JPS6247501A - アブソリユ−ト回転位置検出装置 - Google Patents

アブソリユ−ト回転位置検出装置

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JPS6247501A
JPS6247501A JP60187901A JP18790185A JPS6247501A JP S6247501 A JPS6247501 A JP S6247501A JP 60187901 A JP60187901 A JP 60187901A JP 18790185 A JP18790185 A JP 18790185A JP S6247501 A JPS6247501 A JP S6247501A
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渉 市川
Yuji Matsuki
裕二 松木
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    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、モータその地回転体の回転位置の絶対値を
高分解能で検出し得るアブソリュートa転位置検出装置
に関する。
〔従来の技術〕
ステータ側に1次巻線と2次巻線を設け、ロータ側には
巻線を設けないタイプの誘導形回転位置検出器としては
、回転位置に応じた電圧レベルを持つ出力信号を生ずる
タイプのものとしてマイクロシンといわれる回転形差動
トランスが知られており、他方、回転位置に応じた電気
的位相角を持つ交流信号を出力するタイプのものとして
本出願人の出願に係る特開昭57−70406号に開示
されたものが知られている。このような誘導形回転位置
検出装置の検出分解能を上げるためには、ステークとロ
ータに夫々スロット歯を設け、このスロット歯の1ピツ
チを1周期とする単位でステータ・ロータ間のパーミア
ンス変化が生しるようにすることが考えられる。こうす
ると、出力信号の変化の1サイクルがスロット歯の1ピ
ツチに対応するものとなり、検出分解能が向上する。し
かし、それだけではスロット歯1ピッチ内での相対的回
転位置しか検出することができず、1回転内での絶対的
回転位置を検出するには不充分である。
そのため、スロット歯を設けた検出装置とは別途に、少
くとも各スロント歯毎の絶対的回転位置を検出し得る、
いわば低分解能の、第2の検出装置を用いることが要求
される。そうすれば、各スロット歯毎の絶対的回転位置
とスロット歯1ピンチ内での相対的回転角度との組合せ
により、回転位置の絶対値を高分解能で検出することが
できる。
しかし、スロット歯を設けた高分解能型の検出装置と低
分解能型の第2の検出装置とを夫々別途に構成し、両者
を単純に併設するのはコスト高となり、また、両者のロ
ータ部の位置合わせを高精度に行わねばならないという
面倒が生じる。この点に鑑みて本出願人の出願に係る実
開昭57−92108号では、ロータのスロット歯を螺
旋状に設けることにより、スロット歯の1ピンチを1サ
イクルとする回転位置検出と螺旋の1回転を1サイクル
とする回転位置検出を行えるようにしている。
しかし、これではロータの機械加工が大変面倒であった
〔発明が解決しようとする問題点〕
この発明は上述の点に鑑みてなされたもので、1回転全
周にわたるアブソリュート回転位置を高分解能で検出す
る回転位置検出装置を簡単な構成により提供しようとす
るものである。
〔問題点を解決するための手段及び作用〕この発明のア
ブソリュート回転位置検出装置は、所定のピンチで円周
方向に変化を繰返す第1のパターンと、1円周につき1
サイクルの変化を示す第2のパターンとを有し、これら
のパターンを所定の物質により配置したロータ部と、こ
のロータ部に近接して設けられ、該ロータ部に対する位
置関係に応じて前記各パターンとの対応関係が変化し、
各パターンとの対応関係に応じた出力信号を夫々生じる
検出へノド部とを具えたことを特徴とする。
ロータ部に配置された第1のパターンに応答して該パタ
ーンの繰返しの1ピツチに対応する回転角範囲を1サイ
クルとし、その範囲内でのアブソリュート回転位置検出
をサイクリックに行うことができる。これにより高分解
能の回転位置検出が可能である。他方、ロータ部に配置
された第2のパターンに応答して1回転内でのアブソリ
ュート回転位置検出を行うことができる。こうして、第
1のパターンに応答する位置検出信号を副尺データとし
、第2のパターンに応答する位置検出信号を主尺データ
とし、バーニヤ方式による高精度な回転位置検出が可能
である。
ロータ部においては2種類のパターンを所定の物質(例
えば銅、アルミニウム等の導電体、あるいは鉄等の磁性
体)によって配置すればよいため、構造が簡単であり、
加工の手間もかからない。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を添付図面に基づき詳細に説
明しよう。
第1図及び第2図に示された回転位置検出装置は、所定
の配置で相互に固定された第1及び第2の検出ベンド1
,2と、このヘッド内の空間に挿入され、回転軸4に与
えられる回転運動に応じて回転するロータ部6とを具備
している。第1図ではロータ部3が側面図で示され、検
出ヘッド1゜2が断面図にて示されている。ロータ部6
には、所定のピッチで円周方向に変化を繰返す第1のパ
ターンと、1円周につき1サイクルの変化を示す第2の
パターンとが、所定の物質(すなわち何らかの形で磁気
に応答する物質)により配置されている。
ロータ部6における第1のパターンは、円筒周囲にN個
の所定物質から成る矩形片6aを等間隔て配置してなる
ものである。この第1のパターンの繰返しピッチは−N
一度である(図の例ではN=9である)。第2のパター
ンは、ロータ部3の円筒周囲に1ピツチ分の螺旋形状で
配置された所定幅の螺旋線条6bから成る。
第1の検出ヘッド1は第1のパターン6aに対応して配
置され、第2の検出ヘッド2は第2のパターン3bに対
応して配置されている。第2図は、第1図のII−II
線に沿い、第1の検出ヘッド1と第1のパターン3aを
配置したロータ部3の部分とを断面図にて示したもので
ある。第2図から明らかなように、検出ヘッド1は、4
つの極部1八〜1Dを円周方向に90度の間隔で配した
もので、各極部1A〜1Dには1次コイルW1と2次コ
イルW2が夫々巻かれている。各極部1A〜1DはC字
型の磁性体コアを持ち、そのコアの一方の端部から出た
磁束がロータ部6を通って他方の端部に入るようになっ
ている。第2の検出ヘッド2も4つの極部2A〜2Dを
持ち、第1の検出ヘッド1と同様の構造であってよい。
第1の検出ヘッド1の各極部1A〜1Dとロータ部6の
第1のパターンの矩形片6aとの対応関係は、隣合う極
間でパターン変化の1ピツチは前述の通り□度(N=9
