JP3828552B2 - 寸法測定方法と寸法測定システム及び寸法測定プログラム - Google Patents
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Description
10…光学顕微鏡
20…データベース
30…パソコン
11…ステージ
12…光源
13…コンデンサレンズ
14…対物レンズ
15…カメラ
31…入力部
32…画像保存部
33…設計データ保存部
34…設定条件保存部
35…シミュレート部
36…シミュレート像保存部
37…判定基準保存部
38…比較部
39…変更部
41…繰り返し部
42…出力部
Claims (13)
- 半導体装置のパターン露光に供されるフォトマスクに形成されたパターンの寸法を測定するための寸法測定方法であって、
フォトマスクのパターンを含む画像を光学顕微鏡にて取得する第1のステップと、
第1のステップで得られた画像に相当するフォトマスク設計データから、前記光学顕微鏡の画像をシミュレートすることにより、2次元画像データに像強度の情報を加えた3次元データであるシミュレート像を取得する第2のステップと、
第1のステップで得られた画像と第2のステップで得られたシミュレート像とを、予め定められた判定基準に従って比較する第3のステップと、
第3のステップによる判定結果に応じてフォトマスク設計データ上のパターン寸法を変更し、第2,第3のステップを再度実行する第4のステップと、
第3のステップにおける判定基準を満たすように、第4のステップを繰り返すことにより、最終的に得られたフォトマスク設計データ上のパターン寸法を寸法測定値として決定する第5のステップと、
を含むことを特徴とする寸法測定方法。 - 第4のステップにおいて、フォトマスク設計データ上のパターン寸法と共に、該データ上のパターン形状及びパターン位置を変更することを特徴とする、請求項1に記載の寸法測定方法。
- 第2のステップにおいて、フォトマスク設計データに記述されている光学特性値の設計値を、予め測定又は該光学特性値以外の測定値から換算された値に置換することにより、フォトマスク設計データを修正し、修正された設計データからシミュレート像を取得することを特徴とする、請求項1に記載の寸法測定方法。
- 第3のステップにおける判定基準として、前記画像と前記シミュレート像との像強度の差を用い、該差が予め定められた範囲内であるか否かを判定することを特徴とする、請求項1に記載の寸法測定方法。
- 第3のステップにおける判定基準として、ある一定領域にて前記画像及び前記シミュレート像の像強度分布をそれぞれ積分した積分値を用い、両者の積分値の差が予め定められた範囲内であるか否かを判定することを特徴とする、請求項1に記載の寸法測定方法。
- 第3のステップにおける判定基準として、前記画像と前記シミュレート像において像強度が所定のしきい値に達する位置を用い、両者の位置のずれ量或いは該ずれ量に相当する値が予め定められた範囲内であるか否かを判定することを特徴とする、請求項1に記載の寸法測定方法。
- 第3のステップにおける判定基準として、前記画像と前記シミュレート像との像強度の差を用い、前記フォトマスク設計データのパターン寸法の変更に対して、該差或いは該差を代表する値が最小となる点を判定することを特徴とする、請求項1に記載の寸法測定方法。
- 第3のステップにおける判定基準として、ある一定領域にて前記画像及び前記シミュレート像の像強度分布を積分した積分値を用い、前記フォトマスク設計データのパターン寸法の変更に対して、両者の積分値の差が最小となる点を判定することを特徴とする、請求項1に記載の寸法測定方法。
- 第3のステップにおける判定基準として、前記画像と前記シミュレート像において像強度が所定のしきい値に達する位置を用い、前記フォトマスク設計データのパターン寸法の変更に対して、両者の位置のずれ量或いは該ずれ量に相当する値が最小となる点を判定することを特徴とする、請求項1に記載の寸法測定方法。
- 半導体装置のパターン露光に供されるフォトマスクに形成されたパターンの寸法を測定するための寸法測定システムであって、
フォトマスクのパターンを含む画像を光学顕微鏡にて取得する第1の手段と、
第1の手段で得られた画像に相当するフォトマスク設計データから、前記光学顕微鏡の画像をシミュレートすることによって、2次元画像データに像強度の情報を加えた3次元データであるシミュレート像を取得する第2の手段と、
第1の手段で得られた画像と、第2の手段で得られたシミュレート像を、予め定められた判定基準に従って比較する第3の手段と、
第3の手段における判定基準を満たすように、フォトマスク設計データ上のパターン寸法を変更し、最終的に得られたフォトマスク設計データ上のパターン寸法を寸法測定値として出力する第4の手段と、
を具備してなることを特徴とする寸法測定システム。 - 半導体装置のパターン露光に供されるフォトマスクに形成されたパターンに対し、コンピュータ制御により寸法測定を行うためのコンピュータ読み取り可能なプログラムであって、
フォトマスクのパターンを含む画像を光学顕微鏡から受け取る第1の手順と、第1の手順で得られた画像に相当するフォトマスク設計データから、前記光学顕微鏡の画像をシミュレートすることにより、2次元画像データに像強度の情報を加えた3次元データであるシミュレート像を取得する第2の手順と、第1の手順で得られた画像と、第2の手順で得られたシミュレート像を、予め定められた判定基準に従って比較する第3の手順と、フォトマスク設計データ上のパターン寸法を変更して、第2,第3の手順を実行する第4の手順と、第3の手順における判定基準を満たすように、第4の手順を繰り返すことにより、最終的に得られたフォトマスク設計データ上のパターン寸法を寸法測定値として決定する第5の手順と、
をコンピュータに実行させるための寸法測定プログラム。 - 半導体装置のパターン露光に供されるフォトマスクに形成されたパターンの形状を測定するための形状測定方法であって、
フォトマスクのパターンを含む画像を光学顕微鏡にて取得する第1のステップと、
第1のステップで得られた画像に相当するフォトマスク設計データから、前記光学顕微鏡の画像をシミュレートすることにより、2次元画像データに像強度の情報を加えた3次元データであるシミュレート像を取得する第2のステップと、
第1のステップで得られた画像と第2のステップで得られたシミュレート像とを、予め定められた判定基準に従って比較する第3のステップと、
第3のステップによる判定結果に応じてフォトマスク設計データ上のパターン形状を変更し、第2,第3のステップを再度実行する第4のステップと、
第3のステップにおける判定基準を満たすように、第4のステップを繰り返すことにより、最終的に得られたフォトマスク設計データをパターン形状として出力する第5のステップと、
を含むことを特徴とするフォトマスクパターンの形状測定方法。 - 請求項12に記載のフォトマスクパターンの形状測定方法により最終的に得られたフォトマスク設計データに基づいてマスク基板上にパターンを描画することを特徴とするフォトマスクの製造方法。
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