JP3381225B2 - 位置決め方法及び位置決め装置 - Google Patents
位置決め方法及び位置決め装置Info
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Description
【０００１】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。
産業上の利用分野
従来の技術
発明が解決しようとする課題
課題を解決するための手段（図１〜図４）
作用（図１〜図４）
実施例（図１〜図４）
発明の効果
【０００２】
【産業上の利用分野】本発明は位置決め方法及び位置決
め装置に関し、例えばスクリーン印刷装置における基板
の位置決め方法及び位置決め装置に適用して好適なもの
である。
め装置に関し、例えばスクリーン印刷装置における基板
の位置決め方法及び位置決め装置に適用して好適なもの
である。
【０００３】
【従来の技術】従来、この種の位置決め方法及び位置決
め装置においては、基板を位置決めするためのアライメ
ントマークを当該基板上に形成し、このアライメントマ
ークを撮像カメラによつて撮像し、当該アライメントマ
ークの位置を画像処理によつて検出することにより、基
板の位置を検出し当該基板を位置決めするようになされ
ている。
め装置においては、基板を位置決めするためのアライメ
ントマークを当該基板上に形成し、このアライメントマ
ークを撮像カメラによつて撮像し、当該アライメントマ
ークの位置を画像処理によつて検出することにより、基
板の位置を検出し当該基板を位置決めするようになされ
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが印刷対象とな
る基板の位置決め精度を向上しようとすると、アライメ
ントマークを検出するための光学系の倍率を大きくする
必要があり、この結果当該アライメントマークをカメラ
の視野内に収めるためにアライメントマークを小型化す
る必要がある。この結果微小なアライメントマークをカ
メラの視野内に位置決めすること（プリアライメント）
が困難になる問題があつた。
る基板の位置決め精度を向上しようとすると、アライメ
ントマークを検出するための光学系の倍率を大きくする
必要があり、この結果当該アライメントマークをカメラ
の視野内に収めるためにアライメントマークを小型化す
る必要がある。この結果微小なアライメントマークをカ
メラの視野内に位置決めすること（プリアライメント）
が困難になる問題があつた。
【０００５】またこの場合、１つのアライメントマーク
を用いて基板の位置を同定することはアライメントマー
クの精度に位置決め精度が依存することになり、基板の
位置決め精度が劣化する問題があつた。
を用いて基板の位置を同定することはアライメントマー
クの精度に位置決め精度が依存することになり、基板の
位置決め精度が劣化する問題があつた。
【０００６】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、一段と簡単かつ精度の良い位置決め方法及び位置決
め装置を提案しようとするものである。
で、一段と簡単かつ精度の良い位置決め方法及び位置決
め装置を提案しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、所定の位置決め対象１３にアライ
メントマークＡＭＡを形成し、当該アライメントマーク
ＡＭＡを検出することにより位置決め対象１３を位置決
めする位置決め方法において、円形形状の単位マークＭ
Ａを複数円環状に配列してなるアライメントマークＡＭ
Ａの単位マークＭＡのうち、少なくとも３つの単位マー
クＭＡを検出し、検出された少なくとも３つの単位マー
クＭＡの中心座標に基づいてアライメントマークＡＭＡ
の中心座標を算出し、算出されたアライメントマークＡ
ＭＡの中心座標値に基づいて位置決め対象１３の位置を
同定し、位置決め対象１３の同定結果に基づいて位置決
め対象１３を所定位置に位置決めするようにする。
め本発明においては、所定の位置決め対象１３にアライ
メントマークＡＭＡを形成し、当該アライメントマーク
ＡＭＡを検出することにより位置決め対象１３を位置決
めする位置決め方法において、円形形状の単位マークＭ
Ａを複数円環状に配列してなるアライメントマークＡＭ
Ａの単位マークＭＡのうち、少なくとも３つの単位マー
クＭＡを検出し、検出された少なくとも３つの単位マー