の場合は40度)である。第2の検出ヘッド2の各極部
2A〜2Dとロータ部6の第2のパターンの螺旋線条6
bとの対応関係も、隣合う極東2のパターンの変化の1
ピンチは前述の通り1回転(360度)に和尚する。こ
のようなパターンとの対応関係のずれにより、各極部1
A〜ID。
2八〜2Dを通る磁気回路の磁気抵抗は異なる位相で変
化する。そこで、極部IA、2AをA相、IB、2Bを
B相、IC,2CをC相、1D、2DをD相として以下
説明する。
ロータ部6においてパターンを構成する物質は、検出ヘ
ッドの磁界に対するその物質の侵入度に応じて異なる磁
気抵抗変化を生せしめるような物質である。そのような
物質としては、ロータ部6の他の部分6Cよりも相対的
に良導電体から成るもの、あるいは磁性体から成るもの
、を用いるとよい。
!−タ部6におけるパターンの部分3a、3bを銅のよ
うな良導電体により構成し、他の部分6Cをこの良導電
体に比べて導電性の低いもの(例えば鉄)により構成し
た場合について考える。ロータ部6が回転変位し、この
変位量に応じて第1のパターンの矩形片6aが第1のヘ
ッド1の各極部1A〜1Dの磁界内に侵入すると、その
侵入量に応じて良導電体から成る矩形片6aに渦電流が
流れる。極部1A〜1Dに対するこの矩形片6aの対向
面積がより大きい状態(例えば最大では第2図の人相極
部1Aに対応している状態)はどより多くめ渦電流が流
れる。反対に、矩形片6aが極部1A〜1Dの端部に全
く対向していない状態(例えば第2図ではC相極部1C
に対応している状態)ではほとんど渦電流が流れない。
こうして、第1の検出ヘッド1の各相極部の端部に対す
るロータ部6の良導電体矩形片6aの対向面積に応じて
、その対向部分て該矩形片6aに渦電流が流れ、この渦
電流損による磁気抵抗変化が第1の検出ヘッド1の各極
部1A〜1Dの磁気回路に生せしめられる。各極部1八
〜1Dに設けた2次巻線W2にはこの磁気抵抗に応じた
ピークレベルを持つ交流信号が誘起される。各極部1A
〜1Dと矩形片3aとの対応関係のずれにより、各極部
1A〜1Dの磁気抵抗変化は、矩形片6aの繰返しの1
ピツチつずれるようになっている。例えばA相をコサイ
ン相とすると、B相をサイン相、C相をマイナスコサイ
ン相、D相をマイナスサイン相とすることができる。
この磁気抵抗の大きさに応じて、第1のヘッド1に対す
るロータ部3の相対的回転位置を、第1のパターンの1
ピツチの角度範囲内でのアブソリュート値にて検出する
ことができる。この検出を位相方式によって行う場合に
ついて説明すると、A及びC相の1次巻線を正弦信号s
inωt によって励磁し、B及びD相の1次巻線を余
弦信号面ωtによって励磁する。すると、各相の2次巻
線の誘起電圧を合成した検出ヘッド出力信号Y1として
、Y、=Ksin (ωt+φ)      −・−・
(1)なる交流信号を得ることができる。ここで、φは
範囲内でのロータ部6の回転位置に対応する位相角であ
り、ロータ部3の実際の回転角度をθとすると、φ−N
θなる関係にある。Kは諸条件に応じて定まる定数であ
る。こうして、第1の検出ヘッド出力信号Y1の基準交
流信号患ωtに対する位相シフト量φが、第1のパター
ンの1ピツチ分の角度範囲内でのロータ部3の回転位置
を示すものとなる。この位相シフト量φは、適宜の手段
によってディジタル又はアナロク的に測定することがで
きる。
第2のパターンについても同様であり、第2の検出ヘッ
ド2の各極部2A〜2Dの磁束が螺旋線条6bの一部を
貫くときその部分で渦電流が流れ、それに応じた磁気抵
抗変化が各極部の磁気回路に生じる。この渦電流量は、
各極部の端部と線条3bとの対向面積が大きいほど多い
。こうして、第2の検出ヘッド2の各極部2A〜2Dの
磁気抵抗は、螺旋線条6bの1ピンチの角度範囲つまり
360度を1サイクルとして変化し、その変化の位相は
、各極毎に90度づつずれたものとなる。従って、前述
のヘッド1の場合と同様に、ヘッド2では、A相に対応
する極1Aの磁気抵抗変化をコサイン相とすると、B相
に対応する極1Bはサイン相、C相に対応する極1Cは
マイナスコサイン相、D相に対応する極1Dはマイナス
サイン相となる。
この磁気抵抗の大きさに応じて、第2のヘッド2に対応
するロータ部3の回転位置を、第2のパターンの変化の
1サイクルの範囲(つまり1回転)内でのアブソリュー
ト値にて検出することができる。この検出を位相方式に
よって行う場合は前述と同様に、A、C相の1次巻線を
正弦信号sinωtによって励磁し、B、D相の1次巻
線を余弦信号匹ωtによって励磁する。すると、各極部
の2次巻線の誘起電圧を合成した検出ヘッド出力信号Y
2として、 Y2=Ksin ((7Jt + 0 )      
 −−(2)なる交流信号を得ることができる。ここで
、θは第2のパターンの1サイクルの角度範囲内のロー
タ部6の回転位置に対応する位相角である。こうして、
第2のヘッド出力信号Y2の基準交流信号歯ωtに対す
る位相シフト量θが、ロータ部6の回転位置を示すもの
となる。この位相シフト量θも、適宜の手段によってデ
ィジタル又はアナログ的に測定することができる。第1
のヘッド出力信号Y、に基づき得られる回転位置検出デ
ータDφと第2のヘッド出力信号¥2に基づき得られる
回転位置検出データDθの一例を第3図に示す。第を示
しており、バーニヤ原理の副尺測定データに相当するも
のであり、高い分解能で精度の良い位置検出が可能であ
る。第2の回転位置検出データDθは、1回転全周での
アブソリュート回転位置を示している。角度T度の範囲
内での検出精度は第1の回転位置検出データDφによっ
て期待できるため、第2の回転位置検出データDθは分
解能の粗いデータであってもよい。つまり、第2るアブ
ソリュート値を求めることができる程度の粗い分解能で
あってもよい。これはバーニヤ原理の主尺測定データに
相当する。この第1及び第2の回転位置検出データDφ
、D、の組合せにより、バーニヤ原理により、高分解能
のアブソリュート回転位置検出データを広範囲にわたっ
て得ることができる。
前述の位相方式によって検出ヘッド出力信号Y1゜Y2
を生じさせ、この出力信号における位相ずれ量φ、θを
ディジクルで測定するための電気回路の一例を第4図に
示す。
第4図において、発振部10は基準の正弦信号si!I
ωtと余弦信号邸ωtを発生する回路、位相差検出回路
11は上記位相ずれφ、θを夫々測定するための回路で
ある。クロック発振器12から発振されたクロックパル
スCPがカウンタ16でカウントされる。カウンタ13
は例えばモジュロM(Mは任意の整数)であり、そのカ
ウント値がレジスタ14及び15に与えられる。カウン
タ16のプフロツプ16のC入力に与えられる。このフ
リップフロップ16のQ出力から出たパルスPbがフリ
ップフロップ17に加わり、Q出力から出たパルスPa
がフリップフロップ18に加わり、これら17及び18
の出力がローパスフィルタ19゜20及び増幅器21.
