた右側データ流からの５つの４ビツトピクセル入力と
を受ける。

各ゲートアレイ２００は、第８図を参照して先に述べた
差の平方和検出機能を実行する。左側データ流からのデ
ータはレジスタ２０２により受けられる。

それと同時に、このレジスタは行Ｌ１〜Ｌ５内のピクセ
ルからのデータを各ゲートアレイ２００ヘクロツク制御
して入力させる。したがって、任意の５個のクロック期
間中に、第２図に示されているような、５×５の左側ア
レイが各ゲートアレイ２００中に存在することがわかる
であろう。

第８図に示されている右側アレイ移動を行うだめに、走
査される８行（第２図に左側について示されている行に
類似する）の各行からのデータが７個のＦＲＯＭ２０４
へ隣接する対で入力される。それらのＦＲＯＭ２０４は
、整列器３８（第１図）からの入力により、移動させら
れた３組のデータを／くレルシフタ２０６の２１個の入
力端子のうちの３個の入力端子へ出力させられる。整列
器３８の制御の下に、バレルシフタ２０６は移動させら
れたデータを１７個の回路の各回路へ出力する。それら
の回路の１つが参照番号２０８として示されており、一
対のフリップフロップ２１０．２１２と、ＦＲＯＭ２１
４と、別の５個の７リツプフロツブ２１６〜２２４　　
と、ノくレルシック２２６とを含む。ＦＲＯＭ２１４は
、水平方向ではなくて垂直方向に副ピクセル３個分の移
動を行わせることを除き、ＦＲＯＭ２０４により行われ
る機能と同種の機能を実行する。垂直方向への整数移動
はフリップフロップ２１６〜２２２を介するクロック遅
延により行われる。

各副回路２０８は５組の４ビツトデータを出力する。そ
れらのデータは対応する１つのゲートアレイ２００へ与
えられて、各ゲートアレイに、５×５左側アレイに加え
て、５×５の移動させられたアレイ（第８図）の１つに
対応するデータを含ませる。各ゲートアレイはピクセル
ＣＰＲ上に中心を置く移動させられていないアレイを有
する。それから、ゲートアレイは差の平方和計算を行っ
て、アンドゲート２３２への２５本の入力線２３０へ出
力を与える。そうするとアンドゲート２３２は、第８図
を参照して先に説明したように、欠陥信号と非欠陥信号
を出力欠陥線２３４に生ずる。

図と、これまで行った説明は、両方向にピクセルの１／
３およびｖ３の増分で移動させられた５×５　ＳＳθア
レイの５×５移動パターンについてのものであるが、副
ピクセル増分が異り、ＳＳＤアレイの寸法が異なる他の
移動バター・ンも使用できることを理解すべきである。

更に、子方された差の和の代りに差の他の機能も欠陥検
出器におりて使用することもできる。

第９図に、欠陥検出器４４の第２の部分がブロック図で
示されている。この第２の部分の目的は、走査されるデ
ータの２ｘ、２面積減算検出を行うことである。第１０
図に示・すように、右側データ流からの２×２ピクセル
アレイが、整列器３日の制御の下にピクセルの１／１６
　　の増分で、垂直方向（ｙ）と水平方向（Ｘ）の少く
とも１つの方向に移動させられて、整列器３８の計算に
より決定された位置に達する。分析の実行においては、
示されている左側アレイのピクセル時刻が加算器２９４
と２９６で加え合わされる。その和が減算器２９８にお
いて減算され、その差の絶対値が比較器２９９において
しきい値と比較される。その差の絶対値が入力しきい値
より大きいと欠陥信号が発生される。

次に第９図を参照Ｌ２て、欠陥検出器４４の２×２減算
検出器部分について説明する。図示のように、ピクセル
行Ｌ５と部からのデータが一連のレジスタ２５０−・２
５６へ入力され、その中を移動させられて加算回路２５
８へ与えられる。フリップフロップ２５６の出力に加え
て、フリップフロップ２５４の出力も加算器２５８へ入
力される。その結果、左側データ流からの２×２ピクセ
ルアレイに対応するデータが加算器２５８へ同時に入力
され、各４ピクセルの各ピクセルの和が出力されて減算
器２６０の入力端子の１つに与えられる。

第９図の右上部において、右側データ流のピクセル行Ｒ
５、Ｒ６、Ｒ７からのデータが隣接する対古して２個の
ＦＲＯＭ２６２へ入力される。それらのＦＲＯＭはデー
タをピクセルの１／１６の増分で水平方向に移動させる
。移動させられたデータ流はレジスタ２６４　、２６６
を通って一対のＦＲＯＭ２６　Ｂへ入力させられる。レ
ジスタ２６４の出力はＦＲＯＭ２６８へも入力させられ
ることに注意されたい。整列器３８（第１図）の制御の
下に、ＦＲＯＭ２６８はデータ流をピクセルのし／１６
の増分で垂直方向に移動させ、移動させられたピクセル
データはレジスタ２７０と２７２を通って加算器２７４
へ出力される。レジスタ２７０の出力は加算器２７４へ
入力させられることにも注意されたい。その結果、加算
器２７４の出力は右側の２×２ピクセルアレイ（これは
ピクセルの０−１５／１６の増分で水平方向と岳直方向
に移動させられている）の和に対応する直列データとな
る。それから加算器２７４の出力が、減算器２６０にお
いて、加算器２５８の出力から差し引かれ、その差の和
が絶対値器２７６を介して比較器２７８の１つの入力端
子へ与えられる。

