JPH11245266A - 樹脂正立等倍レンズアレイおよびその製造方法 - Google Patents

樹脂正立等倍レンズアレイおよびその製造方法

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JPH11245266A JP10355840A JP35584098A JPH11245266A JP H11245266 A JPH11245266 A JP H11245266A JP 10355840 A JP10355840 A JP 10355840A JP 35584098 A JP35584098 A JP 35584098A JP H11245266 A JPH11245266 A JP H11245266A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 射出成型により樹脂正立等倍レンズアレイを
製造する方法を提供する。 【解決手段】 射出成型により作製した２枚のレンズプ
レート５６，５７を、着色スペーサ７０を間に挟んで、
着色スペーサに対し、レンズプレートの凸状の反りが向
くようにし、かつ、２枚のレンズプレートを回転対称に
重ね合わせる。このとき、レンズプレートの嵌合凸部６
０，凹部６２をアライメントのために用いる。２枚のレ
ンズプレートの周辺を、クリップ８０で固定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的には、樹脂
正立等倍レンズアレイおよびその製造方法に関し、より
具体的には２次元画像を空間伝送する装置に利用できる
樹脂正立等倍レンズアレイおよびその製造方法、さらに
は製造に用いる金型の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】複写機，ファクシミリ，プリンタなどに
用いられる正立等倍レンズアレイには、特開昭５５−９
０９０８号公報に開示されている、バーレンズを多数本
配列したブロックを２つ対向して配置したものが既に提
案されている。このようなレンズアレイは、例えば、バ
ーレンズの配置位置に貫通孔があけられたレンズ支持体
を、アクリル樹脂で覆った後、凹球面を有する型を押圧
し、バーレンズの端面を形成している。
【０００３】また、特開昭６４−８８５０２号公報に
は、射出成型により製造された、微小凸レンズを平面的
に規則正しく配列した平面レンズ２枚を、対向して配置
したレンズアレイが開示されている。
【０００４】また、通常のマイクロレンズアレイの製造
方法として、特開昭６０−２９７０３号公報の第８図に
は、窪みをアレイ状に整列した金型を用意し、この金型
上に重合体を堆積して、マイクロレンズアレイを製造す
ることが開示されている。
【０００５】さらに、特開平５−１５０１０２号公報に
は、平板表面に形成したマスク層に、作製するレンズの
個数と同数の円形微細開口を、作製するレンズの位置に
対応して設け、開口部を通して平板表面を部分的に化学
的エッチングした後、マスク層を取除き、更に化学的エ
ッチングを施すことにより母型（マザー）を作製し、こ
のマザーからマイクロレンズアレイ成型のための金型を
得て、この金型にシート状のガラスをプレスして（いわ
ゆる２Ｐ成型法）、片面に微小な凸レンズが密に形成さ
れたマイクロレンズアレイを製造することが開示されて
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】通常の樹脂レンズアレ
イは、アレイ状に並べたターゲットに光束を集光するこ
とを目的としている。従って、レンズピッチ精度は、タ
ーゲット位置精度と同等でなければならない。このよう
なレンズピッチの精度が要求される場合には、２Ｐ成型
法で製造しなければならなかった。
【０００７】樹脂正立等倍レンズアレイは、複写機，フ
ァクシミリ，プリンタなどへの応用から、さらには２次
元の画像を空間に結像させる２次元画像空間伝送装置、
例えばタッチレススイッチなどへの応用が考えられる。
このような２次元画像空間伝送装置のための樹脂正立等
倍レンズアレイでは、３面以上の球面レンズの光軸がそ
ろっていれば、その目的を達成することができる。従っ
て、レンズピッチには、高い精度は要求されない。
【０００８】そこで、本出願の発明者らは、２Ｐ成型法
によらず、射出成型を利用して樹脂正立等倍レンズアレ
イを製造できるのではないかと考え、射出成型を利用す
ることについて鋭意研究を重ねた。
【０００９】発明者らが目指した樹脂正立等倍レンズア
レイは、片面あるいは両面にレンズ径が０．２〜２．０
ｍｍの微小球面レンズが規則的に配列されたレンズプレ
ートを、少なくとも３個の球面レンズが１つの光軸上に
並ぶように、すなわち２枚以上重ね合わせた構造であっ
て、作動距離が１００ｍｍ以下のものである。したがっ
て、樹脂正立等倍レンズアレイを成す光軸方向の球面レ
ンズは、それぞれの光軸を同一とし、かつ複数の光軸は
互いに平行である。
【００１０】前述したように、特開昭６４−８８５０２
号公報には、平面レンズを射出成型により製造すると記
載されているが、具体的な方法は開示されていない。ま
た、特開平５−１５０１０２号公報には、マイクロレン
ズアレイを作製するためのＮｉ金型を作製しているが、
このＮｉ金型は、本願発明が目指す出射成型に用いられ
る金型ではない。また、ガラスマザーを作製する場合
に、クロム膜にピンホールが発生していると、ピンホー
ルを通してガラスがエッチングされ、ピットが形成され
る。このピンホールによるピットは不所望なものであ
り、このようなガラスマザーにより作製される金型は欠
陥を含むことになる。
【００１１】さらに、レンズプレートを射出成型により
作製した場合に、レンズプレートに反りが生じる、さら
には成型収縮が生じる。このような反りおよび成型収縮
のあるレンズプレートを用いて、いかにして画像のゆが
みの無い樹脂正立等倍レンズアレイを組み立てるかが問
題となる。
【００１２】そこで本発明の目的は、射出成型に用いる
欠陥のない金型を作製し、これを用いて射出成型により
樹脂正立等倍レンズアレイを製造する方法を提供するこ
とにある。
【００１３】本発明の他の目的は、このような製造方法