22を経由して、余弦信号房ωtと正弦信号smωtが
得られ、第1及び第2の検出ヘッド1,2の各相A−D
の1次巻線W1に印加される。カウンタ13におけるM
カウントがこれら基準信号部ωi、stnωtの2πラ
ジアン分の位相角に相当する。すなわち、カウンタ16
の2π −1゜ 1カウント値は丁フシアンの位相角を示しているO 各検出ヘッド1,2の各相の2次巻線w2の合成出力信
号Y1及びY2は増幅器23.24を介してコンパレー
ク25,26に夫々加わり、該信号Y、、Y2の正・負
極性に応じた方形波信号が該コンパレータ25.26か
ら夫々出力される。
このコンパレータ25,26の夫々の出力信号の立上り
に応答して立上り検出回路27.28がらパルスT1.
T2が出力され、このハ/l/ スT 1. T 2に
応じてカウンタ16のカウント値をレジスタ14゜15
に夫々ロードする。その結果、第1のヘッド出力信号Y
1における位相ずれφに応じたディジタル値Dφがレジ
スタ14に取り込まれ、第2のヘッド出力信号Y2にお
ける位相ずれθに応じた一トで示すデータD、を得るこ
とができる。
データD、においで実質的に必要とされる情報は、現時
点でのデータDφが1回転内における何サイクル目のデ
ータであるかを示す情報である。
例えば、データDφの1回転内における繰返しサイクル
数がNであれば、データD。の直をNで割ったものが現
時点でのデータDφのサイクル数を示している。従って
、データDθをNで割った値とデータDφを組合せれば
、1回転全周にわたるアブソリュート回転位置を高分解
能で精度良く検出したデータを得ることができる。ここ
てN=2゜であるとすると、格別の割算は不要であり、
テークDθの上位nビットとテークDφとを組合せれば
よいことになる。
ロータ部6に配置する第1のパターンあるいは第2のパ
ターンの形状は上述のものに限らず、どのようなもので
もよい。例えば、第2のパターンは、第5図に示すよう
な、2条ねじ式の2つの線条3.6 から成ってもよい
。この場合、口b1   b2 一タ部6の横断面において180度対称の2箇所に線条
3bt +  3b2が位置するので、第2の検出ヘッ
ド2は第6図に示すような8極型コアから成るものとす
るとよい。8極型コアはA、B、C。
D相に対応する極を2組づつ含み、同一相が180度対
称の位置にあるものである。各極には前述と同様に1次
及び2次巻線が巻かれており、位相方式で検出を行う場
合はA、C相とB、D相とでは夫々90度位相のずれた
交流信号(例えば正弦信号と余弦信号)で励磁を行う。
この場合、同一相が180度対称位置にあるため、ヘッ
ド2の中心とロータ部3の中心が多少ずれていても、そ
れによる誤差が生じない。なお、第5図において第1の
パターン3a及び第1の検出ヘッド1は便宜上図示して
いないが、これは第1図と同様に設けられるのは勿論で
ある。
また、螺旋状のパターンは必ずしも滑らかな線条3b、
3b□、3b2から成るものである必要はなく、第7図
に示すようにステップ状に配置されたパターン3sから
成っていてもよく、全体として螺旋に近似した(斜めの
)変化を示すものであればよい。
第8図は、ロータ部3に配置するパターンの別の例を展
開図によって示したもので、第1のパターンは1円周に
つきN個の菱形3a’ から成り、第2のパターンは1
円周につき1個の菱形3b’から成る。この場合も、検
出ヘッド1.2に対向する各パターン3a’ 、3b’
の面積が回転位置に応じて変化し、前述と同様に動作す
る。
検出ヘッドは、前述のような4極型あるいは8極型のも
のに限らず、3極型あるいは6極型あるいは12極型な
ど、その他適宜の極数とすることができる。第9図は、
その−例として6極型の検出ヘッドを示したものである
。その場合1位相検出力式のための1次コイル励磁交流
信号は、正弦信号と余弦信号のように90度位相のずれ
た信号ではなく、sinωtとsin (ωt−60)
あるいはsin (ωt−120)あるいは5in(ω
t−240)など、60度位相がずれた交流信号あるい
はその倍角だけ位相がずれた交流信号、その他適宜位相
角だけずれた交流信号を用いる。
また、検出ヘットの磁性体コア素材は、第2図のように
各極毎に分離されたものから成るもの、あるいは第6図
のように各極が共通のコア素材によって連続しているも
の、のどちらを用いてもよい。
ところで、上述では位相方式によって位置検出データを
求めているが、通常の差動トランスで知られているよう
に電圧方式によって位置に応じた電圧レベルを持つ位置
検出データを求めるようにしてもよい。そのばあいは、
1次コイル励磁用の交流信号に位相差を設定する必要は
ない。また、精度が要求される高分解能の位置検出デー
タDφは位相方式によって求め、他方の位置検出データ
は電圧方式によって求めるようにしてもよい。
次に、ロータ部3におけるパターンの形成法についてい
くつかの例を挙げて説明する。パターンを構成する良導
電体あるいは磁性体の物質3a。
3b、3b1,3b2は、適宜の表面加工処理技術(例
えば、めっき、溶射、焼付、塗装、溶着、蒸着、電鋳、
フォトエツチングなど)を用いて付着若しくは形成させ
るようにするとよい。最近では、その種の加工処理技術
を用いて微細なパターンでも形成できるマイクロ加工技
術が確立されているので、そのような技術を用いて精密
なパターン形成を行うことができる。
第10図は、ロータ部3の基材3dの周囲に銅のような
良導体物質でパターン3a、3bを形成し、その上から
クロームめっきのような表面コーティング3eを設けた
例を示している。この場合のパターン形成法としては、
基材3dの全周に銅めっきを施し、その後不要部分をエ
ツチング等の除去技術により取除くことにより残された
銅めっき部分により所望のパターン3a、3bが形成さ
れるようにする。そして最後に表面仕上げのためにクロ
ームめっき等の表面コーティング3eを施す。基材3d
は鉄のような磁性体を用いれば磁束の通りを良くするの
で好適である。しかし、プラスチック等の樹脂、あるい
゛はその他のものを基材3dとして用いることもできる
。その場合、予め成形されたプラスチック基材3dの表
面に銅等の金属′膜をめっきするようにしてもよいし、
あるいは、金型キャビティに電鋳て銅等の金属膜を予め
形成し、その後プラスチックを射出成形して金属膜と一
体化するようにしてもよい。
ところで、第10図に示すように表面コーティング3e
をパターン3aの間の凹みに埋めるようにすると、その
部分でどうしてもコーティング3eが沈み、仕上げ表面
が滑らかにならないことが多い。そこで、第11図に示
すように、各パターン3aの間の凹みを適宜の充填物3
fで充填し、その上から表面コーティング3eを施すよ
うにするとよい。充填物3fとしては、例えばニッケル
めっきなどを用いることができる。
なお、基材3dに銅等の金属膜をめっきし、その後所望
のパターンでエツチングする場合、エツチング薬剤によ
って基材3dの表面が侵されるおそれがある。特に基材
3dが鉄等の金属である場合その問題が大きい。そのよ
うな問題を解決するために、第12図に示すように、基
材3dの表面全体にエツチング薬剤に対して耐性を示す
所定の物質3g(例えば樹脂)の薄膜を形成し、その上
から銅めっき等を施し、更に所定のエツチングを行って
パターン3aを形成するようにするとよい。
パターンを構成する物質は、銅又はアルミニウム又はそ
の他良導電体又はそれらの混合物若しくは化合物、のよ
うに渦電流損によって磁気抵抗変化を生せしめるものに
限らず、導磁量の変化により磁気抵抗変化を生せしめる
磁性体物質(例えば鉄あるいはその化合物又は混合物)
であってもよい。そのような磁性体によりパターンを構
成する場合も上述と同様の種々の表面加工技術によりパ
ターン形成を行うことができる。
また、第13図に示すように、ロータ部3の基材3dを
鉄等の磁性体で作成し、その基材3dの表面に所望のパ
ターンに応じた凹所を加工形成し。
この凹所に銅等の良導電体3aを充填することにより所
望のパターン形成を行うようにしてもよい。
この場合、導電体3aのパターンの間に基材3dの凸部
である磁性体が侵入し、その部分では渦電流損が少なく
なることにより磁気抵抗が小さくなることに加えて、磁
性体の突出によりより一層磁気抵抗を小さくすることが
でき、相乗的効果によりロータ部の変位に対するセンサ
出力信号の応答精度を上げることができる。また、第1
4図に示すように、磁性体から成るロータ部3の基材3
dの表面に所望のパターンに応じた突出部3aを加工形
成し、この突出部3aを磁性体から成るパターン部とし
てもよい。その場合は、渦電流損ではなく、導磁量に応
じた磁気抵抗変化を生じさせることができる。
また、パターン配置部材に配置するパターンは可視的に
明瞭に区別し得るようになっている必要はなく、視覚的
