JPS63201989A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPS63201989A
JPS63201989A JP62033201A JP3320187A JPS63201989A JP S63201989 A JPS63201989 A JP S63201989A JP 62033201 A JP62033201 A JP 62033201A JP 3320187 A JP3320187 A JP 3320187A JP S63201989 A JPS63201989 A JP S63201989A
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陽一 佐藤
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体記憶装置に関するものであり、伊i
えば、CMO5(相補型MO3)スタティック型R/、
M(ランダム・アクセス・メモリ)などに利用して有効
な技術に関するものである。
〔従来の技術〕
クロ・シクドスタティック型デコーダを含むCMOSス
タテイ7り型RAMがある。このようなCMOSスタテ
ィック型RAMなどのXアドレスデコーダXDCHに、
第5図に示されるようなプリデコーダPDCRを設ける
ことで、チンプレイアウトを効率化する方法が提案され
ている。
このようなスタティック型RAMのアドレスデコーダに
ついては、例えば、特開昭56−74890号公報など
に記載されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
第5図において、CMOSスタティック型RAMのXア
ドレスデコーダXDCRは、1個のプリデコーダPDC
Rと、ナントゲート回路NAG Oに代表される複数の
デコード用ナントゲート回路を含む、このうち、プリデ
コーダPOCRは、例えば下位2ビツトの相補内部アド
レス信号axQ及びaxl  (ここで、例えば外部ア
ドレス信号AxOと同相の内部アドレス信号axQ及び
逆相の内部アドレス信号rマてをあわせて相補内部アド
レス信号axQのように表す、以下同じ)を受け、選択
信号φxO〜φx3を形成する。また、デコード用ナン
トゲート回路は、第5図のナントゲート回路NAGOに
例示的に示されるように、それぞれのゲートに対応する
組み合ねゼとされる相補内部アドレス信号ax2〜ax
iを受は直列形態とされる複数のNチャンネルMOSF
ETQg2ないし9g3と、これらのMOSFETQg
2ないし9g3と回路の電源電圧Vcc及び接地電位と
の間に設けられるPチャンネルMO8FETQgl及び
NチャンネルMOSFETQg4によって構成される。
メモリアレイM−ARYの各ワード線は、ワード線WO
〜W3に代表して示されるように、対応するワード線駆
動回路に結合される。これらのワード線駆動回路は、そ
れぞれCMOSインバータ回路形態とされるPチャンネ
ルMOSFETQdl及びNチャンネルMOSFETQ
d 2によって構成される。XアドレスデコーダXDC
Hの各デコード用ナントゲート回路には、4個のワード
線駆動回路がそれぞれ結合される。各ワード線駆動回路
は、それぞれを構成するPチャンネルMOSFETQd
 lのソースに上記プリデコーダPDCRから対応する
選択信号φxO〜φx3が供給されることで、Xアドレ
スデコーダXDCHの一部としての機能をあわせ持つ。
ところが、CMOSスタティック型RAMが大記憶容量
化されるに従って、上記のようなりロックドスタティッ
ク型のXアドレスデコーダには次のような問題が生じて
きた。すなわち、CMOSスタティック型RAMの大記
憶容量化にともなって、各ワード線に結合される寄生容
量が増大し、選択状態とされるワード線の電圧レベルの
立ち上がりが遅くなる。これに対処するため、MOSF
ETQd l及びQd2のサイズを大きくし、ワード線
駆動回路の駆動能力を大きくしようとすると、これらの
MOS F ETのドレイン容量やゲート容量が大きく
なり、プリデコーダPDCRやデコード用ナントゲート
回路に対する負荷が増大する。
これらの負荷増大による影響は、特に複数のMOSFE
Tが直列形態とされるデコード用ナントゲート回路にお
いて著しく、スタティック型RAMの高速化を妨げる一
因となっている。
この発明の目的は、Xアドレスデコーダの選択動作を高
速化しメモリアクセスの高速化を図ったCMOSスタテ
ィック型RAMなどの半導体記憶装置を提供することに
ある。
この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
この明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろ
う。
〔問題点を解決するための手段〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
すなわち、Xアドレスデコーダのデコード用論理ゲート
回路と各ワード線駆動回路の間に、そのゲートに例えば
プリデコーダの対応する出力信号を受ける容量カットM
OSFETを設け、各ワード線駆動回路の入力端子に例
えばそのソースが回路の電源電圧に結合されそのゲート
に選択制御信号を受けるリセットMOS F ETを設