により製造された樹脂正立等倍レンズアレイを提供する
ことにある。
【００１４】本発明のさらに他の目的は、上記樹脂正立
等倍レンズアレイに用いるレンズプレート、およびレン
ズプレートを射出成型により製造する方法を提供するこ
とにある。
【００１５】本発明のさらに他の目的は、このような射
出成型に用いる金型およびその製造方法を提供すること
にある。
【００１６】本発明のさらに他の目的は、このような金
型を製造するためのマザーおよびその製造方法を提供す
ることにある。
【００１７】本発明のさらに他の目的は、このようなマ
ザーを製造するためのマスターおよびその製造方法を提
供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明の樹脂正立等倍レ
ンズアレイによれば、まず、微小球面レンズが規則的に
配列されたレンズプレートを射出成型により作製する際
に用いる金型のマスターを作製する。その作製方法は、
実質的に平行かつ平坦な面を有するガラス基板を準備す
る工程と、前記ガラス基板にエッチング防止膜を形成す
る工程と、前記エッチング防止膜をパターニングし、前
記微小球面レンズに対応する微小開口を規則的に形成す
る工程と、前記パターニングされたエッチング防止膜を
マスクとして、前記ガラス基板を等方性エッチングし
て、前記微小開口の下に、凹状窪みを形成する工程と、
前記パターニングされたエッチング防止膜を剥離する工
程と、前記ガラス基板を、さらに等方性エッチングし
て、前記微小球面レンズに対応する凹状窪みを形成する
工程とを含んでいる。
【００１９】次に、このようにして作製したマスターを
用いて、金型を作製する。その作製方法は、マスターに
離型剤を塗布し、乾燥する工程と、前記マスターの凹状
窪みのある面上に、樹脂を滴下する工程と、前記樹脂を
展開させる工程と、前記樹脂を硬化させる工程と、前記
マスターを離型する工程と、前記硬化樹脂および前記ガ
ラス基板上に、導電膜を形成する工程と、前記導電膜上
に金属を所定の厚さにメッキする工程と、前記メッキさ
れた金属を、前記硬化樹脂および前記ガラス基板から離
型して金型を得る工程とを含んでいる。
【００２０】次に、このような金型を用いてレンズプレ
ートを作製する。その作製方法は、金型２個を、凹状窪
みを有する面が向き合うように対向させ、それぞれをダ
イセットに取り付ける工程と、対向する金型の間に所定
のギャップを設け、前記ギャップに樹脂を注入する工程
と、前記金型を離型して、レンズプレートを取り出す工
程とを含んでいる。
【００２１】次に、このようなレンズプレートを用いて
樹脂正立等倍レンズアレイを作製する。その作製方法
は、凸状の反りを有するレンズプレート２枚を重ね合わ
せる際に、互いに凸側を対向させて重ね合わせるか、あ
るいは凸側が同じ方向に向くように重ね合わせ、かつ、
樹脂が注入された方向を合わせて重ね合わせる工程と、
クリップ固定部をクリップで固定する工程とを含んでい
る。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
【００２３】図１は、ガラスマスターを作製する工程を
示す図である。以下、工程を順を追って説明する。 ［１］ガラスマスターの作製 （ａ）ガラス基板の準備 図１（ａ）に示すように、研磨された実質的に平行かつ
平坦な面をもつガラス基板１０を準備する。このガラス
基板１０には、ソーダライムガラスあるいは石英ガラス
などを用いることができる。この実施の形態では、石英
ガラスを使用する。石英ガラスを使用する理由は、ガラ
ス中に不純物が含まれると、後述するようにフッ化水素
酸溶液中でガラスをエッチングした場合、ガラス中の不
純物が溶液と反応し、フッ化物になり、不水溶性のバリ
ウム，ボロン等のフッ化物は沈殿物を生成して溶液の循
環を阻害し、またガラス面に付着し、形成すべきアレイ
レンズが同一球面でなくなるからである。
【００２４】また、ガラス基板１０の厚さは、１．０ｍ
ｍ以上とするのが望ましい。これは、後述するようにガ
ラス基板裏面に、エッチャントの浸透を阻止してエッチ
ングを防止する膜（以下、エッチング防止膜という）を
形成したとしても、ガラス基板のエッチングで板厚が減
少し、後工程の樹脂との離型作業でガラス板の破損を防
ぐためである。
【００２５】（ｂ）第１のエッチング防止膜形成 次に、図１（ｂ）に示すように、石英ガラス基板１０の
上面に第１のエッチング防止膜として、クロム系膜（ク
ロム，酸化クロムの多層膜）１２を成膜する。クロム系
膜１２の厚さは、１００〜５０００Åとするのが好まし
い。このような厚さとする理由は、ガラス表面の研磨剤
残り，突起，ゴミ，汚れによる膜ピンホールを低減し、
および膜応力によるクラック発生を防止するためであ
る。
【００２６】（ｃ）クロム系膜パターニング 次に、図１（ｃ）に示すように、約２μｍ厚さのフォト
レジスト１４を設け、フォトマスク（図示せず）を経て
露光し、現像してパターニングレジストを形成する。続
いて、反応性イオンエッチングでクロム系膜をエッチン
グし、最終レンズ径によって異なるが、直径が３〜２０
μｍの円形、あるいは最大径が３〜２０μｍの多角形の
開口を形成し、クロム系膜をパターニングする。
【００２７】クロム系膜パターニングに使用したフォト
レジスト１４は、除去するが、第２のエッチング防止膜
としてクロム系膜上に残しておくこともできる。という
のは、フォトレジスト１４を除去し、形成されたクロム
系膜パターンでガラス基板１０をエッチングした場合、
もし、クロム系膜１２にピンホールがあれば、そのピン
ホールによりガラス基板に不所望な凹状窪みが形成され
るからである。フォトレジストを設けたままにしておけ
ば、ピンホールはフォトレジストにより覆われるので、
このような不所望な凹状窪みの形成は防止される。
【００２８】さらに、フォトレジスト１４にピンホール
が存在する場合に、このピンホールによりクロム系膜１
２にピンホールが形成される可能性を低減するために、
さらに次の工程（ｄ），（ｅ）を付加しても良い。
【００２９】（ｄ）第２のエッチング防止膜上にフォト
レジスト塗布 図１（ｄ）に示すように、フォトレジストである第２の
