JPH0264407A - 磁気式絶対位置エンコーダ - Google Patents

磁気式絶対位置エンコーダ

Info

Publication number
JPH0264407A
JPH0264407A JP63215186A JP21518688A JPH0264407A JP H0264407 A JPH0264407 A JP H0264407A JP 63215186 A JP63215186 A JP 63215186A JP 21518688 A JP21518688 A JP 21518688A JP H0264407 A JPH0264407 A JP H0264407A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wave signal
magnetic
sine wave
magnetized
absolute position
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63215186A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeyuki Ushiyama
牛山 重幸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fanuc Corp filed Critical Fanuc Corp
Priority to JP63215186A priority Critical patent/JPH0264407A/ja
Priority to PCT/JP1989/000846 priority patent/WO1990002312A1/ja
Priority to US07/474,027 priority patent/US5115239A/en
Priority to EP19890909429 priority patent/EP0422225A4/en
Publication of JPH0264407A publication Critical patent/JPH0264407A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/243Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the phase or frequency of ac
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24409Interpolation using memories

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は磁気式絶対位置エンコーダに係り、特に工作機
械等を駆動するモータなどの回転軸の回転位nなどを絶
対位置として検出できる磁気式絶対位置エンコーダに関
する。
〈従来技術〉 従来、絶対位置エンコーダとしては、光学式のものが多
く提案されている。光学式の絶対位置エンコーダは、1
回転当りのサイクル数が互いに異なった複数チャンネル
においてそれぞれ正弦波状および余弦波状出力が得られ
るように形成された回転コード板および固定コード板を
有している6各チヤンネルにおける正弦波状および余弦
波状出力は、該回転コード板の位置情報を構成するため
に、それぞれA/D変換器に入力されてデジタルデータ
(A/D変換器出力)に変換される。その後、各チャン
ネルの正弦波状および余弦波状出力に対応するA/D変
換器出力であるデジタルデータは、チャンネル毎に合成
されて角度情報を記憶するROMのアドレス情報として
用いられると共に、該各チャンネルの1波長内に位置情
報が所定数内挿される。なお、各チャンネルにおける正
弦波状ならびに余弦波状出力は、4チヤンネルとすると
1回転当りに1.16,256.・4096サイクル発
生し、それぞれ1λ正弦波、16λ正弦波、256λ正
弦波、4096λ正弦波、ならびに1λ余弦波、16λ
余弦波、256λ余弦波。
4096λ余弦波と表現され、絶対位置を1/216回
転の分解能で検出できる6 以上、例えば特願昭63−132144号(昭和63.
05.30出願)を参照されたい。
〈発明が解決しようとする課題〉 ところで、従来は磁気式絶対位置エンコーダは採用され
ていなかった。以下にその理由を説明する。第6図は磁
気回転センサ(MRセンサ)の構成図であり、図におい
て、61は磁気ドラムであり、微小な多極性を構成する
磁性体62が着磁されている。63は磁気抵抗素子であ
り、磁気ドラム61に近接配置され、磁性体62の着磁
磁束を検出する。
磁気ドラム61は、標準的には直径50mmの非磁性円
