JPH11194369A - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
液晶表示装置及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH11194369A JPH11194369A JP10296928A JP29692898A JPH11194369A JP H11194369 A JPH11194369 A JP H11194369A JP 10296928 A JP10296928 A JP 10296928A JP 29692898 A JP29692898 A JP 29692898A JP H11194369 A JPH11194369 A JP H11194369A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line
- gate
- liquid crystal
- data line
- crystal display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136259—Repairing; Defects
- G02F1/136263—Line defects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
を低減することができる補助修理線構造を実現すること
にある。 【解決手段】 透明な絶縁基板と、前記絶縁基板上に第
1方向に形成されているゲート線と、前記ゲート線と同
一層に同一物質で第2方向に形成されており、前記ゲー
ト線を境界として分離された多数の部分からなる補助修
理線と、前記ゲート線及び前記補助修理線を覆う第1絶
縁層と、前記補助修理線に沿って前記第1絶縁層上に第
2方向に形成されているデータ線とを含む。
Description
の製造方法に関する。
は走査信号が伝達される多数のゲート線と、画素信号が
伝達されてゲート線と交差する多数のデータ線と、ゲー
ト線とデータ線とが交差する部分によって定義づけられ
る画素領域とその内に形成されている薄膜トランジスタ
とを含む。このような薄膜トランジスタ液晶表示装置
は、薄膜を一層ずつ積むことで形成されるが、いくつか
の膜が重なる部分では部分的な膜の切断が起きる。
とデータ線とが交差する部分のみにデータ線を二重化す
るか、データ線パターンに沿ってその上部または下部に
別途の金属を装着してパターニングすることで補助修理
線をさらに形成してデータ線を二重化することにより、
データ線が切れるなどの不都合を減少させている。
場合、ゲート線とデータ線とが交差する部分以外でデー
タ線が断線する場合に別途の修理線を使って修理しなく
てはならない。また、この修理の過程でレーザ接合工程
が必要となり、高精密な表示装置にそのような工程を適
用することが困難である。
するために別途の金属を装着してパターニングしなくて
はならず、補助修理線とデータ線を連結するための絶縁
膜エッチング工程がさらに追加されるという面倒さがあ
る。
内にゲート線を二重とする二重ゲート方式の液晶表示装
置が使用される場合もある。二重ゲート構造を有する液
晶表示装置は、互いに平行な二重ゲート線及び二重ゲー
ト線を連結する連結部からなる。データ線の断線を修理
する役割を果たす補助線が連結部と平行に形成されてお
り、補助線上部にはデータ線が重畳している。補助線と
データ線とは電気的に連結されているため、データ線が
断線する場合に補助線を通じてデータ信号が伝達され
る。
く形成されるので、データ線と連結部との間の容量カッ
プリングが増加してデータ線における信号遅延が増加
し、導電性粒子によって連結部と補助線とが連結される
可能性が高くなってゲート線とデータ線とが電気的に連
結されるという致命的な不良が生じる。
その目的は、工程を追加することなく、データ線断線不
良を低減することができる補助修理線構造を実現するこ
とにある。
光遮断膜に代用して開口率を向上することにある。
ける信号遅延の増加及びデータ線とゲート線との短絡に
影響を及ぼさない二重ゲート配線構造を実現することに
ある。
は配線構造における開口率の減少を防ぐことにある。
に、本発明による液晶表示装置においては、ゲート線と
同一物質で同一層にデータ線を補助するための修理線が
形成されており、この修理線はゲート線の間に分離され
た形態に位置する。データ線は修理線を覆っている絶縁
層上に形成されてゲート線と交差している。
線を保存するための修理線がゲート線と同一物質で同一
層に形成されており、ゲート線を境界にして分離された
多数の部分に分けられており、画素電極と重畳するよう
に形成されている。
されているため、データ線が断線しても信号の通路とな
ることができる。
成される修理線は、画素電極の端縁におけるフリンジフ
ィールドによる光漏洩領域を覆う。修理線の幅はデータ
線の幅より広く形成することができる。
に形成することもでき、この場合においていずれかが断
線すれば他方に信号が流れる。
の連結手段を通じて間接的に連結されることができる。
からなる透明導電層が連結手段の役割を果たすようにす
ることができる。この時、透明導電層はゲート線両側に
位置した二つの修理線及びデータ線に連結される。ま
た、前者の場合にもデータ線とゲート線との交差点の両
側に位置する部分のデータ線と連結される透明導電層を
さらにおいて、交差点でデータ線が断線される場合にこ
の透明導電層が信号の通路となるようにすることができ
る。
幅に現われる捩じれたネマチックまたは垂直配向方式に
おいては画素電極が修理線と重畳する幅を左右で異なっ
て形成することができる。さらに、画素電極の上下端縁
がゲート線と重畳するように形成することもできる。
理線またはゲート線が、画素電極の端縁で現われる漏洩
光を遮断することができるため、上部の対向基板に別途
の光遮断膜を形成する必要がないので開口率が増加す
る。
配線を形成する過程で修理線を形成し、透明画素電極を
形成する過程で透明導電連結パターンを形成することに
よって実現することができる。このように、データ線の
断線欠陥を修理するための補助修理線や連結パターンを
追加工程なしで作れることで、工程を単純化することが
できる。
を有する本発明の他の実施形態においては、二重ゲート
線を連結する縦方向の連結部が、二重ゲート線とデータ
線によって定義される画素領域の中間を横切るように形
成されている。このように、連結部がデータ線及び補助
線と遠く離れた画素領域の中間に位置するため、データ
信号の影響を小さく受け、導電汚染粒子などによって補
助線と連結される可能性が低い。
は、画素領域ごとに形成されておらず、一部の画素領域
に形成される場合もある。この時、連結部が形成されて
いない画素領域の一側ゲート線には、突出部を形成して
画素電極と重畳する面積を増加させることができる。
に任意に配置されるようにし、連結部が形成されている
画素より連結部が形成されていない画素の数が多いこと
が好ましい。連結部が形成されている画素と連結部が形
成されていない画素との個数の比は1:3以上であるこ
とが好ましい。
の下部に形成し、連結部が形成されていない画素領域の
データ線の下部には補助線を置くこともできるが、この
場合にはゲート連結部が補助線より小さい比率で形成す
ることが好ましく、その比率は1:10であることが好
ましい。
に連結する連結手段をさらに含むこともでき、この連結
手段は透明導電層で形成することもできる。このよう
に、連結部がデータ線の下部に置かれると開口率の減少
を抑制することができる。
図面に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の第1
実施形態によるデータ補助修理線を有する液晶表示装置
の配線図であり、図2及び図3は図1のII−II′及びII
I−III′による断面図であって、補助修理線がアルミニ
ウムなどのゲート配線用金属であり、データ線下部にデ
ータ線とゲート線との交差部まで形成されており、デー
タ線とゲート線との交差部ではITO(indium-tin-oxid
e)にて連結されている構造を現す。
を伝達するゲート線100が形成されており、縦方向に
は補助修理線110、120が長く形成されているが、
この補助修理線110、120はゲート線100と連結
されないようにゲート線100付近で切れている。すな
わち、ゲート線100を境界に両側に分かれている。こ
の時、補助修理線110、120の端部分がそれぞれ一
定の角度で斜めに突出している。
0とはゲート絶縁膜200で覆われており、ゲート線1
00の上部のゲート絶縁膜200上には非晶質珪素など
の半導体からなるチャンネル層300が形成されてい
る。補助修理線110、120の上部のゲート絶縁膜2
00上には画像信号を伝達するデータ線400が縦方向
に長く形成されており、その一部はチャンネル層300
上に延長されてソース電極Sとなり、ゲート線100を
中心としてソース電極Sの向い側のチャンネル層300
上にはソース電極Sと一定の距離を置いてドレイン電極
Dが形成されている。一方、データ線400、ソース及
びドレイン電極S、Dとチャンネル層300との間には
n+非晶質珪素などのチャンネル層300とソース及び
ドレイン電極S、Dの接触抵抗を低める物質からなる抵
抗性接触層301が形成されている。
ており、保護絶縁膜500上にはゲート線100とデー
タ線400が交差することで定義される画素領域内に透
明画素電極600が形成されている。画素電極600は
ITOなど透明導電物質からなるので、保護絶縁膜50
0に開いた接触口C4を通じてドレイン電極Dと連結され
ている。
電連結パターン610が補助修理線110、ゲート線1
00とデータ線400との交差部及び他の補助修理線1
20にわたって形成されている。この時、連結パターン
610はゲート絶縁膜200及び保護絶縁膜500に開
いた接触口C1、C2を通してデータ線400の側面か
ら斜めに突出した補助修理線110、120の端部とそ
れぞれ連結されており、データ線400の上部では保護
