JP2988597B2 - 回転位置検出装置 - Google Patents

回転位置検出装置

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    • G01D2205/73—Targets mounted eccentrically with respect to the axis of rotation

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気抵抗変化を利用し
た回転位置検出装置に係り、特に磁気抵抗変化を出力交
流信号の電気的位相角の変化として検出する位相シフト
方式の回転位置検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気抵抗変化を利用した回転位置検出装
置としてはマイクロシンといわれる回転形差動トランス
が従来からよく知られている。これは、回転位置を電圧
レベルに変換するものであり、外乱による影響を受けて
誤差を生じ易いという欠点がある。例えば、温度変化の
影響を受けてコイルの抵抗が変化し、これによって検出
信号レベルが変動したり、また、検出器からその検出信
号を利用する回路までの信号伝送路におけるレベルの減
衰量がその伝送距離によってまちまちであり、さらに、
ノイズによるレベル変動がそのまま検出誤差となって顕
れてしまうなどといった欠点を有している。そこで、本
発明の出願人は、外乱等による出力レベル変動に影響さ
れることなく正確に回転位置を検出することのできる位
相シフト方式の回転位置検出装置を先に提案している
（特開昭５７−６０２１２号公報、特開昭５７−８８３
１７号公報、特公昭６２−５８４４５号公報等）。
【０００３】図７及び図８は、本発明の出願人が先に提
案した回転位置検出装置の概略構成を示す図である。図
７及び図８の（ａ）は回転位置検出装置を回転軸方向か
ら見た正面図であり、（ｂ）はそれを回転軸の垂直方向
から見た一部断面形状を示す側面図である。図７の回転
位置検出装置は、回転軸の垂直方向（回転軸を中心とす
る法線方向）に突出した複数の極Ａ〜Ｄが円周方向に所
定間隔（９０度）で設けられたステータ７１ａと、各極
Ａ〜Ｄによって取り囲まれたステータ７１ａの空間内に
挿入されたロータ７１ｂとを備えている。すなわち、ス
テータ７１ａは、ロータ７１ｂの外周面に対向して設け
られている。
【０００４】ロータ７１ｂは、回転角度に応じて各極Ａ
〜Ｄのリラクタンスを変化させる形状及び材質からな
り、一例として回転軸に対して中心の偏心した円柱体で
構成されている。ステータ７１ａの各極Ａ〜Ｄには、１
次コイル１Ａ〜１Ｄ及び２次コイル２Ａ〜２Ｄがそれぞ
れ巻回されている。そして、ロータ７１ｂを挟んで互い
に対向する２つの極Ａと極Ｃの第１の対及び極Ｂと極Ｄ
の第２の対は差動的に動作するようにコイルが巻かれ
て、かつ差動的なリラクタンス変化が生じるように構成
されている。
【０００５】第１の極の対（極Ａ，Ｃ）に巻かれている
１次コイル１Ａ及び１Ｃは、正弦波信号ｉａ＝Ｉｓｉｎ
ωｔで励磁され、第２の極の対（極Ｂ，Ｄ）に巻かれて
いる１次コイル１Ｂ及び１Ｃは余弦波信号ｉｂ＝Ｉｃｏ
ｓωｔで励磁されている。その結果、２次コイル２Ａ〜
２Ｄからは、それらの合成出力信号Ｙが得られる。この
合成出力信号Ｙは、基準信号となる１次交流信号（１次
コイルの励磁信号）ｉａ＝Ｉｓｉｎωｔに対して、ロー
タ７１ｂの回転角度θに応じた電気的位相角度だけ位相
シフトした信号Ｙ＝ｓｉｎ（ωｔ−θ）である。
【０００６】一方、図８の回転位置検出装置は、回転軸
と平行な方向に突出した複数の極Ａ〜Ｄが円周方向に所
定間隔（９０度）で設けられており、さらに回転軸の位
置に突出した極Ｅが設けられているステータ８１ａと、
各極Ａ〜Ｅが円板の片側面に対向するように設けられた
ロータ８１ｂとを備えている。
【０００７】ロータ８１ｂは、回転角度に応じて各極Ａ
〜Ｄのリラクタンスを変化させる形状及び材質からな
り、一例として回転軸に対して中心の偏心した円板で構
成されている。ステータ８１ａの各極Ａ〜Ｄには、１次
コイル１Ａ〜１Ｄが巻回されており、極Ｅには２次コイ
ル２Ｅが巻回されている。そして、極２Ｅを挟んで互い
に対向する極Ａと極Ｃからなる第１の対及び極Ｂと極Ｄ
からなる第２の対は、差動的に動作するようにコイルが
巻かれており、かつ差動的なリラクタンス変化が生じる
ように構成されている。
【０００８】第１の極の対（極Ａ，Ｃ）に巻かれている
１次コイル１Ａ及び１Ｃは、図７のものと同様の正弦波
信号ｉａ＝Ｉｓｉｎωｔで励磁され、第２の極の対（極
