JP2738199B2 - 回転又は移動検出方法及びその装置 - Google Patents

回転又は移動検出方法及びその装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、サーボモータ等で駆
動される回転軸の回転位置と回転量を絶対値で検出する
回転検出方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のサーボモータ等で駆動される回転
軸の回転位置と回転量を絶対値で検出する回転検出方法
としては、１回転内の絶対値位置検出装置を複数個使用
し、歯車列で減速する方法がある。この例として、特公
平２−４４３７号公報に開示されたものがある。
【０００３】図１９は、この第１の従来例の概略図であ
り、図１９において、１は第１の１回転内の絶対値位置
検出装置、１ａは回転軸、２は第２の１回転内の絶対値
位置検出装置で、レゾルバや光学式絶対値エンコーダ等
で構成されている。３は回転軸１ａに固定された駆動歯
車、４は回転軸２ａに固定された従動歯車である。
【０００４】さらに、１回転内の絶対値位置検出装置１
個を歯車列で減速し、歯車列の各回転位置を検出する方
式が雑誌「センサ技術Ｖｏｌ．５．Ｎｏ．１２の頁２２
に発表されている。図２０は、この第２の従来例の概略
図で、図において、１は１回転内の絶対値位置検出装置
でレゾルバで構成されている。３は回転軸１ａに固定さ
れた駆動歯車、５、６はそれぞれ例えば１回転を１０分
割する低分解能の第１、第２の位置検出装置であり、１
種のロータリ差動トランスで構成されている。５ａは回
転軸で従動歯車４、駆動歯車７が固定されており、回転
軸６ａには従動歯車８が固定されている。
【０００５】また、１回転内の絶対値位置検出部の回転
軸の回転量を検出・記憶し、これを電池でバックアップ
する方式が、特開平２−９００１７号公報に開示されて
いる。図２１は、第３の従来例の概略断面図で、図にお
いて、１は１回転内の絶対値位置検出部、１ａは回転
軸、１ｂは絶対値コードが出力するようスリット（図示
せず）を備えた回転スケール、１ｃは発光素子、１ｄは
受光素子、１０は回転軸１ａに固定された磁石取付板
で、所要の極に着磁された永久磁石１１が固定されてい
る。１２は高抵抗の強磁性体の磁気抵抗効果素子で、永
久磁石１１と微小間隙で対向配置され、プリント基板１
３に固定されている。１４は信号処理回路で、磁気抵抗
効果素子１２の信号を処理して記憶し、回転量信号を出
力する回転量信号処理回路１４ａと１回転内の絶対値位
置検出部１の受光素子１ｄの出力信号を処理して出力す
る１回転内絶対値位置信号処理回路１４ｂと前記回転量
信号と１回転内絶対値位置信号を合成し、出力する合成
信号処理回路１４ｃで構成されている。１５は回転量信
号処理回路１４ａをバックアップする電池である。尚、
電池１５は、回転検出装置と別置される場合もある。
【０００６】さらに、別の従来例として特開昭６４−５
４３０９号公報に開示されているごときものもある。図
２２は、第４の従来例の概略断面図、図２３は図２２に
示した磁気バブル素子１５のチップ表面図であり、図に
おいて、１ａは回転軸、１１は所要の極に着磁され、回
転軸１ａに固定された永久磁石、１５は永久磁石１１と
微小間隙で対向配置した磁気バブル素子である。１５ａ
はチップ面で、磁性の転送パターン１５ｂ、バブル１５
ｃ、磁気抵抗効果素子１５ｄ、バブル発生器１５ｅにて
構成されている。
【０００７】次に動作について説明する。図１９に示し
た第１の従来例において、回転軸１ａが回転すると駆動
歯車３が回転し、従動歯車４が減速回転する。従って、
回転軸２ａも回転する。減速比が１／Ｎになっておれば
回転軸１ａがＮ回転すれば、回転軸２ａは１回転する。
電源がＯＮ状態での回転時には、１回転内の絶対値位置
検出装置１の１回転内絶対値位置信号と、これの繰り返
し信号とを処理し、回転軸１ａが何回転と何度の位置に
あるかを検出する。
【０００８】また、電源がＯＦＦ状態で、何らかの原因
で回転軸１ａが回転したときは、使用開始時に電源ＯＮ
させ、１回転内の絶対値位置検出装置１から１回転内絶
対値位置信号を検出する。同時に１回転内の絶対値位置
検出装置２からも１回転内絶対値位置信号を検出し、該
１回転内絶対値位置信号と減速比から回転軸１ａの回転
量を算出し、回転軸１ａが何回転と何度の位置にあるか
を検出する。
【０００９】図２０に示した第２の従来例においては、
回転軸１ａが回転すると、駆動歯車３が回転し、従動歯
車４が減速回転し、回転軸５ａが回転する。更に駆動歯
車７も回転するので、従動歯車８が減速回転し、回転軸
６ａが回転する。各々の減速比が１／Ｎになっておれば
回転軸１ａがＮ2回転すれば、回転軸５ａはＮ回転し、
回転軸６ａは１回転する。従って、電源がＯＦＦ状態で
何らかの原因で回転軸１ａが回転した時は、使用開始時
に電源をＯＮさせ、１回転内の絶対値位置検出装置１の
１回転内絶対値位置信号を検出し、同時に第１、第２の
位置検出装置５、６から１回転内絶対値位置信号を検出
し、この信号と減速比から、回転軸１ａの回転量を検出
する。
【００１０】図２１に示した第３の従来例においては、
電源がＯＮ状態の時、発光素子１ｃが点燈し、この光は
回転スケール１ｂのスリットを通過し、受光素子１ｄを
照射する。この時、回転軸１ａが回転すると、受光素子
１ｄの出力信号は回転位置によって変化する。従って、
この出力信号を１回転内絶対値位置信号とし、この出力
信号の繰返し回数をカウントして回転量信号とし、回転
軸１ａが何回転と何度の位置にあるかを検出する。
【００１１】また、電源がＯＦＦ状態の時は、磁気抵抗
効果素子１２と回転量信号処理回路１４ａが電池でバッ
クアップされているため、何らかの原因で回転軸１ａが
回転した時は永久磁石１１も回転するので、磁気抵抗効
果素子１２の電気抵抗が変化する。この抵抗変化を回転
量信号処理回路１４ａで処理して記憶する。従って、使
用開始時に、電源をＯＮさせ、発光素子１Ｃを点燈さ
せ、受光素子１ｄの出力信号から１回転内絶対値位置信