クＭＡの中心座標に基づいてアライメントマークＡＭＡ
の中心座標を算出し、算出されたアライメントマークＡ
ＭＡの中心座標値に基づいて位置決め対象１３の位置を
同定し、位置決め対象１３の同定結果に基づいて位置決
め対象１３を所定位置に位置決めするようにする。
【０００８】また本発明においては、所定の位置決め対
象１３にアライメントマークＡＭＡを形成し、当該アラ
イメントマークＡＭＡを検出することにより位置決め対
象１３を位置決めする位置決め装置１０において、円形
形状の単位マークＭＡを複数円環状に配列してなるアラ
イメントマークＡＭＡの単位マークＭＡのうち、少なく
とも３つの単位マークＭＡを検出する検出手段１４、１
５（１７、１８）と、検出手段１４、１５（１７、１
８）によつて検出された少なくとも３つの単位マークＭ
Ａの中心座標に基づいてアライメントマークＡＭＡの中
心座標を算出すると共に当該算出された結果に基づいて
位置決め対象１３の位置を同定する演算手段１６、１
９、２２と、位置決め対象１３の同定結果に基づいて位
置決め対象１３を所定位置に位置決めする位置決め手段
２２、２４、２５とを備えるようにする。
象１３にアライメントマークＡＭＡを形成し、当該アラ
イメントマークＡＭＡを検出することにより位置決め対
象１３を位置決めする位置決め装置１０において、円形
形状の単位マークＭＡを複数円環状に配列してなるアラ
イメントマークＡＭＡの単位マークＭＡのうち、少なく
とも３つの単位マークＭＡを検出する検出手段１４、１
５（１７、１８）と、検出手段１４、１５（１７、１
８）によつて検出された少なくとも３つの単位マークＭ
Ａの中心座標に基づいてアライメントマークＡＭＡの中
心座標を算出すると共に当該算出された結果に基づいて
位置決め対象１３の位置を同定する演算手段１６、１
９、２２と、位置決め対象１３の同定結果に基づいて位
置決め対象１３を所定位置に位置決めする位置決め手段
２２、２４、２５とを備えるようにする。
【０００９】また本発明においては、所定のパターンを
印刷する電子回路基板１３において、円形形状でなる複
数の単位マークＭＡを円環状に配列してなるアライメン
トマークＡＭＡを備えるようにする。
印刷する電子回路基板１３において、円形形状でなる複
数の単位マークＭＡを円環状に配列してなるアライメン
トマークＡＭＡを備えるようにする。
【００１０】また本発明においては、所定のパターンを
印刷する基板１３にアライメントマークＡＭＡを形成
し、当該アライメントマークＡＭＡを検出することによ
り基板１３を位置決めする位置決め方法において、円形
形状の単位マークＭＡを複数円環状に配列してなるアラ
イメントマークＡＭＡの単位マークＭＡのうち、少なく
とも３つの単位マークＭＡを検出し、検出された少なく
とも３つの単位マークＭＡの中心座標に基づいてアライ
メントマークＡＭＡの中心座標を算出し、算出されたア
ライメントマークＡＭＡの中心座標値に基づいて基板１
３の位置を同定し、基板１３の同定結果に基づいて基板
１３を所定位置に位置決めし、位置決めされた基板１３
を所定量シフトした後、基板１３にパターンを印刷する
ようにする。
印刷する基板１３にアライメントマークＡＭＡを形成
し、当該アライメントマークＡＭＡを検出することによ
り基板１３を位置決めする位置決め方法において、円形
形状の単位マークＭＡを複数円環状に配列してなるアラ
イメントマークＡＭＡの単位マークＭＡのうち、少なく
とも３つの単位マークＭＡを検出し、検出された少なく
とも３つの単位マークＭＡの中心座標に基づいてアライ
メントマークＡＭＡの中心座標を算出し、算出されたア
ライメントマークＡＭＡの中心座標値に基づいて基板１
３の位置を同定し、基板１３の同定結果に基づいて基板
１３を所定位置に位置決めし、位置決めされた基板１３
を所定量シフトした後、基板１３にパターンを印刷する
ようにする。
【００１１】また本発明においては、所定のパターンを
印刷する基板１３にアライメントマークＡＭＡを形成
し、当該アライメントマークＡＭＡを検出することによ
り基板１３を位置決めする位置決め装置１０において、
円形形状の単位マークＭＡを複数円環状に配列してなる
アライメントマークＡＭＡの単位マークＭＡのうち、少
なくとも３つの単位マークＭＡを検出する検出手段１
４、１５（１７、１８）と、検出手段１４、１５（１
７、１８）によつて検出された少なくとも３つの単位マ
ークＭＡの中心座標に基づいてアライメントマークＡＭ
Ａの中心座標を算出すると共に当該算出された結果に基