絶対値器２７６の出力が、比較器２７８へ与えられてい
るしきい値より大きいと、欠陥信号が欠陥線２８６へ出
力される。

第９図は双一次補間による副ピクセルの移動を示すが、
確度を高くするためにより高次の多項適合補間またはｍ
１ａｘ／ｘ補間を用いることもできる。

この回路は形検出器２８０も含む。この形検出器は、制
御器４８（第１図）から受けたいくつかのしきい値のう
ちの１つのしきい値を、レジスタ２８２とマルチプレク
サ２８４を介して比較器２γ８へ入力させる。形検出器
２８０は検出器のウィンドウの内部またはウィンドウに
ある縁部ピクセルの数を検出する動作と、ウィンドウ内
の形がトレース０１つの縁部であるか、トレースの両方
の縁部であるか、隅であるか、透明な場面であるか、甘
たは不透明な場面であるかを決定する動作の２つの動作
の少くとも一方を行う。それらの各状況に対して種々の
しきい値が予め決定される。形検出器２８０は、ＦＲＯ
ＭとＰＡＬに含まれている論理により、与えられたピク
セル時刻にそれらの状況のどれが優勢であるかを判定し
、比較器２７Ｂまたは第７図の差の平方和ゲートアレイ
２００へ送るのに適切なしきい値を決定する。

比較器２７Ｂまたは差の平方和ゲートアレイ２００へ与
えられるしきい値はダイナミックであることに注意され
たい。

欠陥検出器４４が線２３４からの差の平方和比較信号、
または線２８６からの面積減算出力を出力できるように
するために、選択された信号を主欠陥線２９２へ出力す
る２対１マルチプレクザ２９０が設けられる。

第１１図に第７図の差のザ方和ゲートアレイ２００の構
成の一例がブロック図で示されている。

後で説明するように、このゲートアレイは整列器３８（
第６図）においても用いられる。図示のように、左側か
らの５組のピクセルデータＬＸ−Ｌ５と、右側からの５
組のピクセルデータＲ１−・Ｒ５がバッファされ、ラッ
チ３００へ入力されて、減算および平方回路３０２へ入
力するために一時的に保持される。平方された差の絶対
値がランチ３０４へ入力され、それから加算器３０６へ
与えられる。その加算器は５個の隣接するピクセルに対
する差の平方和を出力する。その和はラッチ３０Ｂへ与
えられ、そこから減算器３２２と一連のランチ３１０〜
３１６へ同時に与えられる。ラッチ３１２，３１４また
は３１６に格納されているデータを入力信号ＳＥＴ、に
応答して選択でき、七の選択したデータをラッチ３２０
に格納できる。ランチ３２０に格納したデータは後で減
算器３２２へ与えられる。

ラッチ３１０−３２２によジ、この装置は、特定の入力
信号ＳＥＬに応答して、ｎｘ５平方和、ｎＸ４平方和、
ｎｘ３平方和およびｎ×ｍ平方和の少くとも４つのモー
ドのいずれかで動作できる。千れらのモー　ドにおける
平方和は連続して累算される。

ここに、ｎは１−５に等しく、ｍは任意の数とすること
ができる。ｍは累獅：器３２６の大きさによってのみ制
限される。選択されたモードに応じてデータはラッチ３
２４を通じて累算器３２６へ送られる。

累算器３２６に累積されたデータは減算器３２７゜３２
９の少くとも一方へ与えられる。減算器３２７において
は累算されたデータ信号は大きさ比較器３２８へ入力さ
れてしきい値ＴＩ（Ｔ３と比較され、バッファされてか
らラッチ３３０を介して比較器３２８へ与えられる。千
れから欠陥／無欠陥信号がラッチ３３２に保持され、バ
ッファ３３４においてバッファされてから線２３０（＠
７図）へ出力される。