号をラッチし、同時に回転量信号処理回路１４ａに記憶
された回転量信号をラッチし、合成信号処理回路１４ｃ
で合成して回転軸１ａが何回転と何度の位置にあるかを
検出する。
【００１２】また、図２２と図２３に示した第４の従来
例においては、回転量の検出と記憶を磁気バブル素子１
５で行なうもので、あらかじめ磁気バブル素子１５に備
えられた永久磁石（図示せず）により、チップ面１５ａ
と垂直方向に磁界を印加し、バブル発生器１５ｅに電流
を流してバブル１５ｃを発生させておく。電源ＯＦＦ時
に回転軸１ａが回転すると，永久磁石１１が回転し、永
久磁石１１の漏洩磁束でバブル１５ｃが転送パターン１
５ｂを１回転毎に１パターンづつ移動する。従って、使
用開始時に電源をＯＮさせ、磁気バブル素子１５に回巻
されているコイル（図示せず）に電流を流し、回転磁界
を発生させ、バブル１５ｃを磁気抵抗効果素子１５ｄま
で移動させて、バブル１５ｃのもとあった位置を読み出
し、回転信号とする。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】従来の回転検出装置に
おいて、１回転内の絶対値位置検出装置を複数個使用
し、歯車を使用して減速する方式のものは、高価な１回
転内の絶対値位置検出装置を複数使用し、機械加工され
た歯車を使用しなければならず、コスト高で、寸法が大
きくなり、この寸法制限から許容回転量を多くすること
ができないという問題点があった。
【００１４】また、１回転内の絶対値位置検出装置を１
個使用し、歯車列の各回転軸の回転位置を検出するもの
は、許容回転量を多くすることが可能であるが、位置検
出装置が高価で、機械加工された歯車が必要で、まだ、
寸法も大きく、コスト高の問題点があった。
【００１５】さらに、１回転内の絶対値位置検出部の回
転軸の回転量を検出・記憶し、電池でバックアップする
ものは、小形でコストも高くないが、バックアップ電池
が必要である。このため、高抵抗の磁気抵抗効果素子を
使用し、回転量信号処理回路もＣ−ＭＯＳで構成し、低
消費電力化を図っているが、電池寿命に限りがあり、電
池のメンテナンスが必要という問題点があった。
【００１６】また、回転量検出に磁気バブル素子を使用
する方法のものは、電池が不要で、小形化でき、コスト
も高価でないが、磁気バブル素子のチップ面に回転する
永久磁石の回転磁界を均一に印加しなければバブルが正
常に転送されなく、信頼性が低いという問題点があっ
た。
【００１７】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、小形低コストで、電池バクア
ップが不要、かつ、高信頼性の回転検出方法及びその装
置を得ることを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】第１の発明に係わる回転
又は移動検出方法は、磁束発生手段を備えた検出対象を
回転又は移動する段階と、上記検出対象の回転もしくは
移動により、回転、旋回又は移動する上記磁束発生手段
が発生する磁束により微小機械部を駆動し、上記微小機
械部における上記検出対象の回転量又は移動量に応じた
駆動状態を保持する段階と、上記微小機械部の駆動状態
から上記検出対象の回転量又は移動量を検出する段階と
からなるものである。
【００１９】第２の発明に係わる回転又は移動検出装置
は、検出対象に設けられ、上記検出対象の回転又は移動
により回転、旋回又は移動する磁束発生手段と、上記回
転、旋回又は移動する磁束発生手段が発生する磁束によ
り駆動され、上記検出対象の回転量又は移動量に応じた
駆動状態を保持する微小機械部と、上記微小機械部の駆
動状態から上記検出対象の回転量又は移動量を演算する
回転量又は移動量演算手段とを備えたものである。
【００２０】第３の発明に係わる回転検出装置は、回転
軸を有する回転体の１回転内の回転位置の絶対値を検出
する絶対値位置検出手段と、上記回転軸に設けられ、上
記回転体の回転により回転もしくは旋回する永久磁石
と、上記永久磁石に対向配置され、上記回転もしくは旋
回する永久磁石が発生する磁束により駆動され、上記回
転体の回転量に応じた駆動状態を保持する微小機械部
と、上記微小機械部からの信号入力により上記回転体の
回転量を演算する回転量演算手段と、上記回転量演算手
段及び上記絶対値位置検出手段からの入力信号を合成し
て上記回転体の回転量及び１回転内の回転位置の絶対値
を出力する回転出力手段とを備えたものである。
【００２１】第４の発明に係わる回転又は移動検出装置
は、第２の発明又は第３の発明に係わる回転又は移動検
出装置において、微小機械部は、円周上に所定数の突部
が等中心角度に形成され、外部磁束により駆動されて回
転する回転検出体と、上記回転検出体と同軸一体に構成
された駆動歯車と、上記駆動歯車と噛合する従動歯車
と、上記駆動歯車及び従動歯車の各々と同軸一体に構成
された第１及び第２の被検出体と、上記第１及び第２の
被検出体に対向配置され、上記第１及び第２の被検出体
の回転状態を検出して出力する第１及び第２の検出素子
とを備えたものである。
【００２２】第５の発明に係わる回転又は移動検出装置
は、第４の発明に係わる回転又は移動検出装置におい
て、微小機械部に備わる駆動歯車及び従動歯車は間欠歯
車形状を成し、上記駆動歯車と同軸一体に構成された第
１の被検出体は円周上に回転検出体と同一数の突部が等
中心角度に形成され、上記従動歯車と同軸一体に構成さ
れた第２の被検出体は円周上に上記従動歯車の噛合用歯
数（上記従動歯車の全歯数のうち駆動歯車と噛合する歯
数）と同一数の突部が等中心角度に形成され、上記第１
及び第２の被検出体の円周上に形成された突部の各々
は、対向配置された第１及び第２の検出素子との対向面
積が同一円周上にて異なるものである。
【００２３】第６の発明に係わる回転又は移動検出装置
は、第２の発明又は第３の発明に係わる回転又は移動検
出装置において、微小機械部は、円周上に所定数の突部
が等中心角度に形成され、外部磁束により駆動されて回
