JPS6246202A - 回転位置検出装置 - Google Patents

回転位置検出装置

Info

Publication number
JPS6246202A
JPS6246202A JP18591185A JP18591185A JPS6246202A JP S6246202 A JPS6246202 A JP S6246202A JP 18591185 A JP18591185 A JP 18591185A JP 18591185 A JP18591185 A JP 18591185A JP S6246202 A JPS6246202 A JP S6246202A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductor
rotor
pole
phase
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP18591185A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0665966B2 (ja
Inventor
Wataru Ichikawa
渉 市川
Yuji Matsuki
裕二 松木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SG KK
Original Assignee
SG KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SG KK filed Critical SG KK
Priority to JP60185911A priority Critical patent/JPH0665966B2/ja
Priority to DE8585114579T priority patent/DE3582783D1/de
Priority to EP85114579A priority patent/EP0182322B1/en
Priority to US06/799,608 priority patent/US4743786A/en
Publication of JPS6246202A publication Critical patent/JPS6246202A/ja
Publication of JPH0665966B2 publication Critical patent/JPH0665966B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ステータ側に1次巻線と2次巻線を備え、
ロータ側には巻線を設けないタイプの誘導形(詳しくは
可変磁気抵抗型)の回転位置検出装置に関し、詳しくは
、渦電流損をパラメータとした誘導係数変化が得られる
ようにした回転位置検出装置に関する。
〔従来の技術〕
ステータ側に1次巻線吉2次巻線を設け、ロータ側には
巻線を設けないタイプの誘導形回転位置検出器としては
、回転位置に応じた電圧レベルを持つ出力信号を生ずる
タイプのものとしてマイクロシンきいわれる回転形差動
トランスが知られており、他方、回転位置に応じた電気
的位相角を持つ交流信号を出力するタイプのものとして
本出願人の出願に係る特開昭57−70406号に開示
されたものが知られている。このような従来の検出装置
はいずれも磁性体の変位による磁気抵抗変化(透礎性変
化)に応じてコイルの誘導係数を変化させるようにして
いた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
そのため、磁性体を所定の形状に加工してロータを構成
しなければならず、加工が面倒であるという問題点があ
った。また、機械加工によりロータを作成するため、小
型化に限界があるという問題点もあった。
この発明は上述の点に鑑みてなされたもので、加工が簡
単で小型化の容易な回転位置検出装置を提供しようとす
るものである。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係る回転位置検出装置は、1次交流信号によ
って励磁されると共に2次出力を取り出すための巻線手
段を具えたステータ部と、このステータ部に対して相対