エッチング防止膜１４上に、約２μｍ厚さのフォトレジ
スト（ポジ型）１６を設ける。
【００３０】（ｅ）クロム系膜パターン裏面露光による
レジストパターニング 次に、図１（ｅ）に示すように、フォトレジスト１４に
よってパターニングされたクロム系膜１２をフォトマス
クとして用いて膜裏面よりフォトレジスト１６を露光す
る。もし、フォトレジスト１４にピンホール（≦１μ
ｍ）が発生していれば、前記（ｃ）の工程でクロム系膜
にもピンホールが形成されている。裏面からの光により
クロム系膜のピンホールを経てフォトレジスト１６が露
光されるが、ピンホールの径が小さいので露光領域はフ
ォトレジスト１６の上面までは拡がらない。
【００３１】この状況を図２に示す。図２（ａ）はクロ
ム系膜の正しいパターンに対し裏面より紫外線を照射し
たときにフォトレジスト１６の露光領域１８を示す。露
光領域１８は、フォトレジスト１６の上面まで拡がって
いる。
【００３２】図２（ｂ）は、フォトレジスト１４中に存
在するピンホール２０が原因となって、クロム系膜１２
中にもピンホールが発生している場合に、ピンホールを
通った紫外線によるフォトレジスト１６の露光領域２２
を示す。露光領域２２は、フォトレジスト１６の上面ま
で達していない。
【００３３】露光後、フォトレジスト１６を現像する
と、露光領域１８のフォトレジスト１６は除去される
が、ピンホール２０上のフォトレジスト１６は除去され
ない。したがって図１（ｅ）に示すフォトレジスト１６
のパターニングは、所望の形状であり、次工程におい
て、必要とするパターン以外のガラスエッチングを防ぐ
第３のエッチング防止膜になる。
【００３４】あるいは、工程（ｃ）で形成したフォトレ
ジスト１４を剥離した後、（ｄ），（ｅ）の工程と同様
の工程を付加し、第２のエッチング防止膜を形成しても
問題はない。
【００３５】（ｆ）１回目ガラスエッチング 次に、エッチング防止膜１２，１４，１６を形成したガ
ラス基板をエッチャントとしてフッ化水素酸溶液に浸漬
し、エッチング防止膜に形成した開口よりガラス基板１
０を等方性エッチングし、凹状窪み１７を形成する。
【００３６】エッチング防止膜の開口径を約５μｍと
し、８０分程度のエッチングを行った場合、形成される
凹状窪み径が１５３μｍになった。
【００３７】（ｇ）エッチング防止膜剥離 次に、図１（ｇ）に示すように、エッチング防止膜１
２，１４，１６を剥離する。
【００３８】（ｈ）２回目ガラスエッチング 次に、図１（ｈ）に示すように、凹状窪みが形成された
ガラス基板をフッ化水素酸溶液に浸漬し、ガラス基板を
等方性エッチングする。前記の凹状窪み径１５０μｍが
形成されたガラス基板を４２０分程度、等方性エッチン
グした場合、凹状窪み径は６００μｍ、深さは７４μｍ
程度になった。
【００３９】このとき、ガラスの厚み低下を防ぐため
に、凹状窪みが形成されている面とは反対側の裏面に、
フォトレジスト，金属膜などのエッチング防止膜を設け
ても良い。
【００４０】以上のガラスマスターの製造方法では、ク
ロム系膜には反応性イオンエッチングで微小開口を形成
したが、この方法に限るものではなく、電磁波であるレ
ーザ光を照射し、加熱，蒸発させることによって微小開
口を形成することもできる。
【００４１】電磁波であるレーザ光は位相のそろった平
行光線で、単色光である。レーザ光はこのような性質か
ら、レンズで集光することによって、高いエネルギー密
度が得られる。発振線の波長範囲は約２３００Åの紫外
線から、０．７ｍｍのサブミリ波にわたっており、その
種類も５００本以上ある。
【００４２】一方、物質にはエネルギー（波長）吸収帯
があり、波長吸収帯内の発振波長をもつレーザ光を選択
することにより、物質を加熱することができる（例え
ば、レーザマーカー、レーザメスなど）。したがって、
クロム系膜とガラス基板との波長吸収帯が異なることを
利用し、ガラス基板には損傷がなく、エッチング防止膜
の微小球面レンズに対応する部分にのみ微小開口を形成
することが可能となる。
【００４３】次に、以上のような工程で作製された図１
（ｈ）のガラスマスターを用いて、マザーを作製する工
程を、図３を参照して説明する。なお、金型の金属とし
ては、ＮｉまたはＮｉ合金を用いることができるが、以
下の例では、Ｎｉを用いる場合について説明する。 ［２］マザー作製 （ａ）離型剤塗布および乾燥 図３（ａ）に示すように、ガラスマスター３０を、フッ
素系離型剤３２の入った槽３４に浸漬し、ガラスマスタ
ーの表面に離型剤の単分子層を塗布する。これは、後工
程の離型工程で離型性を良くし、ガラスの破損を防ぐた
めである。離型剤を塗布後、乾燥する。
【００４４】（ｂ）樹脂滴下 次に、図３（ｂ）に示すように、樹脂３６を、ガラスマ
スター３０上に、ディスペンサーにより、泡の巻き込み
がないように滴下する。
【００４５】樹脂３６は、次のような特性のＵＶ硬化樹
脂を用いる。すなわち、硬化収縮率：６％以下、粘度：
１００〜２０００ｃＰ（ａｔ ２５゜）、硬化後硬度：
Ｈ〜５Ｈ、接着強度：５Ｋｇ／６ｍｍφ以上（ガラス／
ガラス，１００μｍ厚）である。
【００４６】ＵＶ硬化樹脂以外では、熱硬化樹脂，２液
性硬化樹脂などを用いることもできる。
【００４７】（ｃ）樹脂展開およびＵＶ硬化 次に、図３（ｃ）に示すように、滴下したＵＶ硬化樹脂
３６展開するために樹脂上にガラス基板３８を上方より
載せる。ガラス基板３８は、平坦度が良く、後述するＮ
ｉメッキ時に発生する応力に変形しないよう、０．３ｍ
ｍ以上の厚さとする。
【００４８】ガラス基板３８を樹脂３６の上から降ろし
ていき、樹脂とガラス基板とが接した後は、圧力をか
け、樹脂展開を行うが、そのときの圧力は、レンズパタ
ーン部以外の樹脂厚みに依存するが、５〜１０μｍ厚の
場合５０〜１００ｋｇ／ｃｍ2程度が望ましい。また、
展開泡巻き込み防止のために、１０μｍ／ｓｅｃ以下の
押圧速度で展開する。
【００４９】次に、樹脂３６を硬化させるために、波長
３００〜４００ｎｍ，エネルギー４０００ｍＪ／ｃｍ2
のＵＶ光にさらした。
【００５０】（ｄ）離型 次に、図３（ｄ）に示すように、ガラスマスター３０
を、周辺を開き、エアーにより離型する。図３（ｅ）に
示すように、マザー４０が得られる。