づいて基板１３の位置を同定する演算手段１６、１９、
２２と、基板１３の同定結果に基づいて基板１３を所定
位置に位置決めする位置決め手段２２、２４、２５と、
位置決めされた基板１３を所定量シフトさせた後、基板
１３にパターンを印刷するシフト制御手段２２、２４と
を備えるようにする。
印刷する基板１３にアライメントマークＡＭＡを形成
し、当該アライメントマークＡＭＡを検出することによ
り基板１３を位置決めする位置決め装置１０において、
円形形状の単位マークＭＡを複数円環状に配列してなる
アライメントマークＡＭＡの単位マークＭＡのうち、少
なくとも３つの単位マークＭＡを検出する検出手段１
４、１５（１７、１８）と、検出手段１４、１５（１
７、１８）によつて検出された少なくとも３つの単位マ
ークＭＡの中心座標に基づいてアライメントマークＡＭ
Ａの中心座標を算出すると共に当該算出された結果に基
づいて基板１３の位置を同定する演算手段１６、１９、
２２と、基板１３の同定結果に基づいて基板１３を所定
位置に位置決めする位置決め手段２２、２４、２５と、
位置決めされた基板１３を所定量シフトさせた後、基板
１３にパターンを印刷するシフト制御手段２２、２４と
を備えるようにする。
【００１２】
【作用】複数の単位マークＭＡのうち少なくとも３つの
単位マークＭＡを検出することができれば、アライメン
トマークＡＭＡの中心座標を検出することができる。こ
の結果アライメントマークＡＭＡを検出手段１４（１
７）の視野内に収めるプリアライメント時の位置決め対
象１３の位置のばらつきの許容範囲を大きくすることが
できる。
単位マークＭＡを検出することができれば、アライメン
トマークＡＭＡの中心座標を検出することができる。こ
の結果アライメントマークＡＭＡを検出手段１４（１
７）の視野内に収めるプリアライメント時の位置決め対
象１３の位置のばらつきの許容範囲を大きくすることが
できる。
【００１３】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１４】図１において１０は全体として印刷対象と
なる透明なガラス基板の位置決め装置を示し、平板スク
リーン１２及び当該平板スクリーン１２の下に位置決め
される基板１３をそれぞれ２台のカメラ１４及び１７で
撮像し、平板スクリーン１２上に形成されたアライメン
トマーク及び基板１２上に形成されたアライメントマー
クを当該カメラ１４及び１７によつて検出するようにな
されている。
なる透明なガラス基板の位置決め装置を示し、平板スク
リーン１２及び当該平板スクリーン１２の下に位置決め
される基板１３をそれぞれ２台のカメラ１４及び１７で
撮像し、平板スクリーン１２上に形成されたアライメン
トマーク及び基板１２上に形成されたアライメントマー
クを当該カメラ１４及び１７によつて検出するようにな
されている。
【００１５】すなわち図２は基板１３に形成されるアラ
イメントマークＡＭＡを示し、円環状に群をなしたＮ個
の小円形状の単位マークＭＡによつて形成される。この
実施例の場合、単位マークＭＡは１２個とする。
イメントマークＡＭＡを示し、円環状に群をなしたＮ個
の小円形状の単位マークＭＡによつて形成される。この
実施例の場合、単位マークＭＡは１２個とする。
【００１６】まず平板スクリーン１２に形成されたアラ
イメントマークをカメラ１４及び１７によつて検出す
る。すなわちカメラ１４及び１７の焦点を平板スクリー
ン１２に形成されたアライメントマークに合わせ、当該
マークを読み込む。カメラ１４から読み込まれたアライ
メントマークは画像生成回路１５において画像として生
成され、続く座標変換回路１６においてマシン座標系に
変換される。またカメラ１７から読み込まれたアライメ
ントマークは画像生成回路１８において画像として生成
され、続く座標変換回路１９においてマシン座標系に変
換される。
イメントマークをカメラ１４及び１７によつて検出す
る。すなわちカメラ１４及び１７の焦点を平板スクリー
ン１２に形成されたアライメントマークに合わせ、当該
マークを読み込む。カメラ１４から読み込まれたアライ
メントマークは画像生成回路１５において画像として生
成され、続く座標変換回路１６においてマシン座標系に
変換される。またカメラ１７から読み込まれたアライメ
ントマークは画像生成回路１８において画像として生成
され、続く座標変換回路１９においてマシン座標系に変
換される。
【００１７】このときカメラ１４によつて読み込まれた
アライメントマークのマシン座標をＨａとし、カメラ１
７によつて読み込まれたアライメントマークのマシン座
標をＨｂとし、Ｈａ及びＨｂを目標座標とする。
アライメントマークのマシン座標をＨａとし、カメラ１
７によつて読み込まれたアライメントマークのマシン座
標をＨｂとし、Ｈａ及びＨｂを目標座標とする。
【００１８】またこれに続いて基板１３に形成されたア
ライメントマークＡＭＡ（図２）をカメラ１４及び１７
によつて検出する。すなわちカメラ１４及び１７の焦点
を順次基板１３に形成されたアライメントマークＡＭＡ
に合わせ、当該マークを読み込む。カメラ１４から読み
込まれたアライメントマークＡＭＡの単位マークＭＡは
画像処理回路１５において画像として生成され、続く座
標変換回路１６においてマシン座標系に変換される。ま
たカメラ１７から読み込まれたアライメントマークＡＭ
Ａの単位マークＭＡは画像生成回路１８において画像と
して生成され、続く座標変換回路１９においてマシン座
標系に変換される。
ライメントマークＡＭＡ（図２）をカメラ１４及び１７
によつて検出する。すなわちカメラ１４及び１７の焦点
を順次基板１３に形成されたアライメントマークＡＭＡ
に合わせ、当該マークを読み込む。カメラ１４から読み
込まれたアライメントマークＡＭＡの単位マークＭＡは
画像処理回路１５において画像として生成され、続く座
標変換回路１６においてマシン座標系に変換される。ま
たカメラ１７から読み込まれたアライメントマークＡＭ
Ａの単位マークＭＡは画像生成回路１８において画像と
して生成され、続く座標変換回路１９においてマシン座
標系に変換される。
【００１９】このときカメラ１４によつて読み込まれた
アライメントマークのマシン座標をＫａとし、カメラ１
７によつて読み込まれたアライメントマークのマシン座
標をＫｂとする。
アライメントマークのマシン座標をＫａとし、カメラ１
７によつて読み込まれたアライメントマークのマシン座
標をＫｂとする。
【００２０】ここで図３は基板１３のアライメントマー
クＡＭＡを検出し、当該アライメントマークＡＭＡの位
置から基板１３の位置を同定する処理手順を示し、位置
決め装置１０の制御部（図示せず）は、ステツプＳＰ１
から当該処理手順に入りステツプＳＰ２においてカメラ
１４によつて基板１３に形成されたアライメントマーク
ＡＭＡを撮像し、続くステツプＳＰ３において当該撮像
されたアライメントマークＡＭＡを画像処理回路１５に
設けられた画像メモリ（図示せず）に取り込む。この画
像をテスト画像と呼ぶ。
クＡＭＡを検出し、当該アライメントマークＡＭＡの位
置から基板１３の位置を同定する処理手順を示し、位置
決め装置１０の制御部（図示せず）は、ステツプＳＰ１
から当該処理手順に入りステツプＳＰ２においてカメラ
１４によつて基板１３に形成されたアライメントマーク
ＡＭＡを撮像し、続くステツプＳＰ３において当該撮像
されたアライメントマークＡＭＡを画像処理回路１５に
設けられた画像メモリ（図示せず）に取り込む。この画
像をテスト画像と呼ぶ。
【００２１】ここで当該基板１３の表面にはアライメン
トマークＡＭＡ以外の例えばきず等の異物が存在する場
合が有り、当該異物とアライメントマークＡＭＡとを区
別するためのシエーデイング補正を行う必要がある。
トマークＡＭＡ以外の例えばきず等の異物が存在する場
合が有り、当該異物とアライメントマークＡＭＡとを区
別するためのシエーデイング補正を行う必要がある。
【００２２】すなわち制御部はステツプＳＰ４におい
て、予め記憶されているアライメントマークＡＭＡが形
成されていない基板のマスタ画像を取り込み、続くステ
ツプＳＰ５においてテスト画像から当該マスタ画像を減
算することにより、アライメントマークＡＭＡだけから
なる画像を得る。
て、予め記憶されているアライメントマークＡＭＡが形
成されていない基板のマスタ画像を取り込み、続くステ
ツプＳＰ５においてテスト画像から当該マスタ画像を減
算することにより、アライメントマークＡＭＡだけから
なる画像を得る。
【００２３】さらに制御部はステツプＳＰ６において当
該画像を一定のレベルで２値化した後、続くステツプＳ
Ｐ７において当該２値化画像に対してマークとして判定
し得る程度の面積を有する円形形状のもの（以下これを
島と呼ぶ）の数及びそれぞれの島の面積と位置とをテー
ブルに記録する。
該画像を一定のレベルで２値化した後、続くステツプＳ
Ｐ７において当該２値化画像に対してマークとして判定
し得る程度の面積を有する円形形状のもの（以下これを
島と呼ぶ）の数及びそれぞれの島の面積と位置とをテー
ブルに記録する。
【００２４】このテーブルのデータに基づいて制御部は
ステツプＳＰ８において、島の面積が一定の範囲内にあ
るものを単位マークＭＡと判定する。このように単位マ
ークＭＡとして判定されたものに対して、制御部はステ
ツプＳＰ９において３個選択する。ここで１２個の単位
マークＭＡから３個を選択する組み合わせは２２０通り
となるが、例えば３個とも隣合う場合を除外する等の条
件に合つた３つの単位マークＭＡを選択するようにすれ
ば良い。
ステツプＳＰ８において、島の面積が一定の範囲内にあ
るものを単位マークＭＡと判定する。このように単位マ
ークＭＡとして判定されたものに対して、制御部はステ
ツプＳＰ９において３個選択する。ここで１２個の単位
マークＭＡから３個を選択する組み合わせは２２０通り
となるが、例えば３個とも隣合う場合を除外する等の条
件に合つた３つの単位マークＭＡを選択するようにすれ
ば良い。
【００２５】さらに制御部はステツプＳＰ１０に移つ
て、選択された３個の単位マークＭＡからアライメント
マークＡＭＡの中心座標を算出する。すなわちアライメ
ントマークＡＭＡの中心座標をＰ０（Ｉ、Ｊ）、半径を
ｒとして、各単位マークＭＡによつて形成されるアライ
メントマークＡＭＡの円の方程式は、次式
て、選択された３個の単位マークＭＡからアライメント
マークＡＭＡの中心座標を算出する。すなわちアライメ
ントマークＡＭＡの中心座標をＰ０（Ｉ、Ｊ）、半径を
ｒとして、各単位マークＭＡによつて形成されるアライ
メントマークＡＭＡの円の方程式は、次式
【数１】
によつて表される。
【００２６】ここで（１）式のＩPx及びＪPxにそれぞれ
選択された３個の単位マークの中心座標Ｐ１（Ｉ、
Ｊ）、Ｐ２（Ｉ、Ｊ）、Ｐ３（Ｉ、Ｊ）を代入し、ＩP0
2 、ＪP0 2 、ｒ2 の項を消去し整理すると、次式
選択された３個の単位マークの中心座標Ｐ１（Ｉ、
Ｊ）、Ｐ２（Ｉ、Ｊ）、Ｐ３（Ｉ、Ｊ）を代入し、ＩP0
2 、ＪP0 2 、ｒ2 の項を消去し整理すると、次式
【数２】
の関係式が得られる。
【００２７】従つて（２）式の左辺をＶ、右辺第１項を
Ｗとすれば、次式
Ｗとすれば、次式
【数３】
が求まる。実際には縦横比があるのでアスペクトレシオ
ＡＲを代入して、（３）式のＶ及びＷは次式
ＡＲを代入して、（３）式のＶ及びＷは次式
【数４】
【数５】
となる。
【００２８】このようにして算出されたアライメントマ
ークＡＭＡの中心座標データをＫａとし、さらに図３に
ついて上述した処理手順と同様の処理手順によつてカメ
ラ１７によるアライメントマークＡＭＡの検出及び中心
座標の算出を実行し、当該算出された中心座標データを
Ｋｂとする。
ークＡＭＡの中心座標データをＫａとし、さらに図３に
ついて上述した処理手順と同様の処理手順によつてカメ
ラ１７によるアライメントマークＡＭＡの検出及び中心
座標の算出を実行し、当該算出された中心座標データを
Ｋｂとする。
【００２９】このように得られた平板スクリーン１２の
アライメントマーク及び基板１３のアライメントマーク
ＡＭＡの中心座標データＨａ、Ｈｂ、Ｋａ及びＫｂは演
算回路２２に送出され、当該中心座標データＨａ、Ｈ
ｂ、Ｋａ及びＫｂに基づいて基板１３の位置決めが行わ
れる。
アライメントマーク及び基板１３のアライメントマーク
ＡＭＡの中心座標データＨａ、Ｈｂ、Ｋａ及びＫｂは演
算回路２２に送出され、当該中心座標データＨａ、Ｈ
ｂ、Ｋａ及びＫｂに基づいて基板１３の位置決めが行わ
れる。
【００３０】すなわち図４は基板１３を平板スクリーン
１２に対して位置決めする場合の補正量を算出する方法
を示し、ベクトルＫ＝Ｋｂ−Ｋａ、ベクトルＨ＝Ｈｂ−
Ｈａとして、２つのベクトルＨ及びベクトルＫを重ね合
わせた時の誤差を最小にするようにベクトルＫを移動さ
せる。
１２に対して位置決めする場合の補正量を算出する方法
を示し、ベクトルＫ＝Ｋｂ−Ｋａ、ベクトルＨ＝Ｈｂ−
Ｈａとして、２つのベクトルＨ及びベクトルＫを重ね合
わせた時の誤差を最小にするようにベクトルＫを移動さ
せる。
【００３１】この場合、各ベクトルＨ及びベクトルＫの
中心を一致させるようにベクトルＫを平行移動すると共
に、各ベクトルＨ及びベクトルＫのなす角θを０にす
る。この結果、ベクトルＨの中心（Ｈａ＋Ｈｂ）／２に
ベクトルＫの中心（Ｋａ＋Ｋｂ）／２を一致させる平行
移動量Ｗは、次式
中心を一致させるようにベクトルＫを平行移動すると共
に、各ベクトルＨ及びベクトルＫのなす角θを０にす
る。この結果、ベクトルＨの中心（Ｈａ＋Ｈｂ）／２に
ベクトルＫの中心（Ｋａ＋Ｋｂ）／２を一致させる平行
移動量Ｗは、次式
【数６】
によつて与えられる。但し平行移動量Ｗはベトクルによ
つて表される。
つて表される。
【００３２】またベクトルＨ及びベクトルＫのなす角θ
は、次式
は、次式
【数７】
及び次式
【数８】
となる。但しdirection は次式
【数９】
である。
【００３３】このようにして算出された平行移動量Ｗ及
び角度θがモータ制御部２４に送出され、モータ制御部
２４はこれに基づいてモータ２５を駆動することによ
り、基板１３を移動しこれを位置決めする。
び角度θがモータ制御部２４に送出され、モータ制御部
２４はこれに基づいてモータ２５を駆動することによ
り、基板１３を移動しこれを位置決めする。
【００３４】位置決めされた基板１３は平板スクリーン
１２の直下におり、そのまま印刷するとスクリーンペー
ストによつて基板１３のアライメントマークＡＭＡが覆
われ、再度位置同定が不可能になる。従つて印刷時には
アライメントマークＡＭＡから所定量だけ逃げた位置へ
の印刷を行なう。この場合平板スクリーン１３の設計時
にシフト量及び方向を決めておく必要がある。
１２の直下におり、そのまま印刷するとスクリーンペー
ストによつて基板１３のアライメントマークＡＭＡが覆
われ、再度位置同定が不可能になる。従つて印刷時には
アライメントマークＡＭＡから所定量だけ逃げた位置へ
の印刷を行なう。この場合平板スクリーン１３の設計時
にシフト量及び方向を決めておく必要がある。
【００３５】以上の構成において、アライメントマーク
ＡＭＡは複数（１２個）の単位マークＭＡによつて構成
されており、当該単位マークＭＡのなかから３つの単位
マークＭＡをカメラ１４（及び１７）の視野内に入るよ
うにすれば、当該３つの単位マークＭＡからアライメン
トマークＡＭＡの中心座標を求めることができる。
ＡＭＡは複数（１２個）の単位マークＭＡによつて構成
されており、当該単位マークＭＡのなかから３つの単位
マークＭＡをカメラ１４（及び１７）の視野内に入るよ
うにすれば、当該３つの単位マークＭＡからアライメン
トマークＡＭＡの中心座標を求めることができる。
【００３６】このように複数の単位マークＭＡからアラ
イメントマークＡＭＡを中心座標を算出し、当該算出さ
れた中心座標データを用いて基板１３の位置決めを行う
ことにより、比較的大きな複数の単位マークＭＡを用い
てプリアライメント（すなわちアラメントマークＡＭＡ
の一部をカメラ１４（及び１７）の視野内に入れるこ
と）を行うことができ、微小なアライメントマークをプ
リアライメントする場合に比して当該プリアライメント
を一段と容易にすることができる。
イメントマークＡＭＡを中心座標を算出し、当該算出さ
れた中心座標データを用いて基板１３の位置決めを行う
ことにより、比較的大きな複数の単位マークＭＡを用い
てプリアライメント（すなわちアラメントマークＡＭＡ
の一部をカメラ１４（及び１７）の視野内に入れるこ
と）を行うことができ、微小なアライメントマークをプ
リアライメントする場合に比して当該プリアライメント
を一段と容易にすることができる。
【００３７】以上の構成によれば、プリアライメントと
して複数の単位マークＭＡのうち少なくとも３個の単位
マークＭＡがカメラ１４（及び１７）の視野内に入るよ
うにすれば基板１３を位置決めすることができることに
より、プリアライメントによる初期位置のばらつきを大
きく許容することができる。
して複数の単位マークＭＡのうち少なくとも３個の単位
マークＭＡがカメラ１４（及び１７）の視野内に入るよ
うにすれば基板１３を位置決めすることができることに
より、プリアライメントによる初期位置のばらつきを大
きく許容することができる。
【００３８】また複数の単位マークＭＡからアライメン
トマークＡＭＡの中心を求める計算処理により、基板位
置の同定精度を一段と向上し得る。
トマークＡＭＡの中心を求める計算処理により、基板位
置の同定精度を一段と向上し得る。
【００３９】さらに円環状に群をなした単位マークＭＡ
を用いることにより人の目による視認生を向上すること
ができる。
を用いることにより人の目による視認生を向上すること
ができる。
【００４０】なお上述の実施例においては、アライメン
トマークＡＭＡとして１２個の単位マークＭＡを用いた
場合について述べたが、単位マークＭＡの数はこれに限
らず、要は３個以上の単位マークＭＡを有するアライメ
ントマークＡＭＡを用いるようにすれば上述の場合と同
様の効果を得ることができる。
トマークＡＭＡとして１２個の単位マークＭＡを用いた
場合について述べたが、単位マークＭＡの数はこれに限
らず、要は３個以上の単位マークＭＡを有するアライメ
ントマークＡＭＡを用いるようにすれば上述の場合と同
様の効果を得ることができる。
【００４１】また上述の実施例においては、本発明をス
クリーン印刷装置に適用した場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、要はアライメントマークを用いて
種々の位置決め対象を位置決めする装置に広く適用する
ことができる。
クリーン印刷装置に適用した場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、要はアライメントマークを用いて
種々の位置決め対象を位置決めする装置に広く適用する
ことができる。
【００４２】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、複数の単
位マークを形成してなるアライメントマークを用いるよ
うにしたことにより、複数の単位マークのうち少なくと
も３個の単位マークが検出手段の視野内に入るようにす
れば位置決め対象を位置を同定することができる。従つ
てアライメントマークを検出手段の視野内に収めるプリ
アライメント時の位置決め対象の位置のばらつきの許容
範囲を大きくすることができる。
位マークを形成してなるアライメントマークを用いるよ
うにしたことにより、複数の単位マークのうち少なくと
も３個の単位マークが検出手段の視野内に入るようにす
れば位置決め対象を位置を同定することができる。従つ
てアライメントマークを検出手段の視野内に収めるプリ
アライメント時の位置決め対象の位置のばらつきの許容
範囲を大きくすることができる。
【図１】本発明による位置決め装置の一実施例を示す略
線的ブロツク図である。
線的ブロツク図である。
【図２】アライメントマークの構成を示す平面図であ
る。
る。
【図３】本発明による基板の位置同定処理手順を示すフ
ローチヤートである。
ローチヤートである。
【図４】本発明による位置合わせ原理の説明に供する略
線図である。
線図である。
１０……位置決め装置、１２……平板スクリーン、１３
……基板、１４、１７……カメラ、２２……演算回路、
２４……モータ制御部、２５……モータ、ＡＭＡ……ア
ライメントマーク、ＭＡ……単位マーク。
……基板、１４、１７……カメラ、２２……演算回路、
２４……モータ制御部、２５……モータ、ＡＭＡ……ア
ライメントマーク、ＭＡ……単位マーク。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H05K 3/10 - 3/38
B41F 15/00 - 15/46
G01B 11/00
Claims (5)
- 【請求項１】所定の位置決め対象にアライメントマーク
を形成し、当該アライメントマークを検出することによ
り上記位置決め対象を位置決めする位置決め方法におい
て、 円形形状の単位マークを複数円環状に配列してなる上記
アライメントマークの上記単位マークのうち、少なくと
も３つの単位マークを検出し、 上記検出された少なくとも３つの単位マークの中心座標
に基づいて上記アライメントマークの中心座標を算出
し、 上記算出された上記アライメントマークの中心座標値に
基づいて上記位置決め対象の位置を同定し、 上記位置決め対象の上記同定結果に基づいて上記位置決
め対象を所定位置に位置決めするようにしたことを特徴
とする位置決め方法。 - 【請求項２】所定の位置決め対象にアライメントマーク
を形成し、当該アライメントマークを検出することによ
り上記位置決め対象を位置決めする位置決め装置におい
て、 円形形状の単位マークを複数円環状に配列してなる上記
アライメントマークの上記単位マークのうち、少なくと
も３つの単位マークを検出する検出手段と、 上記検出手段によつて検出された上記少なくとも３つの
単位マークの中心座標に基づいて上記アライメントマー
クの中心座標を算出すると共に当該算出された結果に基
づいて上記位置決め対象の位置を同定する演算手段と、 上記位置決め対象の上記同定結果に基づいて上記位置決
め対象を所定位置に位置決めする位置決め手段とを具え
ることを特徴とする位置決め装置。 - 【請求項３】所定のパターンを印刷する電子回路基板に
おいて、 円形形状でなる複数の単位マークを円環状に配列してな
るアライメントマークを具えたことを特徴とする電子回
路基板。 - 【請求項４】所定のパターンを印刷する基板にアライメ
ントマークを形成し、当該アライメントマークを検出す
ることにより上記基板を位置決めする位置決め方法にお
いて、 円形形状の単位マークを複数円環状に配列してなる上記
アライメントマークの上記単位マークのうち、少なくと
も３つの単位マークを検出し、 上記検出された少なくとも３つの単位マークの中心座標
に基づいて上記アライメントマークの中心座標を算出
し、 上記算出された上記アライメントマークの中心座標値に
基づいて上記基板の位置を同定し、 上記基板の上記同定結果に基づいて上記基板を所定位置
に位置決めし、 上記位置決めされた上記基板を所定量シフトした後、上
記基板に上記パターンを印刷するようにしたことを特徴
とする位置決め方法。 - 【請求項５】所定のパターンを印刷する基板にアライメ
ントマークを形成し、当該アライメントマークを検出す
ることにより上記基板を位置決めする位置決め装置にお
いて、 円形形状の単位マークを複数円環状に配列してなる上記
アライメントマークの上記単位マークのうち、少なくと
も３つの単位マークを検出する検出手段と、 上記検出手段によつて検出された上記少なくとも３つの
単位マークの中心座標に基づいて上記アライメントマー
クの中心座標を算出すると共に当該算出された結果に基
づいて上記基板の位置を同定する演算手段と、 上記基板の上記同定結果に基づいて上記基板を所定位置
に位置決めする位置決め手段と、 上記位置決めされた基板を所定量シフトさせた後、上記
基板に上記パターンを印刷するシフト制御手段とを具え
ることを特徴とする位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26592593A JP3381225B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 位置決め方法及び位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26592593A JP3381225B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 位置決め方法及び位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0799381A JPH0799381A (ja) | 1995-04-11 |
| JP3381225B2 true JP3381225B2 (ja) | 2003-02-24 |
Family
ID=17423999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26592593A Expired - Fee Related JP3381225B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 位置決め方法及び位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3381225B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5476938B2 (ja) * | 2009-11-16 | 2014-04-23 | ウシオ電機株式会社 | アライメントマークの検出方法 |
| DE102018211922A1 (de) * | 2017-09-12 | 2019-03-14 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Automatisierte Bildsensorkalibrierung |
| TWI630383B (zh) * | 2017-10-17 | 2018-07-21 | 亞亞科技股份有限公司 | 檢測開孔鋼板的定位方法 |
-
1993
- 1993-09-28 JP JP26592593A patent/JP3381225B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0799381A (ja) | 1995-04-11 |
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