けるものである。
〔作  用〕
上記した手段によれば、各ワード線駆動回路に対応して
容量カットMOSFETが設けられることで、プリデコ
ーダ及びデコード用論理ゲート回路の出力信号に対する
負荷を増大させることなくすなわちXアドレスデコーダ
の選択動作に影響を与えることなくワード線駆動回路の
駆動能力を大きくすることができるため、CMOSスタ
ティック型RAMなどの半導体記憶装置の大記憶容量化
と高速化を図ることができる。
〔実施例1〕 第4図には、この発明が通用されたCMOSスタティッ
ク型RAMの一実施例の回路ブロック図が示されている
。同図の各回路素子は、公知のCMO5集積回路の製造
技術によって、特に制限されないが、単結晶シリコンの
ような1個の半導体基板上において形成される。以下の
図において、チャンネル(バックゲート)部に矢印が付
加されるMOSFETはPチャンネル型であって、矢印
の付加されないNチャンネルMOSFETと[lJされ
る。
第4図において、メモリアレイM−ARYは、m+1本
のワード線WO〜Wmと、n+1組の相補データ線DO
−D了〜Dn−Dn及びこれらのワード線と相補データ
線の交点に配置される(m+1)x (n+1)(Iの
メモリセルMCによって構成される。
それぞれのメモリセルMCは、特に制限されないが、P
チャンネルMOSFETQ21とNチャンネルMOSF
ETQI及びPチャンネルMOSFETQ22とNチャ
ンネルMOSFETQ2からなる二組のCMOSインバ
ータ回路をその基本構成とする。これらのCMOSイン
バータ回路は、その入力端子と出力端子がそれぞれ交差
接続されることによってランチ形態とされ、このCMO
Sスタティック型RAMの記憶素子となるフリップフロ
ップを構成する。
MOSFETQ21とQl及びMO5FE、TQ22と
Q2のそれぞれ共通結合されたドレインは、このフリッ
プフロップの入出力ノードとされ、さらにNチャンネル
型の伝送ゲートMOSFETQ3及びQ4を介して、対
応する相補データ線DO・DOにそれぞれ結合される。
これらの伝送ゲートMOSFETQ3及びQ4のゲート
は、対応するワード線W−0に共通接続される。
この他のメモリセルMCも、すべて同様な回路構成とさ
れ、同様に対応する相補データ線及びワード線に結合さ
れることでマトリックス状に配置され、メモリアレイM
−ARYを構成する。すなわち、同一の列に配置される
メモリセルMCの入出力ノードは、それぞれ対応する伝
送ゲートMOSFETを介して対応する相補データ線D
O−D■〜Dn−ffπに結合される。また、同一の行
に配置されるメモリセルMCの伝送ゲートMOSFET
のゲートは、それぞれ対応するワード線wO〜Wmに共
通接続される。
メモリアレイM−ARYの相補データ線DO・■1〜D
n−σ1と回路の電源電圧Vccとの間には、第4図に
例示的に示されるように、Nチャンネル型の負荷MOS
FET対Q5・Q6〜Q7・Q8が設けられる。
ワード&611WO〜Wmは、XアドレスデコーダXD
CHに結合される。このXアドレスデコーダXDCHに
は、Xアドレスバ7ファXADBから相補内部アドレス
信号axQ〜axi  (ここで、例えば外部アドレス
信号AXOと同相の内部アドレス信号axQと逆相の内
部アドレス信号axQをあわせて相補内部アドレス信号
axQと表す、以下同じ)が供給される。また、Xアド
レスデコーダX0CRには、後述するタイミング制御回
路TCから、タイミング信号φce (選択制御信号)
が供給される。このタイミング信号φceは、外部から
制御信号として供給されるチップイネ、−プル信号で1
に従って形成され、このCMOSスタティック型RAM
の選択状態においてハイレベルとされる。Xアドレスデ
コーダXDCRは、後述するように、タイミング信号φ
ceによって選択的に動作状態とされ、相補内部アドレ
ス信号土XO−土xiをデコードして、Xアドレス信号
AXO−AXiによって指定される一本のワード線をハ
イレベルの選択状態とする。
XアドレスデコーダXDCRの具体的な回路構成と動作
については、後で詳細に説明する。
XアドレスバッファXADBは、外部端子AXO〜AX
iを介して供給されるXアドレス信号AXO〜AXiを
取り込み、これをもとに上記相補内部アドレス信号ax
Q〜土xiを形成してXアドレスデコーダX0CRに供
給する。
一方、メモリアレイM−ARYの相補データ線DO・百
1〜Dn−百1は、それぞれカラムスイッチC8Wの対
応するスイッチMOSFET対Q9・QIO〜Qll・
Q12を介して選択的に相補共通データ線CD−CDに
接続される。これらのスイッチMOS F ET対Q9
−QIO−Qll・Q12のゲートはそれぞれ共通接続
され、YアドレスデコーダYDCRから対応するデータ
線選択信号Y 04 Y nが供給される。
YアドレスデコーダYDCRは、YアドレスバンフプY
ADBから供給される相補内部アドレス信号ayQ〜a
y’jをデコードして、−組の相補データ線を選択し相
補共通データ線CD−τlに接続するためのデータ線選
択信号YO〜Ynを形成する。このYアドレスデコーダ
YDCRは、XアドレスデコーダXDCRと同様に、タ
イミング制御回路TCから供給されるタイミング信号φ
ceに従って、選択的に動作状態とされる。