には他の部分と明瞭に区別できなくても、磁気的性質に
おいて他の部分と区別し得るものであればよい。例えば
、ロータ部3の基材をステンレスによって構成し、この
ステンレス基村上を所望のパターンに従って局部的にレ
ーザ等により加熱することによりその被加熱部分を磁性
体化することができ、これにより基材とパターンは同じ
ステンレスを素材とするものであっても、パターンの部
分を磁性体とし、その他の部分を非磁性体とすることが
できる。
なお、上記各実施例において、ロータ部における各極毎
の1次巻線と2次巻線は必ずしも別々の巻線である必要
はなく、実開昭58−2621号あるいは実開昭58−
39507号に示されたもののように共通であってもよ
い。
また、検出ヘッドは第1及び第2のパターン毎に別々に
設けずに共通のものを用いてもよい。その場合、適宜の
電気的処理によって各パターンに別々に応答する出力信
号を得るようにする。また、各パターンは異なる領域に
配置せずに同じ領域に重複して配置するようにしてもよ
い。
また、ロータ部に配置するパターンの種類は2に限らず
、それ以上であってもよい。
〔発明の効果〕
以上の通り、この発明によれば、ロータ部に2種類のパ
ターンを併設し、該ロータ部に対する検出ヘッドの位置
関係を各パターン毎に夫々求めるよ゛うにしたので、構
造が簡単であり、製造が容易かつ低コストであり、更に
、ロータ部の/JX型化に適しており、しかも、1回転
全周にわたるアブソリュート回転位置を高分解能で検出
することができるという、種々の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明に係るアブソリュート回転位置検出装
置の一実施例を示す一部断面側面図、第2図は第1図の
n−n線断面図、 第3図は同実施例における第1の検出ヘッドと第2の検
出ヘッドの出力に基づき得られる位置検出データの一例
を示すグラフ、 第4図は検出ヘッド部に励磁用交流信号を供給するため
の回路と該ヘッド部の出力信号の電気的位相を検出して
位置検出データを求める回路の一例を示す電気的ブロッ
ク図。 第5図はロータ部に配置する第2のパターンの別の例と
して2条ねじ式の螺旋線条のパターンを示す側面図、 第6図は第5図のパターンを検知するために用いる第2
の検出ヘッドの別の例を示すもので、8極型ヘツドの横
断面図、 第7図はロータ部に配置する螺旋状のパターンの別の例
を示すもので、ステップ状に変化するようにしたものの
側面図、 第8図はロータ部に配置する第1及び第2のパターンの
別の例を示す展開図、 第9図は検出ヘッドの別の例を示すもので、6極型ヘツ
ドの横断面図、 第10図乃至第14図はロータ部におけるパターン形成
法の具体例を夫々示す断面図、である。 1・・・第1の検出ヘッド、2・・・第2の検出ヘッド
、IA〜ID、2A〜2D・・・極部、3・・・ロータ
部、3a、3a’−第1のパターン、3b、3b1゜3
b、、3b’ ・・・第2のパターン、W工・・・1次
巻線、W2・・・2次巻線。

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.所定のピッチで円周方向に変化を繰返す第1のパタ
    ーンと、1円周につき1サイクルの変化を示す第2のパ
    ターンとを有し、これらのパターンを所定の物質により
    配置したロータ部と、 このロータ部に近接して設けられ、該ロータ部の回転位
    置に応じて前記各パターンとの対応関係が変化し、各パ
    ターンとの対応関係に応じた出力信号を夫々生じる検出
    ヘッド部と を具えたアブソリュート回転位置検出装置。
  2. 2.前記パターンを構成する前記所定の物質は、前記部
    材の他の部分の材質よりも相対的に良導電体から成るも
    のである特許請求の範囲第1項記載のアブソリュート回
    転位置検出装置。
  3. 3.前記パターンを構成する前記所定の物質は、磁性体
    から成るものである特許請求の範囲第1項記載のアブソ
    リュート回転位置検出装置。
  4. 4.前記ロータ部の基材が磁性体から成り、磁性体から
    成る前記パターンはこの基材上において突出部として加
    工形成されるものである特許請求の範囲第3項記載のア
    ブソリュート回転位置検出装置。
  5. 5.前記ロータ部の基材が磁性体から成り、前記パター
    ンに対応する形状をこの基材において凹所として形成し
    、この凹所に前記良導電体を埋設して前記パターンを構
    成させた特許請求の範囲第2項記載のアブソリュート回
    転位置検出装置。
  6. 6.前記ロータ部は、その基材上に前記所定の物質によ
    り前記パターンを形成し、その上から所定の表面コーテ
    ィングを施したものである特許請求の範囲第1項記載の
    アブソリュート回転位置検出装置。
  7. 7.前記ロータ部は、その基材上に前記所定の物質によ
    り前記パターンを幾分突出させて形成し、該パターンの
    間の凹所に所定の充填物質を充填させて該パターンの上
    面と該充填物質の上面の高さをほぼ揃え、更にその上か
    ら全体に表面コーティングを施したものである特許請求
    の範囲第1項記載のアブソリュート回転位置検出装置。
  8. 8.前記ロータ部の基材と前記パターンが同じ物質から
    成り、該基材におけるパターン配置箇所に対して局部的
    に所定の処理を加えることにより該箇所の磁気的性質を
    変更し、これにより該箇所を前記パターンと成すように
    した特許請求の範囲第1項記載のアブソリュート回転位
    置検出装置。
  9. 9.前記基材はステンレススチールから成り、前記所定
    の処理は加熱処理であり、前記箇所を磁性体に変更する
    ことにより前記パターンが磁性体によって構成されるよ
    うにした特許請求の範囲第8項記載のアブソリュート回
    転位置検出装置。
  10. 10.前記検出ヘッド部は、前記第1及び第2のパター
    ンに夫々対応する第1及び第2の検出ヘッドを含み、少
    なくとも一方の検出ヘッドが前記パターンとの対応位置
    に応じた電気的位相ずれを示す出力信号を生ずるもので
    ある特許請求の範囲第1項記載のアブソリュート回転位
    置検出装置。
  11. 11.前記検出ヘッドは、励磁用巻線手段と出力用巻線
    手段とを含む誘導形検出ヘッドから成るものである特許
    請求の範囲第10項記載のアブソリュート回転位置検出
    装置。
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Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6432117A (en) * 1987-07-29 1989-02-02 Hitachi Ltd Absolute position detector
JPH0226491U (ja) * 1988-08-09 1990-02-21
JPH02287116A (ja) * 1989-04-27 1990-11-27 Smc Corp 初期位置検出装置
JPH03115808A (ja) * 1989-09-28 1991-05-16 Komatsu Ltd 位置センサ軸
JPH03205907A (ja) * 1990-01-08 1991-09-09 Hitachi Ltd 多電極型弾性表面波装置
JPH0391909U (ja) * 1990-01-09 1991-09-19
JPH0566102A (ja) * 1991-09-06 1993-03-19 Komatsu Ltd 位置検出装置
JPH05187803A (ja) * 1992-01-14 1993-07-27 Kanbayashi Seisakusho:Kk センサ
JPH08297007A (ja) * 1995-04-27 1996-11-12 Mikuni Corp 磁気式位置センサ
JP2004325109A (ja) * 2003-04-22 2004-11-18 Amitec:Kk シリンダ位置検出装置
JP2005249791A (ja) * 2004-03-03 2005-09-15 Carl Freudenberg Kg 角度測定装置
JP2009540277A (ja) * 2006-06-07 2009-11-19 フォクト エレクトロニック コンポーネント ゲーエムベーハー 位置エンコーダおよび機械の可動部の位置を検出する方法
JP2010044055A (ja) * 2008-07-06 2010-02-25 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd 誘導性マルチターン式エンコーダ