的に回転変位可能に配されたロータ部とを具備しており
、前記ロータ部において所定のパターンで導電体を配置
したことを特徴とするものである。
〔作用〕
ステータ部の巻線手段による磁界にロータ部の導電体パ
ターンの部分が侵入すると、その部分て渦電流が流れ、
渦電流損によって巻線手段の磁気回路の磁気抵抗が実質
的に増大せしめられる。導電体パターンの侵入度に応じ
て渦電流量が変化し、これに伴い磁気抵抗が変化する。
従って、ステータ部に対するロータ部の導電体パターン
の相対的回転位置に応じた2次出力が巻線手段において
得られる。
渦電流は導電体の表面近くに流れる性質があるので、ロ
ータ部に設けるべき導電体パターンにはそれほど大きな
厚みが要求されない。従って、導電体部分はロータ部の
基材上に所定のパターンで付着させるようにすることが
できる。これはロータ部の製造を極めて容易にすること
を意味する。
すなわち、そのような比較的薄い導電体部分のパターン
はロータ部の基材上にめっき又は溶射又はパターン焼付
あるいはエツチングなどその他適宜の表面加工処理技術
によって比較的容易に形成することが可能である。従っ
て、磁性体を所望の形状に加工する場合において見られ
た面倒な機械加工を省略することが可能であり、製造コ
ストを下げることが期待される。また、小型化も容易と
なる。
〔実施例〕
以下添付図面を参照してこの発明の実施例を詳細に説明
しよう。
第1図において、ステータ部1は円周方向に沿って90
度の間隔で配された4つの相A−Dに対応する4つの極
部1A〜1Dを含む。各極部1A〜1Dには1次巻線W
、と2次巻線W2が夫々巻回されている。ステータ部1
の各極部1A〜1Dのコア素材は共通の磁性体コア素材
から成っている。各極部1八〜1Dの端部は内側に向い
ており、この端部によって囲まれた空間内にギャップを
介してロータ部2が配されている。ロータ部2は、回転
軸6を具えた円筒形の基材2aと、この基材2aの円筒
側面に所定の幅で配置された導電体パターン2bとを含
んでいる。第2図に側面図を示すように、この導電体パ
ターン2bはステータ極部1A〜1Dの端部の幅とほぼ
同じかそれより広い幅を持つ矩形パターンから成り、極
部1A〜1Dと磁性体部分2aとの間を通る磁束に対し
て第2図の線Eで示すように渦電流路を形成し得るよう
になっている。
導電体パターン2bがステータ極部1A〜1Dの端面に
より多く対向している状態(例えば最大では第1図のC
相の状態)はどより多くの渦電流が導電体2bに流れ、
渦電流損によって該導電体2bに対向している極部(第
1図の状態ではIC)を通る磁気回路の磁気抵抗が増大
せしめられる。
反対に導電体パターン2bが磁界から最も離れている状
態(例えば第1図のA相の状態)ではほさんど渦電流が
流れない。こうして、各相の磁界に対する導電体パター
ン2bの近接度に応じて該導電体パターン2bに渦電流
が流れ、この渦電流損による磁気抵抗変化が各相の磁気
回路に生せしめられる。各相の2次巻線W2にはこの磁
気抵抗に応じたレベルの交流信号が誘起される。
各相A−Dに対応する磁極1A〜1Dは90度の間隔で
配置されているから、導電体・ζターン2bの変化に応
じて生じる各相A−Dの磁気抵抗変化の位相は隣合う相
間で90度づつずれる。また、この磁気抵抗変化はロー
タ部2の1回転につき1サイクルの割で生じる。従って
、各相A−Dの2次巻線W2に誘起される電圧のレベル
はロータ部の回転角度θに応じて概ねA相ではcosθ
、B相ではsinθ、C相では一5inθ、D相では−
310θなる略式で表わすことができる。
位相シフト方式によってロータ部2の回転位置に応じた
出力信号を得る場合、A、C相の1次巻線W1とB、D
相の1次巻線Wlとを電気的位相が90度ずれた交流信
号によって夫々励磁する(例えば、A及びC相は正弦波
信号sinωtで夫々励磁し、B及びD相は余弦波信号
cos (IJ tて夫々励磁する)。そして、A、C
相対ではその2次巻線W2の出力信号を差動的に加算し
、B、D相対でもその2次巻線W2の出力を差動的に加
算し、6対の差動出力信号を加算合成して最終的な出力
信号Yを得る。そうすると、出力信号Yは次のような略
式で実質的に表現することができる。