絶縁膜500に開いた接触口C3を通じてデータ線40
0と連結されている。
のあるゲート線100とデータ線400の交差点付近に
前述した形態の連結パターン610が形成されているの
で、交差点でデータ線400が切れても補助修理線11
0、120と連結されている連結パターン610に沿っ
て下のデータ線400に信号が伝達される。従って、断
線したデータ線400を容易に修理することができる。
て、第1実施形態による薄膜トランジスタ基板と対向基
板が整列された状態を示している。図4に示すように、
第1実施形態による構造においては、連続して異なる信
号電圧が印加されるデータ線400と隣接した画素電極
600との間で容量カップリングが発生する。この時に
発生する容量カップリングは画素電極600の端縁付近
の液晶配列を乱すため、画素電極600の境界部から光
が漏れる現象を深化させる。これを防止するために、上
部対向基板20には光遮断膜BMを置き、この光遮断膜
BMが下部基板10の薄膜トランジスタ、データ線40
0及び画素電極600の端縁を覆うように整列させ、液
晶分子の異常配列が現われる領域を覆う。
に沿って対応するように光遮断膜BMを置く場合、上、
下基板10、20を整列させる時に発生する誤整列の幅
を考慮して光遮断膜BMの幅を決定しなければならな
い。すなわち、光遮断膜BMは実際の液晶分子の異常配
列領域より誤差範囲だけ広く形成しなければならない。
従って、画素電極600と重なる光遮断膜BMの幅Lは
異常配列領域より広くなり、これは結果的に開口率を減
少させる。
に、第1実施形態に見られる開口率減少の問題を解決す
るために、基板10のデータ線400の幅を画素電極6
00と重畳するように左、右に一定の幅L1、L2を拡
張することにより、画素電極600の端縁で現われる液
晶LCの異常配列を覆うことができる。残りの構造は第
1実施形態と同一である。
600との間の距離が第1実施形態に比べて縮少するた
め容量カップリングが増加し、表示画質が低下する。保
護絶縁膜500の厚さを厚く形成すればこのような問題
を低減することができるが、通常使用されている化学的
蒸気蒸着(chemical vapor deposition:CVD)方法上の
制限によって数百nm厚さ以上には形成し難い。これを
克服するため、数μmの有機物質で保護膜を形成するこ
ともできるが、透過率が減少するという他の問題が生ず
る。
素電極とデータ線との間の距離は相対的に大きくし、そ
の代わりにその下部に置かれた補助修理線の幅を大きく
することで光遮断膜に代替する構造を提示する。
理線を有する液晶表示装置の配線図であり、図7は図6
のVII−VII′線による断面図である。図6及び図7に示
すように、前述した第1及び第2実施形態と同様にゲー
ト線100、チャンネル層300及び抵抗性接触層30
1、補助修理線110、120、透明画素電極600、
連結パターン610などが形成されている。
0がデータ線400より広い幅で形成されており、両側
の画素電極600とは端縁が一部重畳しているため、デ
ータ線400に沿って現われる液晶LCの異常配列領域
は補助修理線110、120によって覆われる。
600の端縁に沿って対応する光遮断膜BMを置く場
合、光遮断膜BMを上、下基板10、20の誤整列の誤
差を考慮して広く形成する場合と異なり、補助修理線1
10、120が異常配列領域に該当する幅だけ画素電極
600と重畳すればよいので、開口率が向上する。
る上部対向基板20の光遮断膜BMは薄膜トランジスタ
及びゲート線100の端縁を覆うように横方向のみに形
成される。
20が画素電極600と重畳する幅をディスクリネーシ
ョン、すなわち、液晶の異常配列が現われる領域と現わ
れない領域に対して異なって形成することもできる。す
なわち、捩じれたネマチック(twisted nematic:TN)
方式の液晶モードにおいて、液晶の捩じれた方向が下部
薄膜トランジスタ基板10の方で見る時に反時計方向で
あれば、ディスクリネーションが生じる領域は右側であ
るため、右側の重畳幅L4を左側の重畳幅より広げてデ
ィスクリネーション領域が補助修理線110、120に
よって覆われるようにする。
モードに適用する場合においてさらに効果的であり、こ
れは垂直配向方式の場合、ディスクリネーションが生じ
る領域が極めて狭いので補助修理線110、120が画
素電極600と重畳する領域L4を広げる必要がないた
め、開口率がさらに増大するからである。
た配置図であって、基本構造は第3実施形態と同一であ
る。但し、画素電極600がゲート線100の側に延長
されて重畳している構造である。
10、120と一定の幅が重なっているだけではなくゲ
ート線100とも重畳しているため、データ線400及
びゲート線100に沿って画素電極600の外に現われ
る液晶の異常配列領域はゲート線100及び補助修理線
110、120によって覆われる。
とデータ線400とが交差する部分及び薄膜トランジス
タTFTが形成されている付近に対応する領域のみに光
遮断幕BMを形成すればよいので、開口率がさらに増大
する。
修理線を有する液晶表示装置の配線図であり、図10は
図9のX−X′による断面図であって、透明連結パター
ンなしで前述の実施形態のような補助修理線のみでデー
タ線の断線欠陥を修理することの可能な構造に関する。
前述の実施形態と同様にゲート線100、半導体層3
00及び抵抗性接触層301、補助修理線110、12
0、透明画素電極600などが形成されている。
態においては、ゲート線100と同一層に同一物質に形
成されている補助修理線110、120が斜めに形成さ
れた部分なしで一直線に張っており、ゲート絶縁膜20
0に開いた接触口C5、C6を通じてデータ線400と
連結されている。しかし、データ線400が補助修理線
110、120と必ずしも連結されている必要はない。
この時は、データ線が断線した場合においては補助修理
線110、120とデータ線400とをレーザ短絡させ
て修理することができる。
ータ線400が二股410、420に分けられているの
で、いずれかが断線すれば残りのものによって信号が伝
達されることができる。従って前述の実施形態と同様の
透明連結パターン(図1の図面符号610)が必ずしも
必要ではない。その他の部分の構造は他の実施形態と類
似する。
表示装置の配線図であって、補助修理線110、120
を除いた部分の構造は第5実施形態の構造と同一であ
る。第6実施形態では、補助修理線110、120がデ
ータ線400より広い幅で形成されており、両側の画素
電極600とは端縁が一部重畳しているため、データ線
400に沿って現われる液晶LCの異常配列領域が補助
修理線110、120によって覆われる。
理線の構造について説明する。図12は本発明の第7実
施形態による液晶表示装置の配線図であって、図13は
図12のXIII−XIII′線による断面図である。図12及
び図13に示すように、データ線400は補助修理線1
00、120に沿って縦方向に形成されており、補助修
理線110、120とはゲート絶縁膜200に開いた接
触口C7、C8を通じて連結されている。データ線40
0の上部には保護絶縁膜500が形成されており、保護
絶縁膜500上には両側の補助修理線110、120に
わたってデータ線400とゲート線100との交差部を
覆う形態に透明連結パターン610が形成されている。
この透明連結パターン610は透明画素電極600と同
一物質で形成されており、保護絶縁膜500に形成され
ている接触口C7、C8を通じてデータ線400と連結
されている。図13でA部分のデータ線400は連結さ
れているべきであるが、断線が発生した場合を表すため
に切られたものとして示した。その他の部分の構造は他
の実施形態と類似する。
部のように、ゲート線100、ゲート絶縁膜200、チ
ャンネル層300、データ線などの膜がいくつかの層に
形成されているところでは、膜の段差部でデータ線40
0が切れるような欠陥Aが発生し易い。
400に補助的な導電性連結パターン610がさらに形
成されている場合には連結パターン610を通じてデー
タ信号が伝えられる。
7実施形態と基本構造は同一である。但し、補助修理線
110、120の幅をデータ線110、120より広く
形成し、画素電極600とも重畳するように形成するこ
とにより、補助修理線110、120が画素電極600
付近で現われる液晶の異常配列を覆う光遮断膜の役割を
果たす。従って、開口率が拡大する。
置を製造する方法について説明する。図15乃至図19
は、図1乃至図4で示した第1実施形態による液晶表示
装置の製造方法を順に示した配置図であって、ゲート配
線形成過程で補助修理線を形成し、画素電極の形成過程
でデータ線とゲート線の交差部に補助連結パターンを形
成し、補助連結パターンを接触口を通じて補助修理線と
データ線とを電気的に連結することを特徴とする。
なゲート配線用金属を蒸着してパターニングすることで
ゲート線100とデータ補助修理線110、120とを
同時に形成する(図15参照)。
蒸着し、その上に、非晶質シリコンとn+非晶質シリコ
ンとを連続的に蒸着した後、パターニングしてゲート線
100上に半導体層300及びn+非晶質シリコン層3
01を形成する(図16参照)。
パターニングし、データ線400、ソース及びドレイン
電極S、Dなどのようなデータ配線を形成する。次いで
漏出したn+非晶質シリコン層301をエッチングして
抵抗性接触層301を形成する(図17参照)。
助修理線の両端110、120上部のゲート絶縁膜20
0と保護絶縁膜500、そしてデータ線400上部とド
レイン電極D上部の保護絶縁膜500を除去して接触口
C1、C2、C3、C4を形成する(図18参照)。
画素電極600と連結パターン610を形成する。この
時、ドレイン電極D上部にある接触口C4を通じて画素
電極600がドレイン電極Dと接触し、接触口C1、C
3、C2を通じて連結パターン610が補助修理線11
0、120及びデータ線400と接触することにより、
補助修理線110、120がデータ線400と電気的に
連結される。
した第3実施形態による液晶表示装置の製造方法を順に