転する回転検出体と、上記検出体の回転を減速する複数
組の駆動歯車及び上記駆動歯車と噛合する従動歯車と、
上記複数組の駆動歯車及び従動歯車のうち、最終段の従
動歯車と同軸一体に構成された被検出体と、上記被検出
体に対向配置され、上記被検出体の回転状態を検出して
出力する検出素子とを備え、上記最終段の従動歯車は、
外部磁極の数と上記回転検出体の突部数との比と上記複
数組の駆動歯車及び従動歯車の減速比との積の逆数の整
数倍の歯数を有し、上記被検出体は円周上に上記最終段
の従動歯車の歯数と同一数の突部が形成され、上記突部
の各々は、上記検出素子との対向面積が同一円周上にて
異なるものである。
【００２４】第７の発明に係わる回転又は移動検出装置
は、第４の発明〜第６の発明に係わる回転又は移動検出
装置において、微小機械部に備わる回転検出体は、円周
上に等中心角度に形成さた所定数の突部を有し、上記突
部は回転体に設けられた永久磁石との対向面が広く、中
心軸方向に細いＴ字形の形状を成すものである。
【００２５】第８の発明に係わる回転又は移動検出装置
は、第４の発明〜第７の発明に係わる回転又は移動検出
装置において、微小機械部に備わる被検出体は、少なく
とも検出素子との対向部分を磁性材で形成され、上記被
検出体と対向配置された検出素子は磁気抵抗効果素子で
構成されたものである。
【００２６】第９の発明に係わる回転又は移動検出装置
は、第４の発明〜第８の発明に係わる回転又は移動検出
装置において、微小機械部に備わる従動歯車は磁性材で
歯幅方向に着磁され、上記微小機械部は上記従動歯車の
軸方向の両側から上記従動歯車を挟むように、上記着磁
された従動歯車と反発する向きに一対の永久磁石を備え
たものである。
【００２７】第１０の発明に係わる回転検出装置は、第
３の発明に係わる回転検出装置において、回転体に設け
られた永久磁石は微小機械部に備わる回転検出体の突部
を、上記回転検出体の回転軸方向から挟むようにコの字
形の形状を成すものである。
【００２８】第１１の発明に係わる回転又は移動検出装
置は、第２の発明〜第１０の発明に係わる回転又は移動
検出装置において、回転体の回転量に応じた駆動状態を
保持する微小機械部と、上記微小機械部からの信号入力
により上記回転体の回転量を演算する回転量演算手段と
を一体に構築したものである。
【００２９】
【作用】第１の発明においては、磁束発生手段を備えた
検出対象は回転又は移動され、上記検出対象の回転もし
くは移動により、回転、旋回又は移動される上記磁束発
生手段が発生する磁束により微小機械部が駆動され、上
記検出対象の回転量又は移動量に応じた駆動状態が保持
され、上記微小機械部の駆動状態から上記検出対象の回
転量又は移動量が検出される。
【００３０】第２の発明における磁束発生手段は検出対
象の回転又は移動により回転、旋回又は移動し、微小機
械部は上記回転、旋回又は移動する磁束発生手段が発生
する磁束により駆動されて上記検出対象の回転量又は移
動量に応じた駆動状態を保持し、回転量又は移動量演算
手段は上記微小機械部の駆動状態から上記検出対象の回
転量又は移動量を演算する。
【００３１】第３の発明における絶対値位置検出手段は
回転体の１回転内の回転位置の絶対値を検出し、永久磁
石は上記回転体の回転軸に設けられ、上記回転体の回転
により回転もしくは旋回し、微小機械部は上記永久磁石
に対向配置され、上記回転もしくは旋回する永久磁石が
発生する磁束により駆動され、上記回転体の回転量に応
じた駆動状態を保持し、回転量演算手段は上記微小機械
部からの信号入力により上記回転体の回転量を演算し、
回転出力手段は上記回転量演算手段及び上記絶対値位置
検出手段からの入力信号を合成して上記回転体の回転量
及び１回転内の回転位置の絶対値を出力する。
【００３２】第４の発明における微小機械部に備わる回
転検出体は、外部磁束により駆動されて回転し、上記回
転検出体と同軸一体に構成された駆動歯車を介してこの
駆動歯車と噛合する従動歯車を駆動し、上記駆動歯車及
び従動歯車は各々と同軸一体に構成された第１及び第２
の被検出体を回転し、上記第１及び第２の被検出体に対
向配置された第１及び第２の検出素子は上記第１及び第
２の被検出体の回転状態を検出して出力する。
【００３３】第５の発明における微小機械部に備わる第
１の検出素子は、回転検出体と同軸一体に構成された第
１の被検出体の円周上に形成された突部により上記回転
検出体の回転位置を検出し、第２の検出素子は、間欠歯
車形状を成す駆動歯車及び従動歯車の歯車比で減じて回
転される上記従動歯車の回転位置を上記従動歯車と同軸
一体に構成された第２の被検出体の円周上に形成された
突部により検出する。
【００３４】第６の発明における微小機械部に備わる回
転検出体は、検出対象の回転又は移動に起因する外部磁
束により駆動されて回転し、複数組の駆動歯車及び上記
駆動歯車と噛合する従動歯車は上記回転検出体の回転を
減速して最終段の従動歯車と同軸一体に構成された被検
出体を回転し、検出素子は上記被検出体に形成された突
部により、外部磁極の数と上記回転検出体の突部数の比
と上記複数組の駆動歯車及び従動歯車の減速比との積の
逆数の整数倍の範囲で上記検出対象の回転量又は移動量
を検出して出力する。
【００３５】第７の発明における微小機械部に備わる回
転検出体の突部は回転体に設けられた永久磁石との対向
面が広く、中心軸方向に細いＴ字形の形状を成し、漏洩
磁束を減ずる。
【００３６】第８の発明における微小機械部に備わる磁
性材からなる被検出体と上記被検出体と対向配置された
磁気抵抗効果素子からなる検出素子は磁束の変化で回転
量又は移動量を検出する。
【００３７】第９の発明における微小機械部に備わる歯
幅方向に着磁され従動歯車は、軸方向の両側から上記従
動歯車を挟むように、上記着磁された従動歯車と反発す
る向きに備わる一対の永久磁石により浮力を受け、回転
時の摩擦を減じる。
【００３８】第１０の発明における回転体に設けられた
コの字形の形状を成す永久磁石は微小機械部に備わる回
転検出体の突部に、上記回転検出体の回転軸に平行に励