相補共通データ線CD−C,Dは、センスアンプSAの
入力端子に結合されるとともに、ライトアンプWAの出
力端子に結合される。センスアンプSAの出力端子は、
データ出力バッファDOBの入力端子に結合され、ライ
トアンプWAの入力端子は、データ入力バッファDIB
の出方端子に結合される。
センスアンプSAは、タイミング制御回路TCから供給
されるタイミング信号φsaに従って選択的に動作状態
とされ、選択されたメモリセルMCから相補共通データ
線CD−σ百を介して出方さ′れる読み出し信号を増幅
する。センスアンプSAの出力信号は、データ出力バッ
ファDOBに供給される。
データ出力バッファDOBは、CMOSスタティック型
RAMの読み出し動作モードにおいて、タイミング制御
回路TCから供給されるタイミング信号φoeに従ワて
選択的に動作状態とされる。
データ出力バッファI)OBは、センスアンプSAから
出力されるメモリセルの読み出し信号をさらに増幅し、
入出力端子DIOを介して外部の装置に送出する。デー
タ出力バッファDOBの出力は、タイミング信号φOS
がロウレベルとされるCMOSスタティック型RAMの
非選択状態及び書き込み動作モードにおいて、ハイイン
ピーダンス状態とされる。
一方、データ入力バッファDIBは、CMOSスタティ
ック型RAMの書き込み動作モードにおいて、入出力端
子DIOを介して外部の装置から供給される書き込みデ
ータを相補書き込み信号とし、ライトアンプWAに供給
する。
ライトアンプWAは、CMOSスタティック型RAMの
書き込み動作モードにおいて、タイミング制御回路’r
 cから供給されるタイミング信号φN(5に従って選
択的に動作状態とされる。ライトアンプWAは、データ
入力バッファDIBから供給される相補書き込み信号に
従った書き込み電流を、相補共通データ線CD−τπを
介して、選択されたメモリセルMCに供給する。ライト
アンプWAの出力は、タイミング18号φweがロウレ
ベルとされるスタティック型RAMの非選択状態及び読
み出し動作モードにおいて、ハイインピーダンス状態と
される。
タイミング制御回路TCは、外部から制御信号として供
給されるチップ選択信号で茗、ライトイネーブル信号W
1及び出カイネーブル信号σ百をもとに、上記各種のタ
イミング信号を形成し、各回路に供給する。
第1図には、第4図のCMOSスタティック型RAMの
XアドレスデコーダXDCRの一実施例の回路図が示さ
れている。
第1図において、CMOSスタティック型RAMのXア
ドレスデコーダXDCRは、特に制限されないが、下位
2ビツトの相補内部アドレス信号axO及びaxlを受
けるプリデコーダPDCRと、下位2ビツトを除く相補
内部アドレス信号上x2〜axiがそれぞれ対応する組
み合わせとされて供給されるに+1個のデコード用ナン
トゲート回路NAGO〜NAGkを含む。
プリデコーダPDCRは、XアドレスバフファXADB
から供給される下位2ビツトの相補内部アドレス信号a
xQ及びailをデコードし、選択信号φXO〜φx3
を形成する。これらの選択信号φxO〜φx3は、相補
内部アドレス信号上xO及びaxlに従って、択一的に
形成される。
すなわち、選択信号φxOは、反転内部アドレス信号「
71及び「iTがともに論理ハイレベルであるときに論
理ハイレベルとされる。同様に、選択信号φx1は、非
反転内部アドレス信号axQ及び反転内部アドレス信号
771がともに論理ハイレベルであるとき、選択信号φ
x2は反転内部アドレス信号axQ及び非反転内部アド
レス信号axlがともに論理ハイレベルであるとき、ま
た選択fa号φx3は、非反転内部アドレス信号axO
及びaxlがともに論理ハイレベルであるときに、それ
ぞれ論理ハイレベルとされる。
一方、デコード用ナントゲート回路NAGO〜NAGk
は、回路の電源電圧Vccと接地電位との間に直列形態
に設けられるPチャンネルMOSFETQg1.Nチャ
ンネルMOSFETQg2ないしQg3及びNチャンネ
ルMOSFETQg 4によってそれぞれ構成される。
MOSFETQg1及びQg4のゲートは共通接続され
、上述のタイミング信号φce (選択制御信号)が供
給される。
また′、MOSFETQg2ないしQg3のゲートには
、相補内部アドレス信号ax2〜axeがそれぞれ対応
する組み合わせとされて供給される。
すなわち、ナントゲート回路NAGOのMOSFETQ
g2ないしQg3のゲートには、すべて反転内部アドレ
ス信号子τ]〜「7丁がそれぞれ供給され、またナント
ゲート回路NAGkのMOSFETQg2ないしQg3
のゲートには、すべて非反転内部アドレス信号ax2〜
axiがそれぞれ供給される。同様に、ナントゲート回
路NAO1〜NAGk−1のMOSFETQg 2ない
しQg3のゲートには、相補内部アドレス信号ax2を
最下位ビットとしそれぞれのナントゲート回路の番号に
対応した2進数となるように組み合わされた相補内部ア
ドレス信号ax2〜土xiがそれぞれ供給される。
これにより、ナントゲート回路NAGOの出力信号すな
わち反転選択信号子1は、CMOSスタティック型RA
Mの非選択状態において通常論理ハイレベルとされ、反
転内部アドレス信号ax’1〜rマ丁がすべて論理ハイ
レベルであるとき、タイミング信号φceに同期して論