Ｂ，Ｄ）に巻かれている１次コイル１Ｂ及び１Ｃは余弦
波信号ｉｂ＝Ｉｃｏｓωｔで励磁される。その結果、２
次コイル２Ｅからは、それらの合成出力信号Ｙが得られ
るようになっている。この合成出力信号Ｙは、基準信号
となる１次交流信号（１次コイルの励磁信号）ｉａ＝Ｉ
ｓｉｎωｔ又はｉｂ＝Ｉｃｏｓωｔに対して、ロータ８
１ｂの回転角度θに応じた電気的位相角度だけ位相シフ
トした信号Ｙ＝ｓｉｎ（ωｔ−θ）である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】回転位置検出装置は工
作機械やその他の産業機械等の動作を制御するための補
助的な部品なので、設置面積及び設置容量の点でより小
型のものが望ましい。図７の回転位置検出装置の場合、
ステータ７１ａ及びロータ７１ｂの厚さ、すなわち回転
軸方向についてはコイル面が軸方向に向いているため短
くできない。ステータ７１ａがロータ７１ｂの周囲を取
り囲むように設けられているので、位置検出精度を維持
しながら回転位置検出装置自体を小型化しようとして
も、ロータ７１ｂ及びステータ７１ａの直径方向の大き
さと長さに限定され、直径方向と回転軸方向の小型化に
は限界があった。
【００１０】一方、図８の回転位置検出装置の場合は、
ステータ８１ａがロータ８１ｂの片側平面に対向してい
るので、ステータ８１ａをロータ８１ｂの回転直径内に
設けることによって図７のものに比べて直径方向の大き
さを小さくすることができる。しかしながら、ステータ
８１ａの各極Ａ〜Ｅが突出しているため、図７のものに
比べて回転軸方向の厚さを薄くするのに限界があった。
【００１１】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、機械等に組み込んだ場合でも設置面積及び設置容
量を小さくできる回転位置検出装置を提供することを目
的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】 本発明の回転位置検出
装置は、所定の第１の交流信号により励磁される第１の
１次コイルグループおよび前記第１の交流信号とは所定
位相ずれた第２の交流信号により励磁される第２の１次
コイルグループと、各１次コイルの発生する磁束が回転
軸方向に沿うように前記各１次コイルグループの各１次
コイルを円周方向にそれぞれ独立に配置した板状のステ
ータ部と、前記１次コイルに対して相対的に変位可能に
設けられ、この変位位置に伴って前記１次コイルの発生
する磁束に対する磁気抵抗効果が変化するように構成さ
れた板状のロータと、このロータと前記１次コイルとの
間の相対的位置関係によって生じる前記磁気抵抗効果の
変化に応じた交流出力信号を前記１次コイルから検出す
るように構成し、前記第１の１次コイルグループと第２
の１次コイルグループの各交流出力信号は、互いに電気
的位相が９０度ずれており、かつ、一方の振幅値が前記
ロータの回転位置に応じてサイン関数特性を示すのに対
して、他方の振幅値がコサイン関数特性を示し、両１次
コイルグループの交流出力信号を加算することにより、
前記ロータの回転位置に応じた電気的位相ずれを示す交
流信号を生成することを特徴とする。
【００１３】
【作用】 １次コイルは所定の交流信号によって励磁さ
れることによって磁束を発生する。ステータ部は板状で
あり、この１次コイルの発生する磁束が回転軸方向に沿
うように１次コイルを円周方向にそれぞれ複数個独立に
有している。ロータはこの１次コイルの発生する磁束に
対する磁気抵抗効果が変化するように１次コイルに対し
て相対的に変位可能に設けられている。従って、ロータ
が回転すると、ステータ部に設けられた１次コイルとロ
ータとの間の相対的位置関係によって磁気抵抗効果に変
化が生じる。この磁気抵抗効果の変化が１次コイルを流
れる励磁交流信号にも影響を及ぼすので、この１次コイ
ルの交流信号を検出することによって、ロータと１次コ
イルとの間の相対的位置関係、すなわちロータの回転位
置を検出することができる。従来のように出力信号検出
用の２次コイルをステータ部に設ける必要もなく、その
結果１次コイルとしてステータ表面に銅を渦巻き状に形
成したフィルム状のコイルを用いることができ、１次コ
イルの厚さをｍｍ単位以下まで薄くでき、回転位置検出
装置全体を薄く小型化することができる。また、１次コ
イルを、所定の第１の交流信号により励磁される第１の
１次コイルグループおよび前記第１の交流信号（例えば
ｓｉｎωｔ）とは所定位相のずれた第２の交流信号（例
えばｃｏｓωｔ）により励磁される第２の１次コイルグ
ループとで構成し、前記第１の１次コイルグループと第
２の１次コイルグループの各交流出力信号は、互いに電
気的位相が９０度ずれており、かつ、一方の振幅値が前
記ロータの回転位置に応じてサイン関数特性を示すのに
対して、他方の振幅値がコサイン関数特性を示すように
出力信号を生じさせ、両１次コイルグループの交流出力
信号を加算することにより、前記ロータの回転位置に応
じた電気的位相ずれを示す交流信号を生成するようにし
たので、簡単なコイル構成でありながら、ロータの回転
位置に応じた正確な電気的位相ずれを示す交流信号を生
成することができ、高精度の回転位置を行うことができ
る。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照しなが
ら説明する。図１は本発明の実施例である回転位置検出
装置の概略構成を示す図である。図１の（ａ）は回転位
置検出装置を回転軸方向から見た正面図であり、（ｂ）
はそれを回転軸の垂直方向から見た側面図である。
【００１５】本実施例の回転位置検出装置が従来のもの
と異なる点は、図７及び図８の回転位置検出装置に設け
られていた２次コイルが省略され、ロータ１１ｂの回転
角度θに応じた電気的位相角度だけ位相シフトした信号
Ｙ＝ｓｉｎ（ωｔ−θ）が１次コイルから取り出される
ようになっている点である。
【００１６】本実施例の回転位置検出装置は、回転軸方
向に沿って磁束を発生するように１次コイル１Ａ〜１Ｄ
がステータ１１ａ上に設けられている。この１次コイル
１Ａ〜１Ｄは円周方向に約９０度の間隔で４極設けられ
ている。本実施例では出力検出用の２次コイルが省略さ
れているので、１次コイルに鉄心を設けなくてもよくな
り、その結果１次コイル１Ａ〜１Ｄとしてステータ表面
に銅を渦巻き状に形成したフィルム状のコイルを用いる
ことができ、１次コイルの厚さをｍｍ単位以下まで薄く
することができる。
【００１７】ロータ１１ｂは、回転角度に応じて各１次
コイル１Ａ〜１Ｄのリラクタンスを変化させる形状及び
材質からなり、図８のものと同様に回転軸に対して中心
の偏心した円板で構成されている。回転軸を挟んで互い
に対向する１次コイル１Ａと１次コイル１Ｃからなる第
１の対及び１次コイル１Ｂと１次コイル１Ｄからなる第
２の対は、差動的に動作するようにコイルが巻かれてお
り、かつ差動的なリラクタンス変化が生じるように構成
されている。
【００１８】ロータ１１ｂの材質としては、珪素鋼板等
の磁性体や銅板等の非磁性体を用いることができる。銅
板は１次コイルから発生される磁束を打ち消す方向に渦
電流を発生し、珪素鋼板等の磁性体を用いた場合とは逆
のリラクタンス変化を生じさせるという働きがあるから
である。なお、珪素鋼板と銅板とを適宜組み合わせるこ
とによって検出感度を向上することもできるが、この組
み合わせたについては後述する。
【００１９】第１の対を構成する１次コイル１Ａは正弦
波信号ｓｉｎωｔで励磁され、１次コイル１Ｃは−ｓｉ
ｎωｔで励磁される。第２の対を構成する１次コイル１
Ｂは余弦波信号ｃｏｓωｔで励磁され、１次コイル１Ｄ
は−ｃｏｓωｔで励磁される。そして、第１の対を構成
する１次コイル１Ａ及び１Ｃの中点から第１の出力Ｙ１
が取り出され、第２の対を構成する１次コイル１Ｂ及び
１Ｄの中点から第２の出力Ｙ２が取り出される。
【００２０】それぞれの中点から得られる第１及び第２
の出力Ｙ１，Ｙ２の差分を取ることによって、従来と同
様の出力信号Ｙが得られるようになっている。この出力
信号Ｙは、基準信号となる１次交流信号（１次コイルの
励磁信号）ｓｉｎωｔに対して、ロータ１１ｂの回転角
度θに応じた電気的位相角度だけ位相シフトした出力信
号Ｙ＝ｓｉｎ（ωｔ−θ）である。
【００２１】上述のような回転位置検出装置を用いてロ
ータ１１ｂの回転角度θを検出するためには、１次交流
信号ｓｉｎωｔ，−ｓｉｎωｔ，ｃｏｓωｔ及び−ｃｏ
ｓωｔを発生する基準信号発生部と、合成出力信号Ｙの
電気的位相ずれθを測定しロータ１１ｂの位置データを
算出する位相差検出部とからなる位置センサ変換装置が
必要となる。以下、この位置検出装置の構成について説
明する。
【００２２】図２は図１の回転位置検出装置に接続され
た位置センサ変換装置の一例を示す図である。図２にお
いて、位置センサ変換装置は基準交流信号ｓｉｎωｔ，
−ｓｉｎωｔ，ｃｏｓωｔ及び−ｃｏｓωｔを発生する
基準信号発生部と、基準交流信号ｓｉｎωｔと出力信号
Ｙとの間の位相差（位相ずれ量）Ｄθを検出する位相差
検出部とから構成される。
【００２３】基準信号発生部はクロック発振器２０、同
期カウンタ２１、ＲＯＭ２２ａ，２２ｂ、Ｄ／Ａ変換器
２３ａ，２３ｂ、アンプ２４ａ，２４ｂ及びトランス２
５からなり、位相差検出部は差動アンプ２６、ゼロクロ
ス回路２７及びラッチ回路２８からなる。
【００２４】クロック発振器２０は高速の正確なクロッ
ク信号を発生するものであり、このクロック信号に基づ
いて他の回路は動作する。同期カウンタ２１はクロック
発振器２０のクロック信号をカウントし、そのカウント
値をアドレス信号としてＲＯＭ２２ａ及び位相差検出部
のラッチ回路２７に出力する。
【００２５】ＲＯＭ２２ａ及び２２ｂは基準交流信号に
対応した振幅データを記憶しており、同期カウンタ２１
からのアドレス信号（カウント値）に応じて基準交流信
号の振幅データを発生する。ＲＯＭ２２ａはｃｏｓωｔ
の振幅データを、ＲＯＭ２２ｂはｓｉｎωｔの振幅デー
タを記憶している。従って、ＲＯＭ２２ａ及び２２ｂは
同期カウンタ２１から同じアドレス信号を入力すること
によって、２種類の基準交流信号ｓｉｎωｔ及びｃｏｓ
ωｔを出力する。なお、同じ振幅データのＲＯＭを位相
のそれぞれ異なるアドレス信号で読み出しても同様に２
種類の基準交流信号を得ることができる。
【００２６】Ｄ／Ａ変換器２３ａ及び２３ｂはＲＯＭ２
２ａ及び２２ｂからのデジタルの振幅データをアナログ
信号に変換してアンプ２４ａ及び２４ｂに出力する。ア
ンプ２４ａ及び２４ｂはＤ／Ａ変換器からのアナログ信
号を増幅し、それを基準交流信号ｓｉｎωｔ及びｃｏｓ
ωｔとしてトランス２５の１次側にそれぞれ印加する。
トランス２５の２次側の中間タップは接地されているた
め、２次側からは基準交流信号Ｅｓｉｎωｔ，−Ｅｓｉ
ｎωｔ，Ｅｃｏｓωｔ及び−Ｅｃｏｓωｔが出力する。
なお、同期カウンタ２１の分周数をＭとすると、そのＭ
カウント分が基準交流信号の最大位相角２πラジアン
（３６０度）に相当する。すなわち、同期カウンタ２１
の１カウント値は２π／Ｍラジアンの位相角を示してい
る。
【００２７】差動アンプ２６は１次コイル１Ａ及び１Ｃ
の中点から出力される第１の出力Ｙ１と、１次コイル１
Ｂ及び１Ｄの中点から出力される第２の出力Ｙ２との差
分値を増幅して、ゼロクロス回路２７に出力する。ゼロ
クロス回路２７は差動アンプ２６からの出力信号Ｙに基
づいて負電圧から正電圧へのゼロクロス点を検出し、そ
の検出信号をラッチ回路２８に出力する。
【００２８】ラッチ回路２８は基準交流信号の立上りの
クロック信号にてスタートした同期カウンタのカウント
値をゼロクロス回路２７の検出信号の出力時点（ゼロク
ロス点）でラッチする。従って、ラッチ回路２８にラッ
チされた値はちょうど基準交流信号と出力信号Ｙとの間
の位相差（位相ずれ量）Ｄθとなる。
【００２９】すなわち、差動アンプ２６からの出力信号
Ｙ＝ｓｉｎ（ωｔ−θ）は、ゼロクロス回路２７に与え
られる。ゼロクロス回路２７は出力信号Ｙの電気位相角
がゼロのタイミングに同期してパルスＬを出力する。パ
ルスＬはラッチ回路２８のラッチパルスとして使用され
る。従って、ラッチ回路２８がパルスＬの立ち上がり応
じて同期カウンタ２１のカウント値をラッチする。同期
カウンタ２１のカウント値が一巡する期間と正弦波信号
ｓｉｎωｔの１周期とを同期させる。すると、ラッチ回
路２８には基準交流信号ｓｉｎωｔと合成出力信号Ｙ＝
ｓｉｎ（ωｔ−θ）との位相差θに対応するカウント値
がラッチされることとなる。従って、ラッチされた値が
デジタルの位置データＤθとして出力される。尚、ラッ
チパルスＬはタイミングパルスとして適宜利用すること
もできる。
【００３０】以下、出力信号Ｙがｓｉｎ（ωｔ−θ）に
なる過程を説明する。まず、１次コイル１Ａ〜１Ｄには
それぞれ基準信号発生部から定電圧信号が印加される。
図では、１次コイル１Ａに正弦波電圧信号ｅａ＝Ｅｓｉ
ｎωｔ、１次コイル１Ｂに余弦波電圧信号ｅｂ＝Ｅｃｏ
ｓωｔ、１次コイル１Ｃに正弦波電圧信号ｅｃ＝−Ｅｓ
ｉｎωｔ、１次コイル１Ｄに余弦波電圧信号ｅｄ＝−Ｅ
ｃｏｓωｔがそれぞれの定電圧で印加されている。
【００３１】１次コイル１Ａ，１Ｃは互いに反対方向に
磁束が発生するように巻き回されている。すなわち、１
次コイル１Ａに正弦波電圧信号ｅａ＝Ｅｓｉｎωｔが印
加することによって図面の前方（ステータ１１ａからロ
ータ１１ｂ）に向かって磁束が発生しているとき、１次
コイル１Ｃには図面の後方（ロータ１１ｂからステータ
１１ａ）に向かって磁束が発生するように、１次コイル
１Ａ，１Ｃは巻き回されている。１次コイル１Ｂ，１Ｄ
についても同様に巻き回されている。
【００３２】ロータ１１ｂは、各１次コイル１Ａ〜１Ｄ
に対して一定のギャップを介在して対峙しており、回転
軸の回転と応じて回転するようになっている。この回転
軸に検出対象である回転角度θが与えられる。ロータ１
１ｂは、各１次コイル１Ａ〜１Ｄに対向する面積を回転
角度θに応じて変化させる形状をしている。本実施例で
は、回転軸に対して中心が偏心するように取り付けられ
た円板で構成されている。
【００３３】各１次コイル１Ａ〜１Ｄと、ロータ１１ｂ
の円板との対向する面積が回転角度θに応じて変化する
ことによって、各１次コイル１Ａ〜１Ｄを介する磁路の
リラクタンスが変化し、各１次コイル１Ａ〜１Ｄのイン
ピーダンス（インダクタンス）Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｃ，Ｌｄ
を変化させる。ここで、ステータ１１ａ及びロータ１１
ｂの機械的寸法及び形状等を適当に選定することによっ
て、各１次コイル１Ａ〜１Ｄのインピーダンス変化が次
式のような三角関数に従うようにすることができる。
【００３４】 １／Ｌａ＝（１／Ｌ）・（１＋ｋｃｏｓθ） １／Ｌｂ＝（１／Ｌ）・（１＋ｋｓｉｎθ） １／Ｌｃ＝（１／Ｌ）・（１−ｋｃｏｓθ） １／Ｌｄ＝（１／Ｌ）・（１−ｋｓｉｎθ） 上式において、Ｌ及びｋはステータ１１ａ及びロータ１
１ｂの構造及び励磁信号の周波数（ω／２π）によって
定まる定数である。なお、上式では、図２に示すように
１次コイル１Ａとロータ１１ｂとが対向する面積が最小
のときの回転角度θを０度としている。
【００３５】各１次コイル１Ａ〜１Ｄに印加される信号
ｅａ〜ｅｄが定電圧であるため、各１次コイル１Ａ〜１
Ｄのインピーダンス変化に逆比例した電流ｉａ〜ｉｄが
各１次コイル１Ａ〜１Ｄに流れる。これらの電流ｉａ〜
ｉｄは次式のようになる。 ｉａ＝ｅａ／Ｌａ＝（Ｅｓｉｎωｔ）（１／Ｌ）（１＋ｋｃｏｓθ） ｉｂ＝ｅｂ／Ｌｂ＝（Ｅｃｏｓωｔ）（１／Ｌ）（１＋ｋｓｉｎθ） ｉｃ＝ｅｃ／Ｌｃ＝（−Ｅｓｉｎωｔ）（１／Ｌ）（１−ｋｃｏｓθ） ｉｄ＝ｅｄ／Ｌｄ＝（−Ｅｃｏｓωｔ）（１／Ｌ）（１−ｋｓｉｎθ）
【００３６】従って、１次コイル１Ａ，１Ｃの中点から
得られる第１の出力Ｙ１及び１次コイル１Ｂ，１Ｄの中
点から得られる第２の出力Ｙ２は、次式のようになる。 Ｙ１＝ｉａ＋Ｉｃ＝（２ｋＥ／Ｌ）ｓｉｎωｔｃｏｓθ Ｙ２＝ｉｂ＋Ｉｄ＝（２ｋＥ／Ｌ）ｃｏｓωｔｓｉｎθ
【００３７】差動アンプ２６から出力される出力信号Ｙ
は次式のようになる。 Ｙ＝（２ｋＥ／Ｌ）（ｓｉｎωｔｃｏｓθ−ｃｏｓωｔｓｉｎθ） これは、三角関数の加法定理：ｓｉｎ（α−β）＝ｓｉ
ｎαｃｏｓβ−ｃｏｓαｓｉｎβに基づいて次のように
変形される。 Ｙ＝（２ｋＥ／Ｌ）ｓｉｎ（ωｔ−θ）
【００３８】この式から明らかなように、差動アンプ２
６から出力される出力信号Ｙは基準交流信号ｓｉｎωｔ
に対して回転角度θに対応した位相角だけ位相がずれた
交流信号である。従って、この出力信号Ｙと基準交流信
号ｓｉｎωｔとの位相差を検出することによって回転角
度θを求めることができる。
【００３９】図３は本発明の他の実施例を示す図であ
る。図３において図１と同じ構成のものには同一の符号
が付してあるので、その説明は省略する。本実施例の回
転位置検出装置が図１のものと異なる点は、回転軸方向
に磁束を発生するための１次コイル１Ａ〜１Ｆが円周方
向に約６０度の間隔で６極設けられており、１次コイル
１Ａ〜１Ｆが３相の交流信号ｓｉｎωｔ，ｓｉｎ（ωｔ
＋２π／３），ｓｉｎ（ωｔ＋４π／３）でそれぞれ励
磁されている点である。
【００４０】すなわち、回転軸を挟んで互いに対向する
１次コイル１Ａ及び１Ｄはｓｉｎωｔで、１次コイル１
Ｂ及び１Ｅはｓｉｎ（ωｔ＋２π／３）で、１次コイル
１Ｃ及び１Ｆはｓｉｎ（ωｔ＋４π／３）でそれぞれ励
磁され、和動的に動作するようにコイルが巻かれてお
り、且つ差動的なリラクタンス変化が生じるように構成
されている。そして、１次コイル１Ａ、１Ｃ及び１Ｅは
スター結線されており、その結線の中点から第１の出力
Ｙ１が取り出され、同様に１次コイル１Ｂ、１Ｄ及び１
Ｆもスター結線されており、その結線の中点から第２の
出力Ｙ２が取り出される。
【００４１】それぞれの中点から得られる第１及び第２
の出力Ｙ１，Ｙ２の差分を取ることによって、図１と同
様の出力信号Ｙが得られる。この出力信号Ｙは、基準信
号となる１次交流信号（１次コイル１Ａの励磁信号）ｓ
ｉｎωｔに対して、ロータ１１ｂの回転角度θに応じた
電気的位相角度だけ位相シフトした出力信号Ｙ＝ｓｉｎ
（ωｔ−θ）である。
【００４２】図３のように１次コイル１Ａ〜１Ｆの６極
構成とすることによって、ステータ１１ａとロータ１１
ｂとの間の構造上から生じる３倍波成分のパーミアンス
誤差を出力信号Ｙから除去することができるという効果
がある（実開昭５９−１６１０２３号の明細書参照）。
【００４３】図４〜図６は、本発明に適用可能なロータ
形状の変形例を示す図である。図１及び図３の実施例で
は、ロータ１１ｂを一種類の材質、例えば珪素鋼板等の
磁性体又は銅板等の非磁性体で構成する場合について説
明したが、図４〜図６のように両者を適宜組み合わせる
ことによって検出感度すなわち出力信号Ｙの振幅値を大
きくすることができる。
【００４４】図４のロータは、磁性体及び非磁性体から
なる２枚の円板のうちのいずれか一方の中心が回転軸に
対して偏心した位置に設けられ、他方の中心が回転軸と
一致するように設けられている。すなわち、図４のロー
タは、円板１１ｃが珪素鋼板から構成され、円板１１ｄ
が銅板から構成されているか、又は円板１１ｃが銅板か
ら構成され、円板１１ｄが珪素鋼板から構成されてい
る。
【００４５】図５のロータは、磁性体及び非磁性体が一
体となり、１枚の円板を構成している。すなわち、図５
のロータは、円板１１ｆが珪素鋼板から構成され、この
円板１１ｆの内部に銅板からなる円板１１ｅが設けられ
ているか、又は円板１１ｆが銅板からなり、この円板１
１ｆの内部に珪素鋼板からなる円板１１ｅが設けられて
いる。なお、図４及び図５では円板１１ｃ，１１ｅが１
次コイル側に設けられている場合を示してあるが、円板
１１ｄ，１１ｆが１次コイル側に設けられていてもよ
い。
【００４６】図６のロータは、磁性体及び非磁性体から
なる２枚の円板の中心がそれぞれ回転軸に対して偏心し
た位置に設けられ、その偏心位置が回転軸を中心に点対
称の位置に設けられている。すなわち、図６のロータ
は、円板１１ｇが珪素鋼板から構成され、円板１１ｈが
銅板から構成されているか、又は円板１１ｇが銅板から
構成され、円板１１ｈが珪素鋼板から構成されている。
【００４７】図４〜図６のようにロータを構成すること
によって、珪素鋼板に接する１次コイルは磁気抵抗効果
が最も小さく、銅板に接する１次コイルは渦電流損によ
って磁気抵抗効果が最も大きく作用するため、約２倍の
検出感度の出力信号を得ることができるようになる。
【００４８】なお、上述の実施例では、ロータを構成す
るものとして円板を例に説明したが、これに限定される
ものではなく、１次コイルとの間で正弦波状のリラクタ
ンス変化を生じさせるものであればどの様な形状のもの
でもよいことは言うまでもない。例えば、楕円形状、正
弦波形状、又は歯車形状のものであってもよい。また、
このような種々の形状のものを図４〜図６のように適宜
組み合わせてもよい。
【００４９】また、上述の実施例では、１次コイルは空
心の場合について説明したが、ある程度の厚さのもので
なれば、鉄心を設けてもよいことは言うまでもない。さ
らに、上述の実施例では、１次コイルが４極又は６極の
場合について説明したが、これに限定されるものではな
く、３極以上であればロータの回転位置を検出できる。
【００５０】
【発明の効果】 本発明によれば、回転位置検出装置の
回転軸に沿った方向及び回転軸に垂直な方向の寸法を小
さくできるので、回転位置検出装置全体の設置面積及び
設置容量を小さくでき、機械等にも容易に組み込むこと
ができるという効果を有する。また、１次コイルを、所
定の第１の交流信号により励磁される第１の１次コイル
グループおよび前記第１の交流信号とは所定位相のずれ
た第２の交流信号により励磁される第２の１次コイルグ
ループとで構成し、前記第１の１次コイルグループと第
２の１次コイルグループの各交流出力信号は、互いに電
気的位相が９０度ずれており、かつ、一方の振幅値が前
記ロータの回転位置に応じてサイン関数特性を示すのに
対して、他方の振幅値がコサイン関数特性を示すように
出力信号を生じさせ、両１次コイルグループの交流出力
信号を加算することにより、前記ロータの回転位置に応
じた電気的位相ずれを示す交流信号を生成するようにし
たので、簡単なコイル構成でありながら、ロータの回転
位置に応じた正確な電気的位相ずれを示す交流信号を生
成することができ、高精度の回転位置を行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施例である回転位置検出装置を
示す図である。
【図２】 図１の回転位置検出装置に接続される位置セ
ンサ変換装置の一例を示す図である。
【図３】 本発明の他の実施例である回転位置検出装置
を示す図である。
【図４】 本発明に適用可能なロータ形状の変形例を示
す図である。
【図５】 本発明に適用可能なロータ形状の別の変形例
を示す図である。
【図６】 本発明に適用可能なロータ形状のさらに別の
変形例を示す図である。
【図７】 従来の回転位置検出装置の基本構成を示す図
である。
【図８】 従来の回転位置検出装置の別の構成を示す図
である。
【符号の説明】 １Ａ〜１Ｆ…１次コイル、１１ａ…ステータ、１１ｂ…
ロータ、２０…クロック発振器、２１…同期カウンタ、
２２ａ，２２ｂ…ＲＯＭ、２３ａ，２３ｂ…Ｄ／Ａ変換
器、２４ａ，２４ｂ…アンプ、２５…トランス、２６…
差動アンプ、２７…ゼロクロス回路、２８…ラッチ回
路、１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ，１１ｆ，１１ｇ，１１ｈ
…ロータ、７１ａ，８１ａ…ステータ、７１ｂ，８１ｂ
…ロータ

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 所定の第１の交流信号により励磁される
    第１の１次コイルグループおよび前記第１の交流信号と
    は所定位相ずれた第２の交流信号により励磁される第２
    の１次コイルグループと、各 １次コイルの発生する磁束が回転軸方向に沿うように
    前記各１次コイルグループの各１次コイルを円周方向に
    それぞれ独立に配置した板状のステータ部と、 前記１次コイルに対して相対的に変位可能に設けられ、
    この変位位置に伴って前記１次コイルの発生する磁束に
    対する磁気抵抗効果が変化するように構成された板状の
    ロータと、 このロータと前記１次コイルとの間の相対的位置関係に
    よって生じる前記磁気抵抗効果の変化に応じた交流出力
    信号を前記１次コイルから検出するように構成し、前記
    第１の１次コイルグループと第２の１次コイルグループ
    の各交流出力信号は、互いに電気的位相が９０度ずれて
    おり、かつ、一方の振幅値が前記ロータの回転位置に応
    じてサイン関数特性を示すのに対して、他方の振幅値が
    コサイン関数特性を示し、両１次コイルグループの交流
    出力信号を加算することにより、前記ロータの回転位置
    に応じた電気的位相ずれを示す交流信号を生成すること
    を特徴とする回転位置検出装置。
  2. 【請求項２】 前記ロータが回転軸に対して中心の偏心
    した磁性体又は非磁性体の円板で構成されていることを
    特徴とする請求項１に記載の回転位置検出装置。
  3. 【請求項３】 前記ロータが磁性体及び非磁性体からな
    る２枚の円板で構成され、そのうちのいずれか一方の中
    心が回転軸に対して偏心した位置に設けられ、他方の中
    心が回転軸と一致するように設けられていることを特徴
    とする請求項１に記載の回転位置検出装置。
  4. 【請求項４】 前記ロータが磁性体及び非磁性体からな
    る２枚の円板で構成され、その中心位置が回転軸に対し
    て互いに点対称な位置に偏心して設けられていることを
    特徴とする請求項１に記載の回転位置検出装置。
  5. 【請求項５】 前記ロータが特殊形状の円板で構成され
    ていることを特徴とする請求項１に記載の回転位置検出
    装置。
  6. 【請求項６】 前記１次コイルがステータ表面に導体を
    渦巻き状に形成したフィルム状のコイルで構成されてい
    ることを特徴とする請求項１に記載の回転位置検出装
    置。
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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9110698D0 (en) * 1991-05-17 1991-07-10 Radiodetection Ltd Inductive displacement sensors
GB9225971D0 (en) * 1992-12-12 1993-02-10 Penny & Giles Blackwood Ltd Rotary transducer
JP4002308B2 (ja) * 1995-08-10 2007-10-31 株式会社アミテック 誘導型回転位置検出装置
CH690934A5 (fr) * 1996-04-29 2001-02-28 Suisse Electronique Microtech Dispositif de détection de position et de mouvement à variation de champ magnétique.
JP4390348B2 (ja) * 1999-03-15 2009-12-24 株式会社アミテック 回転型位置検出装置
JP4699544B2 (ja) * 1999-03-15 2011-06-15 株式会社アミテック 回転型位置検出装置
JP4503806B2 (ja) * 2000-09-29 2010-07-14 株式会社アミテック 位置検出装置
FR2841978B1 (fr) * 2002-07-02 2005-07-08 Skf Ab Dispositif codeur pour detection de parametres de rotation, palier a roulement instrumente et moteur electrique ainsi equipe
US6756619B2 (en) * 2002-08-26 2004-06-29 Micron Technology, Inc. Semiconductor constructions
JP4044880B2 (ja) * 2003-08-05 2008-02-06 株式会社日立製作所 非接触式角度測定装置
WO2007000952A1 (ja) * 2005-06-26 2007-01-04 Amiteq Co., Ltd. 位置センサ
DE102007037217B4 (de) * 2007-08-07 2023-11-16 Robert Bosch Gmbh Induktive Messeinrichtung zur berührungslosen Erfassung der relativen Drehposition zwischen zwei Körpern mit diametral angeordneten Spulen
US20090102467A1 (en) * 2007-10-22 2009-04-23 Johnson Controls Inc. Method and apparatus for sensing shaft rotation
KR100938597B1 (ko) * 2008-03-25 2010-01-26 주식회사 트루윈 인덕턴스방식 광각 앵글센서의 신호처리기 및 신호처리방법
KR100988573B1 (ko) * 2008-09-22 2010-10-18 주식회사 트루윈 인덕티브형 조향축 광대역 앵글센싱시스템
DE102011085737A1 (de) 2011-11-03 2013-05-08 Continental Teves Ag & Co. Ohg Winkelsensor auf Wirbelstrombasis
US9520229B2 (en) * 2014-02-12 2016-12-13 Hamilton Sundstrand Corporation Rotary transformers for electrical machines
DE102015202732A1 (de) * 2015-02-16 2016-08-18 Robert Bosch Gmbh Sensoranordnung zur Erfassung von Drehwinkeln an einem rotierenden Bauteil in einem Fahrzeug
DE102016203905A1 (de) * 2016-03-10 2017-09-14 Robert Bosch Gmbh Erfassungseinrichtung zum Erfassen eines eine Dosis eines Dosiergeräts repräsentierenden Werts und Verfahren zum Betreiben desselben
CN108151675A (zh) * 2017-11-16 2018-06-12 柳州健鱼科技有限公司 一种基于图像相位相关算法的电机转子位置检测
US11715587B2 (en) * 2019-05-24 2023-08-01 Honeywell International Inc. Rotary variable differential transformer
EP4209758A1 (en) * 2022-01-10 2023-07-12 Renesas Electronics America Inc. Inductive position sensor and method for detecting a movement of a conductive target

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3297940A (en) * 1962-06-01 1967-01-10 Internat Instr Inc Means for reproducing a pattern as a d. c. output
DE2924094A1 (de) * 1979-06-15 1981-01-08 Bosch Gmbh Robert Induktiver weg- und/oder winkelgeber
US4612503A (en) * 1980-10-21 1986-09-16 Kabushiki Kaisha S G Rotation speed detection device having a rotation angle detector of inductive type
EP0182322B1 (en) * 1984-11-20 1991-05-08 Kabushiki Kaisha S.G. Rotational position detection device
US4851770A (en) * 1985-02-11 1989-07-25 Sensor Technologies, Inc. Displacement sensor having dual tank circuits
US4752732A (en) * 1985-03-14 1988-06-21 Baker-Hughes Angular displacement sensor
DE3642678A1 (de) * 1986-12-13 1988-06-16 Bosch Gmbh Robert Messeinrichtung fuer drehwinkel und/oder drehgeschwindigkeit
DE3713304A1 (de) * 1987-04-18 1988-11-03 Heldt & Rossi Servoelektronik Einrichtung zur drehwinkel-positionsbestimmung bei drehantrieben
DE3740800A1 (de) * 1987-12-02 1989-06-15 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur erfassung des wegs oder des drehwinkels
DE4040932A1 (de) * 1990-08-24 1992-02-27 Kloeckner Humboldt Deutz Ag Winkelmessvorrichtung
FR2672987A1 (fr) * 1991-02-19 1992-08-21 Mecanique Magnetique Sa Capteur angulaire, notamment pour machines tournantes a tres grande vitesse de rotation.

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