示した配置図であって、図15乃至図19に述べた方法
と類似する。すなわち、ゲート線100の形成過程で補
助修理線110、120を形成し、補助修理線110、
120と接触口C1、C2を通じて連結される補助連結
パターン610を透明画素電極600の形成過程でデー
タ線400とゲート線100の交差部に形成する。
ータ線400を補助修理線110、120の幅より狭く
形成し、画素電極600が補助修理線110、120と
左右で同一幅または互いに相異する幅に重畳するように
形成するという点が異なる。ゲート線100と画素電極
600の上、下端縁が重畳するように形成しても同一の
効果を得る。
及び図10に提示された第5実施形態による液晶表示装
置の製造方法について説明する。図25乃至図26は、
その製造方法を工程順序に従って示した平面図であっ
て、補助修理線をゲート線の形成過程で形成し、この補
助修理線が接触口を通じて上部に形成されているデータ
線と電気的に連結されるように形成し、ゲート線とデー
タ線が交差する付近ではデータ線を二股に形成すること
を特徴とする。
に、ゲート線100及び補助修理線110、120を同
時に形成し、その上にゲート絶縁膜200、非晶質シリ
コン層300、n+非晶質シリコン層301を順に積層
した後、二つの層300、301をパターニングする。
ゲート絶縁膜200をパターニングして補助修理線11
0、120上部に接触口C5、C6を形成する。
金属を蒸着してパターニングすることでデータ線400
とソース及びドレイン電極S、Dを形成する。この時、
データ線400とゲート線100との交差部ではデータ
線400が二股410、420に分けられるようにパタ
ーニングする。この過程で接触口C5、C6を通じてデ
ータ線400が補助修理線110、120と連結され
る。その後、保護絶縁膜500を蒸着してパターニング
することでドレイン電極D上部に接触口C4を形成す
る。
電物質を蒸着してパターニングすることで画素電極60
0を形成する。この時、画素電極600は接触口C4を
通じてドレイン電極Dと接触する。
実施形態の製造方法を工程順序に従って示した平面図で
あって、補助修理線の幅をデータ線の幅より広く形成し
て画素電極と重畳するように形成することを除いては図
25と図26で述べた方法と同一である。すなわち、図
27に示すように、ゲート線100及び補助修理線11
0、120を同時に形成し、その上にゲート絶縁膜20
0、非晶質珪素層300、n+非晶質珪素層301を順
に積層した後、二つの層300、301をパターニング
する。ゲート絶縁膜200をパターニングして補助修理
線110、120上部に接触口C5、C6を形成する。
金属を蒸着してパターニングすることでデータ線400
とソース及びドレイン電極S、Dを形成する。この時、
データ線400とゲート線100との交差部ではデータ
線400が二股410、420に分けられるようにパタ
ーニングして、補助修理線110、120よりはその幅
を狭く形成する。この過程で接触口C5、C6を通じて
データ線400が補助修理線110、120と連結され
る。
蒸着してパターニングし、ドレイン電極D上部に接触口
C4を形成する。その上にITOのような透明導電物質
を蒸着してパターニングして画素電極600を形成す
る。この時、画素電極600は補助修理線110、12
0と重畳して、接触口C4を通じてドレイン電極Dと接
触する。
法を工程順に従って示した平面図であって、前述の実施
形態と同様に補助修理線とデータ線とを連結するが、透
明画素電極をパターニングする過程でデータ線と接触口
を通じて連結される透明補助連結パターンをさらに形成
することを特徴とする。
助修理線110、120、ゲート絶縁膜200と、接触
口C5、C6、非晶質シリコン層300及びn+非晶質
シリコン層301などを形成した後、データ配線用金属
を蒸着してパターニングすることでデータ線400とソ
ース及びドレイン電極S、Dを形成する。この過程で、
接触口C5、C6を通じてデータ線400が補助修理線
110、120と連結される。
してパターニングすることでゲート線100の両側のデ
ータ線400及びドレイン電極Dを露出する接触口C
7、C8、C4をそれぞれ形成する。
うな透明導電物質を蒸着してパターニングすることで画
素電極600及び補助連結パターン610を形成する。
この時、補助連結パターン610は補助修理線110、
120にわたってゲート線100とデータ線400の交
差部を覆う形態にパターニングして、接触口C7、C8
を通じてデータ線400と接触させる。
晶表示装置の製造方法を工程順序に従って示した平面図
であって、図30乃至図32で述べた方法と殆ど同一で
ある。但し、補助修理線110、120の幅をデータ線
400より広く形成して画素電極600とは一定の幅が
重畳するように形成し、透明画素電極600をパターニ
ングする過程でデータ線400と接触口C7、C8を通
じて連結される透明補助連結パターン610を形成する
という点で差がある。
絡を防止するための二重ゲート線の構造、連結部及び補
助線の構造を有する液晶表示装置を説明する。図36は
本発明の第9実施形態による薄膜トランジスタ基板の配
線図であり、図37は図36のXXXVII−XXXVII′線によ
る断面図であり、図38は図37のXXXVIII−XXXVIII′
線による断面図である。図36乃至図38に示すよう
に、互いに平行な第1ゲート線101及び第2ゲート線
102が横方向に形成されており、第1及び第2ゲート
線101、102を連結する連結部103が画素領域の
中間に縦方向に形成されている。一方、縦方向にデータ
線の断線に備えた補助線130が形成されている。
ート線連結部103及び補助線130をゲート絶縁膜2
00が覆っており、第1ゲート線101の上部には半導
体層300が形成されている。半導体層300上には電
気的な接触特性を向上するための抵抗接触層301が第
1ゲート線101を中心に両側に形成されており、その
上にはソース電極Sとドレイン電極Dとが形成されてい
る。また、ゲート絶縁膜200上にはソース電極Sと連
結されるデータ線400が縦方向に形成されており、こ
のデータ線400はゲート絶縁膜200に開いた接触口
C9、C10を通じて補助線130と連結されている。
及びドレイン電極S、Dは、保護絶縁膜500で覆われ
ており、ドレイン電極Dの一部を露出する接触口C4が
保護絶縁膜500に開いている。保護絶縁膜500上に
は二重ゲート線101、102とデータ線400とに区
切られる画素領域内部に透明画素電極600か形成され
ており、接触口C4を通じて前段画素のドレイン電極D
と連結されている。
においては、二重ゲート線101、102を連結する連
結部103が画素領域の中間に位置するため、補助線1
30からの距離L1はできるだけ大きく形成されてい
る。従って、画像信号の変化によるカップリング増加に
よる信号遅延増加が生ぜず、連結部103及びゲート線
101、102などのゲート配線と補助線130とを形
成する過程で連結部103と補助線130とが導電性汚
染粒子によって連結されるようなことは起こらない。
ト線連結部を一部の画素に形成してゲート線とデータ線
の短絡をさらに減らすことができる構造を提示する。図
39は本発明の第10実施形態による液晶表示装置の平
面図である。図39では薄膜トランジスタやその他の配
線などは図示せずに二重ゲート線とゲート線連結部及び
画素領域のみを示した。図39に示すように基板上に多
数の画素Pが行列形態に配列されており、各画素行に対
して二つのゲート線101、102が形成されている、
二つのゲート線101、102は基板の左側端縁で一つ
に連結されて同一の走査信号を伝達されるようになるの
で、二重ゲート線の構造を有するようになる。行列形態
に配列された多数の画素Pのうちの一部画素には縦方向
に二重ゲート線101、102を連結するゲート線連結
部103が形成されている。ゲート線連結部103は全
体画素に対して任意に選択された一部の画素に形成され
ており、ゲート線連結部103が形成されている画素の
数はゲート線連結部が形成されていない画素の数に比べ
て少ない。ゲート線連結部103が形成されている画素
の数とゲート線連結部が形成されていない画素の数の比
は1:3以上となることが好ましい。
表示装置においては、ゲート線連結部103が形成され
ている画素は不透明な金属で形成されたゲート線連結部
103によって一定の量の光が遮断されるため、ゲート
線連結部が形成されていない画素に比べて開口率が減少
するようになる。また、ゲート線連結部103は画素電
極(図示しない)と重畳して保持容量を形成するように
なり、ゲート線連結部が形成されていない画素に比べて
大きい保持容量を有するようになる。従って、画素別に
表示特性が異なるという問題点がある。
明の第11実施形態においては、第10実施形態と同様
に一部の画素に対してはゲート線連結部を形成し、ゲー
ト線連結部が形成されていない残りの画素に対しては一
側ゲート線に突出部を形成する。
晶表示装置でゲート線連結部が形成されていない一つの
画素を示す平面図である。本発明の第11実施形態にお
いて、ゲート線連結部が形成されている画素とゲート線
連結部とが形成されていない画素の配置は本発明の第1
0実施形態の場合と類似し、ゲート線連結部が形成され
ている画素の構造は本発明の第9実施形態の場合と類似
する。
ート線101及び第2ゲート線102が横方向に形成さ
れており、第1ゲート線101は画素領域側に突出した
突出部107を有するように形成されており、第1ゲー
ト線101の突出部107が画素電極600と重畳して
いる。残りの構造は図36乃至図38に示した本発明の
第9実施形態の場合と類似する。画素電極600と重畳
する第1ゲート線101の突出部170の面積は、ゲー
ト線連結部が形成されている画素においてゲート線連結
部が画素電極と重畳する面積を考慮して決定することが
でき、突出部107の面積とゲート線連結部とがそれぞ
れ画素電極と重畳する面積は等しいのが好ましい。
して画素電極との重畳面積を増加させると、それに応じ
て開口率は一部減少し保持容量は増加することになり、