理ロウレベルとされる。つまり、反転選択信号丁子は、
CMOSスタティック型RAMが選択状態とされ、Xア
ドレス信号AXO〜AXiによってワード線WO〜W3
のいずれかが指定されるときに論理ロウレベルとされる
。同様に、ナントゲート回路NAGkの出力信号すなわ
ち反転選択信号iは、非反転内部アドレス信号ax2〜
axiがすべて論理ハイレベルであるとき、タイミング
信号φceに同期して論理ロウレベルとされる。つまり
、反転選択信号「iは、CMOSスタティック型RAM
が選択状態とされ、Xアドレス信号AXO〜AXiによ
ってワード線Wa+−3〜Wmのいずれかが指定される
ときに論理ロウレベルとされる。図示されないナントゲ
ート回路NAG1〜N A Gk−1の出力信号すなわ
ち反転選択信号5L−5k−1も、上記反転選択信号丁
子及びSkと同様な論理によって形成される。
このCMOSスタティック型RAMのXアドレスデコー
ダXDCRには、メモリアレイM−ARYのワード線W
O〜Wmに対応して、m+1個のワード線駆動回路W 
D O” W D mが設けられる。
これらのワード線駆動回路W D O−W D mは、
第5図(7)”7一ド線駆動回路WD O、WD 3 
、 WDs+−3及びWDmに例示的に示されるように
、PチャンネルMOSFETQdl及びNチャンネ、I
L/MOSFETQd2からなるCMOSインバータ回
路によって構成される。この実施例のCMOSスタティ
ック型RAMは、比較的大きな記憶容量とされるため、
メモリアレイM−ARYの各ワード線WO〜Wmには、
メモリセルの伝送ゲートMOSF E Tのゲート容量
を主とする比較的大きな記憶容量が結合される。このた
め、MOSFETQd1及びQd2は比較的大きなコン
ダクタンスとされ、ワード線駆動回路WDO〜W D 
mは比較的大きな駆動能力を持つように設計される。
ナントゲート回路NAGO〜NAGkによって形成され
る選択信号11〜Skは、対応する容量カットMOSF
ETQI 3〜Q14ないしQ15〜Q16を介して、
対応する4組のワード線駆動回路WDO〜WD3ないし
WDs−3〜WDmにそれぞれ供給される。各組の4個
の容量カッ)MOSFETのうちMOSFETQI 3
及びQ15に代表される第1のMOSFETのゲートに
は、プリデコーダPDCRから選択信号φxOが共通に
供給される。また、MOSFETQI4及びQ16に代
表される第4のMOSFETのゲートには、プリデコー
ダPDCRから選択信号φx3が共通に供給される。同
様に、各組の4個の容量カットMOSFETのうち第2
及び第3のMOS F ETのゲートには、プリデコー
ダPDCRから選択信号φx1及びφx2がそれぞれ共
通に供給される。
これにより、Xアドレス信号AXO〜AXiによって指
定される1本のワード線に対応するワード線駆動回路に
のみ、論理ロウレベルの反転選択信号SO〜Skが伝達
されるものとなる。
デコード用ナントゲート回路NAGO−NAGkの出力
端子とワード線駆動回路WDO〜W D mの入力端子
の間にこれらの容量カットMO8FETQ13〜Q16
が設けられることによって、非選択時における各ワード
線駆動回路の入力端子のレベルはフローティング状態と
なる。これを防ぐため、各ワード線駆動回路の入力端子
と回路の電源電圧Vccとの間に、Pチャンネル型のリ
セットMOSFETQ2,3〜Q24ないしQ25〜Q
26がそれぞれ設けられる。これらのりセラ)MO5F
 E ’I’のゲートには、上記タイミング信号φce
が共通に供給される。リセットMOSFETQ23〜Q
24ないしQ25〜Q26は、タイミング信号φceが
論理ロウレベルとされるCMOSスタティック型RAM
の非選択状態において一斉にオン状態となり、対応する
ワード線駆動回路WDO〜W D mの入力端子のレベ
ルを論理ハイレベルとする。これにより、各ワード線駆
動回路の出力端子すなわちワード線WO〜Wmのレベル
はロウレベルの非選択状態に固定される。CMOSスタ
ティック型RAMが選択状態とされタイミング信号φc
eが論理ハイレベルとされることによって、容量カット
MO5FE’rMOSFETQ23〜Q24ないしQ2
5〜Q26はオフ状態となる。このとき、Xアドレス信
号AXO”AXiによって指定されるワード線に対応す
るワード線駆動回路には論理ロウレベルの反転選択信号
が供給される。
したがって、このワード線駆動回路の出力端子すなわち
指定されるワード線はハイレベルの選択状態となる。一
方、選択状態とされないワード線駆動回路の入力端子は
、対応するりセラ1−M03FETと8閂カットMOS
FETがともにオフ状態となることで、フローティング
状態となる。しかし、CMOSスタティック型RAMが
選択状態とされる時間が短いため、各ワード線駆動回路
のMO5FE’rQdl及びQ d 20)ゲート容1
に!積されるハイレベルの電荷によって、対応するワー
ド線は非選択状態を維持する。
以上のように、この実施例のCMOSスタティック型R
AMのXアドレスデコーダXDCHには、デコード用ナ
ントゲート回路と対応する4組のワード線駆動回路との
間に、プリデコーダPDCHの選択信号φxO〜φx3
を受ける容量カッ)Mo 3 F E ’l’がそれぞ
れ設けられる。また、各ワード線駆動回路の入力端子と
回路の電源電圧VCCとの間には、そのゲートにタイミ
ング信号φco (選択制御信号)を受けるリセットM
OSFETがそれぞれ設けられる。したがって、プリデ
コーダPDCRの出力信号すなわち選択信号φxO〜φ
X3に対する負荷は、比較的小さなコンダクタンスとさ
れる容量カントMOSFETのみとなり、また各デコー
ド用ナントゲート回路の出力信号すなわち反転選択信号
SO〜Skに対する負荷は、容量カットMOS F E
Tを介して接続される1個のワード線駆動回路のみとな
る。つまり、CMOSスタティック型RAMが大記憶容
量化されることでメモリアレイM−ARYの各ワード線
に比較的大きな寄生容量が結合されまたワード線駆動回
路を構成するMOSFETQd 1及びQd2のサイズ
が比較的太き(されるにもかかわらず、プリデコーダP
DCR及びデコード用ナントゲート回路の出力信号に対
する負荷はそれほど大きな影響を受けないものとなる。
このため、XアドレスデコーダXDCRの選択動作は高
速化され、CMOSスタティック型RAMのメモリアク
セスは高速化される。
〔実施例2〕 第2図には、この発明が通用されたCMOSスタティッ
ク型RAMのXアドレスデコーダXDCRの第2の実施
例の回路図が示されている。同図には、Xアドレスデコ
ーダXDCRのナントゲート回路NAGO及びワード線
駆動回路WDO〜WD3とそれに関連する回路のみが、
部分的に記載されており、記載されない回路については
、上記第1の実施例及び記載される回路によって類推さ
れたい、また、記載される回路のうち、上記第1の実施
例と同じ部分については、その構成と動作の説明を省略
する。
第2図において、この実施例のCMOSスタティック型
RAMのXアドレスデコーダXDCRは、前述の第1の
実施例と同様に、1個のプリデコーダPDCRとに+l
(囚のデコード用ナントゲート回路NAGO〜NAGk
を含む、また、メモリアレイM−ARYのワード線WO
〜Wmに対応して、ワード線駆動回路WDO〜WDmが
それぞれ設けられる。
この実施例のXアドレスデコーダX0CRにおいて、デ
コード用ナントゲート回路NAGOと対応する4組のワ
ード線駆動回路WDO〜WD3との間には、そのゲート
にプリデコーダPDCRから対応する選択信号φxO〜
φx3を受けるNチ中ンネル型の容量カットMOSFE
TQ17〜Q18が設けられる。これらの選択信号φx
O〜φx3は、上記第1の実施例と同様な論理条件に従
って、形成される。
容量カントMOSFETQ17〜Q18には、それぞれ
Pチャンネル型のリセットMOS F ETQ27〜Q
28が並列形態に設けられる。これらのリセットMOS
FETQ27〜Q28のゲートはすべて共通接続され、
タイミング制御回路TCから上述のタイミング信号φc
eが供給される。
プリデコーダPOCR,デコード用ナントゲート回路N
AGO,ワード線駆動回路WDO〜WD3及び容1カッ
トMOSFETQI 7〜Q18などは、上記第1の実
施例の場合と同様な選択動作を行い、Xアドレス信号A
XO〜AXlによって指定される1本のワード線をハイ
レベルの選択状態とする。
リセットM OS F E ’r Q 27〜028は
、このCMOSスタティック型RAMが非選択状態とさ
れタイミング信号φceが論理ロウレベルとされるとき
に一斉にオン状態となる。これにより、各ワード線駆動
回路WDO〜WD3の入力端子は、対応するリセットM
OSFIE’rQ27〜Q28を介して、対応するナン
トゲート回路NAGOの出力端子に接続される。前述の
ように、ナントゲート回路N、AGOの出力端子と回路
の電源電圧との間にはそのゲートに上記タイミング信号
φceを受けるPチャンネルMOSFETQg 1が設
けられる。
また、このMOSFETl”Qglは、−コのCMOS
スタティック型RAMが非選択状態とされタイミング信
号φc elJ<86理ロウレベルとされるときに、上
記リセットM OS F E T Q 27〜Q2Bと
ともにオン状態となる。したがって、各ワード線駆動回
路の入力端子は、このMOSFETQg l及び対応す
るりセラ)MOSFETを介して供給される回路の電源
電圧Vccにより、論理ハイレベルに固定される。また
、各ワード線駆動回路の入力端子が論理ロウレベルとさ
れることで、その出方信号すなわちワード線WO〜Wm
はロウレベルの非選択状態に固定される。
一方、このCMOSスタティック型RAMP(選択状態
とされタイミング信号φceが論理ハイレベルとされる
と、リセットMOSFETQ27〜Q28はすべてオフ
状態となる。これにより、プリデコーダPOCRの対応
する選択信号φxQ〜φx3が論理ハイレベルとされ対
応する容量カットMOSFETがオン状態とされるワー
ド線駆動回路のみに、対応するナントゲート回路の反転
選択信号丁子が伝達される。プリデコーダPDCRの対
応jる選択信号φxO〜φx3が論理ロウレベルとされ
る場合、リセットMOSFETと容量カットMOSFE
Tが同時にオフ状態となり、対応するワード線駆動回路
の入力端子のレベルはフローティング状態となる。しか
し、前述の第1の実施例の場合と同様に、CMOSスタ
ティック型RAMが選択状態とされる時間が短いため、
各ワード線駆動回路のMOSFETQd1及びQd2の
ゲート容量に蓄積されるハイレベルの電荷によって、対
応するワード線はロウレベルの非選択状態を維持する。
以上のように、この実施例のCMOSスタティック型R
AMのXアドレスデコーダX0CRには、デコード用ナ
ントゲート回路と対応する4組のワード線駆動回路との
間に、プリデコーダPDCRの選択信号φxO〜φx3
を受ける容量カットMOSFETがそれぞれ設けられる
。また、これらの容量カットMOSFETには、そのゲ
ートにタイミング信号φce(ii択制御信号)を受け
るリセットMOSFETがそれぞれ設けられる。これに
より、前述の第1の実施例の場合と同様に、プリデコー
ダPDCRの出力信号すなわち選択信号φXO〜φx3
に対する負荷は、比較的小さなコンダクタンスとされる
容量カットMOSFETのみとなり、また各デコード用
ナントゲート回路の出力信号すなわち反転選択信号「1
〜Skに対する負荷は、容量カットMOSFETを介し
て接続される1個のワード線駆動回路のみとなる。この
ため、CMOSスタティック型RAMが大記憶容量化さ
れるにもかかわらず、XアドレスデコーダX0CRの選
択動作は高速化され、CMOSスタティック型RAMの
メモリアクセスは高速化されるものである。
〔実施例3〕 第3図には、この発明が通用されたCMOSスタティッ
ク型RAMのXアドレスデコーダXDCRの第3の実施
例の回路図が示されている。同図には、第2の実施例の
場合と同様に、XアドレスデコーダXDCHのナントゲ
ート回路NAGO及びワード線駆動回路WDO−WD3
とそれに関連する回路のみが、部分的に記載されている
。記載されない回路については、上記第1及び第2の実
施例又は記載される回路によって類推されたい。
また、記載される回路のうち、上記第1及び第2の実施
例と同じ部分については、その構成と動作の説明を省略
する。
第3図において、この実施例のCMOSスタティック型
RAMのXアドレスデコーダXDCRは、前述の実施例
の場合と同様に、1個のプリデコーダPDCR及びに+
1個のデコード用ナントゲート回路NAGO〜NAGk
を含む、また、メモリアレイM−ARYのワードljt
wo 〜Wmに対応して、ワード線駆動回路W D −
W D mがそれぞれ設けられる。
この実施例のXアドレスデコーダXDCRにおいて、プ
リデコーダPOCRには上述のタイミング信号φce 
(選択制御信号)が供給される。これにより、CtJi
 OSスタティック型RAMが選択状態とされ上記タイ
ミング信号φceが論理ハイレベルとされることによっ
て、プリデコーダPOCRの出力信号すなわち選択信号
φXO〜φx3が択一的に論理ハイレベルとされる。
デコード用ナントゲート回路NAGOと対応する4組の
ワード線駆動回路WDO〜WD3との間には、そのゲー
トにプリデコーダPDCRから対応する選択信号φxO
〜−x3を受けるNチャンネル型の容量カットMOSF
ETQI 9〜Q20が設けられる。また、各ワード線
駆動回路の入力端子と回路の電源電圧Vccとの間には
、Pチャンネル型のリセットMO8FETQ29〜Q3
0がそれぞれ設けられる。これらのリセットMOSFE
TQ29〜Q30のゲートは、対応する容量カットMO
SFETQ’19〜Q20のゲートに共通接続され、対
応する選択信号φxO〜φx3がそれぞれ供給される。
リセットMOSFETQ29〜Q30は、プリデコーダ
PDCRの対応する選択信号φxO〜φx3が論理ロウ
レベルとされ、対応するワード線駆動回路が非選択状態
とされるときにオン状態となり、ワード線駆動回路の入
力端子を論理ハイレベルとする。プリデコーダPDCH
の対応する選択信号φxO〜φx3が論理ハイレベルと
されるとき、こ耗らのリセットMOSFETはオフ状態
となるが、対応する容量カットMOSFETが相補的に
オン状態となることから、対応するワード 。
線駆動回路の入力端子のレベルは対応するナントゲート
回路の出力信号のレベルによって規定される。つまり、
この実施例の場合、各リセットMOSFETと対応する
容量カッ)MOSFETは相補的にオン状態とされるた
め、各ワード線駆動回路の入力端子のレベルがフローテ
ィング状態となることがない。このため、各ワード線駆
動回路の出力信号すなわちメモリアレイM−ARYのワ
ニド線WO〜Wmのレベルは安定化される。
以上のように、この実施例のCMOSスタティック型R
AMのXアドレスデコーダXDCRには、デコード用ナ
ントゲート回路と対応する4組のワード線駆動回路との
間に、プリデコーダPDCRの選択信号φxO〜φx3
を受ける容量カットMOSFETがそれぞれ設けられる
。また、各ワード線駆動回路の入力端子と回路の電源電
圧Vccとの間には、そのゲートが対応する容量カット
MOSFETのゲートに共通接続されるリセットMOS
FETがそれぞれ設けられる。プリデコーダPDCHに
は、上記タイミング信号φcoが供給され、その出力信
号すなわち選択信号φxQ〜φx3はタイミング信号φ
ceに従ワて形成される。このため、リセットMOSF
ETは対応する容量カットM OS F E ’rと相
補的にオン状態とされ、各ワード線駆動回路の入力端子
のレベルは対応するりセットMOSFETを介して供給
される電源電圧■CCによる論理ハイレベルあるいは容
量カットMO5F E Tを介して供給される対応する
ナントゲート回路の出力信号に従った論理レベルに確定