磁する。
【００３９】第１１の発明における回転体の回転量に応
じた駆動状態を保持する微小機械部と、上記微小機械部
からの信号入力により上記回転体の回転量を演算する回
転量演算手段とは一体に構築される。
【００４０】
【実施例】
実施例１．第１〜第４の発明の一実施例を図１〜図５
により説明する。図中、従来例と同じ符号で示されたも
のは従来例のそれと同一もしくは同等なものを示す。図
１に示した微小機械部としてのマイクロマシン１６の拡
大縦断面図、図３は図２に示したマイクロマシン１６の
拡大平面の部分断面図、図４は後述の検出板３８の拡大
平面の部分断面図であり、図２〜図４は第４の発明の一
実施例である。
【００４１】図１において、１は検出対象としての回転
体の１回転内の絶対値位置検出部、１ａは回転体の回転
軸、１ｂは回転スケールで、絶対値コードが出力するよ
うスリット（図示せず）を備えている。１ｃは発光素
子、１ｄは受光素子、１１は磁束発生手段としての永久
磁石で、所要の極に着磁され、回転軸１ａに固定されて
いる。
【００４２】１６は微小機械部としてのマイクロマシン
で、半導体製造に活用されている微細加工技術（フォト
リソグラフィ技術、成膜技術、エッチング技術等）と同
一技術であるマイクロマシニングで製造されてものであ
る。このマイクロマシン１６は、永久磁石１１と対向配
置され、プリント基板１３に固定されている。そして、
回転軸１ａの回転により旋回する永久磁石１１が発生す
る磁束により駆動され回転軸１ａの回転量に応じた駆動
状態を保持する。
【００４３】１４はプリント基板１３に搭載された信号
処理回路であり、マイクロマシン１６の信号を処理する
回転量演算手段としての回転量信号処理回路１４ａと１
回転内の絶対値位置検出部１の受光素子１ｄの出力信号
を処理する１回転内絶対値位置信号処理回路１４ｂ、更
に回転量信号と１回転内絶対値位置信号を合成して、出
力する回転出力手段としての合成信号処理回路１ｃで構
成されている。なお、１回転内の絶対値位置検出部と１
回転内絶対値位置信号処理回路１４ｂにて、回転体の回
転位置の絶対値を検出する絶対値位置検出手段を構成す
る。
【００４４】図２、図３、図４に示したマイクロマシン
１６において、１７は単結晶シリコン基板、１７ａ、１
７ｂ、１７ｃは支柱壁で、単結晶シリコン基板１７上に
多結晶シリコンのＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏ
ｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）により形成固着されてい
る。１８は基台で、支柱壁１７ａ、１７ｂ、１７ｃにそ
れぞれ多結晶シリコンのＣＶＤにより形成固着されてい
る。
【００４５】１９は第１段目の軸で、多結晶シリコンの
ＣＶＤにより単結晶シリコン基板１７に形成固着され、
２０〜２３は第２段目〜第５段目の軸で、多結晶シリコ
ンのＣＶＤにより基台１８に形成固着している。２４〜
２８は第１段目〜第５段目の中空軸で、多結晶シリコン
のＣＶＤにより形成され、軸１９〜２３に対し、回転自
在に構成されている。
【００４６】２９は回転検出体（以下、検出体と記す）
で、磁性金属のスパッタリングにより形成され、減速比
が１／Ｎ１になるよう円周上形成された所定数の突部と
しての歯２９ａを備え（図２の場合は永久磁石１１が１
個で歯２９ａが５枚のため、１／Ｎ１＝１／５）、多結
晶シリコンのＣＶＤにより、全表面に薄膜（図示せず）
が付着形成されている。また、第１段目の中空軸２４が
検出体２９に一体形成されている。
【００４７】３０〜３３は第１段目〜第４段目の駆動歯
車で、多結晶シリコンのＣＶＤにより形成され、第１段
目〜第４段目の中空軸２４〜２８がそれぞれ一体形成さ
れている。３４〜３７は第２段目〜第５段目の従動歯車
で、多結晶シリコンのＣＶＤにより形成され、第２段目
〜第５段目の中空軸２５〜２８がそれぞれ一体形成さ
れ、駆動歯車３０〜３３とそれぞれ噛合している。
【００４８】また、駆動歯車３０〜３３と従動歯車３４
〜３７の歯数は、減速比が第２段目〜第５段目におい
て、それぞれ１／Ｎ２、１／Ｎ３、１／Ｎ４、１／Ｎ５
になるよう構成され、中空軸２５〜２８が回転軸１ａの
回転に対し、それぞれ所要の位置に停止するよう構成さ
れている。
【００４９】３８〜４２は第１段目〜第５段目の被検出
体としての検出板で、多結晶シリコンのＣＶＤにより、
カム板形状に形成され、第１段目〜第５段目の中空軸２
４〜２８がそれぞれ一体形成されている。
【００５０】４３〜４７は検出素子で、導電金属のスパ
ッタリングにより形成され、電極板になている。また、
多結晶シリコンのＣＶＤにより、全表面に薄膜（図示せ
ず）が付着形成され、検出板３８〜４２と微小間隙で対
向配置されている。
【００５１】５０〜５４は導体で、導電金属のスパッタ
リングにより形成され、多結晶シリコンのＣＶＤによ
り、端子５０ａ〜５４ａ部分を除く表面に薄膜（図示せ
ず）が付着形成されている。５５はリードフレームで、
単結晶シリコン基板１７がダイボンディングされてい
る。５５ａ〜５５ｈはリード端子で、端子（５０ａ〜５
２ａは図示せず）とそれぞれワイヤ５６〜６０でワイヤ
ボンディングされている。６１はフタで、ガラス材で基
台１８及びワイヤ５６〜６０との隙間はハーメチックシ
ールされている。６２は樹脂パッケージである。
【００５２】図５は、この発明の一実施例を示す回転量
信号処理回路１４ａのブロック図でる。図５において、
３８〜４２は第１段目〜第５段目の検出板、４３〜４７
は第１段目〜第５段目の検出素子（電極板）、６３はア
ナログスイッチ、６４は発振回路、６５は容量／電圧変
換回路、６６は増幅回路、６７はＡ／Ｄ変換回路、６８
は記憶回路でＲＯＭで構成され、第１段目〜第５段目の
検出板３８〜４２の１回転分の角度をそれぞれ１／Ａ
１、１／Ａ２、１／Ａ３、１／Ａ４、１／Ａ５に分割し
た時、この分割角度に対応した検出板３８〜４２と検出
素子（電極板）４３〜４７の対向間隙の静電容量変化が