Y=sinωt cosθ−(−sinωtcosθ)
+ cos ωt sinθ−(−cosωL Sin
θ)= 2 sinω(cosθ+2cosωt si
nθ= 2 sin (ωを十〇) 上記式で便宜的に「2」と示された係数を諸種の条件に
応じて定まる定数にで置換えるき、Y=Ksin(ωt
+θ) と表現できる。ここで、θはロータ部2の回転位置に対
応しているので、1次交流信号sinωt(またはco
sωt)に対する出力信号Yの位相ずれθを測定するこ
とにより回転位置を検出することができる。
第2図の場合導電体パターン2bは面状であるが、これ
は第3図に示すようにリンク状であってもよく、要する
に線Eて示すような渦電流路を形成し得るようになって
いればよい。
第・を図及び第5図に示した実施例では、ステータ部4
の各極部4A〜4D、4Eの端部が回転軸3に平行な方
向を指向しており、円周方向に90度の間隔て配された
各相A−Dに対応する極部4A〜4Dには1次巻線Wま
たけが巻回され、中央に配された極部4Eには2次巻線
W2だけが巻回されている。ロータ部5において、円板
状の基材5aの所定箇所に導電体のパターン5bが配置
されている。この導電体パターン5bは、例えば略90
度程度の角度の扇形に似た形状をしている。
ステータ極部4A〜4Eの端部はロータ部5の導電体パ
ターン5bが配置された方の面に対向しており、磁束は
各極部4A〜4Dからロータ部5を通って中央の極部4
Eに流れる。導電体5bを流れる渦電流路は第・1図に
おいて線Eで示されている。この構成により、第1図と
同様に動作する。
第6図及び第7図に示した実施例では、ステータ部乙の
各相A−Dに対応する極部6A〜6Dが、コの字(又は
0字)型の1相分の独立した礎性体コアから夫々成って
いる。第1図〜第5図の例では、各極部の磁路はロータ
部を通って別の極部につながるようになっているが、第
6図、第7図の例のように各相毎に独立のコアを用いる
場合は各極部の一方の端部からロータ部を通って同じ極
部の他方の端部につながるよう磁路が形成されるっ各極
部6A〜6Dには夫々1次及び2次響線W1゜W2が巻
かれている。
ロータ部7は、回転軸3に対して偏心した円板状の導電
体7bから成る。第7図に示すように、ロータ部7はそ
の縁部が各極部6A〜6Dの2本の脚部の間に侵入し得
るように配されている。導電体7 bが極部6A〜6D
の2つの脚部の間に最も深く侵入した状態(例えば第6
図、第7図の6cに侵入した状態)では、渦電流が最も
多く流れ、磁気抵抗が増大する。導電体7bの偏心によ
り各極部6A〜6Dへの侵入度が回転位置に応じて変化
し、これにより第1図の実施例と同様に動/、jp下る
。尚、ロータ部7の偏心円板は、全体が導電1:!ζ7
bである必要はなく、渦電流路を形成し得るように部分
的に(例えば円板の円周に沿ってリング状に)導電体7
bが用いられていてもよい。
第8図及び第9図に示された実施例でも、ステータ部8
の各相A−Dに対応する極部8A〜8Dが、コの字型の
1相分の独立した磁性体コアから成っており、各極部8
A〜8Dに1次巻線W+L2次巻線W2が夫々巻かれて
いる。各ステータ極部8A〜8Dの端部によって囲まれ
た空間内に挿入されたロータ部9は、円筒状の基材9a
と、その周囲に1条ねじの配列で螺旋状に配置された導
電体9bとを具備する。各ステータ極部8A〜8Dの端
部きロータ部9の導電体9bとの対向面積が大きいほど
渦電流が多く流れ、磁気抵抗が増大する。導電体9bは
螺旋であるため、ロータ部9の回転位置に応じてステー
タ極部との対向面積が変化し、これに応じて磁気抵抗が
変化する。従って、第1図の実施例と同様に動作する。
上記各実施例では各ステータ極部における磁気抵抗変化
のサイクルは1回転につき1サイクルであるが、第10
図及び第11図に示された実施例では1回転につき3サ
イクルとなっている。ステータ部10の各極部10A〜
10Dは、前述と同様に、コの字型の各相毎に独立した
磁性体コアから成っており、夫々に1次及び2次巻線W
、、W2が巻かれている。ステータ極部10A〜10D
の各端部によって囲まれた空間内に挿入されたロータ部
11は、円筒状の基材11aと、その側面に約60度の