線３３１を弄して与えられる信号Ｉ、ＯＡＤに応じて、
累積されているデータはラッチ３３６を介して回路３２
９へ与えることもでき、そこから三状態バッファ３３Ｂ
を介して出力点３４０へ出力させられる。これは整列誤
差検出器１８４に含まれている４５個のＳＳＤ回路で用
いられる出力である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の改良されたホトマスク検査装置のブＩ
コック図、第２図はホトマスクを本発明に従って走査す
るやり方を示す絵画的な図、第３図は第１図に示すスキ
ューおよび拡大修正器のブロック図、第４図は第３図の
スキューおよび拡大修正器において行われる双一次補間
の例を示す線図、第５図は第１図に示す臨界寸法（ＣＤ
）修正器を示すブロック図、第５ａ図はＣＤ修正器に：
９修正される誤差の性質を示す線図、第５ｂ図は本発明
に従って行われるＳカー・ブ再マツピングを示す線図、
第６図は第１図に示されている整列器の主な部品を示す
簡略化したブロック図、第６ａ図、第６ｂ図および第６
ｃ図は整列器の動作を説明する線図、第７図は第１図の
欠陥検出器の一部の簡略化したブロック図、第８図は第
７図に示す検出器部分の動作を示す線図、第９図は第１
図の欠陥検出器の第２の部分を示す簡略化したブロック
図、第１０図は第９図に示す検出器部分の動作を示す簡
略化した線図、第１１図は本発明の平方和ゲートアレイ
の主な部品を示す簡略化したブロック図である。１２・・・・走査機構、１８．２０・・・・検出器、２
２．２４・・・・光物体ヘッド増幅器。２６．２８・・・・デジタイザ、３０・・・・マルチプ
レクサ、３４・・・・スキューおよび拡大修正器、３６
・・・・臨界寸法修正器、３７．３９・・・・走査遅延
器、３８・・・・整列器、４０゜４２・・・・マスク記
憶装置、４４・・・・欠陥検出器、４６・・・・連結器
、４８・・・・制御プロセッサ、８４・・・・Ｘ補間Ｐ
ＲＯＭ、９０・・・・Ｙ補間ＰＲＯＭ、　　９２・・・
・Ｘ補間部ＰＲＯＭ。９４・・・・Ｙ補間ＥＥＰＲＯＭ、１２６　、　ｆ２Ｂ
・・・・縁部検出器、１１４　、２６０・・・・減算器
、１１６・・・・累算器、１２０　、１３４・・・・記
憶装置、１８Ｇ・・・・整列プロセッサ、２００・・・
・ＸｆＬ方和ゲートアレイ、２７８・・・・比較器。特許出願人　　　ケイエルエイ・インストラメンツ・コ
ーポレーション代理人　山川政樹（Ｉυ為２名）図面の１７弓％　０′、Ｈ′、”、：二）ν更なし〕Ｆ
ｉｇ、　２ズ又−ンンて　鋪　間　の　イク′ｊＥ　　；Ａ（３／４）　＋Ｂ（ｌ／４１Ｆ　：Ｃ（７／
８）　＋Ｄ（ｌ／８１Ｇ　　ＩＩＥ（１５／１６）　　＋Ｆ（１／１６）Ｆｉ
ｇ、　４Ｆｉｇ、　　５ｂ１沖　　　　　　Ｆｉｑ、　６５　じ７セ１し　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　１９　　じ・７ヤルヲ′−タ　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　テ′−タＦｉｇ、　　６ａＦｉｇ、　６ｂ・　　　　Ｏ＠　　　　Φ　　　　・　　　　・　　　
　・手続補正書（方式）１．事件の表示層相６２年　特　許　’ｐｆＨ第１７４０４８号２）発
明の名称物体中の欠陥を検出する方法および装置３、イｊ正をす
る者事件との関係　　　　　特　許　出願人名称（氏名）　
ケイエルエイ・インストラメンツ・コーポレーション５
、ＩｔｉＥ“４０日付　昭和６２年　９　月２２日拒→
品−→壬匈１４．；ユｅ−”、２２．−え６　補正の月象