あらかじめ記憶されている。６９はマイコンである。
【００５３】次に動作について説明する。以上のように
構成された回転検出装置においては、電源がＯＦＦ状態
で何らかの原因で回転軸１ａがＮ回転した時は、永久磁
石１１も回転するので、マイクロマシン１６の検出体２
９は、永久磁石１１の漏洩磁束による吸引力が歯２９ａ
に作用し、Ｎ／Ｎ１回転する。
【００５４】従って、検出体２９と一体になっている第
１段目の中空軸２４、検出板３８、駆動歯車３０もＮ／
Ｎ１回転し、駆動歯車３０と噛合減速する第２段目の従
動歯車３４はＮ／（Ｎ１×Ｎ２）回転し、該従動歯車３
４と一体になっている中空軸２５、検出板３９、駆動歯
車３１もＮ／（Ｎ１×Ｎ２）回転する。以下同様に次々
減速回転し、第５段目の従動歯車３７、中空軸２８、検
出板４２は（Ｎ／Ｎ１）×（１／Ｎ２）×（１／Ｎ３）
×（１／Ｎ４）×（１／Ｎ５）回転し、停止状態にな
る。
【００５５】また、検出板３８〜４２はカム板形状のた
め、各段における検出板３８〜４２と検出素子（電極
板）４３〜４７と対向する面積が変化する。この変化は
各段の中空軸２４〜２８がそれぞれ１回転する毎に繰り
返すが、回転軸１ａがＮ１×Ｎ２×Ｎ３×Ｎ４×Ｎ５−
１回転する間に、検出板３８〜４２と検出素子（電極
板）４３〜４７の対向する面積の重なり具合の組合わせ
を繰り返すことはない。即ち、この該回転量が許容回転
量となる。ゆえに、回転軸１ａの回転量がメカ的にマイ
クロマシン１６により記憶される。
【００５６】電源ＯＦＦ時に回転軸１ａが回転した場
合、その回転位置と回転量を知るには、使用開始時に電
源をＯＮさせ、従来と同様に発光素子１ｃを点燈させ、
受光素子１ｄの出力信号を１回転内絶対値位置信号処理
回路１４ｂで処理し、回転位置を検出する。
【００５７】同時に回転量信号処理回路１４ａの発振回
路６４を作動させ、検出板３８〜４２と検出素子（電極
板）４３〜４７の対向間隙の静電容量を検出し、容量／
電圧変換回路６５で電圧に変換し、増幅回路６６で増幅
し、Ａ／Ｄ変換回路６７でデジタル量に変換する。該デ
ジタル量をアドレスとして記憶回路６８に入力し、検出
した静電容量に対応した検出板３８〜４２の回転角度を
出力させるが、これはマイコン６９の指示により、アナ
ログスイッチ６３を順次切換えて行なう。該回転角度の
出力をマイコン６９にて演算し、回転軸１ａの回転量を
検出する。
【００５８】次に合成信号処理回路１４ｃにて１回転内
絶対値位置信号と回転量信号を合成し、回転軸１ａが何
回転と何度の位置にあるかを検出する。
【００５９】また、検出板３８〜４２は高比誘電率の材
料を使用し、検出素子（電極）４３〜４７との対向間隙
の静電容量を大きくし、Ｓ／Ｎ比を高くしている。
【００６０】実施例２．第５の発明の一実施例を図６〜
図９により説明する。図６は間欠歯車形状の駆動歯車と
従動歯車の噛合状況を示す平面図、図７は図６のＡ−Ａ
断面を示す図である。上記実施例１においては、駆動歯
車３０〜３３と従動歯車３４〜３７は通常の噛合減速歯
車になっているが、図６、図７に示すように第１段目の
駆動歯車３０Ａは２枚の歯３０ａ、３０ｂと１ケ所の谷
３０ｃを残こし、他の部分３０ｄの歯を削除し、軸方向
にずれた位置に谷３０ｅ（谷３０ｃと同一形状）を残
し、他の部分３０ｄの谷を埋め、従動歯車３４Ａは谷３
０ｃと噛合する歯３４ａ〜３４ｄと噛合しない歯３４ｅ
〜３４ｈを備え、軸方向にずれた位置３４ｉで歯３４ｅ
〜３４ｈに相当する部分の歯を削除した間欠歯車を使用
する、（尚、他の駆動歯車（図示せず）及び従動歯車
（図示せず）も同様に構成されている）。
【００６１】図８はこの実施例２における検出板３８
Ａ、３９Ａの平面図、図９は図８におけるＢ−Ｂ断面図
である。図８、図９に示すように、第１の被検出体とし
ての第１段目の検出板３８Ａは回転検出体２９と同一歯
数（突部）で歯の大きさが異なるようにし、第２の被検
出体としての第２段目の検出板３９Ａは従動歯車３４Ａ
の噛合する歯数（この場合４個）と同一歯数で歯の大き
さが異なるように構成されている。（尚、第３〜第５段
目の検出板（図示せず）も同様に構成されている。）
【００６２】このため、駆動歯車３０Ａが１回転する間
に従動歯車３４Ａは１／４回転しかしない。結果、同一
モジュール、同一ピッチ円直径の歯車においては、減速
比が高く得られる。従って、上記実施例１より、回転軸
１ａの回転量の記憶量が大きく得られ、許容回転量が大
きくなる。また、駆動歯車３０〜３３が１回転した時の
み従動歯車３４〜３７は１／４回転するので、各段の検
出板３８〜４２の停止位置は１／４づつずれた位置とな
り中間の位置で停止しない。従って上記実施例１より、
検出板３８〜４２の１回転における静電容量の変化が大
きく得られ、信頼性が高くなる。
【００６３】実施例３．第６の発明の位置実施例を図１
０により説明する。図１０はこの実施例３におけるマイ
クロマシン１６Ｂの拡大断面図である。上記第１の実施
例にあっては、減速比（１／Ｎ１）×（１／Ｎ２）×
（１／Ｎ３）×（１／Ｎ４）×（１／Ｎ５）を認意の値
とし、検出板３８〜４２と検出素子（電極）４３〜４７
を備えている。しかし、許容回転量が少なくてよい場合
は、１０図のように、最終段の従動歯車としての第５段
目の従動歯車３７Ｂの歯数を減速比の逆数の整数倍にし
た。
【００６４】また、最終段の従動歯車軸にのみ被検出体
としての検出板４２Ｂと検出素子（電極板）４７を設
け、かつ、該検出板４２Ｂは従動歯車３７と同一歯数で
歯の大きさが異なるように構成した。この結果、回転軸
１ａの１回転に対し、検出板４２Ｂの停止位置は検出板
４２Ｂの１／歯数づつずれた位置となり、中間の位置に
停止しない。従って、上記第１の実施例より安価にな
り、検出板４２Ｂの１回転における静電容量の変化が大
きく得られ、信頼性が高くなった。
【００６５】実施例４．第７の発明の一実施例を図１１
により説明する。図１１はこの実施例４のマイクロマシ
ン１６ｃの拡大縦断面図である。図１１に示した実施例
にあっては、回転検出体２９Ｃの突部としての歯２９ａ