筒の側面に磁性塗料を焼付けたもので、ピッチ約120
μmの多極着磁がなされている。
また、磁気抵抗素子63は、ガラス上に形成されたパー
マロイ薄膜パターンの磁気抵抗素子本体と、電気回路を
作るための配線パターンとから構成される。本体パター
ンの形状寸法はドラムの着磁パターンに対応しており、
ドラムの回転量に従った出力信号を得ることができる。
第7図を用いて磁気回転センサの動作原理を説明する。
磁気抵抗素子63は、パターンの長手方向に電流を通ず
る時の電気抵抗値Rが、これと直行する磁界Hが存在す
る時に減少するという特性を有している。このため、磁
気抵抗素子63のパターンを、第7図(a)に示すよう
に、ドラムの着磁パターンに対応させて配置すると、換
言すれば磁気抵抗素子63a、63bを互いにλ/4(
λは着磁パターンのピッチ)の位相をずらして配置する
と、磁気抵抗素子63a、63bの抵抗値が着磁パター
ンの移動に従って交互に小さくなり、第7図(a)に示
す状態では、磁気抵抗素子63aの俸抗値は小となり、
磁気抵抗素子63bの抵抗値は大となる。この結果、第
7図(b)に示す出力端子からはドラムの回転(すなわ
ち着磁パターンの移動)に従って、正弦波状の信号出力
を得ることができる。
実際には、第8図に示すように、互いにλ/8ずれた2
つの第1の磁気抵抗素子63.63に対してそれぞれλ
/4ずれた位置に第2の磁気抵抗素子63’ 、63’
 を配列すると共に、これらをブリッジ状に接続するこ
とによって、必要な正弦波状および余弦波状出力を得る
ようにしている。
上記の磁気回転センサでは磁性体62の着磁ピ、ツチと
磁気抵抗素子63の近接配置ギャップとの間には第9図
に示すように密接な相関関係がある。
なお、図では着磁ピッチ120μmに対して近接配置ギ
ャップの及ぼす影響を示している。すなわち、近接配置
ピッチが着磁ピッチより小さくなる程センサから得られ
る出力の歪が大きくなり、また着磁ピッチより大きくな
る程出力振幅が小さくなり、着磁ピッチにほぼ等しくな
った時に、歪の無い最大出力の正弦波、余弦波が得られ
る。以上から、磁気回転センサを用いて絶対位置エンコ
ーダを作成する場合において、従来の光学式絶対位置エ
ンコーダで採用していたlλ、16λ、256λ、40
96λの正弦波状および余弦波状信号を出力しようとす
ると、各チャンネルの着磁ピッチに差がありすぎて磁気
抵抗素子63(あるいは63′)の近接配置ギャップに
段差を設けなければならず構成上の問題が生じ、また、
磁気的に1回転当り低サイクルの(例えば1サイクル等
)の正弦波、余弦波信号を発生させる構成は技術的に実
現不可能であり、構造の簡単な磁気式による絶対位置エ
ンコーダを得ることができなかった。
以上から本発明の目的は、磁気抵抗素子の近接配置ギャ
ップを均一としたうえで、低サイクルの正弦波、余弦波
信号を発生させることができ、移動体の絶対位置を検出
できる磁気式絶対位置エンコーダを提供することである
〈課題を解決するための手段〉 第1図は本発明の一実施例を示す磁気式絶対位置エンコ
ーダの構成図である。
1は磁気ドラム、2は円柱状の磁気ドラム側面に被着さ
れた磁性体、3は磁性体2が一定極性方向に着磁された
着磁トラック(チャンネル)、4は磁気抵抗素子、5は
位置算出回路である。
〈作用〉 磁気ドラム1の回転軸方向に合わせて磁性体2の着磁極
性の向きを統一すると共に、磁気ドラム1の周方向に該
磁性体2を着磁して構成される着磁トラック3を、所望
とするサイクルの正弦波信号に応じて該回転軸方向に蛇
行させ、この着磁トラック3から磁気抵抗素子4により
正弦波信号Sinθおよび該正弦波信号と90°の位相
差を有する余弦波信号cosθを取り出し、この正弦波
信号sinθ、余弦波信号cosθを用いて位置算出回
路5により1回転内の絶対位置を算出する。
〈実施例〉 第2図は磁気ドラムの着磁方法を説明するための図であ
る。
図において、lは磁気ドラム、2は円柱状の磁気ドラム
側面に被着された磁性体、3は磁性体2が一定極性方向
に着磁された着磁トラック(チャンネル)、6は着磁ヘ
ッドである。
磁気ドラム1は一定速度で回転させられており。
着磁ヘッド6は磁気ドラム1の回転に同期して周方向に
磁性体2をドラム上に着磁してゆく、なお、着磁される
磁性体2の着磁極性は、磁気ドラム1の回転軸方向に合
わせてS、Nの向きが統一されている。また1着磁に際
して着磁ヘッド6は、所望とするサイクル、例えば1回
転当り1サイクルの正弦波信号に応じて回転軸方向に上
下され、このことにより周方向に構成される着磁トラッ
ク3を1サイクル/回転で蛇行させる。
以下、第3図を参照して本発明による正弦波信号出力動
作を説明する。なお、第3図(a)は磁気抵抗素子と着