される。このため、第1の実施例のようにその選択動作
が高速化されることに加えて、ワード線駆動回路の出力
レベルすなわちワード線WO〜Wmのレベルが安定した
論理ロウレベル又は論理ハイレベルに確定され、Xアド
レスデコーダXDCHの選択動作が安定化される。
以上の実施例に示されるように、この発明をクロックト
スクチインク型のXアドレスデコーダを有するスタティ
ック型RAMなどの半導体記憶装置に通用した場合、次
のような効果が得られる。
すなわち、 (1) Xアドレスデコーダのデコード用論理ゲート回
路と各ワード線駆動回路の間に、そのゲートに例えばプ
リデコーダの対応する出力信号を受ける容量カフ トM
 OS F’ E Tを設けることで、デコード用論理
ゲート回路及びプリデコーダの出力信号に対する負荷を
削減することができるという効果が得られる。
(2)上記(11項により、デコード用論理ゲート回路
及びプリデコーダの出力信号に対する負荷を増大させる
ことなくすなわちXアドレスデコーダの選択動作に影響
を与えることなくワード線駆動回路の駆動能力を太き(
することができるという効果が得られる。
(3)上記(【)項及び(2)項により、Xアドレスデ
コーダの選択動作に影響を与えることな(記憶容量を大
きくすることができ、大記憶容量化とメモリアクセスの
高速化を図9たCMOSスタティック型RAMなどの半
導体記憶装置を実現できるという効果が得られる。
(4上記(1)項〜(3)項において、各ワード線駆動
回路の入力端子に例えばそのソースが回路の電源電圧に
結合されそのゲートに選択制御信号を受けるリセットM
OSFETを設けることで、スタティック型RAMなど
の非選択状態又は対応するワードIJII駆動回路の非
選択時において、容量カッ)MOSFETがオフ状態と
なることにより、ワード線駆動回路の入力端子のレベル
が不安定になるのを防止できるという効果が得られる。
(5)上記(4)項において、プリデコーダの出力信号
の論理条件に選択制御信号を加え、例えば各ワード線駆
動回路の入力端子と回路の電源電圧の間に設けられるリ
セットMOS F ETのゲートと対応する上記容量カ
ットMOSFETのゲートを共通接続し、リセットMO
S F ETと容量カットMOSFETを相補的にオン
状態とすることで、ワード線駆動回路の入力端子のレベ
ルがフローティング状態となることを防止し、Xアドレ
スデコーダの選択動作をより安定化することができると
いう効果が得られる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を通説しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない0例えば、第1図〜第3
図のデコード用ナントゲート回路は、出力ノードと回路
の電源電圧との間にそのゲートが対応するMOSFET
Qg2〜Qg3のゲートに共通接続される複数のPチャ
ンネル型の並列MOSFETが設けられる通常のナント
ゲート回路であってもよい、また、これらのデコード用
論理ゲート回路は、ナントゲート回路ではなく、例えば
ノアゲート回路等信の論理ゲート回路を用いるものであ
ってもよい、第2図において、プリデコーダPDCHの
選択信号φxO〜φx3の論理条件としてタイミング信
号φceを加え、リセットMOSFETQ27〜Q28
のゲートを対応する容量カットMOSFETQI 7〜
Q1Bのゲートと共通接続することによって、容量カッ
トMOS F ETとリセットMOS F ETを相補
的にオン状態とすることもよい、また、プリデコーダP
DCRは下位3ビット以上のアドレス信号をデコードす
るものであってもよいし、選択信号φxo〜φx3の論
理レベルは通常論理ハイレベルとし選択時に論理ロウレ
ベルとなるものであってもよい、この場合、論理レベル
に合わせて、容量カットMOS F ET及びリセット
MOSFETの導電型を入れ換える必要がある。さらに
、第4図のスタティック型RAMのブロック構成や制御
信号の組み合わせ等、種々の実施形態を採りうるもので
ある。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるスタティック型RA
Mに通用した場合について説明したが、それに限定され
るものではなく、例えば、ダイナミック型RAMやその
他の半導体記憶装置などにも通用できる0本発明は、少
なくともクロックドスタティック型のアドレスデコーダ
を有する半導体記憶装置及びこのような半導体記憶装置
を内蔵する半導体装置に広く通用できる。
〔発明の効果〕
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。すなわち、Xアドレスデコーダのデコード用論理ゲ
ート回路と各ワード線駆動回路の間に、そのゲートに例
えばプリデコーダの対応する出力信号を受ける容量カッ
トMOSFETを設け、また各ワード線駆動回路の入力
端子に例えばそのソースが回路の重環電圧に結合されそ
のゲートに選択制御信号を受けるリセットMO3FE’
I’を設けることで、デコード用論理ゲート回路及びプ
リデコーダの出力信号に対する負荷を増大させることな
くワード線駆動回路の駆動能力を大きくすることができ
、大記憶容量化とメモリアクセスの高速化を図ったCM