ゲート線連結部が形成されている他の画素と同一の開口
率及び保持容量を有するようにすることができる。しか
し、ゲート線連結部が画素内に形成されているので、開
口率が減少する短所がある。
を図41乃至図44に示した。図41は、本発明の第1
2実施形態による薄膜トランジスタ基板の配線図であ
り、図42は図41のXLII−XLII′線による断面図であ
り、図43は図41のXLIII−XLIII′線による断面図で
あり、図44は図41のXLIV−XLIV′線による断面図で
ある。本発明の第12実施形態において、第1及び第2
ゲート線101、102、ゲート絶縁膜200、半導体
300、抵抗接触層301、データ線400、ソース及
びドレイン電極S、D、保護絶縁膜500及び画素電極
600などの構造は第9実施形態での構造と類似してい
る。
第2ゲート線101、102を連結する連結部104が
データ線400に覆われるように任意のデータ線400
の下部に形成されており、この連結部104がその下部
に形成されていないデータ線400の下部には補助線1
40が形成されている。補助線140は第1及び第2ゲ
ート線101、102によって分離されており、補助線
140の両端部は一定の角度で斜めに突出している。
ート線102がデータ線400と交差する部分の保護膜
500上には、端部が一定の角度で斜めに突出して補助線
の端部と重畳する透明な連結パターン620が、第1ゲ
ート線101及び前段画素の第2ゲート線102にわた
って重畳して形成されている。
交差する部分のデータ線400を露出する接触口C11
が保護絶縁膜500に開いており、補助線140の両端
部をそれぞれ露出する接触口C12、C13が保護絶縁
膜500及びゲート絶縁膜200に開いているので、こ
の接触口C11、C12、C13を通じて透明連結パタ
ーン620が補助線140及びデータ線400と連結さ
れる。すなわち、透明連結パターン620を通じて補助
線140とデータ線400とが電気的に連結される。
いては、連結部104がデータ線400の下部に形成さ
れているため、開口率は減少しない。また、連結部10
4と補助線140とが隣接していないため、ゲート及び
ドレインの短絡による欠陥が生じない。
めるようにすることにより、基板全体に対し負荷容量を
均一に維持することができ、このような構造が次の第1
3実施形態に提示されている。図45は第13実施形態
による薄膜トランジスタ基板のゲート配線及び画素領域
を示した平面図であり、薄膜トランジスタや基板、デー
タ配線などは図示せず、二重ゲート線とゲート線及び画
素領域のみを示した。図45に示すように、行列形態に
配列された多数の画素Pのうち、一部の画素の一側外部
には縦方向に二重ゲート線101、102を連結する連
結部104が形成されており、連結部104が形成され
る画素Pの位置が順次に変化するように連結部104が
配置されているので、基板全体のデータ線にかかる負荷
容量が均一に維持される。
連結された画素Pにおいて一番目の画素に該当するゲー
ト線101、102にゲート連結部104が連結されて
いると、連続した残りの九つの画素に対してはゲート連
結部104が形成されていない。
ゲート線連結部104が対応していない画素の数に比べ
て少なく形成され、普通、ゲート線またはデータ線の断
線発生確率は10%未満であるためゲート連結部104
が連結される画素と連結されていない画素との比率は
1:10程度であればよい。
いない画素Pにはデータ線(図示しない)の断線を防止
するための補助線140が二つのゲート線101、10
2間に形成されている。
補助修理線を形成することにより、補助修理線を形成す
るための別途の金属蒸着工程及びパターニング工程を必
要としないため、工程が単純化される。
画素電極と重なるように形成して光遮断膜の役割を果た
すことにより、上部基板に光遮断膜を別途に形成する必
要がないため、開口率が大きくなる。
線図である。
ある。
ある。
面図ある。
線図である。
線図である。
線図である。
配線図である。
配線図である。
る。
配線図である。
って示した平面図である。
って示した平面図である。
って示した平面図である。
って示した平面図である。
って示した平面図である。
って示した平面図である。
って示した平面図である。
って示した平面図である。
って示した平面図である。
って示した平面図である。
従って示した平面図である。
従って示した平面図である。
従って示した平面図である。
従って示した平面図である。
従って示した平面図である。
従って示した平面図である。
従って示した平面図である。
従って示した平面図である。
従って示した平面図である。
従って示した平面図である。
従って示した平面図である。
タ基板の配線図である。
ある。
である。
スタ基板の平面図である。
スタ基板の平面図である。
スタ基板の配線図である。
る。
る。
る。
のゲート配線及び画素領域を概略的に示した平面図であ
る。
Claims (40)
- 【請求項1】透明な絶縁基板と、 前記絶縁基板上に第1方向に形成されているゲート線
と、 前記ゲート線と同一層に同一物質で第2方向に形成され
ており、前記ゲート線を境界として分離された多数の部
分からなる補助修理線と、 前記ゲート線及び前記補助修理線を覆う第1絶縁層と、 前記補助修理線に沿って前記第1絶縁層上に第2方向に
形成されているデータ線とを含む液晶表示装置。 - 【請求項2】前記第1絶縁層上に形成されて前記ゲート
電極上に位置するチャンネル層、前記データ線及び前記
チャンネル層と連結されているソース電極、前記ゲート
線に対して前記ソース電極の向い側に位置して前記チャ
ンネル層と連結されているドレイン電極、前記ドレイン
電極と連結されて前記補助修理線と絶縁して重畳してい
る透明な画素電極をさらに含む請求項1に記載の液晶表
示装置。 - 【請求項3】前記補助修理線は前記データ線より広い幅
に形成されている請求項2に記載の液晶表示装置。 - 【請求項4】前記画素電極は、第2方向に沿って前記補
助修理線と両側で互いに相異する幅で重畳する請求項2
に記載の液晶表示装置。 - 【請求項5】前記画素電極は第1方向に沿って前記ゲー
ト線と重畳する請求項2に記載の液晶表示装置。 - 【請求項6】前記画素電極は第2方向に沿って前記補助
修理線と両側で互いに同じ幅で重畳する請求項2に記載
の液晶表示装置。 - 【請求項7】前記データ線は前記補助修理線と電気的に
連結されている請求項1に記載の液晶表示装置。 - 【請求項8】前記ゲート線の両側にある前記補助修理線
を前記データ線に連結する連結手段を更に含む請求項7
に記載の液晶表示装置。 - 【請求項9】前記データ線を覆っている第2絶縁層をさ
らに含み、前記連結手段は前記第2絶縁層上に前記画素
電極と同一物質で形成されている請求項8に記載の液晶
表示装置。 - 【請求項10】前記連結手段は前記第2絶縁層及び第1
絶縁層に開いた第1接触口を通じて前記補助修理線と連
結されている請求項9に記載の液晶表示装置。 - 【請求項11】前記連結手段は前記第2絶縁層に開いた
第2接触口を通じて前記データ線と連結されている請求
項10に記載の液晶表示装置。 - 【請求項12】前記補助修理線の端部が前記データ線か
ら一定の角度で斜めに突出するように形成されている請
求項11に記載の液晶表示装置。 - 【請求項13】前記データ線は前記第1絶縁層に形成さ
れている第1接触口を通じて補助修理線と連結されてい
る請求項7に記載の液晶表示装置。 - 【請求項14】前記データ線を覆う第2絶縁層をさらに
含み、前記第2絶縁層に形成されており、前記ゲート線
の両側に位置した前記第2絶縁層の第2接触口を通じて
前記データ線と連結されている透明導電層をさらに含む
請求項13に記載の液晶表示装置。 - 【請求項15】前記データ線は前記ゲート線と交差する
部分で二つの線に分けられている請求項13に記載の液
晶表示装置。 - 【請求項16】基板上にゲート線とデータ補助修理線と
を同時形成する段階と、 ゲート絶縁膜を積層する段階と、 前記ゲート絶縁膜をパターニングして前記データ補助修
理線を露出する接触口を形成する段階と、 前記接触口を通じて前記データ補助修理線と連結される
データ線を形成する段階と、 前記データ線の上部に保護絶縁膜を形成する段階と、 透明導電層を塗布する段階と、 前記透明導電層をパターニングして画素電極を形成する
段階とを含む液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項17】前記データ線が前記データ線と交差する
部分で二つに分けられた部分を有するように形成する請
求項16に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項18】前記透明導電層をパターニングし、前記
データ線と前記ゲート線との交差点の両側で前記データ
線と連結される連結パターンを形成する段階をさらに含
む請求項16に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項19】前記保護絶縁膜は前記データ線と前記ゲ
ート線との交差点の両側にそれぞれ位置し、前記データ
線を露出する開口部を有し、前記連結パターンは前記開
口部を通じて前記データ線と連結される請求項18に記
載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項20】前記画素電極は前記データ補助修理線と
端縁が重畳するように形成する請求項16に記載の液晶
表示装置の製造方法。 - 【請求項21】前記データ線は前記データ補助修理線よ
り狭い幅に形成する請求項16に記載の液晶表示装置の
製造方法。 - 【請求項22】前記画素電極は前記ゲート線と端縁が重
畳するように形成する請求項16に記載の液晶表示装置
の製造方法。 - 【請求項23】基板上にゲート線とデータ補助修理線を
同時に形成する段階と、 前記ゲート線と前記データ補助修理線上にゲート絶縁膜
を積層する段階と、 前記ゲート絶縁膜上にデータ線を形成する段階と、 保護絶縁膜を装着する段階と、 前記保護絶縁膜及びゲート絶縁膜をパターニングして前
記データ線を露出する第1接触口と前記データ補助修理
線を露出する多数の第2接触口とを形成する段階と、 画素電極、そして前記第1接触口を通じて前記データ線
と連結され、前記第2接触口を通じて前記データ補助修
理線と連結される連結パターンを形成する段階とを含む
液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項24】透明な絶縁基板と、 前記絶縁基板上に形成されている多数の第1ゲート線
と、 前記第1ゲート線と平行に形成されている多数の第2ゲ
ート線と、 前記第1及び第2ゲート線を連結する多数のゲート線連
結部と、 前記第1及び第2ゲート線と絶縁されて交差する多数の
データ線とを含み、 前記ゲート線連結部は前記第1及び第2ゲート線と前記
データ線によって定義される画素領域のうちの一部に前
記データ線と平行に前記画素領域の中間を横切るように
形成されている液晶表示装置。 - 【請求項25】前記絶縁基板上に前記データ線と平行に
形成されている補助線をさらに含み、前記補助線は前記
データ線と電気的に連結されている請求項24に記載の
液晶表示装置。 - 【請求項26】前記ゲート線連結部が形成されている前
記画素領域の数は、前記ゲート線連結部が形成されてい
ない前記画素領域の数より少ない請求項25に記載の液
晶表示装置。 - 【請求項27】前記ゲート線連結部が形成されている前
記画素領域の数と前記ゲート線連結部が形成されていな
い前記画素領域の数の比は1:3以上である請求項26
に記載の液晶表示装置。 - 【請求項28】前記画素領域に形成されている多数の透
明な画素電極をさらに含み、 前記画素電極は前記第1及び第2ゲート線と一部重畳し
ている請求項24に記載の液晶表示装置。 - 【請求項29】前記ゲート線連結部が形成されている前
記画素領域に形成されている前記画素電極は前記ゲート
線連結部と重畳する請求項28に記載の液晶表示装置。 - 【請求項30】前記第1ゲート線は、前記ゲート線連結
部が形成されていない前記画素領域側に形成された突出
部を有するように形成されている請求項29に記載の液
晶表示装置。 - 【請求項31】前記突出部は前記画素電極と重畳してい
る請求項30に記載の液晶表示装置。 - 【請求項32】前記ゲート線連結部が形成されていない
前記画素領域において前記画素電極と重畳している前記
突出部の面積は、前記ゲート線連結部が形成されている
前記画素領域において前記画素電極と重畳している前記
ゲート線連結部の面積と同一な請求項31に記載の液晶
表示装置。 - 【請求項33】透明な絶縁基板と、 前記絶縁基板上に形成されている多数の第1ゲート線
と、 前記第1ゲート線と平行に形成されている多数の第2ゲ
ート線と、 前記第1及び第2ゲート線を連結する多数のゲート線連
結部と、 前記第1及び第2ゲート線並びに前記ゲート線連結部を
覆う第1絶縁層と、 前記第1絶縁層上に形成されており、前記第1及び第2
ゲート線と交差する多数のデータ線とを含み、 前記ゲート線連結部は、前記多数のデータ線のうちの一
部である第1データ線の下部に前記第1データ線と平行
に形成されている液晶表示装置。 - 【請求項34】前記多数のデータ線のうち前記第1デー
タ線を除いた残りである第2データ線と重畳するように
前記絶縁基板上に形成されていて、前記第1及び第2ゲ
ート線によって分離されている多数の補助線をさらに含
み、前記補助線は前記第1または第2データ線と電気的
に連結されている請求項33に記載の液晶表示装置。 - 【請求項35】前記第1及び第2ゲート線の両方の前記
補助線を同時に前記第2データ線に連結する連結手段を
さらに含む請求項34に記載の液晶表示装置。 - 【請求項36】前記第1及び第2データ線を覆う第2絶
縁層をさらに含み、前記連結手段は前記第2絶縁層上に
透明導電層で形成されている請求項35に記載に液晶表
示装置。 - 【請求項37】前記補助線と前記第1データ線とを電気
的に連結する連結手段をさらに含む請求項34に記載の
液晶表示装置。 - 【請求項38】前記ゲート線連結部が前記補助線より小
さい比率で形成されている請求項34に記載の液晶表示
装置。 - 【請求項39】前記ゲート線連結部が重畳する第1デー
タ線と前記補助線と重畳する第2データ線との比率が
1:10である請求項38に記載の液晶表示装置。 - 【請求項40】前記ゲート線連結部は、前記データ線と
前記第1及び第2ゲート線とが交差して形成される多数
の画素に対し、前記ゲート連結部が対応する前記画素が
順次に変化するように形成されている請求項34に記載
の液晶表示装置。
Applications Claiming Priority (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019970053512A KR100502804B1 (ko) | 1997-10-18 | 1997-10-18 | 액정표시장치및그제조방법 |
KR1019980012770A KR100271091B1 (ko) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 |
KR1019980023852A KR100286048B1 (ko) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | 박막 트랜지스터 액정 표시 장치 |
KR1998P42533 | 1998-10-12 | ||
KR1998P12270 | 1998-10-12 | ||
KR1997P53512 | 1998-10-12 | ||
KR1998P23852 | 1998-10-12 | ||
KR1019980042533A KR100299687B1 (ko) | 1998-10-12 | 1998-10-12 | 액정표시장치 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010020318A Division JP2010097230A (ja) | 1997-10-18 | 2010-02-01 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11194369A true JPH11194369A (ja) | 1999-07-21 |
JP4643774B2 JP4643774B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=27483238
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29692898A Expired - Fee Related JP4643774B2 (ja) | 1997-10-18 | 1998-10-19 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP2010020318A Withdrawn JP2010097230A (ja) | 1997-10-18 | 2010-02-01 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010020318A Withdrawn JP2010097230A (ja) | 1997-10-18 | 2010-02-01 | 液晶表示装置及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US6429909B1 (ja) |
JP (2) | JP4643774B2 (ja) |
TW (1) | TW413955B (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000310796A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-11-07 | Samsung Electronics Co Ltd | 液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板 |
KR100670057B1 (ko) * | 1999-12-23 | 2007-01-17 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 |
KR100792466B1 (ko) * | 2001-05-21 | 2008-01-08 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치용 어레이 기판 및 그의 제조방법 |
KR100796790B1 (ko) * | 2001-05-29 | 2008-01-22 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
JP2011043850A (ja) * | 2010-10-29 | 2011-03-03 | Casio Computer Co Ltd | 表示装置 |
KR20110066337A (ko) * | 2009-12-11 | 2011-06-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 액정표시장치 |
JP2017098459A (ja) * | 2015-11-26 | 2017-06-01 | 三菱電機株式会社 | 薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタ基板 |
JP2018508031A (ja) * | 2015-02-12 | 2018-03-22 | 深▲セン▼市華星光電技術有限公司 | アレイ基板とその断線補修方法 |
US10937814B2 (en) | 2018-04-16 | 2021-03-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Wiring board and display device including metal line with redundant structure and reduced wiring resistance |