磁トラックとの位置関係を示す磁気ドラムの展開図、第
3図(b)は同図(a)に示した位置関係での抵抗値の
変化説明図、第3図(c)は磁気抵抗素子の出力波形図
である。
第1図に示した磁気抵抗素子4は、正弦波信号sinθ
を取り出す第1の磁気抵抗素子と、この第1の磁気抵抗
素子から得られる正弦波信号と90°の位相差を有する
余弦波信号cosθを取り出す第2の磁気抵抗素子とを
有している。第3図(a)に示すセンサ4a、4bは第
1の磁気抵抗素子を構成している。前述したように、磁
気抵抗素子は、素子パターンPa 、Pbの長手方向に
電流を通ずる時の電気抵抗値Ra 、Rbが、これと直
行する磁界Hが存在する時に減少するという特性を有し
ている。このため、センサ4a、4bの素子パターンP
a 、Pbを、第3図(a)に示すように磁気ドラム1
の着磁トラック3に対応させて配置すると、センサ4a
、4bの抵抗値Ra 、Rbが着磁トラック3の移動に
従って交互に小さくなる。
すなわち、第3図(b)に示すように、A位置ではセン
サ4aの抵抗値Raは小となり、センサ4bの抵抗値R
bは大となる。また、B位置ではセンサ4aの抵抗値R
aは大となり、センサ4bの抵抗値Rbは小となる。こ
の結果、第3図(c)に示すように出力端子からはドラ
ムの回転(すなわち着磁トラックの蛇行)に従って、正
弦波状の信号出力を得ることができる。
本発明の磁気式絶対位置エンコーダは、磁気ドラム1に
所望とするサイクルの正弦波信号に応じて回転軸方向に
蛇行させた4チヤンネルの着磁トラックが設けられ、第
1着磁トラックCH,から1回転当り1サイクル(1λ
)の正弦波、余弦波信号が、第2着磁トラックCH2か
ら1回転当り16サイクル(16λ)の正弦波、余弦波
信号が。
第2着磁トラックCH2から1回転当り256サイクル
(256λ)の正弦波、余弦波信号が、第2着磁トラッ
クCH2から1回転当り4096サイクル(4096λ
)の正弦波、余弦波信号が得られるように着磁されてい
る。
第4図は第1図に示した位置算出回路の要部ブロック図
である。
第4図には、第2着磁トラックCH2(iλで表され、
1回転当りに1サイクルの正弦波状出力が得られる)に
加えて、第2着磁トラックCH2ないし第4着磁トラッ
クCH4(16λ、256λ、4096λで表される)
が設けられ、これら各着磁トラックからの正弦波信号1
λsin 、 16λsin、256λsin、409
6λsin 、ならびに該各正弦波信号とそれぞれ電気
的に90°位相差を有する余弦波信号1λcos 、 
16λcos 、 256λcos、4096λcos
が入力される場合が示されている。
1工ないし14はそれぞれ正弦波信号1λsinないし
4096λsinを増幅する増幅器、21ないし24は
それぞれ該増幅器11ないし14の出力側に接続さ九た
着磁トラック選択用のアナログスイッチ、16ないし1
9はそれぞれ余弦波信号1λcosないし4096λc
osを増幅する増幅器。
26ないし29はそれぞれ増幅器16ないし19の出力
側に接続された着磁トラック選択用のアナログスイッチ
である。
今、磁気ドラム1の角度情報を検出するに当っては、ま
ずスイッチ21と26とがオンとされる。
これにより磁気抵抗素子3からの正弦波信号4096λ
sinおよび余弦波信号4096λcosは対応する増
幅器11.16で増幅された後、スイッチ21.26を
通過し、それぞれA/D変換器31.32に入力される
。各A/D変換器31,32は入力信号を必要とする分
解能に応じて所定ビットのデジタルデータに変換し、こ
れらのデジタルデータ(いわゆるsinデータXsおよ
びcOSデータXc )をROM41にそのアドレス入
力(例えばロウおよびコラムアドレス入力)として供給
する。ROM41には、指定されたアドレス(アドレス
はsinデータXsおよびcosデータXcによって指
定される)に応じて、jan−” Xs / Xcに適
当な定数を掛けた値が2進数に変換されて記憶されてい
る。
すなわち1例えば金入力された正弦波信号4096λs
inが0.5vであるとし、一方余弦波信号4096λ
cosも0.5Vであるとすると、これら各信号がそれ
ぞれA/D変換器31,32で所定のデジタル量1例え
ばro 100Jに変換される(すなわちROM41に
入力されるsinデータXsおよびcosデータXcが
共にro L OOJとされる)、従って、かかるsj
nデータXsおよびcoqデータXcがアドレス(H号
として入力された場合、対応するアドレスに記憶される
ROMのデータは、jan−’ l = 45°に定数
として1/360を掛けて得られた値(=1/8)を適
当なビット数の2進数、例えば10ビツトの2進数「0
010000000Jに変換したものである。なお、R
OM41から読み取られた10ビツトデータはラッチ回
路51にラッチされる。
次に上記着磁トラック選択用スイッチを21゜26から
22.27に切り換え、その時入力される正弦波信号2
56λsinおよび余弦波信号256λcosを同様に
A/D変換器31.32でデジタルデータに変換し、こ
のようにして得られたSinデータXsおよびcosデ
ータXcを再びROM41のアドレス信号として上記と
同様にして該アドレスに対応するROMの10ビツトデ
ータを読み出し、ラッチ回路52にラッチする。
以下同様にして1着磁トラック選択用スイッチを順次2
3.28.更には24.29へと切り換え、その時人力
される信号16λsin 、 16λc。
S、更には1λsin 、 1λcosをA/D変換し
て得られたsinデータXsおよびcosデータXcを
順次ROM41のアドレス信号としてそのアドレスに対
応するROMのデータを読み出し、その読み出しデータ
の上位4ビツトを順次ラッチ回路53.54にラッチす
る。
このようにして各着磁トラック(この場合CH0〜CH
,の4トラツク)を順次切り換え、各着磁トラックの2
相入力信号(正弦波信号および余弦波信号)を所定のア
ドレス情報として読み出さ九たR OMのデータを順次
ラッチ回路にラッチし、該ラッチ回路のデータを合成す
ることにより。
例えばラッチ回路54にラッチされたデータ(上位側ビ
ットのデータ)からラッチ回路51にラッチされたデー
タ(下位側ビットのデータ)に至る16ビツトのデータ
により該回転コード板の角度情報を検出することができ
、この場合、1回転当りの分割数を2゛6として(すな
わち分解能を2167回転として)、その絶対位置を検
出することができる。
第5図は以上により得られる絶対位置データの説明図で
あり、最下位着磁トラックCM4 (409θλ着磁ト
ラック)における内挿データD4の上位4ビツトの16
進数値をA、、256λ着磁トラックCH□における内
挿データDおの上位上位4ビツトの16進数値をA、、
16λ着磁トラックCH2における内挿データD2の上
位上位4ビツトの16進数値をA2、最上位着磁トラッ
クCH,(]λ着磁トラック)における内挿データD0
の上位上位4ビツトの16進数値をA2とすれば、絶対
位置データは16進表現で A、・16−” + A、・1s” + A、 ;xs
−3+ A、・16−4となる。なお、16進数値A、
i (i = 1〜4)をAi= a 1.”2”+ 
a 1.”2”+ a 11’2”+ a 1゜と2進
表現すると、絶対位置データは alm・2−”+ a、、・2−”+ al、・2−3
+al11・2−’+aB・2−’ + a2ffi・
2−’+ a、、・2−’ + aza”z−” +・
・・・・・拳・・・・・・・・・・・・+a、、・2−
”+ al4・2−”+ al4・2−”+ a4.・
2−1Gとなる。
以上、磁気ドラムを用いて1回転当りの絶対位置を算出
する磁気式絶対位置エンコーダについて説明したが、直
線状に磁性体が着磁された直線磁気部材をセンサに対し
て相対的に移動させ、得られる正弦波および余弦波信号
に基いて所定の直線間隔毎にその間隔内の絶対位置を算
出するように磁気式絶対位置エンコーダを構成すること
もできる。
〈発明の効果〉 以上本発明によれば、磁気ドラムの回転軸方向に合わせ
て磁性体の着磁極性の向きを統一すると共に、磁気ドラ
ムの周方向に該磁性体を着磁して構成される着磁トラッ
クを所望とするサイクルの正弦波信号に応じて該回転軸
方向に蛇行させ、この着磁トラックから磁気抵抗素子に
より正弦波信号および該正弦波信号と90°の位相差を
有する余弦波信号を取り出し、この正弦波信号、余弦波
信号を用いて1回転内の絶対位置を算出するように構成
したから、磁気抵抗素子の近接配置ギャップを均一にし
た構造で、低サイクルの正弦波、余弦波信号を発生させ
ることができ、移動体の絶対位置を検出できる磁気式の
絶対位置エンコーダを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す磁気式絶対位置エンコ
ーダの構成図、 第2図は磁気ドラムの着磁方法を説明するための図。 第3図は本発明による正弦波信号出力動作の説明図。 第4図は第1図に示した位置算出回路の要部ブロック図
。 第5図は絶対位置データの構成説明図、第6図(a)、
(b)は磁気回転センサ(MRセンサ)の構成を示す正
面図および側面図。 第7図(a)、(b)は磁気回転センサの動作原理説明
図。 第8ryUは第1および第2の磁気抵抗素子の配置パタ
ーン説明図。 第9図(a)〜(d)は着磁ピッチと近接配置ギャップ
の関係を示す波形特性図。 1・・磁気ドラム。 2・・磁性体。 3・・着磁トラック(チャ 4・・磁気抵抗素子。 5・・位置算出回路。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)磁性体を着磁させた磁気ドラムを回転させ、得ら
    れる正弦波および余弦波信号に基いて1回転内の絶対位
    置を算出する磁気式絶対位置エンコーダにおいて、 磁気ドラムの回転軸方向に合わせて磁性体の着磁極性の
    向きを統一すると共に、磁気ドラムの周方向に該磁性体
    を着磁して構成される着磁トラックを、所望とするサイ
    クルの正弦波信号に応じて該回転軸方向に蛇行させ、 この着磁トラックから磁気抵抗素子により正弦波信号お
    よび該正弦波信号と90°の位相差を有する余弦波信号
    を取り出し、 この正弦波信号、余弦波信号を用いて1回転内の絶対位
    置を算出することを特徴とする磁気式絶対位置エンコー
    ダ。
  2. (2)磁性体が着磁された直線磁気部材をセンサに対し
    て相対的に移動させ、得られる正弦波および余弦波信号
    に基いて所定の直線間隔毎にその間隔内の絶対位置を算
    出する磁気式絶対位置エンコーダにおいて、 直線磁気部材の移動方向と直行する軸方向に合わせて磁
    性体の着磁極性の向きを統一すると共に、直線磁気部材
    の移動方向に該磁性体を着磁して構成される着磁トラッ
    クを、所望とするサイクルの正弦波信号に応じて該移動
    軸と直行する方向に蛇行させ、 この着磁トラックから磁気抵抗素子により正弦波信号お
    よび該正弦波信号と90°の位相差を有する余弦波信号
    を取り出し、 この正弦波信号、余弦波信号を用いて1直線間隔内の絶
    対位置を算出することを特徴とする磁気式絶対位置エン
    コーダ。
JP63215186A 1988-08-31 1988-08-31 磁気式絶対位置エンコーダ Pending JPH0264407A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63215186A JPH0264407A (ja) 1988-08-31 1988-08-31 磁気式絶対位置エンコーダ
PCT/JP1989/000846 WO1990002312A1 (en) 1988-08-31 1989-08-21 Magnetic absolute position encoder
US07/474,027 US5115239A (en) 1988-08-31 1989-08-21 Magnetic absolute position encoder with an undulating track
EP19890909429 EP0422225A4 (en) 1988-08-31 1989-08-21 Magnetic absolute position encoder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63215186A JPH0264407A (ja) 1988-08-31 1988-08-31 磁気式絶対位置エンコーダ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0264407A true JPH0264407A (ja) 1990-03-05

Family

ID=16668099

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63215186A Pending JPH0264407A (ja) 1988-08-31 1988-08-31 磁気式絶対位置エンコーダ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5115239A (ja)
EP (1) EP0422225A4 (ja)
JP (1) JPH0264407A (ja)
WO (1) WO1990002312A1 (ja)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4129576C2 (de) * 1991-09-06 2001-05-31 Mueller Arnold Gmbh Co Kg Magnetisches Meßsystem zur Drehwinkelmessung
US5502380A (en) * 1994-04-28 1996-03-26 Rosemount Inc. Analog weighted binary absolute position encoder including an array of sense resistors each having material responsive to FWX and nonresponsive to flux
US6188216B1 (en) 1998-05-18 2001-02-13 Cts Corporation Low profile non-contacting position sensor
US6124709A (en) * 1998-06-05 2000-09-26 Cts Corporation Magnetic position sensor having a variable width magnet mounted into a rotating disk and a hall effect sensor
US6323641B1 (en) 1999-05-13 2001-11-27 Cts Corporation Non-contacting position sensor with helical flux linkage
US6404185B1 (en) 1999-06-01 2002-06-11 Cts Corporation Apparatus and method for sensing an angular position of a flux linkage member
US6512222B2 (en) * 2000-02-03 2003-01-28 Mitutoyo Corporation Displacement measuring apparatus
DE10012202C2 (de) * 2000-03-13 2002-11-07 Siemens Ag Einrichtung zur Erfassung von Geschwindigkeit, Bewegungsrichtung und/oder Position eines zu bewegenden Geräteteils
JP3464195B2 (ja) 2000-06-23 2003-11-05 株式会社村田製作所 磁気センサ、磁気センサ装置およびトルクセンサ
DE10124761B4 (de) * 2001-05-21 2004-02-19 Siemens Ag Sensorzeile und Verfahren zur kontaktlosen, linearen Positionsmessung
DE10234744A1 (de) * 2002-07-30 2004-02-19 Elgo-Electric Gmbh Vorrichtung zur Positions-und/oder Längenbestimmung
US7233262B2 (en) * 2003-01-17 2007-06-19 Uchiyama Manufacturing Corp. Magnetizing jig
JP2006525529A (ja) * 2003-05-06 2006-11-09 エスアールアイ インターナショナル ピストンロッド位置情報をピストンロッド上の磁性層に記録するシステム及び方法
CN1297801C (zh) * 2004-08-13 2007-01-31 北京科技大学 一种高分辨率磁编码器磁鼓的制备方法
US7259553B2 (en) 2005-04-13 2007-08-21 Sri International System and method of magnetically sensing position of a moving component
DE102007004647B4 (de) * 2007-01-25 2010-05-20 Lenord, Bauer & Co. Gmbh Verfahren zur präzisen Erfassung der absoluten Winkelposition eines rotierbaren Bauteils
US7786631B2 (en) * 2007-04-05 2010-08-31 Wako Giken Co., Ltd Linear motor
WO2011100412A2 (en) * 2010-02-11 2011-08-18 Sri International Displacement measurement system and method using magnetic encodings
JP6798530B2 (ja) * 2018-02-28 2020-12-09 株式会社デンソー リニアポジションセンサ
EP3803278B1 (de) * 2018-05-25 2023-07-26 Sensitec GmbH Absolutwertgeber
CN117367466B (zh) * 2023-12-05 2024-02-09 宁波伊玛磁业有限公司 一种用于位移测量的磁性编码器及其制作方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2926335A (en) * 1956-03-02 1960-02-23 North American Aviation Inc Electronic direction circuit
GB1137475A (en) * 1966-01-13 1968-12-18 Rosemount Eng Co Ltd Improvements in or relating to radiation responsive devices
JPS54118259A (en) * 1978-03-06 1979-09-13 Nec Corp Angle detector
JPS58154614A (ja) * 1982-03-10 1983-09-14 Hitachi Ltd 磁気式ロ−タリエンコ−ダ
JPS60242565A (ja) * 1984-05-15 1985-12-02 Clarion Co Ltd 磁気記録装置
US4628298A (en) * 1984-06-22 1986-12-09 Bei Motion Systems Company, Inc. Chain code encoder
JP2554465B2 (ja) * 1985-08-09 1996-11-13 株式会社 エスジー アブソリユ−ト位置検出装置
GB2179515B (en) * 1985-08-22 1989-08-02 Muirhead Vactric Components Interpolation method and application thereof to encoders
JPH0665967B2 (ja) * 1985-08-27 1994-08-24 株式会社エスジー アブソリュート回転位置検出装置
CH666122A5 (fr) * 1986-04-10 1988-06-30 Hans Ulrich Meyer Capteur capacitif de position.
JPS63206613A (ja) * 1987-02-24 1988-08-25 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd アブソリユ−ト磁気エンコ−ダ

Also Published As

Publication number Publication date
WO1990002312A1 (en) 1990-03-08
EP0422225A4 (en) 1993-02-24
EP0422225A1 (en) 1991-04-17
US5115239A (en) 1992-05-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0264407A (ja) 磁気式絶対位置エンコーダ
KR900007794B1 (ko) 자기식 회전센서
WO1999013296A1 (fr) Codeur magnetique
US4904937A (en) Apparatus for magnetically detecting positions with minimum length magnetic information units recorded on a plurality of magnetic tracks
JP4352189B2 (ja) 磁気式エンコーダおよび磁気式エンコーダ付モータ
CN111982164A (zh) 多磁道扇区定位离轴绝对值编码器
CA1208329A (en) Transformer-type position transducer
JPS59147213A (ja) 磁気回転センサ
JPH0552583A (ja) 磁気エンコーダ
JPH0549045B2 (ja)
JPH0347690B2 (ja)
JPH0719897A (ja) 磁気エンコーダ
JP2676878B2 (ja) アブソリュートエンコーダ
JPH0326324B2 (ja)
JPH0238922A (ja) 磁気式絶対位置エンコーダ
JPS60233516A (ja) トランスデユ−サ
JPH10122901A (ja) 磁気エンコーダ
JPS62180216A (ja) 磁気エンコ−ダの原点検出装置
JP2979692B2 (ja) 磁気エンコーダ
JPS60196618A (ja) 回転検出器
JPH0352565B2 (ja)
JP3169266B2 (ja) 磁気式位置検出装置
JP2745627B2 (ja) Acサーボモータ用磁気式ロータリエンコーダ
JPH0418777B2 (ja)
JPH05223595A (ja) アブソリュートエンコーダ