【００５１】次に、以上のような工程で作製されたマザ
ー４０を用いてＮｉ金型を作製する工程を図４を参照し
て説明する。 ［３］Ｎｉ金型作製 （ａ）導電膜の成膜 図４（ａ）に示すように、マザー４０の樹脂３６上に導
電膜４２を付着させる。導電膜は、例えばＮｉの無電解
メッキで形成することができる。
【００５２】（ｂ）ニッケル金型作製 次に、図４（ｂ）に示すように、導電膜４２上にＮｉメ
ッキを行う。このメッキは、次のように行う。すなわ
ち、図５に示すように、電解液（Ｎｉメッキ液）４４を
ヒータ加熱し、適温に保つ。そして、陽極側に電着（メ
ッキ）させようとするＮｉペレットを、陰極側に被電着
物であるマザー４０を接続する。通電すると陽極側のＮ
ｉが溶けだし、陰極側に析出する。その結果、マザーの
導電膜４２上にＮｉメッキ４６が形成される。Ｎｉメッ
キの厚みは、射出成型時の金型としての剛性を保つため
に、０．３ｍｍ以上にする。
【００５３】（ｃ）離型および外周加工 次に、図４（ｃ）に示すように、Ｎｉメッキ４６を離型
し、離型されたＮｉ金型を射出成型金型として、ダイセ
ットに取り付けるために、面取り，角取り等、外周を加
工する。
【００５４】Ｎｉ金型の作製は、上記の例に限られるも
のではなく、次のようにして作製することができる。す
なわち、ガラスマスター３０の凹状の窪みのある面上に
Ｎｉの無電解メッキで導電膜を形成する。これをマザー
として、前記（ｂ），（ｃ）で説明した工程と同様にし
てＮｉメッキによりＮｉ金型を作製する。
【００５５】次に、以上のような工程で作製された射出
成型金型を用いてレンズプレートを作製する工程を図６
を参照して説明する。 ［４］射出成型 （ａ）金型取り付け 図６（ａ）に示すように、前記工程で作製されたＮｉ金
型２個をパターン面が向き合うように対向させてダイセ
ット（図示せず）にそれぞれ取り付ける。一方の金型５
０は固定し、他方の金型５２は可動に取り付ける。この
場合、表裏芯ズレ公差（パターン面の回転を含む）は±
５０μｍであり、２個の金型間のギャップ公差は±５０
μｍである。これら公差内におさまるように、可動側の
金型５２の取り付け位置を調節する。
【００５６】（ｂ）射出成型 このようにして取り付けられた２個の金型のギャップに
成型樹脂５４を射出注入する。成型樹脂は、アクリル系
樹脂であり、その耐熱，耐温性は適宜選ぶことができ
る。樹脂の温度は、約２５０゜（２５０゜以下が望まし
い。２５０゜を越えると、樹脂が変色するため。）、金
型の温度は約８０゜とする（１００゜以下が望ましい。
１００゜を越えると、金型が変形するため。）。 （ｂ）樹脂の射出注入が終わると、図６（ｂ）に示すよ
うに、金型を離型して、成型されたレンズプレート５６
を取り出す。射出成型の場合、金型通りに成型できるの
はまれであり、レンズプレートはどちらかに凸状に反
る。
【００５７】図７に、射出成型されて作製されたレンズ
プレート５６の一例の平面図を示す。レンズパターン部
は、図示を省略してある。このレンズプレート５６は、
外形寸法が１４０ｍｍ×１１０ｍｍの矩形状であり、こ
の矩形状の領域の中に、径が約６００μｍ、高さが約７
４μｍ、曲率半径が約６４７μｍのレンズが並び、プレ
ート厚みは、約１．７４ｍｍ、レンズ厚（表裏のレンズ
の頂点間の距離）は、約１．８８ｍｍである。プレート
の周縁６箇所に、厚みの薄いクリップ固定部５８が設け
られている。また、片面四隅には、アライメント用の嵌
合凸部６０，嵌合凹部６２がそれぞれ２個ずつ設けられ
ている。これら嵌合凸部，凹部の位置精度は、±１００
μｍである。なお、これらクリップ固定部、嵌合凸部，
凹部は、射出成型時に同時に成型されている。
【００５８】以上の例では、両面に球面レンズが形成さ
れたレンズプレートを射出成型したが、片面のみに球面
レンズを有するレンズプレートと形成する場合には、一
方の金型を、凹状窪みを有さない平坦な金属板とする。
例えば、Ｎｉ板とすることができる。
【００５９】図８は、両面に球面レンズが形成されたレ
ンズプレートにおける球面レンズの配列状態を示す。図
８（ａ）は、レンズプレート６４の面に垂直な方向に、
両面の球面レンズ６５の光軸６６が一致する配列状態を
示す。図８（ｂ）は、レンズプレート６７の面に斜めの
方向に、両面の球面レンズ６５の光軸６８が一致する配
列状態を示す。
【００６０】以上のようにして射出成型されたレンズプ
レートの微小球面レンズのある表面に反射防止膜を設け
るのが好適である。反射防止膜は、例えばスパッタ，蒸
着，浸漬などによってＳｉＯ2 膜を形成することにより
実現される。
【００６１】また、射出成型されたレンズプレートの微
小球面レンズのある表面に吸水防止膜を設けるのが好適
である。吸水防止膜は、例えばＴｉＯ2 ，ＩＴＯなどを
スパッタ，蒸着，浸漬などによって形成することにより
実現される。
【００６２】以上の反射防止膜および吸水防止膜のいず
れも、レンズプレートの材料の屈折率より小さい屈折率
を有することが必要である。
【００６３】次に、レンズプレート２枚を重ね合わせて
レンズアレイを組み立てる工程を説明する。 ［５］組立 レンズプレートの重ね合わせの方法について説明する。
射出成型によりレンズプレートを形成した場合に、およ
び成型収縮を生じることについては既に説明した。
【００６４】反りを矯正して画像のゆがみのない樹脂正
立等倍レンズアレイを組み立てるには、図９（ａ），
（ｂ）にそれぞれ示すように、２枚のレンズプレート６
６，６７を、互いに凸側を対向させて重ね合わせるか、
あるいは凸側が同じ方向に向くように重ね合わせる。凸
側が同じ方向に向くように重ね合わせる場合には、反り
の大きい方のレンズプレートの凸側と他方のレンズプレ
ートの凹側とを対向させて重ね合わせることが重要であ
る。というのは、重ね合わせたときに、レンズプレート
間に空隙ができるのは適切でないからである。
【００６５】重ね合わせた後、後述するようにレンズプ
レートの周辺をクリップで固定することにより反りを矯
正している。
【００６６】また、成型収縮のあるレンズプレートを用
いて、画像のゆがみの無い樹脂正立等倍レンズアレイを
組み立てるには、次の点に注意することが必要である。
すなわち、図１０に示すように、レンズプレートの成型