幅で約60度の間隔を空けて配置された3片の導電体1
1bとを具備している。ロータ部11の円周面に配置さ
れた3片の導電体11bにより、120度の回転範囲を
1サイクルとして各ステータ極部10A〜10Dにおけ
る磁気抵抗変化が生じる。従って1回転につき3サイク
ルの磁気抵抗変化が生じる。
第12図及び第13図に示された実施例は1回転につき
2サイクルの磁気抵抗変化を生じるものである。ステー
タ部12は、円周方向に45度の間隔で8個の極部12
A〜12D、12τ〜12石を具えており、同一相が1
80度の間隔て対向している。ロータ部13は、楕円筒
状(これは真円筒であってもよい)の基材13aと、こ
の楕円筒の長径に沿うたて方向の周囲に巻かれたリング
状の導電体13bとを具えている。導電体13bは楕円
筒の長径に沿ってンヨートリングを形成しているため、
成る極部(第12図の例では12Aと12X)が[青円
筒の短径部に対応しているとき、その極部を通る磁束に
応じて最も多くの渦電流が流れる。
第14図及び第15図に示された実施例も1回転につき
2サイクルの磁気抵抗変化を生じるものである。ステー
タ部14は、独立の磁性体コアから成る8個の極部14
A〜14D、14τ〜14百を45度の間隔て配してお
り、各極部には1次及び2次巻線Wよ 、W2が巻かれ
ている。第12図と同様に、180度の間隔で対向する
2つの相が同一相となっている。第12図の例では、磁
気回路は対向する2つの同一相の間でロータ部13を通
って形成されるようにするが(例えば極部12Aからロ
ータ部13を介して極部12τに流れる磁気回路が形成
されるようにする)、第1.1図の例では同じ極部の一
方の端部からロータ部15を通って他方の端部に流れる
よう磁気回路が形成される。
各ステータ極部14A〜14Dの端部によって囲まれた
空間内に挿入されたロータ部15は、円筒状の基材15
aと、その周囲に2条ねじ状の配列で螺旋状に配置され
た導電体15bとを具備する。2条ねじ構造であるため
、成る極部における導電体15bとの対向面積の変化に
よる磁気抵抗の変化は1回転につき2サイクル生じる。
上述の各実施例において、ロータ部に配置する導電体は
、基材に比−2て相対的に良導電性の材質(例えば銅あ
るいはアルミニウムあるいは真鍮など、若しくはそれら
のような良導電性物質と他の物質を混合したもの)から
成るものであればよい。
また、ロータ部の基材は磁性体、非磁性体のどちらでも
よいが、磁性体とすれば、磁束の通りが良くなるので好
都合である。
この発明の検出装置を前述のような位相シフト方式によ
って作動させる場合、2次コイルの出力合成信号Yと基
準交流信号sinωt(又はcosωt)との位相ずれ
θを求めるための手段は適宜に構成できる。第16図は
位相ずれθをディジタル量で求めるようにした回路例を
示すものである。尚、特に図示しないが、積分回路を用
いて基準交流信号sin (IJ tと出力信号y =
 K sin (ωを十〇)との位相角0度の時間差分
を求めることにより、位相ずれθをアナログ量で求める
こともできる。
第16図において、発振部32は基準の正弦信号sin
ωtと余弦信号cosωtを発生する回路、位相差検出
回路37は上記位相ずれθを測定するための回路である
。クロック発振器33から発振されたクロックパルスC
Pがカウンタ60でカウントされる。カウンタ60は例
えばモジュロM(Mは任意の整数)であり、そのカウン
ト値がレジスタ31に与えられる。カウンタ30の土分
周出力からは、クロックパルスCPをi分周したパルス
PCが取り出され、丁分周用のフリップフロップ64の
C入力に与えられる。このフリップフロップ64のQ出
力から出たパルスPbがフリップフロップ035に加わ
り、百出力から出たパルスPaがフリップフロップ36
に加わり、これら35及び66の出力がローパスフィル
タ38.39及び増幅器40.41を経由して、余弦信
号cosωtと正弦信号sinωtが得られ、各相A−
Dの1次巻線W1に印加される。カウンタ30における
Mカウントがこれら基準信号cosωt 、 sinω
tの2πラジアン分の位相角に相当する。すなわち、カ
ウンタ30の2π−1 1カウント値は7フシアンの位相角を示している。