をＴ形の形状にし、対向部２９ｂと細いハリ部２９ｃで
構成したので、永久磁石１１の磁束がハリ部２９ｃへ漏
洩しにくくなり、対向部２９ｂに集中し、吸引力が増加
するので、上記第１の実施例より、検出体２９が高信頼
に回転する。
【００６６】実施例５．第８の発明の一実施例を図１２
〜図１４により説明する。図１２はこの実施例５におけ
る検出板近傍の拡大平面図、図１３は図１２におけるＣ
−Ｃ断面図である。また、図１４は回転量信号処理回路
１４ａの構成を、上記実施例１にあっては、検出板３８
〜４２を多結晶シリコンとし、検出素子４３〜４７を導
電金属の電極板としたが、図１２、図１３に示すように
検出板３８Ｄを磁性金属のスパッタリングにより形成
し、多結晶シリコンのＣＶＤにより全表面に薄膜（図示
せず）を付着形成し、所要の極に着磁し、検出素子４３
Ｄを通常抵抗値の磁気抵抗効果素子とし、スパッタリン
グで構成した。（尚、他の検出板３９〜４２及び検出素
子４４〜４７も同様に構成する。）
【００６７】また図１４のように回転量信号処理回路１
４ａをアナログスイッチ６３、増幅回路６６、Ａ／Ｄ変
換回路６７、記憶回路６８、マイコン６９で構成したの
で、回転量信号処理回路１４ａが簡単、かつ、安価とな
り、同様の効果が得られる。
【００６８】実施例６．第９の発明の一実施を図１５、
図１６により説明する。図１５はこの実施例６のマイク
ロマシン１６Ｅのみ外観図、図１６は着磁された従動歯
車近傍の拡大断面図を示す。図１５、図１６に示した実
施例にあっては、従動歯車３４を磁性金属のスパッタリ
ングにより形成し、多結晶シリコンのＣＶＤにより、全
表面に薄膜（図示せず）を付着形成し、歯幅方向に永久
着磁した。そして、永久磁石板７０、７１で挟み、該永
久磁石板７０、７１を回転軸１ａに固定された永久磁石
１１と直角方向、且つ従動歯車３４Ｅと同一方向で、着
磁の向きが互いに反発するように構成した（尚、他の従
動歯車３５〜３７も同様に構成する）。
【００６９】この結果、従動歯車３４〜３７と各々一体
となっている中空軸２５〜２８が宙に浮き、軸２０〜２
３及び基台１８との摩擦トルクが低下し、信頼性が向上
する。なお、図１５ではマイクロマシン１６Ｅにおい
て、ケースの外側から１対の永久磁石７０、７１で従動
歯車３４を挟んでいるが樹脂製のケースの場合には、こ
の一対の永久磁石を上記樹脂中に埋込むこともできる。
【００７０】実施例７．第１０の発明の一実施例を図１
７により説明する。図１７はこの実施例７における回転
軸１ｂに固着した永久磁石１１Ａとマイクロマシン１６
Ｆの拡大縦断面図である。図１７に示した実施例にあっ
ては、永久磁石１１Ａをコの字形に構成し、マイクロマ
シン１６Ｆ内蔵の回転検出体２９の歯２９ａをその歯幅
方向に狭み、永久磁石１１Ａの着磁方向を歯幅方向とし
たので、対向面積が増化し、吸引力が増加するので、上
記実施例１より、検出体２９が高信頼に回転する。
【００７１】実施例８．第１１の発明の一実施例を図１
８により説明する。図１８はこの実施例８におけるマイ
クロマシン１６Ｇの拡大縦断面図である。上記第１の実
施例にあっては、回転量信号処理回路１４ａをプリント
基板１３に搭載したが、図１８に示すように、マイクロ
マシン１６Ｇの単結晶シリコン基板１７を従来の半導体
基板と同一レベルとし、従来の半導体製作方法と同様に
Ｐ、Ｐ+、ｎ、ｎ+接合を作り、抵抗１７ｄやトランジス
タ１７ｅ等必要な素子を作り込んで回転量信号処理回路
１４ａを構成した。この結果、プリント基板１３までの
配線距離が短縮し、ノイズに対する信頼性が向上した。
【００７２】なお、以上説明した実施例１〜８にあって
は、微小機械部として、半導体製造に活用されている微
細加工技術と同一技術であるマイクロマシニングで製造
されたマイクロマシン１６〜１６Ｇを用いたものを例示
したが、マイクロマシン１６〜１６Ｇに限定されるもの
ではなく、精密機械加工により、実用できる程度に小
型、高信頼性、かつ高精度に製作された微小機械であっ
てもよい。
【００７３】又、以上説明した実施例１〜８にあって
は、光学式の１回転内の絶対値位置検出部を備えた回転
検出装置及び検出方法について説明したが、例えば磁気
方式等光学方式以外の方式の１回転内絶対値位置検出部
にも利用できる。また、回転量のみを検出する回転検出
装置についても利用できる。また、上記実施例において
回転量の検出について説明したが、直線移動する装置の
移動検出装置としても効果がある。
【００７４】
【発明の効果】以上のように、第１及び第２の発明によ
れば、検出対象に備わる磁束発生手段が発生する磁束に
よりマイクロマシンを駆動し、上記マイクロマシンの駆
動状態から上記検出対象の回転量又は移動量を検出する
ようにしたので、上記検出対象の回転量又は移動量がメ
カ的に記憶され、比較的小型、高信頼性のものが得られ
る効果がある。
【００７５】又、第３の発明によれば、回転体の１回転
内の回転位置の絶対値を検出すると共に、上記回転軸に
設けた永久磁石に対向配置して上記回転体の回転量に応
じた駆動状態を保持するマイクロマシンと、上記マイク
ロマシンからの信号入力により上記回転体の回転量を演
算し、上記絶対値位置検出値と合成して上記回転体の回
転量及び１回転内の回転位置の絶対値を出力する回転出
力手段とを備えたので、上記回転体の回転量及び１回転
内の回転位置の検出に、バックアップ用電池が不要であ
ると共に、比較的小型、高信頼性のものが得られる効果
がある。
【００７６】又、第４の発明によれば、外部磁束により
駆動される回転検出体、上記回転検出体と同軸一体に構
成された駆動歯車と噛合する従動歯車、上記駆動歯車及
び従動歯車の各々と同軸一体に構成された第１及び第２
の被検出体の回転状態を検出して出力する第１及び第２
の検出素子を一体にマイクロマシン化してパッケージ化
したので、比較的小型で量産性及び信頼性に優れたもの
が得られる効果がある。
【００７７】又、第５の発明によれば、マイクロマシン
に関し、駆動歯車及び従動歯車を間欠歯車形状とし、第
１の被検出体の円周上の突部を回転検出体の突部と同一