US11762253B2 (en) | 2021-10-26 | 2023-09-19 | Sharp Display Technology Corporation | Active matrix substrate and display device |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW413955B (en) * | 1997-10-18 | 2000-12-01 | Samsung Electronics Co Ltd | Liquid crystal displays and manufacturing methods thereof |
US6441401B1 (en) * | 1999-03-19 | 2002-08-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Thin film transistor array panel for liquid crystal display and method for repairing the same |
JP2001051303A (ja) * | 1999-08-05 | 2001-02-23 | Fujitsu Ltd | 液晶表示装置及びその製造方法 |
KR100351439B1 (ko) * | 1999-10-04 | 2002-09-09 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치 |
JP2002162644A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置 |
KR100743101B1 (ko) * | 2001-05-07 | 2007-07-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조방법과 이를 이용한 화소리페어방법 |
JP2004053828A (ja) * | 2002-07-18 | 2004-02-19 | Alps Electric Co Ltd | アクティブマトリクス型表示装置 |
JP4051237B2 (ja) * | 2002-07-30 | 2008-02-20 | 株式会社 日立ディスプレイズ | 液晶表示装置 |
TWI325983B (en) * | 2002-10-25 | 2010-06-11 | Au Optronics Corp | Liquid crystal displays |
TW583767B (en) * | 2003-03-31 | 2004-04-11 | Au Optronics Corp | Pixel structure |
US20060038180A1 (en) * | 2003-08-29 | 2006-02-23 | Han-Chung Lai | Pixel structure |
TWI226962B (en) | 2004-01-05 | 2005-01-21 | Au Optronics Corp | Liquid crystal display device with a capacitance-compensated structure |
KR101017192B1 (ko) | 2004-06-28 | 2011-02-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 |
JP4516518B2 (ja) * | 2005-03-15 | 2010-08-04 | 株式会社フューチャービジョン | 薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置及びその製造方法 |
KR101209809B1 (ko) * | 2006-03-08 | 2012-12-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
TWI324269B (en) | 2006-03-15 | 2010-05-01 | Au Optronics Corp | Display panel having repair lines and signal lines disposed at different substrate |
TWI333587B (en) | 2006-09-15 | 2010-11-21 | Chunghwa Picture Tubes Ltd | Pixel structure and repair method thereof |
KR100947273B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2010-03-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판 |
TWI338805B (en) * | 2007-06-26 | 2011-03-11 | Au Optronics Corp | Transflective liquid crystal display panel and pixel structure thereof |
JP4661913B2 (ja) * | 2008-07-19 | 2011-03-30 | カシオ計算機株式会社 | 液晶表示装置 |
TWI387810B (zh) * | 2009-04-07 | 2013-03-01 | Chunghwa Picture Tubes Ltd | 液晶顯示器修補結構與方法 |
TWI457673B (zh) | 2011-04-06 | 2014-10-21 | E Ink Holdings Inc | 訊號線結構 |
CN102368499B (zh) * | 2011-10-27 | 2014-04-16 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Tft阵列基板及液晶面板 |
CN103293794B (zh) * | 2012-02-22 | 2015-10-21 | 上海中航光电子有限公司 | 一种薄膜晶体管液晶显示装置及其修复方法 |
CN104282624B (zh) * | 2014-10-31 | 2018-06-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其制备方法、显示装置 |
KR102401983B1 (ko) | 2015-09-30 | 2022-05-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 투명표시장치 및 투명표시패널 |
KR102627343B1 (ko) * | 2016-11-30 | 2024-01-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치 |
KR102657989B1 (ko) * | 2016-11-30 | 2024-04-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
CN109755258B (zh) | 2017-11-08 | 2021-02-19 | 元太科技工业股份有限公司 | 画素阵列基板与显示装置 |
US20200035717A1 (en) * | 2018-07-26 | 2020-01-30 | Sharp Kabushiki Kaisha | Thin film transistor substrate and method of producing thin film transistor substrate |
CN111308819A (zh) * | 2020-03-09 | 2020-06-19 | Tcl华星光电技术有限公司 | 阵列基板及显示面板 |
CN115356879B (zh) * | 2022-10-21 | 2023-01-03 | 广州华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板 |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60207116A (ja) * | 1984-03-31 | 1985-10-18 | Toshiba Corp | 表示電極アレイ |
JPH01134343A (ja) * | 1987-11-19 | 1989-05-26 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板 |
JPH0273329A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-13 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
JPH02254419A (ja) * | 1989-03-28 | 1990-10-15 | Sharp Corp | アクティブマトリクス表示装置 |
JPH02277027A (ja) * | 1989-04-19 | 1990-11-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 液晶表示装置 |
JPH03175486A (ja) * | 1989-12-04 | 1991-07-30 | Nec Corp | 薄膜トランジスタ基板 |
JPH05142570A (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-11 | Sharp Corp | アクテイブマトリクス基板 |
JPH05297404A (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-12 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板 |
