JPS6217137U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6217137U JPS6217137U JP10778185U JP10778185U JPS6217137U JP S6217137 U JPS6217137 U JP S6217137U JP 10778185 U JP10778185 U JP 10778185U JP 10778185 U JP10778185 U JP 10778185U JP S6217137 U JPS6217137 U JP S6217137U
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- JP
- Japan
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- separated
- semiconductor device
- integrated semiconductor
- isolation trenches
- elements
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 claims 1
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Landscapes
- Element Separation (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の上面図、第２図は
第１図の―断面図、第３図Ａ乃至Ｄは製造工
程図、第４図は従来技術の説明図である。 １…半絶縁性ＧａＡｓ基板、２…ｎ＋＋型高濃
度不純物層、３…ｎ−型動作層、４…シヨツトキ
電極、５…オーミツク電極、６…分離溝、７…ポ
リイミド、８…第１ビームリード電極、９…リー
ド電極、１０…第２ビームリード電極。
第１図の―断面図、第３図Ａ乃至Ｄは製造工
程図、第４図は従来技術の説明図である。 １…半絶縁性ＧａＡｓ基板、２…ｎ＋＋型高濃
度不純物層、３…ｎ−型動作層、４…シヨツトキ
電極、５…オーミツク電極、６…分離溝、７…ポ
リイミド、８…第１ビームリード電極、９…リー
ド電極、１０…第２ビームリード電極。
Claims (1)
- ｛１００｝面を主表面に、複数の素子が分離溝
によつて分離されて設けられている集積型半導体
装置において、分離溝はほぼ〈０１１〉〈０１１
〉方向に配されケミカルエツチングにより逆メサ
形状に形成されて、前記分離溝の〈０１１〉〈０
１１〉方向に形成されてある素子の分離をなして
いる事を特徴とする集積型半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10778185U JPS6217137U (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10778185U JPS6217137U (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6217137U true JPS6217137U (ja) | 1987-02-02 |
Family
ID=30984374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10778185U Pending JPS6217137U (ja) | 1985-07-15 | 1985-07-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6217137U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58116834A (ja) * | 1980-11-10 | 1983-07-12 | ゼロツクス・コ−ポレ−シヨン | 共用線送信装置 |
| JPS58220537A (ja) * | 1982-06-17 | 1983-12-22 | Kokusai Electric Co Ltd | デ−タ端局の回線監視制御方法 |
| JPS5991527A (ja) * | 1982-11-17 | 1984-05-26 | Hitachi Ltd | バス優先制御方式 |
-
1985
- 1985-07-15 JP JP10778185U patent/JPS6217137U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58116834A (ja) * | 1980-11-10 | 1983-07-12 | ゼロツクス・コ−ポレ−シヨン | 共用線送信装置 |
| JPS58220537A (ja) * | 1982-06-17 | 1983-12-22 | Kokusai Electric Co Ltd | デ−タ端局の回線監視制御方法 |
| JPS5991527A (ja) * | 1982-11-17 | 1984-05-26 | Hitachi Ltd | バス優先制御方式 |
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