JP2010181192A (ja) * 2009-02-03 2010-08-19 Honda Motor Co Ltd 磁歪式トルク・回転角検出装置
JP2011503558A (ja) * 2007-11-09 2011-01-27 フォクト エレクトロニック コンポーネント ゲーエムベーハー プラスチック要素を含む位置エンコーダ
JP2016004041A (ja) * 2014-06-12 2016-01-12 株式会社ミツトヨ 変化する切欠きに対して繰り返して配置されたプレートを有するアブソリュート型エンコーダスケール
JP2018119930A (ja) * 2017-01-27 2018-08-02 キヤノン株式会社 センサ及びロボット
JP2019514013A (ja) * 2016-04-21 2019-05-30 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh ブラシレス直流モータおよび角度信号を提供する方法
CN110662943A (zh) * 2017-05-26 2020-01-07 阿莱戈微系统有限责任公司 用于线圈激励式位置传感器的目标
JP2021051098A (ja) * 2021-01-13 2021-04-01 キヤノン株式会社 駆動装置、ロボット及びロボット装置

Families Citing this family (92)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2188159B (en) * 1986-03-19 1990-05-30 Honda Motor Co Ltd Angle-of-rotation sensor
FR2601129B1 (fr) * 1986-07-02 1994-06-03 Commissariat Energie Atomique Capteur de position angulaire et ensemble de determination de position angulaire muni de plusieurs de ces capteurs
DE3642678A1 (de) * 1986-12-13 1988-06-16 Bosch Gmbh Robert Messeinrichtung fuer drehwinkel und/oder drehgeschwindigkeit
JPS63205507A (ja) * 1987-02-21 1988-08-25 Fanuc Ltd アブソリユ−ト位置検出方式
EP0349547B1 (en) * 1987-02-27 1993-05-05 Radiodetection Limited Inductive displacement sensors
GB8706905D0 (en) * 1987-03-24 1987-04-29 Schlumberger Electronics Uk Shaft monitoring system
JPS6474411A (en) * 1987-09-16 1989-03-20 Yamaha Corp Position detector
US4897603A (en) * 1988-02-29 1990-01-30 Siemens Aktiengesellschaft Arrangement for determining the speed and rotor position of an electric machine
DE3809569A1 (de) * 1988-03-22 1989-10-05 Frankl & Kirchner Positionsgeber
US4855734A (en) * 1988-03-29 1989-08-08 International Machine & Tool Corporation Relative position indication system
DE3824535A1 (de) * 1988-07-20 1990-01-25 Bosch Gmbh Robert Messeinrichtung zur bestimmung eines drehwinkels
JPH0264407A (ja) * 1988-08-31 1990-03-05 Fanuc Ltd 磁気式絶対位置エンコーダ
WO1990004754A1 (en) * 1988-10-20 1990-05-03 Kayaba Kogyo Kabushiki Kaisha System for processing position signals
JPH02150717A (ja) * 1988-12-01 1990-06-11 Tamagawa Seiki Co Ltd 精密位置検出装置
EP0388584B1 (fr) * 1989-01-17 1993-10-27 Gec Alsthom Sa Dispositif de repérage de position d'un arbre en acier en rotation comportant une piste formée par une bande à propriétés électriques discontinues et procédé de fabrication de ladite piste
DE4001544A1 (de) * 1990-01-20 1991-07-25 Bosch Gmbh Robert Messeinrichtung zur bestimmung eines drehwinkels
AT408591B (de) * 1989-04-06 2002-01-25 Elin Ebg Traction Gmbh Verfahren zur sensorlosen drehwinkelerfassung von dämpferlosen, vorzugsweise permanentmagneterregten, synchronmaschinen
US5198763A (en) * 1990-02-20 1993-03-30 Nikkiso Co., Ltd. Apparatus for monitoring the axial and radial wear on a bearing of a rotary shaft
US5265480A (en) * 1990-08-23 1993-11-30 Mazda Motor Corporation Torque detector
WO1992006539A1 (en) * 1990-10-02 1992-04-16 Spetsialnoe Konstruktorskoe Bjuro Radioelektronnoi Apparatury Instituta Radiofiziki I Elektroniki Akademii Nauk Armyanskoi Ssr Method and device for conversion of movements of an object into code
US5160886A (en) * 1991-02-14 1992-11-03 Carlen Controls, Inc. Permanent magnet resolver for producing a resolver-to-digital converter compatible output
CH682360A5 (ja) * 1991-03-22 1993-08-31 Admotec W Wyss Dipl Ing Eth
JP2738199B2 (ja) * 1992-03-02 1998-04-08 三菱電機株式会社 回転又は移動検出方法及びその装置
US5508609A (en) * 1993-06-30 1996-04-16 Simmonds Precision Product Inc. Monitoring apparatus for detecting axial position and axial alignment of a rotating shaft
US5514952A (en) * 1993-06-30 1996-05-07 Simmonds Precision Products Inc. Monitoring apparatus for rotating equipment dynamics for slow checking of alignment using plural angled elements
US5456123A (en) * 1994-01-26 1995-10-10 Simmonds Precision Products, Inc. Static torque measurement for rotatable shaft