2次コイル2A〜2Dの合成出力信号Yは増幅器42を
介してコンパレータ43に加わり、該信号Yの正・負極
性に応じた方形波信号が該コンパレータ46から出力さ
れる。このコンパレータ43の出力信号の立上りに応答
して立上り検出回路44からパルスT5が出力され、こ
のパルスT、に応じてカウンタ30のカウント値をレジ
スタ61にロードする。その結果、位相ずれθに応じた
ディジタル値Dθがレジスタ31に取り込まれる。こう
して、1回転内の回転位置をアブソIJ、−トで示すデ
ータDθを得ることができる。
第16図は第1図〜第9図に示したような4極型のステ
ータに適しているが、第10図〜第15図の実施例も同
様にして位相シフト方式で回転位置データを求めること
ができる。但し、第10図、第11図の実施例は1回転
にっき3サイクルの磁気抵抗変化を生じるので、実際の
回転角度θに対してY = K sin (ωt+3θ
)なる関係の出力信号が得られ、ディジタル値Dθは1
回転内の回転位竹をアブソリュートで特定するものとな
る。また、第12図〜第15図の実施例は1回転にっき
2サイクルの磁気抵抗変化を生じるので、出力信号Yは
Y = K sin (ωt+20)であり、ディジタ
ル値Dθは丁回転内の回転位置をアブソリュートで特定
するものとなる。
信号処理方式は上述のような位相シフト方式に限らず、
通常の差動トランスのように、2次コイルの差動出力を
整流して回転位置に応じたレベルのアナログ電圧を得る
ようにしてもよい。その場合、各相A−Dの1次交流信
号は全て共通としてよく、また、極部はA、C相又はB
、])相の一方だけとしてよい。
ロータ部に配置する導電体パターンの形態は上述したも
のに限らず、設計上任意に設定できる。
また、ロータ部における導電体パターンの形成は、適宜
の表面加工処理技術(例えば、めっき、溶射、焼付、塗
装、溶着、蒸着、電鋳、フォトエツチングなど)を用い
て行うようにするとよい。最近では、その種の加工処理
技術を用いて微細なパターンでも形成できるマイクロ加
工技術が確立されているので、そのような技術を用いて
精密なパターン形成を行うことができる。才だ、ロータ
部の表面仕上げのために、導電体パターンの上から適宜
の非磁性、不導電性物質から成るコーティングをロータ
部全体に施すようにするとよい。
第17図は、ロータ部2の基材2aの周囲に銅のような
良導体物質でパターン2bを形成し、その上からクロー
ムめっきのような表面コーティング2cを設けた例を示
している。この場合のパターン形成法としては、基材2
aの全周に銅めっきを施し、その後不要部分をエツチン
グ等の除去技術により取除くことにより残された銅めっ
き部分により所望のパターン2bが形成されるようにす
る。そして最後に表面仕上げのためにクロームめっき等
の表面コーチインク2Cを施す。基材2aは鉄のような
磁性体を用いれば硼束の通りを良くするので好適である
。しかし、プラスチック等の樹脂、その他のものを基材
2aとして用いることもできる。その場合、予め成形さ
れたプラスチック基材2aの表面に銅等の金属膜をめっ
きするようにしてもよいし、あるいは、金型キャヒティ
に電鋳て銅等の金属膜を予め形成し、その後プラスチッ
クを射出成形して金属膜と一体化するようにしてもよい
古ころで、第17図に示すように表面コーチインク2c
をパターン2bの間の凹みに埋めるようにすると、その
部分でどうしてもコーチインク2cが沈み、仕上げ表面
が滑らかにならないことが多い。そこで、第18図に示
すように、パターン2bの間の凹みを適宜の充填物2d
で充填し、その上から表面コーティング2cを施すよう
にするさよい。充填物2dとしては、例えばニンケルめ
っきなどを用いることができる。
なお、基材2aに銅等の金属膜をめっきし、その後所望
のパターンでエツチングする場合、エツチング薬剤によ
って基材2aの表面が侵されるおそれがある。特に基材
2aが鉄等の金属である場合その問題が大きい。そのよ
うな問題を解決するために、第19図に示すように、基
材2aの表面全体にエツチング薬剤に対して耐性を示す
所定の物質2e(例えば樹脂)の薄膜を形成し、その上
から銅めっき等を施し、更に所定のエツチングを行って
パターン2bを形成するようにするとよい。