数とし、第２の被検出体の円周上の突部を同軸一体の従
動歯車の噛合用歯数と同一数とし、上記突部の各々の対
向配置された第１及び第２の検出素子との対向面積を同
一円周上にて異なるように構成したので、許容回転量が
比較的大きく、計測信頼性に優れたものが得られる効果
がある。
【００７８】又、第６の発明によれば、マイクロマシン
に関し、外部磁束により駆動される回転検出体の回転を
減速する複数組の駆動歯車及び従動歯車、最終段の従動
歯車と同軸一体に構成された被検出体の回転状態を検出
する検出素子を備え、上記最終段の従動歯車の歯数を、
外部磁極の数と上記回転検出体の突部数との比と上記複
数組の駆動歯車及び従動歯車の減速比との積の逆数の整
数倍とし、上記被検出体の円周上に上記最終段の従動歯
車の歯数と同一数の突部を形成し、上記突部の各々の上
記検出素子との対向面積を同一円周上にて異なるように
したので、マイクロマシンの出力部は唯一個となり、比
較的小型で量産性及び信頼性に優れ、かつ、低コストの
ものが得られる効果がある。
【００７９】又、第７の発明によれば、マイクロマシン
に備わる回転検出体の円周上に形成さた突部を、回転体
の永久磁石との対向面を広く、中心軸方向に細いＴ字形
の形状に形成したので、漏洩磁束が少なく、上記回転体
の回転量の計測信頼性の高いものが得られる効果があ
る。
【００８０】又、第８の発明によれば、マイクロマシン
に備わる被検出体の、少なくとも検出素子との対向部分
を磁性材で形成し、上記検出素子を磁気抵抗効果素子で
構成したので、上記回転体の回転量の計測信頼性の高い
ものが得られる効果がある。
【００８１】又、第９の発明によれば、マイクロマシン
に、歯幅方向に着磁した従動歯車と、上記従動歯車の軸
方向の両側から上記従動歯車を挟むように、上記着磁さ
れた従動歯車と反発する向きに一対の永久磁石とを備え
たので、上記従動歯車の軸部の摩擦トルクが小さく、回
転の信頼性の高いものが得られる効果がある。
【００８２】又、第１０の発明によれば、回転体に設け
られた永久磁石をコの字形の形状にしてマイクロマシン
に備わる回転検出体の突部を、上記回転検出体の回転軸
方向から挟んだので、上記回転検出体の回転トルクが大
きく、回転信頼性の高いものが得られる効果がある。
【００８３】又、第１１の発明によれば、回転体の回転
量に応じた駆動状態を保持するマイクロマシンと、上記
マイクロマシンからの信号入力により上記回転体の回転
量を演算する回転量演算手段とを一体に構築したので、
上記回転体の回転量検出部が比較的小型、コンパクト
で、量産性及び信頼性に優れたものが得られる効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１〜第３の発明の一実施例である回転検出装
置の概略縦断面図である。
【図２】第４の発明の一実施例におけるマイクロマシン
の拡大縦断面図である。
【図３】図２に示したマイクロマシンの拡大平面の部分
断面図である。
【図４】図２に示したマイクロマシンにおける回転検出
板の拡大平面図である。
【図５】図１に示した回転量信号処理回路のブロック図
である。
【図６】第５の発明の一実施例におけるマイクロマシン
の駆動歯車と縦動歯車の噛合状況を示す拡大平面図であ
る。
【図７】図６に示した駆動歯車及び従動歯車のＡ−Ａ断
面図である。
【図８】第５の発明の一実施例におけるマイクロマシン
の検出板の拡大平面図である。
【図９】図８に示した検出板のＢ−Ｂ断面図である。
【図１０】第４の発明の一実施例におけるマイクロマシ
ンの拡大縦断面図である。
【図１１】第７の発明の一実施例におけるマイクロマシ
ンを示す拡大平面の部分断面図である。
【図１２】第８の発明の一実施例におけるマイクロマシ
ンの検出板の拡大平面図である。
【図１３】図１１に示した検出板のＣ−Ｃ断面図であ
る。
【図１４】第８の発明の一実施例における回転量信号処
理回路のブロック図である。
【図１５】第９の発明の一実施例におけるマイクロマシ
ンの拡大正面図である。
【図１６】図１５に示したマイクロマシンにおける第２
段目の軸の拡大縦断面図である。
【図１７】第１０の発明の一実施例におけるマイクロマ
シンの拡大縦断面図である。
【図１８】第１０の発明の一実施例におけるマイクロマ
シンの拡大縦断面図である。
【図１９】従来の１回転内の絶対値位置検出装置を複数
個使用した回転検出装置の概略図である。
【図２０】従来の１回転内の絶対値位置検出装置１個と
複数の位置検出装置を使用した回転検出装置の概略図で
ある。
【図２１】従来の１回転内の絶対値位置検出装置１個を
使用し回転量検出を電池でバックアップした回転検出装
置の概略縦断面図である。
【図２２】従来の１回転内の絶対値位置検出装置１個を
使用し回転量を磁気バルブ素子で検出した回転検出装置
の概略縦断面図である。
【図２３】図２２に示した回転検出装置の磁気バルブ素
子のチップ表面図である。
【符号の説明】
１ 絶対値位置検出部 １ａ 回転軸 １１ 永久磁石 １３ プリント基板 １４ 信号処理回路 １４ａ 回転量信号処理回路 １４ｂ １回転内絶対値位置信号処理回路 １４ｃ 合成信号処理回路 １６ マイクロマシン １７ 単結晶シリコン基板 １７ａ〜１７ｃ 支柱壁 １７ｄ 抵抗 １７ｅ トランジスタ １８ 基台 １９〜２３ 軸 ２４〜２８ 中空軸 ２９ 回転検出体 ２９ａ 歯 ２９ｂ 対向部 ２９ｃ ハリ部 ３０〜３３ 駆動歯車 ３０ａ、３０ｂ 歯 ３０ｃ 谷 ３４〜３７ 従動歯車 ３４ａ〜３７ｄ 歯 ３８〜４２ 検出板 ４３〜４７ 検出素子 ５５ リードフレーム ６１ フタ ６２ 樹脂パッケージ ６３ アナログスイッチ ６４ 発振回路 ６５ 容量／電圧変換回路 ６６ 増幅回路 ６７ Ａ／Ｄ変換回路 ６８ 記憶回路 ６９ マイコン ７０、７１ 永久磁石板

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 磁束発生手段を備えた検出対象を回転又
    は移動する段階と、上記検出対象の回転もしくは移動に
    より、回転、旋回又は移動する上記磁束発生手段が発生