US5696444A (en) * 1994-03-04 1997-12-09 Crane Co. Monitoring system for detecting axial and radial movement of a rotating body independent of rotational position
DE19501617C2 (de) * 1995-01-20 1997-04-03 Stegmann Max Antriebstech Gerät zur Bestimmung eines drehwinkelabhängigen Meßwertes
JP4001989B2 (ja) * 1996-11-29 2007-10-31 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 位置測定装置の走査部材
US5955880A (en) * 1996-12-05 1999-09-21 Beam; Palmer H. Sealless pump rotor position and bearing monitor
JPH11178303A (ja) * 1997-12-09 1999-07-02 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd エンコーダ装置及びそのパラメータ設定装置
US5925951A (en) * 1998-06-19 1999-07-20 Sundstrand Fluid Handling Corporation Electromagnetic shield for an electric motor
US6178821B1 (en) * 1999-01-25 2001-01-30 General Electric Company Vibration sensing device
US20020124663A1 (en) * 1999-04-07 2002-09-12 Yoshitomo Tokumoto Rotational angle detecting device, torque detecting device and steering apparatus
WO2000062031A1 (fr) * 1999-04-07 2000-10-19 Koyo Seiko Co., Ltd. Detecteur d'angle de rotation, detecteur de couple et dispositif de direction
WO2001067412A2 (en) * 2000-03-08 2001-09-13 Mts Systems Corporation Linear and rotary magnetic sensor
US6781368B2 (en) * 2001-02-22 2004-08-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Rotation angle sensor
JP3938501B2 (ja) * 2001-10-16 2007-06-27 三菱電機株式会社 回転角度検出装置、それを用いた永久磁石型回転電機、及び、永久磁石型回転電機を用いた電動パワーステアリング装置
JP3920113B2 (ja) * 2002-03-05 2007-05-30 アルプス電気株式会社 回転角検出装置
DE10219091A1 (de) * 2002-04-29 2003-11-20 Siemens Ag Drehbewegungsdetektor
DE10225011A1 (de) * 2002-06-06 2003-12-18 Hella Kg Hueck & Co Gestanzter Rotor für Induktivsensoren
DE10225019A1 (de) * 2002-06-06 2003-12-18 Hella Kg Hueck & Co Läufer für Induktivsensor
DE10233132A1 (de) * 2002-07-20 2004-02-12 Hella Kg Hueck & Co. Koppelelement, insbesondere Rotor für einen induktiven Sensor
JP4120425B2 (ja) * 2003-02-28 2008-07-16 株式会社ジェイテクト 回転角度検出装置及びトルク検出装置
JP4158858B2 (ja) * 2003-12-04 2008-10-01 多摩川精機株式会社 回転角度検出器
DE102004009839A1 (de) * 2004-02-28 2005-09-15 Zf Lenksysteme Gmbh Drehwinkelsensor
DE102004054802A1 (de) * 2004-11-12 2006-05-18 Voith Paper Patent Gmbh Verfahren zur Messung von Eigenschaften eines Rotationskörpers
BRPI0607124A2 (pt) * 2005-02-01 2009-08-04 Nct Engineering Gmbh sensor de posição e máquina de lavar
EP1881859B1 (en) * 2005-05-10 2011-01-19 Novo Nordisk A/S Injection device comprising an optical sensor
WO2007039148A1 (en) * 2005-09-22 2007-04-12 Novo Nordisk A/S Device and method for contact free absolute position determination
EP1801545A1 (de) * 2005-12-24 2007-06-27 Zf Friedrichshafen Ag Geberrad für eine Wirbelstromsensoranordnung
DE202006007778U1 (de) * 2006-05-16 2007-09-20 Hella Kgaa Hueck & Co. Rotor für einen induktiven Winkelsensor
DE202006009621U1 (de) * 2006-06-20 2006-10-12 Trw Automotive Safety Systems Gmbh Vorrichtung zur Bestimmung eines absoluten Drehwinkels einer Drehachse
JP2008216154A (ja) * 2007-03-07 2008-09-18 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 絶対値スケール及び絶対値演算方法
US20090102467A1 (en) * 2007-10-22 2009-04-23 Johnson Controls Inc. Method and apparatus for sensing shaft rotation
US9823090B2 (en) 2014-10-31 2017-11-21 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor for sensing a movement of a target object
DE102009048612B4 (de) * 2009-10-08 2016-03-24 Elster Meßtechnik GmbH Flügelradwasserzähler mit einer Messvorrichtung zur Erfassung von Drehsignalen
US8222760B2 (en) * 2010-06-29 2012-07-17 General Electric Company Method for controlling a proximity sensor of a wind turbine
DE102010054931B4 (de) * 2010-12-17 2013-10-17 Daimler Ag Rotoroberfläche mit Signalgeberstruktur und Herstellungsverfahren für selbige sowie Sensorsystem zur Lagebestimmung für einen Rotor
US9817078B2 (en) 2012-05-10 2017-11-14 Allegro Microsystems Llc Methods and apparatus for magnetic sensor having integrated coil
JP6052038B2 (ja) * 2013-04-17 2016-12-27 日本精工株式会社 電動パワーステアリング装置
GB201311856D0 (en) * 2013-07-02 2013-08-14 Gill Res And Dev Ltd A position indicator device
US10145908B2 (en) 2013-07-19 2018-12-04 Allegro Microsystems, Llc Method and apparatus for magnetic sensor producing a changing magnetic field
US10495699B2 (en) * 2013-07-19 2019-12-03 Allegro Microsystems, Llc Methods and apparatus for magnetic sensor having an integrated coil or magnet to detect a non-ferromagnetic target
JPWO2016035136A1 (ja) 2014-09-02 2017-04-27 日本精工株式会社 電動パワーステアリング装置
EP3194821B1 (en) * 2014-09-15 2020-08-12 Flowserve Management Company Sensors for valve systems and related assemblies, systems and methods
DE102014218982A1 (de) * 2014-09-22 2016-03-24 Robert Bosch Gmbh Sensoranordnung zur Weg- und/oder Winkelmessung
US9823092B2 (en) 2014-10-31 2017-11-21 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor providing a movement detector
US9720054B2 (en) 2014-10-31 2017-08-01 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor and electronic circuit that pass amplifier current through a magnetoresistance element
US9719806B2 (en) 2014-10-31 2017-08-01 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor for sensing a movement of a ferromagnetic target object
US10712403B2 (en) 2014-10-31 2020-07-14 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor and electronic circuit that pass amplifier current through a magnetoresistance element
DE102016108007A1 (de) * 2016-04-29 2017-11-02 Lock Antriebstechnik Gmbh Schaltvorrichtung zum Schalten eines elektrischen Motors
US10012518B2 (en) 2016-06-08 2018-07-03 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor for sensing a proximity of an object
FR3056354B1 (fr) * 2016-09-22 2018-09-07 Valeo Systemes D'essuyage Moteur electrique a courant continu sans balais pour systeme d'essuyage de vehicule automobile
FR3056355B1 (fr) * 2016-09-22 2018-09-07 Valeo Systemes D'essuyage Moteur electrique a courant continu sans balais pour systeme d'essuyage de vehicule automobile
WO2018193308A1 (en) 2017-04-19 2018-10-25 Analog Devices Global Unlimited Company Techniques for magnetic field direction based position sensor
US10310028B2 (en) 2017-05-26 2019-06-04 Allegro Microsystems, Llc Coil actuated pressure sensor
US10324141B2 (en) 2017-05-26 2019-06-18 Allegro Microsystems, Llc Packages for coil actuated position sensors
US10996289B2 (en) 2017-05-26 2021-05-04 Allegro Microsystems, Llc Coil actuated position sensor with reflected magnetic field
US10837943B2 (en) 2017-05-26 2020-11-17 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor with error calculation
US11428755B2 (en) 2017-05-26 2022-08-30 Allegro Microsystems, Llc Coil actuated sensor with sensitivity detection
WO2019166258A1 (en) * 2018-03-02 2019-09-06 Admotec Precision Ag Rotor ring
US11255700B2 (en) 2018-08-06 2022-02-22 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor
EP3623767A1 (de) * 2018-09-17 2020-03-18 Siemens Aktiengesellschaft Welle und verfahren zur herstellung einer welle, rotor und elektrische maschine
US10823586B2 (en) 2018-12-26 2020-11-03 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor having unequally spaced magnetic field sensing elements
US11061084B2 (en) 2019-03-07 2021-07-13 Allegro Microsystems, Llc Coil actuated pressure sensor and deflectable substrate
US10955306B2 (en) 2019-04-22 2021-03-23 Allegro Microsystems, Llc Coil actuated pressure sensor and deformable substrate
US11280637B2 (en) 2019-11-14 2022-03-22 Allegro Microsystems, Llc High performance magnetic angle sensor
US11237020B2 (en) 2019-11-14 2022-02-01 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor having two rows of magnetic field sensing elements for measuring an angle of rotation of a magnet
US11262422B2 (en) 2020-05-08 2022-03-01 Allegro Microsystems, Llc Stray-field-immune coil-activated position sensor