なお、上記各実施例において、ステータ部における各相
毎の1次巻線と2次巻線は必らずしも別々の巻線である
必要はなく、実開昭58−2621号あるいは実開昭5
8−39507号に示されたもののように共通であって
もよい。
また、ステータ部は、前述のような4極型あるいは8極
型のものに限らず、3極型あるいは6極型あるいは12
極型など、その他適宜の整数とするこ乏がてきる。その
場合、位相シフト方式のための1次コイル励磁交流信号
は、正弦信号さ余弦信号のように90度位相のずれた信
号ではなく、sinωtL sin (ωt−60 )
あるいはsin (ωt−120)あるいはsin (
ωt−240)など、60度位相がずれた交流信号ある
いはその倍角だけ位相がずれた交流信号、その他適宜位
相角だけずれた交流信号を用いる。
〔発明の効果〕
以上の通り、この発明によれば、ロータ部において導電
体のパターンを配置し、これによる渦電流損に応じた磁
気抵抗変化をパラメータとして回転位置検出信号を得る
ようにしたので、ロータ部の小型化及び加工の簡略化を
図ることができ、製造コストの低減も期待てきる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明に係る回転位置検出装置の一実施例を
示す径方向の断面図、 第2図は同実施例におけるロータ部の一例を示す側面図
、 第3図は同実施例におけるロータ部の変更例を示す側面
図、  ・ 第4図はこの発明の別の実施例を示す正面略図、第5図
は第4図のV−V線に沿う断面図、第6図はこの発明の
更に別の実施例を示す正面略図、 第7図は第6図の■−tll線に沿う断面図、第8図は
この発明の他の実施例を示す径方向の断面図、 第9図は第8図の17−IX線に沿う断面図、第10図
はこの発明の更に他の実施例を示す径方向の断面図、 第11図は第10図のロータ部の側面図、第12図はこ
の発明の別の実施例を示す径方向の断面図、 第13図は第12図のロータ部の斜視図、第14図はこ
の発明の更に別の実施例を示す径方向の断面図、 第15図は第14図のIV−IV線に沿う断面図、第1
6図はこの発明の回転位置検出装置を位相シフト方式に
よって動作させ、回転位置に応じた電気的位相シフト量
の測定を行うための回路の一例を示すブロック図、 第17図乃至第19図はロータ部における導電体パター
ンの形成法の具体例を夫々示す断面図、である。 1.4.6.8.10,12.l・・・ステータ部、1
A〜1D、4A〜4D 、6A〜6D 、 3A〜8D
、10A〜10D、12A〜12 D 、 14A〜1
4百・・・ステータ極部、W、・・・1次巻線、W22
次巻線、2,4.7,9,11,13.15・・・ロー
タ部、2a〜15a・・ロータ部の基材、2b〜15b
・ロータ部の導電体パターン、6・・・回転軸。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、1次交流信号によって励磁されると共に2次出力を
    取り出すための巻線手段を具えたステータ部と、 このステータ部に近接して相対的に回転変位可能に設け
    られ、所定のパターンで導電体を配置したロータ部とを
    具えた回転位置検出装置。 2、前記巻線手段は、複数の1次巻線と、2次巻線とを
    含み、各1次巻線を位相のずれた複数の1次交流信号を
    用いて励磁し、これにより前記1次交流信号を前記ロー
    タ部の回転位置に応じて位相シフトした信号が前記2次
    巻線の側で得られるようにした特許請求の範囲第1項記
    載の回転位置検出装置。
JP60185911A 1984-11-20 1985-08-26 回転位置検出装置 Expired - Fee Related JPH0665966B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60185911A JPH0665966B2 (ja) 1985-08-26 1985-08-26 回転位置検出装置
DE8585114579T DE3582783D1 (de) 1984-11-20 1985-11-16 Einrichtung zum erfassen der drehlage.