収縮は、ゲート（図示せず）から樹脂が注入される方向
（矢印Ｃで示す）に対し、ほぼ対称に分布する。すなわ
ち、図１０において樹脂が注入される方向の中心軸をＤ
とした場合に、軸Ｄ（点線で示す）を対称軸としてほぼ
対称に、成型収縮は分布する。図１０には、成型収縮の
方向と量を矢印で示している。
【００６７】このような成型収縮は、成型されたレンズ
プレートについていずれも同程度の収縮量であるため、
２枚のレンズプレートの重ね合わせ方によって、球面レ
ンズの光軸をそろえることができる。
【００６８】今、図６（ｂ）において、同一の金型によ
り成型されたレンズプレートの面を、ゲート側を一致さ
せて重ね合わせる。すなわち、２枚のレンズプレート
は、樹脂の流入方向を合わせて重ね合わせる。このよう
な重ね合わせによれば、成型収縮の影響がなくなり正立
等倍像が得られる。それ以外の重ね合わせでは、成型収
縮の影響により、２枚のレンズプレートの球面レンズの
光軸がずれる結果、画像がゆがみ、正立等倍像が得られ
ない。
【００６９】以上のようにして２枚のレンズプレートを
重ね合わせるが、正立等倍レンズアレイを実現するに
は、３面以上の球面レンズの光軸がそろう必要がある。
したがって２枚のレンズプレートの一方は両面に微小球
面レンズが形成されているものを、他方は少なくとも片
面に微小球面レンズが形成されているものを用いること
になる。したがって、３面以上の微小球面レンズの光軸
をそろえるためには、２枚のレンズプレートのアライメ
ントが重要になる。このために、図７に示したように、
レンズプレートの片面四隅には、アライメント用の嵌合
凸部６０，嵌合凹部６２がそれぞれ２個ずつ設けられて
いる。これら凸部，凹部の嵌合により２枚のレンズプレ
ートのアライメントを行うことができる。
【００７０】図１１に示すように、凸部６０の直径と凹
部６２の内径との間にクリアランスｘを設け、まず凸部
を凹部に嵌合させる粗アライメントを行い、続いて２枚
のレンズプレートの光軸が一致するようにクリアランス
ｘの範囲内で精密アライメントを行うようにしてもよ
い。この場合、クリアランスｘは、微小球面レンズ１個
の範囲内で調整できるように設定される。
【００７１】図１２（ａ）は、重ね合わせされる２枚の
レンズプレート５６，５７を示す。これら各レンズプレ
ートは、微小球面レンズがある領域以外の部分に、微小
球面レンズの高さと同等の隆起部７６が設けられてい
る。隆起部は、レンズ頂点間の距離を調節するためのも
のであり、レンズ頂点間の距離は、レンズ頂点間がレン
ズ径の１／１０以上離れると、画像が劣化するので、レ
ンズ頂点間の距離の調節は、極めて重要である。
【００７２】これらレンズプレートを重ね合わせ、凸部
６０，凹部６２の嵌合によりアライメントした後、図１
２（ｂ）に示すように、サイドよりステンレスまたは鉄
系の材料よりなるクリップ８０を、クリップ固定部５８
に差し込み、図１２（ｃ）に示すようにクリップ８０で
固定する。隆起部７６は、微小球面レンズの高さと同等
であるので、微小球面レンズの頂点近傍同士が接触する
こととなる。
【００７３】次に、２枚のレンズプレート５６，５７を
重ね合わせるときに、間に着色スペーサを介在させる例
について説明する。
【００７４】図１３（ａ）に示すように、２枚のレンズ
プレート５６，５７を、金属または樹脂よりなる着色ス
ペーサ７０を介在させて重ね合わせる。着色スペーサ７
０は、レンズプレートの球面レンズに対応した開口７２
および嵌合凸部に対応した開口７４が設けられている。
この着色スペーサの目的は、（１）球面レンズ外を通過
する迷光を遮断する、（２）レンズプレート間の距離
を、その厚みで保持することにより、レンズ頂点間の距
離を調整する、（３）レンズプレートの反りの矯正に寄
与する、（４）２枚のレンズプレートの調芯を行うこと
にある。着色スペーサの厚みは、球面レンズ高さ×２に
同等である。色彩は、黒色艶消しとした。
【００７５】２枚のレンズプレート５６，５７は、上記
した着色スペーサ７０を間に挟んで、凸部６０を凹部６
２に嵌合させて、アライメントを行う。次に図１０
（ｂ）に示すように、サイドよりクリップ８０で固定す
る。クリップで固定することにより、２枚のレンズプレ
ートの対向する微小球面レンズの頂点間の間隔が一定に
保たれる。
【００７６】さらに、着色スペーサの厚みが、微小球面
レンズの高さの２倍よりも薄い場合、レンズプレートの
周縁をクリップ固定すると、２枚のレンズプレートの対
向した微小球面レンズ高さよりも、着色スペーサを介し
た２枚のレンズプレートの周縁の間隔の方が狭くなるた
め、２枚のレンズプレートの対向した微小球面レンズ領
域の最外周同士が支点となり、２枚のレンズプレートの
対向した微小球面レンズ領域の中心付近の２枚のレンズ
プレートの対向する微小球面レンズの頂点間の間隔が一
定に保たれなくなる。したがって、着色スペーサ厚みを
含めた、対向する２枚のレンズプレートの周縁の間隔が
対向する微小球面レンズの高さの２倍程度になるよう
に、レンズプレートの周縁に隆起部を設けてその高さを
調整することが重要である。
【００７７】このような着色スペーサが樹脂レンズプレ
ート間にあると、着色スペーサと樹脂レンズプレートと
の熱膨張率が異なるので、着色スペーサと樹脂レンズプ
レートとの間に熱膨張係数差による応力が発生する。こ
のような応力の発生は、微小球面レンズの光軸にずれを
生じさせるので望ましくない。したがって着色スペーサ
の熱膨張係数を次式を満たすように選定することが重要
である。すなわち、レンズプレート材料の熱膨張係数を
α１、着色スペーサ材料の熱膨張係数をα２、レンズプ
レートのレンズ領域の長辺方向の距離をＬ、レンズの最
短ピッチをＰ、および使用温度範囲をＴとしたとき、 α２≦α１＋０．５×Ｐ／（Ｔ×Ｌ） である。ここで係数０．５は、レンズ領域の長辺方向の
一端での微小球面レンズの光軸と着色スペーサの開口の
中心が一致し、レンズ領域の長辺方向の他端での微小球
面レンズの光軸と着色スペーサの開口の中心とのずれを
半ピッチ以下にするための係数である。
【００７８】例えば、レンズプレートの熱膨張係数α１
＝７×１０-5（アクリル）、長辺方向長さＬ＝１２０ｍ
ｍ、レンズピッチＰ＝０．６ｍｍ、使用温度範囲Ｔ＝３