Claims

【特許請求の範囲】

（１）物体の選択された表面領域を検査し、それの各ピ
クセルの映像内容を表す信号値を持つ第１のデータ流を
発生する過程と、第２のデータ流の各ピクセルの映像内容を表す信号値を
持つ前記第２のデータ流を発生する過程と、第１のデータ流と第２のデータ流の対応する部分を記憶
装置に格納する過程と、前記第１のデータ流の格納されている部分と前記第２の
データ流の格納されている部分の間の任意の不一致を検
出する過程と、データの格納されている第１の部分と第２の部分を副ピ
クセル補間を用いて整合させ、それらの間の検出された
不一致を修正する位置合わせの過程と、データの格納されて、合わせられた第１の部分と第２の
部分の対応する副部分を比較して、それらの間の差を検
出し、差を検出した時に、検査されている物体上の特定
のピクセル場所における欠陥の存在を指示する過程とを備えることを特徴とするホトマスク、焦点板、ウェハ
ー、印刷回路板のような物体中の欠陥を検出する方法。
（２）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、格納
されている第１のデータ部分と第２のデータ部分の位置
合わせを、前記格納されている第１のデータ部分と第２
のデータ部分の少くとも１つをピクセル整数個分だけ移
動させることにより行うことを特徴とする方法。
（３）特許請求の範囲第２項記載の方法であつて、格納
されている第１のデータ部分と第２のデータ部分の位置
合わせを、平方した差の和アルゴリズムを用いて行い、
それらの間の位置合わせ誤差を動的に決定することを特
徴とする方法。
（４）特許請求の範囲第３項記載の方法であつて、格納
されている第１のデータ部分と第２のデータ部分の位置
合わせを、ピクセル整数個分だけ互いに移動させられた
データの比較された副部分の平方された差の和を計算し
、平方された差の和を最小にする移動量を見出し、整数
移動の間で補間して最適の副ピクセル移動量を見出すこ
とにより行うことを特徴とする方法。
（５）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、格納
されている第１のデータ部分と第２のデータ部分の位置
合わせを、交差相関関数の最大値を計算し、前記格納さ
れている第１のデータ部分と第２のデータ部分の少くと
も１つをそれに相応して移動させることにより行うこと
を特徴とする方法。
（６）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、格納
されている第１のデータ部分と第２のデータ部分の位置
合わせを、記憶装置内のアドレスを移動させることによ
り行われるピクセルの移動を整数個分だけデータ部分を
互いに移動させることにより行い、ピクセル１個分より
小さい移動は副ピクセル補間により行うことを特徴とす
る方法。
（７）特許請求の範囲第６項記載の方法であつて、使用
する補間の種類は、（ａ）直線補間、（ｂ）ｓカーブ補間、（ｃ）多項式または他の一般的な関数をいくつかのピク
セルに適合すること、（ｄ）ｓｉｎｘ／ｘ補間またはそれの近似、より成る群
から選択することを特徴とする方法。
（８）特許請求の範囲第３項記載の方法であつて、平方
された差の和アルゴリズムは、前記第１のデータ部分中
の特定のピクセルアレイからの平方された差データの和
と、前記第２のデータ部分からの対応するピクセルアレ
イの各複数の繰返えしからの平方された差データの和と
の比較を含み、各繰返えしを、前記対応するピクセルア
レイに対して、直交するＸ方向とＹ方向の少くとも１つ
の方向に選択された所定の増分だけ移動させることを特
徴とする方法。
（９）特許請求の範囲第８項記載の方法であつて、前記
特定のアレイは前記第１のデータ部分からのｎ×ｍのピ
クセルデータアレイであり、前記複数の繰返えしは前記
第２のデータ部分から得た移動させられたデータのアレ
イであり、各前記移動させられたアレイは前記対応する
ｎ×ｍアレイに対して異なる増分だけ移動させられ、前
記特定のアレイの平方された差の和と前記ｎ×ｍだけ移
動させられたアレイの平方された和との間で検出された
最小の差は、前記第１のデータ部分と前記第２のデータ
部分を整列させるために必要とされるＸ移動量とＹ移動
量を示し、前記Ｘ移動量と前記Ｙ移動量を用いて格納さ
れているデータ部分を整列させることを特徴とする方法
。
（１０）特許請求の範囲第９項記載の方法であつて、ｎ
は５に等しく、ｍは４８０に等しく、前記異なる増分は
数列−７、−６、−５、・・・０、・・・５、６、７か
ら選択することを特徴とする方法。
（１１）特許請求の範囲第１０項記載の方法であつて、
前記整列させられた第１のデータ部分と第２のデータ部
分の対応する副部分の比較を、前記整列させられた第１
のデータ部分からの特定のｐ×ｐピクセルデータアレイ
に対応するデータと、前記整列させられた第２のデータ
部分からの対応するｐ×ｐピクセルデータアレイから得
た移動されたデータの複数のｐ×ｐアレイに対応するデ
ータの平方された差の比較の和により行い、各前記移動
されたｐ×ｐアレイは異なる副ピクセル増分だけ前記対
応するｐ×ｐアレイに対して移動され、前記特定のｐ×
ｐアレイの平方された差の和と、全ての前記移動させら
れたｐ×ｐアレイの平方された差の和との間に検出され
た少くとも所定の差が欠陥の存在を示すことを特徴とす
る方法。
（１２）特許請求の範囲第１１項記載の方法であつて、
ｐは５に等しく、前記異なる副ピクセル増分は（ｍ×１
／３）ピクセルであり、ｍは数列−２、−１、０、１、
２から選択することを特徴とする方法。
（１３）特許請求の範囲第１０項記載の方法であつて、
前記整列させられた第１のデータ部分と第２のデータ部
分の対応する副部分の比較を、前記整列させられた第１
のデータ部分からの特定のｑ×ｑピクセルデータアレイ
を表すピクセルデータを一緒に加え、前記特定のｑ×ｑ
アレイに対応するｑ×ｑアレイに対して副増分だけ移動
させられた第２の格納されているデータ部分からの移動
させられたｑ×ｑピクセルデータアレイからのピクセル
データの和から差し引く面積減算アルゴリズムにより行