    する磁束により微小機械部を駆動し、上記微小機械部に
    おける上記検出対象の回転量又は移動量に応じた駆動状
    態を保持する段階と、上記微小機械部の駆動状態から上
    記検出対象の回転量又は移動量を検出する段階とからな
    る回転又は移動検出方法。
  2. 【請求項２】 検出対象に設けられ、上記検出対象の回
    転又は移動により回転、旋回又は移動する磁束発生手段
    と、上記回転、旋回又は移動する磁束発生手段が発生す
    る磁束により駆動され、上記検出対象の回転量又は移動
    量に応じた駆動状態を保持する微小機械部と、上記微小
    機械部の駆動状態から上記検出対象の回転量又は移動量
    を演算する回転量又は移動量演算手段とを備えた回転又
    は移動検出装置。
  3. 【請求項３】 回転軸を有する回転体の１回転内の回転
    位置の絶対値を検出する絶対値位置検出手段と、上記回
    転軸に設けられ、上記回転体の回転により回転もしくは
    旋回する永久磁石と、上記永久磁石に対向配置され、上
    記回転もしくは旋回する永久磁石が発生する磁束により
    駆動され、上記回転体の回転量に応じた駆動状態を保持
    する微小機械部と、上記微小機械部からの信号入力によ
    り上記回転体の回転量を演算する回転量演算手段と、上
    記回転量演算手段及び上記絶対値位置検出手段からの入
    力信号を合成して上記回転体の回転量及び１回転内の回
    転位置の絶対値を出力する回転出力手段とを備えた回転
    検出装置。
  4. 【請求項４】 請求項２又は請求項３記載の回転又は移
    動検出装置において、微小機械部は、円周上に所定数の
    突部が等中心角度に形成され、外部磁束により駆動され
    て回転する回転検出体と、上記回転検出体と同軸一体に
    構成された駆動歯車と、上記駆動歯車と噛合する従動歯
    車と、上記駆動歯車及び従動歯車の各々と同軸一体に構
    成された第１及び第２の被検出体と、上記第１及び第２
    の被検出体に対向配置され、上記第１及び第２の被検出
    体の回転状態を検出して出力する第１及び第２の検出素
    子とを備えたことを特徴とする回転又は移動検出装置。
  5. 【請求項５】 請求項４記載の回転又は移動検出装置に
    おいて、微小機械部に備わる駆動歯車及び従動歯車は間
    欠歯車形状を成し、上記駆動歯車と同軸一体に構成され
    た第１の被検出体は円周上に回転検出体と同一数の突部
    が等中心角度に形成され、上記従動歯車と同軸一体に構
    成された第２の被検出体は円周上に上記従動歯車の噛合
    用歯数と同一数の突部が等中心角度に形成され、上記第
    １及び第２の被検出体の円周上に形成された突部の各々
    は、対向配置された第１及び第２の検出素子との対向面
    積が同一円周上にて異なることを特徴とする回転又は移
    動検出装置。
  6. 【請求項６】 請求項２又は請求項３記載の回転又は移
    動検出装置において、微小機械部は、円周上に所定数の
    突部が等中心角度に形成され、外部磁束により駆動され
    て回転する回転検出体と、上記検出体の回転を減速する
    複数組の駆動歯車及び上記駆動歯車と噛合する従動歯車
    と、上記複数組の駆動歯車及び従動歯車のうち、最終段
    の従動歯車と同軸一体に構成された被検出体と、上記被
    検出体に対向配置され、上記被検出体の回転状態を検出
    して出力する検出素子とを備え、上記最終段の従動歯車
    は、外部磁極の数と上記回転検出体の突部数との比と上
    記複数組の駆動歯車及び従動歯車の減速比との積の逆数
    の整数倍の歯数を有し、上記被検出体は円周上に上記最
    終段の従動歯車の歯数と同一数の突部が形成され、上記
    突部の各々は、上記検出素子との対向面積が同一円周上
    にて異なることを特徴とする回転又は移動検出装置。
  7. 【請求項７】 請求項４〜請求項６いずれかに記載の回
    転又は移動検出装置において、微小機械部に備わる回転
    検出体は、円周上に等中心角度に形成さた所定数の突部
    を有し、上記突部は回転体に設けられた永久磁石との対
    向面が広く、中心軸方向に細いＴ字形の形状を成すこと
    を特徴とする回転又は移動検出装置。
  8. 【請求項８】 請求項４〜請求項７いずれかに記載の回
    転又は移動検出装置において、微小機械部に備わる被検
    出体は、少なくとも検出素子との対向部分を磁性材で形
    成され、上記被検出体と対向配置された検出素子は磁気
    抵抗効果素子で構成されたことを特徴とする回転又は移
    動検出装置。
  9. 【請求項９】 請求項４〜請求項８いずれかに記載の回
    転又は移動検出装置において、微小機械部に備わる従動
    歯車は磁性材で歯幅方向に着磁され、上記微小機械部は
    上記従動歯車の軸方向の両側から上記従動歯車を挟むよ
    うに、上記着磁された従動歯車と反発する向きに一対の
    永久磁石を備えたことを特徴とする回転又は移動検出装
    置。
  10. 【請求項１０】 請求項３記載の回転検出装置におい
    て、回転体に設けられた永久磁石は微小機械部に備わる
    回転検出体の突部を、上記回転検出体の回転軸方向から
    挟むようにコの字形の形状を成すことを特徴とする回転
    検出装置。
  11. 【請求項１１】 請求項２〜請求項１０いずれかに記載
    の回転又は移動検出装置において、回転体の回転量に応
    じた駆動状態を保持する微小機械部と、上記微小機械部
    からの信号入力により上記回転体の回転量を演算する回
    転量演算手段とを一体に構築したことを特徴とする回転
    又は移動検出装置。
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