JPH0634965A (ja) * | 1992-07-20 | 1994-02-10 | Toshiba Corp | アクティブマトリクス型液晶表示装置 |
JPH08101389A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Casio Comput Co Ltd | マトリックス型液晶表示装置 |
JPH0933951A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JPH0990318A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-04-04 | Sharp Corp | アクティブマトリクス型液晶表示装置および画素欠陥修正方法 |
JPH09120083A (ja) * | 1995-08-19 | 1997-05-06 | Lg Electron Inc | 液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法 |
JPH09153622A (ja) * | 1995-11-30 | 1997-06-10 | Sony Corp | 薄膜半導体装置 |
JPH09236826A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-09-09 | Sharp Corp | 液晶表示素子およびその製造方法 |
JPH10239678A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Advanced Display:Kk | 薄膜トランジスタアレイ基板 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2605442B1 (fr) * | 1986-10-17 | 1988-12-09 | Thomson Csf | Ecran de visualisation electrooptique a transistors de commande et procede de realisation |
JPH0814669B2 (ja) * | 1988-04-20 | 1996-02-14 | シャープ株式会社 | マトリクス型表示装置 |
JPH0413033A (ja) | 1990-04-27 | 1992-01-17 | Toshiba Corp | 換気扇 |
JPH055898A (ja) | 1991-06-27 | 1993-01-14 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜素子形成パネル |
JP3215158B2 (ja) | 1992-04-17 | 2001-10-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | アクティブマトリクス表示装置 |
NL194848C (nl) * | 1992-06-01 | 2003-04-03 | Samsung Electronics Co Ltd | Vloeibaar-kristalindicatorinrichting. |
US6262784B1 (en) * | 1993-06-01 | 2001-07-17 | Samsung Electronics Co., Ltd | Active matrix display devices having improved opening and contrast ratios and methods of forming same and a storage electrode line |
JPH06160904A (ja) | 1992-11-26 | 1994-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示装置とその製造方法 |
KR100212285B1 (ko) | 1996-12-19 | 1999-08-02 | 윤종용 | 박막 트랜지스터 기판 |
US6433764B1 (en) * | 1997-01-23 | 2002-08-13 | Lg. Philips Lcd Co., Ltd. | Liquid crystal display |
US6310669B1 (en) * | 1997-05-26 | 2001-10-30 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | TFT substrate having connecting line connect to bus lines through different contact holes |
TW413955B (en) * | 1997-10-18 | 2000-12-01 | Samsung Electronics Co Ltd | Liquid crystal displays and manufacturing methods thereof |
KR100502797B1 (ko) * | 1997-12-01 | 2005-10-19 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법 |
KR100318539B1 (ko) * | 1999-03-24 | 2001-12-22 | 윤종용 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 |
JP4943589B2 (ja) * | 2001-04-26 | 2012-05-30 | ゲットナー・ファンデーション・エルエルシー | 液晶表示装置の製造方法 |
-
1998
- 1998-10-19 TW TW087117356A patent/TW413955B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-10-19 JP JP29692898A patent/JP4643774B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1998-10-19 US US09/174,429 patent/US6429909B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-06-19 US US10/174,054 patent/US6717634B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-12-19 US US10/739,195 patent/US7463323B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-02-01 JP JP2010020318A patent/JP2010097230A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60207116A (ja) * | 1984-03-31 | 1985-10-18 | Toshiba Corp | 表示電極アレイ |
JPH01134343A (ja) * | 1987-11-19 | 1989-05-26 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板 |
JPH0273329A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-13 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
JPH02254419A (ja) * | 1989-03-28 | 1990-10-15 | Sharp Corp | アクティブマトリクス表示装置 |
JPH02277027A (ja) * | 1989-04-19 | 1990-11-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 液晶表示装置 |
JPH03175486A (ja) * | 1989-12-04 | 1991-07-30 | Nec Corp | 薄膜トランジスタ基板 |
JPH05142570A (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-11 | Sharp Corp | アクテイブマトリクス基板 |
JPH05297404A (ja) * | 1992-04-17 | 1993-11-12 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板 |
JPH0634965A (ja) * | 1992-07-20 | 1994-02-10 | Toshiba Corp | アクティブマトリクス型液晶表示装置 |
JPH08101389A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Casio Comput Co Ltd | マトリックス型液晶表示装置 |
JPH0933951A (ja) * | 1995-07-25 | 1997-02-07 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JPH09120083A (ja) * | 1995-08-19 | 1997-05-06 | Lg Electron Inc | 液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法 |
JPH0990318A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-04-04 | Sharp Corp | アクティブマトリクス型液晶表示装置および画素欠陥修正方法 |