い、その減算の結果をしきい値と比較し、前記結果が前
記しきい値より大きいと、誤差の存在が指示されること
を特徴とする方法。
（１４）特許請求の範囲第１３項記載の方法であつて、
ｑは２に等しく、前記副ピクセル増分は（ｒ×１／１６
）ピクセルであり、ｍは数列０、１、２・・・１５から
選択することを特徴とする方法。
（１５）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、前
記整列させられた第１のデータ部分と第２のデータ部分
の対応する副部分の比較を、前記整列させられた第１の
データ部分からの特定のｐ×ｐピクセルデータアレイに
対応するデータと、前記整列させられた第２のデータ部
分からの対応するｐ×ｐピクセルデータアレイから得た
移動させられたデータの複数のｐ×ｐアレイに対応する
データの平方された差の比較の和により行い、各前記移
動されたｐ×ｐアレイは異なる副ピクセル増分だけ前記
対応するｐ×ｐアレイに対して移動され、前記特定のｐ
×ｐアレイの平方された差の和と、全ての前記移動させ
られたｐ×ｐアレイの平方された差の和との間に検出さ
れた少くとも所定の差が欠陥の存在を示すことを特徴と
する方法。
（１６）特許請求の範囲第１５項記載の方法であつて、
ｐは５に等しく、前記異なる副ピクセル増分は（ｍ×１
／３）ピクセルであり、ｍは数列−２、−１、０、１、
２から選択することを特徴とする方法。
（１７）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、前
記整列させられた第１のデータ部分と第２のデータ部分
の対応する副部分の比較を、前記整列させられたデータ
部分からの特定のｑ×ｑピクセルデータアレイを表すピ
クセルデータを一緒に加え、前記対応するｑ×ｑアレイ
に対して副ピクセル増分だけ移動させられた第２の格納
されているデータ部分からの対応するｑ×ｑピクセルデ
ータアレイからのピクセルデータの和から差し引く面積
減算アルゴリズムにより行い、その減算の結果をしきい
値と比較し、その結果が前記しきい値より大きいと、誤
差の存在が指示されることを特徴とする方法。
（１８）特許請求の範囲第１７項記載の方法であつて、
ｑは２に等しく、前記副ピクセル増分は（ｒ×１／１６
）ピクセルであり、ｍは数列０、１、２・・・１５から
選択することを特徴とする方法。
（１９）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、前
記第１のデータ流の前記部分を記憶装置に格納する前に
、前記第１のデータ流に対して直交するＸ方向とＹ方向
に補間を行つて、映像データの幾何学的歪みを修正する
過程と、前記第２のデータ流を、前記第１のデータ流を修正する
ために必要な時間に相応する期間だけ遅延させる過程とを備えることを特徴とする方法。
（２０）特許請求の範囲第１９項記載の方法であつて、
前記Ｘ方向と前記Ｙ方向の前記補間を、較正動作中に予
め決定された調節パラメータに応答して行うことを特徴
とする方法。
（２１）特許請求の範囲第２０項記載の方法であつて、
前記第１のデータ流をまずＸ方向に補間してセンサアレ
イの回転を修正し、それの結果を次にＹ方向に補間して
前記拡大誤差および前記歪み誤差を修正することを特徴
とする方法。
（２２）特許請求の範囲第２０項記載の方法であつて、
前記第２のデータ流をまずＹ方向に補間して拡大誤差お
よび歪み誤差を修正し、それの結果を次にＸ方向に補間
してセンサアレイの回転を修正することを特徴とする方
法。
（２３）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、物
体の第１の表面積と第２の表面積を一対の電子光学的装
置を用いて検査し、前記第１のデータ流と前記第２のデ
ータ流はそれにそれぞれ対応し、前記一対の電子光学的
装置の検出特性に対応する直交するＸ補間データとＹ補
間データを発生する過程と、データの前記部分を記憶装置に格納する前に、前記Ｘ補
間データを用いて前記第１のデータ流においてデータの
第１の動的な補間を行う過程と、データの前記部分を記
憶装置に格納する前に、前記Ｙ補間データを用いて前記
第１のデータ流におけるＸ補間されたデータの第１の動
的な補間を行う過程と、遅延させられた第２のデータ流がＸ補間された第１のデ
ータ流およびＹ補間された第１のデータ流に時間的に一
致するように、前記第２のデータ流を遅延させる過程とを備え、電子光学的装置がそれを通る検出されたピクセ
ルデータの光学的歪みおよび機械的歪みに関連するから
、Ｘ補間データとＹ補間データの任意の組合わせが電子
光学的装置の結合相互関係検出特性を独自に定めること
を特徴とする方法。
（２４）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、前
記第１のデータ流と前記第２のデータ流において表され
ている物体特徴の寸法がほぼ等しいように、前記データ
流の少くとも１つにおけるデータを調節する補間技術を
用いて前記第１のデータ流と前記第２のデータ流に対し
て臨界寸法修正を行う過程を備えることを特徴とする方
法。
（２５）特許請求の範囲第２４項記載の方法であつて、
前記第１のデータ流および前記第２のデータ流中の前記
物体の特徴によりカバーされる映像データの対応する広
い面積の百分率を測定し、それらの物体特徴のそれぞれ
の周辺を測定し、それから前記面積の測定された値を前
記周辺の測定された値で除して、両方の流れ内の対応す
るデータを一致させるために要する寸法変化の測定値を
得、前記データ流の少くとも１つにおけるデータを調節
して前記一致を行わせることにより前記臨界寸法修正を
行うことを特徴とする方法。
（２６）特許請求の範囲第２５項記載の方法であつて、
ピクセルの灰色レベルデータの大きさを上または下にデ
ジタル的に再マッピングして、プロセスの変化による線
幅の変化の影響を打消すことにより前記調節を行うこと
を特徴とする方法。
（２７）特許請求の範囲第２６項記載の方法であつて、
対応するピクセルが落ちる縁部上の場所に応じて所定の
やり方で前記ピクセル灰色レベルデータの大きさを調節
するＳカーブ補間アルゴリズムを用いてデジタル再マッ
ピングを行うことを特徴とする方法。
（２８）特許請求の範囲第１項記載の方法であつて、前
記検査過程は、前記第１のデータ流と前記第２のデータ
流を発生する一対の光学的装置を用いて行い、前記第１
のデータ流と前記第２のデータ流は、第１の信号レベル
のデータにより表される仮想した同一の諸特徴と、第２
の信号レベルのデータにより表される背景と、前記第１
のレベルと前記第２のレベルの間の信号レベルを有する
データにより表される特徴縁部とを有する物体の対応す
る表面領域に関連し、前記第１のデータ流の縁部データをマッピングする過程
と、前記第２のデータ流の縁部データをマツピングする過程
と、前記第１のデータ流と前記第２のデータ流中の対応する
縁部データの位置関係を検出する過程と、再マップされ
たデータ流の縁部データが他のデータ流の対応する縁部
データにより近く位置的に一致するように、検出された
位置関係を用いて前記データ流の少くとも１つのデータ
流の縁部データを再マップする過程とを備えることを特徴とする方法。
（２９）第１の光学的映像に対応する第１の電子データ
流と、第２の光学的映像に対応する第２の電子データ流
とを処理する電子光学的装置における映像回転歪みと光
学的歪みの少くとも１つを修正する方法において、一対の光学的サブ装置の検出特性に対応する直交するＸ
補間データとＹ補間データを発生する過程と、前記Ｘ補間データを用いて前記第１のデータ流における
データの第１の動的な補間を行う過程と、前記Ｙ補間デ
ータを用いて前記第１のデータ流におけるＸ補間された
データの第１の動的な補間を行う過程と、遅延させられた第２のデータ流がＸ補間された第１のデ
ータ流およびＹ補間された第１のデータ流に時間的に一
致するように、前記第２のデータ流を遅延させる過程とを備え、光学的サブ装置が第１の映像および第２の映像の対応す
るピクセル領域から得た検出されたピクセルデータの光
学的歪みおよび機械的歪みに関連するから、Ｘ補間デー
タとＹ補間データの任意の組合わせが電子光学的装置の
結合相互関係検出特性を独自に定めることを特徴とする
電子光学的装置における映像回転歪みと光学的歪みの少
くとも１つを修正する方法。
（３０）第１の信号レベルのデータにより表される映像
諸特徴と、第２の信号レベルのデータにより表される背
景と、前記第１のレベルと前記第２のレベルの間の信号
レベルを有するデータにより表される特徴縁部とを有す
ることが知られているピクセル映像データの第１および
第２の仮想された同一の流れを処理するために用いられ
る電子光学的映像装置において映像特徴の臨界寸法の変
化を修正する方法において、前記第１のデータ流の縁部データをマッピングする過程
と、前記第２のデータ流の縁部データをマッピングする過程
と、前記第１のデータ流と前記第２のデータ流中の対応する
縁部データの位置関係を検出する過程と、再マップされ
たデータ流の縁部データが他のデータ流の対応する縁部
データにより近く位置的に一致するように、検出された
位置関係を用いて前記データ流の少くとも１つのデータ
流の縁部データを再マップする過程とを備えることを特徴とする電子光学的映像装置において
映像特徴の臨界寸法の変化を修正する方法。
（３１）特許請求の範囲第３０項記載の方法であつて、
各データ流の対応する縁部データが他の再マップされた
縁部データにより近く位置的に一致するように、検出さ
れた位置関係を用いて各データ流の対応する縁部データ
を再マップすることを特徴とする方法。
（３２）特許請求の範囲第３０項記載の方法であつて、
縁部遷移の各ピクセルに対応する縁部データの信号レベ
ルが、縁部遷移におけるピクセルの位置と再マッピング
動作の向きとに応じた所定の増分だけ調節されるＳカー
ブアルゴリズムにより再マッピング動作を行うことを特
徴とする方法。
（３３）物体の選択された表面領域を検査し、それの各
ピクセルの映像内容を表す信号値を持つ第１のデータ流
を発生する過程と、前記物体の表面領域のうち、前記第１の領域の表面特性
を持つと信じられる第２の選択された表面領域を検査し
、前記第２の領域の各ピクセルの映像内容を表す信号値
を有する第１のデータ流を発生する過程と、第１のデータ流と第２のデータ流の対応する部分を大容
量記憶装置に格納する過程と、前記第１のデータ流の格納されている部分と前記第２の
データ流の格納されている部分の間のどのような不整列
も検出する過程と、データの格納されている部分を整列させ、それらの間の
検出されたどのような不整列も修正する過程と、データの格納されて、合わせられた第１の部分と第２の
部分の対応する副部分を比較して、それらの間の差を検
出し、差を検出した時に、検査されている物体上の特定
のピクセル場所における欠陥の存在を指示する過程とを備えることを特徴とするホトマスク等のような物体中
の欠陥を検出する方法。
（３４）物体の選択された表面領域を検査し、それの各
ピクセルの映像内容を表す信号値を持つ第１のデータ流
を発生する過程と、前記第１のデータ流の各ピクセルの理想的な映像内容に
対応する基準データ値を有する第２のデータ流をデータ
ベースから発生する過程と、第１のデータ流と第２のデ
ータ流の対応する部分を大容量記憶装置に格納する過程
と、前記第１のデータ流の格納されている部分と前記第２の
データ流の格納されている部分の間のどのような不整列
も検出する過程と、データの格納されている部分を整列させ、それらの間の
検出されたどのような不整列も修正する過程と、データの格納されて、合わせられた第１の部分と第２の
部分の対応する副部分を比較して、それらの間の差を検
出し、差を検出した時に、検査されている物体上の特定
のピクセル場所における欠陥の存在を指示する過程とを備えることを特徴とするホトマスク等のような物体中
の欠陥を検出する方法。
（３５）物体の選択された表面領域を検査し、それの各
ピクセルの映像内容を表す信号値を持つ第１のデータ流
を発生する手段と、前記第１のデータ流の各ピクセルの映像内容を表す信号
値を有する第２のデータ流を発生する手段と、第２のデータ流と第２のデータ流の対応する部分を格納
する記憶装置と、前記第１のデータ流の格納されている部分と前記第２の
データ流の格納されている部分の間のどのような不整列
もピクセルの一部の解像力で検出する検出手段と、格納されている第１のデータ部分と格納されている第２
のデータ部分の検出されたどのような不整列も副ピクセ
ル補間を用いて修正する整列手段と、データの整列させられた第１の部分と第２の部分の対応
する副部分を比較して、それらの間のどのような差も検
出し、差を検出した時に、検査されている物体上の特定
のピクセル場所における欠陥の存在を指示する検出手段
とを備えることを特徴とするホトマスク等のような物体を
検査する装置。
（３６）特許請求の範囲第３５項記載の装置であつて、
前記整列手段は、平方された差の和アルゴリズムを実現
して、データの格納されている第１の副部分と第２の副
部分の間のどのような位置合わせ誤差も動的に決定する
論理回路を含むことを特徴とする装置。
（３７）特許請求の範囲第３６項記載の装置であつて、
前記論理回路は、前記第１のデータ部分からの特定のｎ×ｍピクセルデー
タアレイと前記第２のデータ部分からの対応するｎ×ｍ
ピクセルデータアレイに関連する平方された差データの
和を発生し、かつ、前記特定のｎ×ｍアレイと前記対応
するｎ×ｍアレイの複数の移動させられた繰返えしに関
連する平方された差データの和を発生する手段を含み、前記整列手段は、平方された差データの前記和を用いて
前記検出された不整列を修正するプロセッサ手段を含み
、各前記移動させられたｎ×ｍアレイは、前記対応する
ｎ×ｍアレイに対して、Ｘ方向とＹ方向の少くとも１つ
の方向にピクセル整数増分だけ移動させられることを特
徴とする装置。
（３８）特許請求の範囲第３７項記載の装置であつて、
前記プロセッサ手段は、平方された差の和を最小にする
ピクセル移動を決定する手段と、整数移動の間で補間し
て最適な副ピクセル移動を見出す手段とを含むことを特
徴とする装置。
（３９）特許請求の範囲第３８項記載の装置であつて、
前記整列手段は格納されている第１のデータ部分と第２
のデータ部分の位置合わせを、一方の部分を他方の部分
に対して移動させることにより行わせ、整数ピクセルの
移動は記憶装置内のアドレスを移動させることにより行
い、ＸとＹのピクセル１個分より小さい移動は補間によ
り行うことを特徴とする装置。
（４０）特許請求の範囲第３９項記載の装置であつて、
使用する補間の種類は、（ａ）直線補間、（ｂ）ｓカーブ補間、（ｃ）多項式または他の一般的な関数をいくつかのピク
セルに適合すること、（ｄ）ｓｉｎｘ／ｘ補間またはそれの近似、より成る群
から選択することを特徴とする装置。
（４１）特許請求の範囲第３７項記載の装置であつて、
ｎは５に等しく、ｍ＝４８０であり、前記整数移動は数
列−７、−６、−５・・・０・・・５、６、７から選択
されることを特徴とする装置。
（４２）特許請求の範囲第３７項記載の装置であつて、
前記検出手段は、前記第１のデータ部分からの特定のｐ×ｐピクセルデー
タアレイと前記第２のデータ部分からの対応するｐ×ｐ
ピクセルデータアレイに関連する平方された差データの
和を発生し、かつ、前記特定のｐ×ｐアレイと前記対応
するｐ×ｐアレイの複数の移動させられた繰返えしに関
連する平方された差データの和を更に発生する手段と、前記平方された差データの和を選択されたしきい値と比
較し、平方された差データの前記和の全てが前記しきい
値をこえた時に欠陥を指示する手段とを備え、各前記移動させられたｐ×ｐアレイは、前記対
応するｐ×ｐアレイに対して、Ｘ方向とＹ方向の少くと
も１つの方向にピクセル整数増分だけ移動させられるこ
とを特徴とする装置。
（４３）特許請求の範囲第４２項記載の装置であつて、
ｐは５に等しく、前記異なる副ピクセル増分は（ｍ×１
／３）ピクセルであり、ｍは数列−２、−１、０、１、
２から選択されることを特徴とする装置。
（４４）特許請求の範囲第３７項記載の装置であつて、
前記検出手段は、前記整列させられた第１のデータ部分からの特定のｑ×
ｑピクセルデータアレイを表すピクセルデータが一緒に
加え合わされて、前記特定のｑ×ｑアレイに対応するｑ
×ｑアレイに対して副ピクセル増分だけ移動させられた
前記第２の格納されているデータ部分からの移動させら
れたｑ×ｑピクセルデータアレイからのピクセルデータ
の和から減算される面積減算アルゴリズムを実現する論
理回路と、その減算の結果をあるしきい値と比較し、その結果がそ
のしきい値より大きければ欠陥の存在を指示する手段と
、を備えることを特徴とする装置。
（４５）特許請求の範囲第４４項記載の装置であつて、
ｑは２に等しく、前記副ピクセル増分は（ｒ×１／１６
）ピクセルであり、には数列０、１、２・・・１５から
選択されることを特徴とする装置。
（４６）特許請求の範囲第３５項記載の装置であつて、
前記検出手段は、前記第１のデータ部分からの特定のｐ×ｐピクセルデー
タアレイと前記第２のデータ部分からの対応するｐ×ｐ
ピクセルデータアレイに関連する平方された差データの
和を発生し、かつ、前記特定のｐ×ｐアレイと前記対応
するｐ×ｐアレイの複数の移動させられた繰返えしに関
連する平方された差データの和を更に発生する手段と、前記平方された差データの和を選択されたしきい値と比
較し、平方された差データの前記和の全てが前記しきい
値をこえた時には欠陥を指示する手段とを備え、各前記移動させられたｐ×ｐアレイは、前記対
応するｐ×ｐアレイに対して、Ｘ方向とＹ方向の少くと
も１つの方向にピクセル整数増分だけ移動させられるこ
とを特徴とする装置。
（４７）特許請求の範囲第３５項記載の装置であつて、
前記検出手段は、前記整列させられた第１のデータ部分からの特定のｑ×
ｑピクセルデータアレイを表すピクセルデータが一緒に
加え合わされて、前記特定のｑ×ｑアレイに対応するｑ
×ｑアレイに対して副ピクセル増分だけ移動させられた
前記第２の格納されているデータ部分からの移動させら
れたｑ×ｑピクセルデータアレイからのピクセルデータ
の和から減算される面積減算アルゴリズムを実現する論
理回路と、その減算の結果をあるしきい値と比較し、その結果がそ
のしきい値より大きければ欠陥の存在を指示する手段とを備えることを特徴とする装置。