OSスタティック型RAMなどの半導体記憶装置を実現
できるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明が通用されたスタティック型RAM
のXアドレスデコーダのg/41の実施例を示す回路図
、 第2図は、この発明が適用されたスタティック型RAM
のXアドレスデコーダの第2の実施例を示す回路図、 第3図は、この発明が通用されたスタティック型RAM
のXアドレスデコーダの第3の実施例を示す回路図、 第4図は、この発明が適用されたスタティック型RAM
の一実施例を示す回路ブロック図、第5図は、従来のス
タティック型RAMのXアドレスデコーダの一例を示す
回路図である。 XDCR・・・Xアドレスデコーダ、PDCR・・・プ
リデコーダ、NAGO〜NAGk・・・デコード用ナン
トゲート回路、WDO〜WDm・・・ワード線駆動回路
。 Q1〜Q20、Qg2〜Qg4、Qd2・・・Nチャン
ネルMOSFET%Q21〜Q30%Qgl、Qdl・
・・PチャンネルMOSFET。 M−ARY・・・メモリアレイ、MC・・・メモリセル
、C8W・・・カラムスイッチ、YDCR・・・Yアド
レスデコーダ、XADB・・・Xアドレスバッファ、Y
ADB・・・Yアドレスバッファ、SA・・・センスア
ンプ、DOB・・・データ出力バッファ、WA・・・ラ
イトアンプ、DIB・・・データ人カバソファ、TC・
・・タイミング制御回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、そのゲートに選択制御信号を受けるMOSFET及
    びそれぞれのゲートに対応する組み合わせとされるアド
    レス信号を受ける複数のMOSFETが直並列接続され
    てなる論理ゲート回路と、上記論理ゲート回路の出力信
    号に従って対応するワード線を選択状態とするワード線
    駆動回路と、上記論理ゲート回路とワード線駆動回路の
    間に設けられる容量カットMOSFETと、上記ワード
    線駆動回路の入力端子に設けられるリセットMOSFE
    Tとを含むアドレスデコーダを具備することを特徴とす
    る半導体記憶装置。 2、上記アドレスデコーダは上記アドレス信号の一部を
    受けるプリデコーダを含み、上記論理ゲート回路はそれ
    ぞれのゲートに上記アドレス信号の一部を除く他のアド
    レス信号の非反転信号又は反転信号が対応する組み合わ
    せとされて供給され直列形態とされる複数のMOSFE
    Tと上記複数のMOSFETと回路の電源電圧及び接地
    電位との間にそれぞれ設けられそれぞれのゲートに上記
    選択制御信号を受けるPチャンネルMOSFET及びN
    チャンネルMOSFETとによって構成され、上記ワー
    ド線駆動回路はCMOSインバータ回路によって構成さ
    れ、上記論理ゲート回路の出力信号は上記プリデコーダ
    の出力信号に従って選択的に複数のワード線駆動回路に
    供給されることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    の半導体記憶装置。 3、上記容量カットMOSFETは、上記論理ゲート回
    路及びそれに対応する複数のワード線駆動回路の間にそ
    れぞれ設けられそれぞれのゲートに上記プリデコーダの
    対応する出力信号を受けるNチャンネル型の伝送ゲート
    MOSFETによって構成されることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項又は第2項記載の半導体記憶装置。 4、上記リセットMOSFETは、上記ワード線駆動回
    路の入力端子と回路の電源電圧との間にそれぞれ設けら
    れそのゲートに上記選択制御信号を受けるPチャンネル
    MOSFETによって構成されることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項、第2項又は第3項記載の半導体記憶
    装置。 5、上記リセットMOSFETは、上記容量カットMO
    SFETにそれぞれ並列形態に設けられそのゲートに上
    記選択制御信号を受けるPチャンネルMOSFETによ
    って構成されることを特徴とする特許請求の範囲第1項
    、第2項又は第3項記載の半導体記憶装置。 6、上記プリデコーダは、その出力信号を上記選択制御
    信号に従って形成し、上記リセットMOSFETは、上
    記ワード線駆動回路の入力端子と回路の電源電圧との間
    にそれぞれ設けられそのゲートが対応する上記容量カッ
    トMOSFETのゲートに共通接続されるPチャンネル
    MOSFETによって構成されることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項、第2項又は第3項記載の半導体記憶
    装置。 7、上記半導体記憶装置は、CMOSスタティック型R
    AMであることを特徴とする特許請求の範囲第1項、第
    2項、第3項、第4項、第5項又は第6項記載の半導体
    記憶装置。
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