０℃とすると、着色スペーサの熱膨張係数はα２≦１．
５３×１０-4の材料を選定できる。一例としてステンレ
ス（α１≦１．２８×１０-6）を用いることができる。
【００７９】以上はクリップのみによる固定であった
が、接着剤と併用してもよい。この場合には、嵌合凹部
に接着剤（溶剤でも可）を流し込む。そして、これら嵌
合凸部，凹部を嵌合させて、アライメントを行い、嵌合
凸部および嵌合凹部の表面を押し、２枚のレンズプレー
トを仮固定する。サイドよりクリップ８０を、クリップ
固定部１８に差し込み、クリップ８０で固定する。この
ように、クリップと接着剤とを併用して固定することも
可能であるが、この場合には、レンズプレートと着色ス
ペーサとは接着しないようにすることが必要である。
【００８０】以上に、本発明の実施の形態を説明した
が、本発明は上述した実施の形態に限定されるものでは
なく、当業者であれば本発明の範囲内で種々の変形，変
更が可能なことは明らかであろう。
【００８１】
【発明の効果】本発明によれば、樹脂正立等倍レンズア
レイを、射出成型によりレンズプレートを作製し、２個
のレンズプレートを組み立てることにより、極めて簡単
に一定品質のものを安価に製造することが可能となっ
た。
【００８２】図１４は、本発明により製造された樹脂正
立等倍レンズアレイ８２により、物像画面像を、空間伝
送し、空間上に画像を結像した状態を示す。Ｌは、空間
距離である。
【００８３】図１５に、空間距離Ｌを１０〜１００ｍｍ
の範囲内で１０ｍｍ単位で変化させ、そのときの樹脂正
立等倍レンズアレイの光学特性であるＭＴＦ（Ｍｏｄｕ
ｌａｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）
を、空間周波数１Ｌｐ／ｍｍの矩形波で測定した実測値
を示す。ＭＦＦ２０％は、人間の感知できる限界であ
る。レンズ径が０．３〜１．０ｍｍで、空間距離２０〜
１００ｍｍの樹脂正立等倍レンズアレイは、良好なＭＴ
Ｆ値が得られていることがわかる。このように、本発明
の樹脂正立等倍レンズアレイによれば、画質の良い像面
画像が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ガラスマスター・マザーを作製する工程を示す
図である。
【図２】ピンホールを説明するための図である。
【図３】マザーを作製する工程を示す図である。
【図４】マザーを用いてＮｉ金型を作製する工程を示す
図である。
【図５】Ｎｉメッキの方法を説明するための図である。
【図６】射出成型金型を用いてレンズプレートを作製す
る工程を示す図である。
【図７】射出成型されて作製されたレンズプレートの平
面図である。
【図８】微小球面レンズの配列状態を示す図である。
【図９】レンズプレートの重ね合わせの方法を説明す
る。
【図１０】レンズプレートの成型収縮を説明する図であ
る。
【図１１】嵌合凹部と嵌合凸部のクリアランスを説明す
る図である。
【図１２】レンズプレート２枚を重ねてレンズアレイを
組み立てる工程を示す図である。
【図１３】着色プレートを介在させレンズプレート２枚
を重ねてレンズアレイを組み立てる工程を示す図であ
る。
【図１４】樹脂正立等倍レンズアレイによる画像の空間
伝送を示す図である。
【図１５】本発明による樹脂正立等倍レンズアレイのＭ
ＴＦ特性を示すグラフである。
【符号の説明】
１０ 石英ガラス基板 １２ クロム膜 １４ 第１のフォトレジスト １６ 第２のフォトレジスト １７ 凹状窪み １８，２２ 露光領域 ２０ ピンホール ３０ ガラスエッチング凹板 ３２ 離型剤 ３４ 槽 ３６ 樹脂 ３８ ガラス基板 ４０ Ｎｉマザー ４２ 導電膜 ４４ 電解液 ４６ ニッケルメッキ ５０，５２ 金型 ５４ 成型樹脂 ５６，５７ レンズプレート ５８ クリップ固定部 ７０ 着色スペーサ ７２，７４ 開口 ７６ 隆起部 ８０ クリップ ８２ 樹脂正立等倍レンズアレイ

Claims (31)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】微小球面レンズが規則的に配列されたレン
    ズプレートを射出成型により作製する際に用いる金型の
    マスターを製造する方法において、 平行かつ平坦な面を有するガラス基板を準備する工程
    と、 前記ガラス基板の表面にエッチング防止膜を形成する工
    程と、 前記微小球面レンズに対応する微小開口を前記エッチン
    グ防止膜に規則的に形成する工程と、 前記エッチング防止膜をマスクとして、前記ガラス基板
    を等方性エッチングして、前記微小開口の下に凹状窪み
    を形成する工程と、 前記エッチング防止膜を剥離する工程と、 前記ガラス基板をさらに等方性エッチングして、前記微
    小球面レンズに対応する凹状窪みを形成する工程と、を
    含むことを特徴とする金型のマスターの製造方法。
  2. 【請求項２】前記微小開口を前記エッチング防止膜に規
    則的に形成する工程は、前記エッチング防止膜の前記微
    小球面レンズに対応する部分に電磁波を照射し、前記部
    分を加熱，蒸発させることにより行うことを特徴とする
    請求項１記載の金型のマスターの製造方法。
  3. 【請求項３】微小球面レンズが規則的に配列されたレン
    ズプレートを射出成型により作製する際に用いる金型の
    マスターを製造する方法において、 平行かつ平坦な面を有するガラス基板を準備する工程
    と、 前記ガラス基板に金属膜を形成する工程と、 前記金属膜上にフォトレジストを形成する工程と、 前記フォトレジストをパターニングする工程と、 前記パターニングされたフォトレジストをマスクとし
    て、前記金属膜をエッチングし、前記微小球面レンズに
    対応する微小開口を規則的に形成する工程と、 前記フォトレジストを剥離する工程と、 前記金属膜をマスクとして、前記ガラス基板を等方性エ
    ッチングして、前記微小開口の下に、凹状窪みを形成す
    る工程と、 前記金属膜を剥離する工程と、 前記ガラス基板を、さらに等方性エッチングして、前記
    微小球面レンズに対応する凹状窪みを形成する工程と、
    を含むことを特徴とする金型のマスターの製造方法。
  4. 【請求項４】微小球面レンズが規則的に配列されたレン
    ズプレートを射出成型により作製する際に用いる金型の
    マスターを製造する方法において、 平行かつ平坦な面を有するガラス基板を準備する工程
    と、 前記ガラス基板に金属膜を形成する工程と、 前記金属膜上にフォトレジストを形成する工程と、 前記フォトレジストをパターニングする工程と、 前記パターニングされたフォトレジストをマスクとし
    て、前記金属膜をエッチングし、前記微小球面レンズに
    対応する微小開口を規則的に形成する工程と、 前記フォトレジストが上部に積層された前記金属膜をマ
    スクとして、前記ガラス基板を等方性エッチングして、
    前記微小開口の下に、凹状窪みを形成する工程と、 前記フォトレジストと前記金属膜とを剥離する工程と、 前記ガラス基板を、さらに等方性エッチングして、前記
    微小球面レンズに対応する凹状窪みを形成する工程と、
    を含むことを特徴とする金型のマスターの製造方法。
  5. 【請求項５】微小球面レンズが規則的に配列されたレン
    ズプレートを射出成型により作製する際に用いる金型の
    マスターを製造する方法において、 平行かつ平坦な面を有するガラス基板を準備する工程
    と、 前記ガラス基板に金属膜を形成する工程と、 前記金属膜上に第１のフォトレジストを形成する工程
    と、 前記第１のフォトレジストをパターニングする工程と、 前記パターニングされた第１のフォトレジストをマスク
    として、前記金属膜をエッチングし、前記微小球面レン
    ズに対応する微小開口を規則的に形成する工程と、 前記第１のフォトレジストを剥離する工程と、 さらに第２のフォトレジストを形成する工程と、 前記ガラス基板側から光を照射して、前記金属膜の微小
    開口を通して、前記第２のフォトレジストを露光する工
    程と、 前記露光された第２のフォトレジスト部分を現像して除
    去する工程と、 前記第２のフォトレジストが上部に積層された前記金属
    膜をマスクとして、前記ガラス基板を等方性エッチング
    して、前記微小開口の下に、凹状窪みを形成する工程
    と、 前記第２のフォトレジストと前記金属膜とを剥離する工
    程と、 前記ガラス基板を、さらに等方性エッチングして、前記
    微小球面レンズに対応する凹状窪みを形成する工程と、
    を含むことを特徴とする金型のマスターの製造方法。
  6. 【請求項６】微小球面レンズが規則的に配列されたレン
    ズプレートを射出成型により作製する際に用いる金型の
    マスターを製造する方法において、 平行かつ平坦な面を有するガラス基板を準備する工程
    と、 前記ガラス基板に金属膜を形成する工程と、 前記金属膜上に第１のフォトレジストを形成する工程
    と、 前記第１のフォトレジストをパターニングする工程と、 前記パターニングされた第１のフォトレジストをマスク
    として、前記金属膜をエッチングし、前記微小球面レン
    ズに対応する微小開口を規則的に形成する工程と、 さらに第２のフォトレジストを形成する工程と、 前記ガラス基板側から光を照射して、前記金属膜の微小
    開口を通して、前記第２のフォトレジストを露光する工
    程と、 前記露光された第２のフォトレジスト部分を現像して除
    去する工程と、 前記第１および第２のフォトレジストが上部に積層され
    た前記金属膜をマスクとして、前記ガラス基板を等方性
    エッチングして、前記微小開口の下に、凹状窪みを形成
    する工程と、 前記第１および第２のフォトレジストと、前記金属膜と
    を剥離する工程と、 前記ガラス基板を、さらに等方性エッチングして、前記
    微小球面レンズに対応する凹状窪みを形成する工程と、
    を含むことを特徴とする金型のマスターの製造方法。
  7. 【請求項７】２回目の前記等方性エッチングを行う前
    に、前記ガラス基板の裏面にエッチング防止膜を形成す
    る工程をさらに含むことを特徴とする請求項１〜６のい
    ずれかに記載の金型のマスターの製造方法。
  8. 【請求項８】請求項１〜７のいずれかに記載の製造方法
    により製造された、微小球面レンズが規則的に配列され
    たレンズプレートを射出成型により作製する際に用いる
    金型のマスター。
  9. 【請求項９】請求項１〜８のいずれかに記載の製造方法
    により製造されたマスターに離型剤を塗布し、乾燥する
    工程と、 前記マスターの凹状窪みのある面上に、樹脂を滴下する
    工程と、 前記樹脂上に平行かつ平坦な面を有するガラス基板を押
    圧し、樹脂を展開させる工程と、 前記樹脂を硬化させる工程と、 前記マスターを離型する工程と、 前記硬化された樹脂上に、導電膜を形成する工程と、 前記導電膜上に金属を所定の厚さにメッキする工程と、 前記メッキされた金属を、前記硬化樹脂から離型して金
    型を得る工程と、を含むことを特徴とする金型の製造方
    法。
  10. 【請求項１０】請求項１〜８のいずれかに記載の製造方
    法により製造されたマスターの凹状窪みのある面上に導
    電膜を形成する工程と、 前記導電膜上に金属を所定の厚さにメッキする工程と、 前記メッキされた金属を、前記マスターから離型してマ
    ザーを得る工程と、 前記マザーに離型層を成膜し、その上に金属を所定の厚
    さにメッキする工程と、 前記メッキされた金属を、前記マザーから離型して金型
    を得る工程と、を含むことを特徴とする金型の製造方
    法。
  11. 【請求項１１】請求項９または１０の製造方法により製
    造された、微小球面レンズが規則的に配列されたレンズ
    プレートを射出成型により作製する際に用いる金型。
  12. 【請求項１２】請求項９または１０の製造方法により製
    造された金型１個と、凹状窪みを有しない平坦な金型と
    を、凹状窪みと平坦な面とが向き合うように対向させ、
    それぞれをダイセットに取り付ける工程と、 対向する金型の間に所定のギャップを設け、前記ギャッ
    プに樹脂を注入する工程と、 前記金型を離型して、レンズプレートを取り出す工程
    と、を含むことを特徴とする両面に微小球面レンズが規
    則的に配列されたレンズプレートの製造方法。
  13. 【請求項１３】請求項９または１０の製造方法により製
    造された金型２個を、凹状窪みを有する面が向き合うよ
    うに対向させ、それぞれをダイセットに取り付ける工程
    と、 対向する金型の間に所定のギャップを設け、前記ギャッ
    プに樹脂を注入する工程と、 前記金型を離型して、レンズプレートを取り出す工程
    と、を含むことを特徴とする両面に微小球面レンズが規
    則的に配列されたレンズプレートの製造方法。
  14. 【請求項１４】請求項１２または１３に記載の製造方法
    により製造された、少なくとも片面に微小球面レンズが
    規則的に配列されたレンズプレート。
  15. 【請求項１５】微小球面レンズのある表面に反射防止膜
    を有することを特徴とする請求項１４記載のレンズプレ
    ート。
  16. 【請求項１６】微小球面レンズのある表面に吸水防止膜
    を有することを特徴とする請求項１４記載のレンズプレ
    ート。
  17. 【請求項１７】前記微小球面レンズがある領域以外の部
    分に、アライメント用の嵌合凸部，嵌合凹部をそれぞれ
    少なくとも２個有することを特徴とする請求項１４〜１
    ６のいずれかに記載のレンズプレート。
  18. 【請求項１８】前記微小球面レンズがある領域以外の部
    分に、前記微小球面レンズの高さ以下の隆起部を有する
    ことを特徴とする請求項１４〜１７のいずれかに記載の
    レンズプレート。
  19. 【請求項１９】周縁にクリップ固定部を有することを特
    徴とする請求項１４〜１８のいずれかに記載のレンズプ
    レート。
  20. 【請求項２０】請求項１４〜１９のいずれかに記載のレ
    ンズプレートであって、凸状の反りを有するレンズプレ
    ート２枚を重ね合わせる際に、互いに凸側を対向させて
    重ね合わせるか、あるいは反りの大きい方のレンズプレ
    ートの凸側と他方のレンズプレートの凹側とを対向させ
    て重ね合わせることを特徴とする樹脂正立等倍レンズア
    レイの製造方法。
  21. 【請求項２１】前記凸状の反りに加えて、さらに、樹脂
    が注入された方向にほぼ対称に分布する成型収縮を有す
    るレンズプレート２枚を重ねる際に、前記２枚のレンズ
    プレートが、光学的に前記成型収縮の影響を受けないよ
    うにするために、前記樹脂が注入された方向を合わせて
    重ね合わせることを特徴とする請求項２０記載の樹脂正
    立等倍レンズアレイの製造方法。
  22. 【請求項２２】前記２枚のレンズレンズプレートを重ね
    合わせる際に、２枚のレンズプレートの間に、前記微小
    球面レンズに対応した開口を規則的に有する着色スペー
    サを介在させて、重ね合わせることを特徴とする請求項
    ２０または２１記載の樹脂正立等倍レンズアレイの製造
    方法。
  23. 【請求項２３】前記着色スペーサは、前記レンズプレー
    トの材料の熱膨張係数をα１、前記レンズプレートの前
    記微小球面レンズがある領域の長辺方向の距離をＬ、前
    記配列された微小球面レンズの最短ピッチをＰ、および
    使用温度範囲をＴとしたとき、 α２≦α１＋０．５×Ｐ／（Ｔ×Ｌ） を満たす熱膨張係数α２の材料よりなることを特徴とす
    る請求項２２記載の樹脂正立等倍レンズアレイの製造方
    法。
  24. 【請求項２４】前記２枚のレンズプレート間の対向する
    前記微小球面レンズの頂点近傍同士を接触させるか、前
    記２枚のレンズプレートの対向する前記微小球面レンズ
    の頂点間に一定の距離を設けることを特徴とする請求項
    ２０〜２３のいずれかに記載の樹脂正立等倍レンズアレ
    イの製造方法。
  25. 【請求項２５】前記２枚のレンズプレートの対応する各
    微小球面レンズの光軸は、レンズプレートの面に垂直な
    方向に一致させることを特徴とする請求項２０〜２４の
    いずれかに記載の樹脂正立等倍レンズアレイの製造方
    法。
  26. 【請求項２６】前記２枚のレンズプレートの対応する各
    微小球面レンズの光軸は、レンズプレートの面に斜めの
    方向に一致させることを特徴とする請求項２０〜２４の
    いずれかに記載の樹脂正立等倍レンズアレイの製造方
    法。
  27. 【請求項２７】一方のレンズプレートの前記嵌合凹部に
    他方のレンズプレートの前記嵌合凹部を嵌合させて、２
    枚のレンズプレートをアライメントすることを特徴とす
    る請求項２０〜２６のいずれかに記載の樹脂正立等倍レ
    ンズアレイの製造方法。
  28. 【請求項２８】前記嵌合凹部の寸法と前記嵌合凸部の寸
    法との間にクリアランスを設け、前記凹部に前記凸部を
    勘合させて、２枚のレンズプレートの粗アライメントを
    行った後、精密アライメントを行うことを特徴とする請
    求項２０〜２６のいずれかに記載の樹脂正立等倍レンズ
    アレイの製造方法。
  29. 【請求項２９】前記重ね合わされてアライメントされた
    前記２枚のレンズプレートの周縁に設けられた前記クリ
    ップ固定部を、クリップで固定することを特徴とする請
    求項２７または２８記載の樹脂正立等倍レンズアレイの
    製造方法。
  30. 【請求項３０】前記２枚のレンズプレートの前記微小球
    面レンズがある領域以外の部分を接着剤で接着すること
    を特徴とする請求項２９記載の樹脂正立等倍レンズアレ
    イの製造方法。
  31. 【請求項３１】請求項２０〜２９のいずれかの製造方法
    により製造された樹脂正立等倍レンズアレイ。
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