JPH09236826A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-09-09 | Sharp Corp | 液晶表示素子およびその製造方法 |
JPH09153622A (ja) * | 1995-11-30 | 1997-06-10 | Sony Corp | 薄膜半導体装置 |
JPH10239678A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Advanced Display:Kk | 薄膜トランジスタアレイ基板 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000310796A (ja) * | 1999-03-24 | 2000-11-07 | Samsung Electronics Co Ltd | 液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板 |
KR100670057B1 (ko) * | 1999-12-23 | 2007-01-17 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 |
KR100792466B1 (ko) * | 2001-05-21 | 2008-01-08 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치용 어레이 기판 및 그의 제조방법 |
US8330924B2 (en) | 2001-05-21 | 2012-12-11 | Lg Display Co., Ltd. | Array substrate having first and second data lines for a liquid crystal display device and manufacturing method for the same |
KR100796790B1 (ko) * | 2001-05-29 | 2008-01-22 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
KR20110066337A (ko) * | 2009-12-11 | 2011-06-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 액정표시장치 |
JP2011043850A (ja) * | 2010-10-29 | 2011-03-03 | Casio Computer Co Ltd | 表示装置 |
JP2018508031A (ja) * | 2015-02-12 | 2018-03-22 | 深▲セン▼市華星光電技術有限公司 | アレイ基板とその断線補修方法 |
JP2017098459A (ja) * | 2015-11-26 | 2017-06-01 | 三菱電機株式会社 | 薄膜トランジスタおよび薄膜トランジスタ基板 |
US10937814B2 (en) | 2018-04-16 | 2021-03-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Wiring board and display device including metal line with redundant structure and reduced wiring resistance |
US11762253B2 (en) | 2021-10-26 | 2023-09-19 | Sharp Display Technology Corporation | Active matrix substrate and display device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW413955B (en) | 2000-12-01 |
US20020158996A1 (en) | 2002-10-31 |
JP2010097230A (ja) | 2010-04-30 |
US20040141099A1 (en) | 2004-07-22 |
US7463323B2 (en) | 2008-12-09 |
US6717634B2 (en) | 2004-04-06 |
JP4643774B2 (ja) | 2011-03-02 |
US6429909B1 (en) | 2002-08-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4643774B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
KR100494638B1 (ko) | 능동매트릭스형 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
JP4897995B2 (ja) | 液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板 | |
US8871590B2 (en) | Thin film transistor array substrate, liquid crystal display device including the same and fabricating methods thereof | |
JP4504964B2 (ja) | 横電界型液晶表示装置用アレイ基板及びその製造方法 | |
KR100207136B1 (ko) | 전극기판, 그 제조방법 및 이를 사용한 표시장치 | |
KR101801974B1 (ko) | 박막 트랜지스터 어레이 기판, 이를 포함하는 액정표시장치 및 이들의 제조방법 | |
JPH0651348A (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
KR101112540B1 (ko) | 다중 도메인 박막 트랜지스터 표시판 | |
KR100400421B1 (ko) | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
US20050134779A1 (en) | Thin film panel | |
JPH10232412A (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示装置および画素欠陥修正方法 | |
JP4395130B2 (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
JP4370806B2 (ja) | 薄膜トランジスタパネルおよびその製造方法 | |
CN100592177C (zh) | 液晶显示器及用于该液晶显示器的面板 | |
JPH10253985A (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示素子及びその製造方法 | |
KR100324913B1 (ko) | 표시장치용 어레이 기판 및 그 제조방법 | |
KR100271091B1 (ko) | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
KR100686235B1 (ko) | 액정 표시 장치용 기판 | |
KR100318534B1 (ko) | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
KR20010050708A (ko) | 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 | |
KR20000031004A (ko) | 평면 구동 방식의 액정 표시 장치 | |
JP2002090775A (ja) | マトリクスアレイ基板 | |
JPH09274202A (ja) | 薄膜トランジスタアレイ基板 | |
KR100750921B1 (ko) | 수리 구조를 갖추고 있는 액정 표시 장치용 박막트랜지스터 기판, 그 제조 방법 및 그 수리 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20050601 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20050628 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050721 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050721 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090407 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090706 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090709 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090807 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090812 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091104 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100608 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101109 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |