JP3806125B2 - 欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態の欠陥検査装置の概略を示す模式的なブロック図である。
次に、本発明の第2の実施形態に係る欠陥検査装置について説明する。特に言及していない項目については第1の実施形態に準ずるものとする。
Claims (5)
- パターンを備えた被検査試料に光を照射する光照射手段と、
前記被検査試料で反射した前記光または前記被検査試料を透過した前記光の強度に基づいて、前記パターンの測定パターンデータを取得する取得手段と、
前記被検査試料の設計データから前記測定パターンデータに対応した複数の画素データを含む展開データを展開する展開手段と、
前記展開データに有限インパルス応答フィルタ処理を施すフィルタ処理手段と、
前記有限インパルス応答フィルタ処理を施した前記展開データに関し、第1の基準値以下の値を有する画素データを第1の画素データに置換し、前記第1の基準値よりも大きい第2の基準値以上の値を有する画素データを前記第1の画素データよりも値が大きい第2の画素データに置換し、前記第1の基準値よりも大きくかつ前記第2の基準値よりも小さい値を有する画素データに関しては、第1の画素データの値と第2の画素データの値との中間の値の画素データであって、かつ、値が大きい画素データほど、より値が大きな画素データに置換する再構築手段と、
前記再構築した前記展開データに光学系を模したぼかしフィルタ処理を施し、基準パターンデータを作成する基準データ作成手段と、
前記基準パターンデータと前記測定パターンデータとを比較して、前記被検査試料の欠陥を検出する欠陥検出手段と
を具備してなることを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記第1の基準値よりも大きくかつ前記第2の基準値よりも小さい値を有する画素データに関し、置換前の画素データの値をD’、置換後の画素データの値をD’’、aおよびbを正の定数とした場合、D’’=a×D’+bの関係を満すことを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。
- パターンを備えた被検査試料に光を照射する光照射手段と、
前記被検査試料で反射した前記光または前記被検査試料を透過した前記光の強度に基づいて、前記パターンの測定パターンデータを取得する取得手段と、
前記被検査試料の設計データから前記測定パターンデータに対応した複数の画素データを含む展開データを展開する展開手段と、
前記展開データに有限インパルス応答フィルタ処理を施すフィルタ処理手段と、
前記有限インパルス応答フィルタ処理を施した前記展開データ中の前記複数の画素データから複数のサブ画素を生成するサブ画素生成手段であって、前記複数の画素データに対応した画像を複数の画素に分割し、これらの複数の画素の各々を複数のサブ画素に分割し、かつ、隣接した複数の画素に対応した複数の画素データを用いて補間した値を各サブ画素に与えるサブ画素生成手段と、
前記画素毎に、基準値を越える値を有するサブ画素の数を集計する集計手段と、
前記有限インパルス応答フィルタ処理を施した前記展開データを再構築する再構築手段であって、前記複数の画素データのそれぞれについて、前記基準値を超える値を有するサブ画素の数に比例する値を前記画素データの値に代入する再構築手段と、
前記再構築した前記展開データに光学系を模したぼかしフィルタ処理を施し、基準パターンデータを作成する基準データ作成手段と、
前記基準パターンデータと前記測定パターンデータとを比較して、前記被検査試料の欠陥を検出する欠陥検出手段と
を具備してなることを特徴とする欠陥検査装置。 - パターンを備えた被検査試料に光を照射する工程と、
前記被検査試料で反射した前記光または前記被検査試料を透過した前記光の強度に基づいて、前記パターンの測定パターンデータを取得する工程と、
前記被検査試料の設計データから前記測定パターンデータに対応した複数の画素データを含む展開データを展開する工程と、
前記展開データに有限インパルス応答フィルタ処理を施す工程と、
前記有限インパルス応答フィルタ処理を施した前記展開データに関し、第1の基準値以下の値を有する画素データを第1の画素データに置換し、前記第1の基準値よりも大きい第2の基準値以上の値を有する画素データを前記第1の画素データよりも値が大きい第2の画素データに置換し、前記第1の基準値よりも大きくかつ前記第2の基準値よりも小さい値を有する画素データに関しては、第1の画素データの値と第2の画素データの値との中間の値の画素データであって、かつ、値が大きい画素データほど、より値が大きな画素データに置換する工程と、
前記再構築した前記展開データに光学系を模したぼかしフィルタ処理を施す工程と、
前記基準パターンデータと前記測定パターンデータとを比較して、前記被検査試料の欠陥を検出する工程と
を有することを特徴とする欠陥検査方法。 - パターンを備えた被検査試料に光を照射する工程と、
前記被検査試料で反射した前記光または前記被検査試料を透過した前記光の強度に基づいて、前記パターンの測定パターンデータを取得する工程と、
前記被検査試料の設計データから前記測定パターンデータに対応した複数の画素データを含む展開データを展開する工程と、
前記展開データに有限インパルス応答フィルタ処理を施す工程と、
前記有限インパルス応答フィルタ処理を施した前記展開データ中の前記複数の画素データから複数のサブ画素を生成する工程であって、前記複数の画素データに対応した画像を複数の画素に分割し、これらの複数の画素の各々を複数のサブ画素に分割し、かつ、隣接した複数の画素に対応した複数の画素データを用いて補間した値を各サブ画素に与える工程と、
前記画素毎に、基準値を越える値を有するサブ画素の数を集計する工程と、
前記有限インパルス応答フィルタ処理を施した前記展開データを再構築する工程であって、前記複数の画素データのそれぞれについて、前記基準値を超える値を有するサブ画素の数に比例する値を前記画素データの値に代入する工程と、
前記再構築した前記展開データに光学系を模したぼかしフィルタ処理を施す工程と、
前記基準パターンデータと前記測定パターンデータとを比較して、前記被検査試料の欠陥を検出する工程と
を有することを特徴とする欠陥検査方法。
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