（４８）特許請求の範囲第３５項記載の装置であつて、
少くとも前記検出手段は前記第１のデータ流を発生する
ために光学的装置および関連する光検出手段を含み、前記第１のデータ流の前記部分が前記記憶装置に格納さ
れる前に、前記第１のデータ流に対して直交するＸ方向
とＹ方向の補間であつて、前記データの光学的−機械的
歪みを修正するように機能する補間を行う手段と、前記第１のデータ流を修正するために要する時間に相応
する時間だけ前記第２のデータ流を遅延させる手段とを備えることを特徴とする装置。
（４９）特許請求の範囲第３５項記載の装置であつて、
それの各ピクセルの映像内容を表す信号値を有する第２
のデータ流を発生する前記手段は、第１のデータ流と比
較できる理想的な映像データをデータベースから発生す
るように構成されたデータ処理装置であることを特徴と
する装置。
（５０）特許請求の範囲第３５項記載の装置であつて、
前記検査手段と前記発生手段の少くとも一方は前記デー
タ流を発生するために光学的装置および関連する光検出
手段を含み、前記光学的装置の検出特性に対応する直交するＸ補間デ
ータとＹ補間データを発生する手段と、データの前記部
分が記憶装置に格納される前に、前記Ｘ補間データを用
いて前記第１のデータ流においてデータの第１の動的な
補間を行う手段と、データの前記部分が記憶装置に格納
される前に、前記Ｙ補間データを用いて前記第１のデー
タ流におけるＸ補間されたデータの第１の動的な補間を
行う過程と、遅延させられた第２のデータ流がＸ補間された第１のデ
ータ流およびＹ補間された第１のデータ流に時間的に一
致するように、前記第２のデータ流を遅延させる手段とを備え、光学的装置が前記物体の対応するピクセル領域
から得た検出されたピクセルデータの光学的歪みおよび
機械的歪みに関連するから、Ｘ補間データとＹ補間デー
タの任意の組合わせが光学的装置の光学的特性を独自に
定めることを特徴とする装置。
（５１）特許請求の範囲第３５項記載の装置であつて、
前記第１のデータ流と前記第２のデータ流れにおいて表
されている物体特徴の寸法がほぼ等しいように、前記デ
ータ流の少くとも１つにおけるデータを調節することに
より前記第１のデータ流と前記第２のデータ流に対して
臨界寸法修正を行う手段を備えることを特徴とする装置
。
（５２）特許請求の範囲第５１項記載の装置であつて、
臨界寸法修正を行う前記手段は、前記第１のデータ流お
よび前記第２のデータ流中の前記物体の特徴によりカバ
ーされる映像データの対応する広い面積の百分率を測定
し、それらの物体特徴のそれぞれの周辺を測定し、それ
から前記面積の測定された値を前記周辺の測定された値
で除して、両方の流れ内の対応するデータを一致させる
ために要する寸法変化の測定値を得、前記データ流の少
くとも１つにおけるデータを調節して前記一致を行わせ
る手段と、前記データ流の少くとも１つにおけるデータ
を調節して前記一致を行うことを特徴とする装置。
（５３）特許請求の範囲第５２項記載の装置であつて、
前記調節手段は、ピクセルの灰色レベルデータの大きさ
を上または下にデジタル的に再マッピングして、プロセ
スの変化による線幅の変化の影響を打消すことにより前
記調節を行う手段を含むことを特徴とする装置。
（５４）特許請求の範囲第５３項記載の装置であつて、
前記再マッピング手段は、対応するピクセルが落ちる縁
部上の場所に応じて所定のやり方で前記ピクセル灰色レ
ベルデータの大きさを調節するＳカーブ補間アルゴリズ
ムを用いてデジタル再マッピングを行うことにより線幅
を実効的に広くしたり、狭くすることを特徴とする装置
。
（５５）特許請求の範囲第５２項記載の装置であつて、
各データ流が他のデータ流の再マップされた縁部データ
により近く位置的に一致するように、検出された位置関
係を用いて各データ流の対応する縁部データを再マップ
することを特徴とする装置。
（５６）特許請求の範囲第５５項記載の装置であつて、
再マッピング動作は、縁部遷移の各ピクセルに対応する
縁部データの信号レベルが、縁部遷移におけるピクセル
の位置と、再マッピング動作の向きとに応じた所定の増
分だけ大きさが調節されるＳカーブ補間アルゴリズムに
より行われることを特徴とする装置。
（５７）物体の選択された表面領域を検査し、それの各
ピクセルの映像内容を表す信号値を持つ第１のデータ流
を発生する手段と、前記第１の領域の表面特性に対応する表面特性を有する
ものと信じられる前記物体の第２の選択された表面領域
を検査し、前記第２の領域の各ピクセルの映像内容を表
す信号値を有する第２のデータ流を発生する手段と、第１のデータ流と第２のデータ流の対応する部分を格納
する記憶装置と、前記第１のデータ流の格納されている部分と前記第２の
データ流の格納されている部分の間のどのような不整列
もピクセルの一部の解像力で検出する検出手段と、格納されているデータを整列させて、それらのデータの
間の検出されたどのような不整列も修正する手段と、データの整列させられ、格納された第１の部分と第２の
部分の対応する副部分を比較して、それらの間の差を検
出し、差を検出した時に、検査されている物体上の特定
の場所における欠陥の存在を指示する検出手段とを備えることを特徴とするホトマスク等のような物体を
検査する装置。
（５８）物体の選択された表面領域を検査し、それの各
ピクセルの映像内容を表す信号値を持つ第１のデータ流
を発生する手段と、前記第１のデータ流の各ピクセルの理想的な映像内容を
それぞれ表す信号値を有する第２のデータ流をデータベ
ースから発生する手段と、第１のデータ流と第２のデータ流の対応する部分を格納
する記憶装置と、前記第１のデータ流の格納されている部分と前記第２の
データ流の格納されている部分の間のどのような不整列
もピクセルの一部の解像力で検出する検出手段と、格納されているデータを整列させて、それらのデータの
間の検出されたどのような不整列も修正する手段と、データの整列させられ、格納された第１の部分と第２の
部分の対応する副部分を比較して、それらの間の差を検
出し、差を検出した時に、検査されている物体上の特定
の場所における欠陥の存在を指示する検出手段とを備えることを特徴とするホトマスク等のような物体を
検査する装置。