US11493361B2 (en) 2021-02-26 2022-11-08 Allegro Microsystems, Llc Stray field immune coil-activated sensor
US11578997B1 (en) 2021-08-24 2023-02-14 Allegro Microsystems, Llc Angle sensor using eddy currents

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5788317A (en) * 1980-11-25 1982-06-02 S G:Kk Rotation angle detecting device
JPS5923610U (ja) * 1982-08-06 1984-02-14 株式会社エスジ− シリンダ位置検出装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3132337A (en) * 1960-09-12 1964-05-05 Ibm Variable reluctance slotted drum position indicating device
DE1473854A1 (de) * 1964-01-11 1969-02-06 Siemens Ag Verfahren zur kontinuierlichen Abstandsueberwachung rotierender Antriebswellen
DE1274363B (de) * 1965-01-14 1968-08-01 Zeiss Carl Fa Einrichtung zum absolut-digitalen Messen
US3641467A (en) * 1969-05-13 1972-02-08 Allis Chalmers Mfg Co Rotary inductor
US3810136A (en) * 1973-02-15 1974-05-07 Singer Co Digital position sensor
JPS54118259A (en) * 1978-03-06 1979-09-13 Nec Corp Angle detector
US4320293A (en) * 1978-08-30 1982-03-16 Harold Guretzky Angle-position transducer
DE2945895C2 (de) * 1979-11-14 1986-06-05 Festo-Maschinenfabrik Gottlieb Stoll, 7300 Esslingen Magnetischer Stellungsgeber für hydrauliche oder pneumatische Arbeitszylinder
US4612503A (en) * 1980-10-21 1986-09-16 Kabushiki Kaisha S G Rotation speed detection device having a rotation angle detector of inductive type
GB2096421A (en) * 1981-04-07 1982-10-13 Secretary Industry Brit Position transducer for fluid actuated ram

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5788317A (en) * 1980-11-25 1982-06-02 S G:Kk Rotation angle detecting device
JPS5923610U (ja) * 1982-08-06 1984-02-14 株式会社エスジ− シリンダ位置検出装置

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6432117A (en) * 1987-07-29 1989-02-02 Hitachi Ltd Absolute position detector
JPH0226491U (ja) * 1988-08-09 1990-02-21
JPH02287116A (ja) * 1989-04-27 1990-11-27 Smc Corp 初期位置検出装置
JPH03115808A (ja) * 1989-09-28 1991-05-16 Komatsu Ltd 位置センサ軸
JPH03205907A (ja) * 1990-01-08 1991-09-09 Hitachi Ltd 多電極型弾性表面波装置
JPH0391909U (ja) * 1990-01-09 1991-09-19
JPH0566102A (ja) * 1991-09-06 1993-03-19 Komatsu Ltd 位置検出装置
JPH05187803A (ja) * 1992-01-14 1993-07-27 Kanbayashi Seisakusho:Kk センサ
JPH08297007A (ja) * 1995-04-27 1996-11-12 Mikuni Corp 磁気式位置センサ
JP2004325109A (ja) * 2003-04-22 2004-11-18 Amitec:Kk シリンダ位置検出装置
JP2005249791A (ja) * 2004-03-03 2005-09-15 Carl Freudenberg Kg 角度測定装置
JP2009540277A (ja) * 2006-06-07 2009-11-19 フォクト エレクトロニック コンポーネント ゲーエムベーハー 位置エンコーダおよび機械の可動部の位置を検出する方法
US8421446B2 (en) 2006-06-07 2013-04-16 Vogt Electronic Components Gmbh Position encoder and a method for detecting the position of a movable part of a machine
JP2011503558A (ja) * 2007-11-09 2011-01-27 フォクト エレクトロニック コンポーネント ゲーエムベーハー プラスチック要素を含む位置エンコーダ
US8629676B2 (en) 2007-11-09 2014-01-14 SUMIDA Components & Modules GmbH Position encoder comprising a plastic element
JP2010044055A (ja) * 2008-07-06 2010-02-25 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte Ltd 誘導性マルチターン式エンコーダ
JP2010181192A (ja) * 2009-02-03 2010-08-19 Honda Motor Co Ltd 磁歪式トルク・回転角検出装置
JP2016004041A (ja) * 2014-06-12 2016-01-12 株式会社ミツトヨ 変化する切欠きに対して繰り返して配置されたプレートを有するアブソリュート型エンコーダスケール
JP2019514013A (ja) * 2016-04-21 2019-05-30 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングRobert Bosch Gmbh ブラシレス直流モータおよび角度信号を提供する方法
JP2018119930A (ja) * 2017-01-27 2018-08-02 キヤノン株式会社 センサ及びロボット
CN110662943A (zh) * 2017-05-26 2020-01-07 阿莱戈微系统有限责任公司 用于线圈激励式位置传感器的目标
JP2020521962A (ja) * 2017-05-26 2020-07-27 アレグロ・マイクロシステムズ・エルエルシー コイル作動型位置センサのための標的
JP2021051098A (ja) * 2021-01-13 2021-04-01 キヤノン株式会社 駆動装置、ロボット及びロボット装置

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Publication number Publication date
EP0212662A2 (en) 1987-03-04
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US4764767A (en) 1988-08-16

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