EP85114579A EP0182322B1 (en) 1984-11-20 1985-11-16 Rotational position detection device
US06/799,608 US4743786A (en) 1984-11-20 1985-11-19 Rotational position detection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60185911A JPH0665966B2 (ja) 1985-08-26 1985-08-26 回転位置検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6246202A true JPS6246202A (ja) 1987-02-28
JPH0665966B2 JPH0665966B2 (ja) 1994-08-24

Family

ID=16179035

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60185911A Expired - Fee Related JPH0665966B2 (ja) 1984-11-20 1985-08-26 回転位置検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0665966B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07318341A (ja) * 1994-05-20 1995-12-08 Yotaro Hatamura 変形量検出手段付き並びに変位スケール付き直線運動装置
JP2010271333A (ja) * 1999-03-15 2010-12-02 Amitec:Kk 回転型位置検出装置
JP2011007796A (ja) * 2009-06-25 2011-01-13 Robert Bosch Gmbh 軸の回転モーメント及び/又は回転角度を検出するための装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5770406A (en) * 1980-10-21 1982-04-30 S G:Kk Rotating angle detecting apparatus
JPS58139797U (ja) * 1982-03-15 1983-09-20 パイオニア株式会社 磁気回路

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5770406A (en) * 1980-10-21 1982-04-30 S G:Kk Rotating angle detecting apparatus
JPS58139797U (ja) * 1982-03-15 1983-09-20 パイオニア株式会社 磁気回路

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07318341A (ja) * 1994-05-20 1995-12-08 Yotaro Hatamura 変形量検出手段付き並びに変位スケール付き直線運動装置
JP2010271333A (ja) * 1999-03-15 2010-12-02 Amitec:Kk 回転型位置検出装置
JP2011007796A (ja) * 2009-06-25 2011-01-13 Robert Bosch Gmbh 軸の回転モーメント及び/又は回転角度を検出するための装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0665966B2 (ja) 1994-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0182322B1 (en) Rotational position detection device
JP2554465B2 (ja) アブソリユ−ト位置検出装置
US4764767A (en) Absolute rotational position detection device
EP0446969B1 (en) Linear position detection device
JPH09159684A (ja) 磁気式回転検出装置
JP6849188B2 (ja) 角度検出器
JPS6244603A (ja) アブソリユ−ト直線位置検出装置
JPS61137001A (ja) 流体圧シリンダのピストンロツド位置検出装置
JPS6246202A (ja) 回転位置検出装置
KR20220127313A (ko) 유도성 포지션 센서들
CN110277889B (zh) 一种定子永磁式旋转变压器
JPH0131126B2 (ja)
JPS61122504A (ja) 回転位置検出装置
JPH0618209A (ja) 流体圧シリンダのピストンロッド位置検出装置
JP5249174B2 (ja) 回転角センサ
JP3869321B2 (ja) 回転センサ
JPH0580603B2 (ja)
JP2556383B2 (ja) 磁気レゾルバ
JPH10227807A (ja) 回転センサ
JPH0786422B2 (ja) 直線位置検出装置におけるロッド部の製造方法
JPH057522Y2 (ja)
WO2022124415A1 (ja) レゾルバ
JP2011220851A (ja) 回転角センサ
JPH0478720B2 (ja)
JP2000352501A (ja) 磁気誘導式回転位置センサ

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees