JPH09512954A - 表面実装部品を支持する内部層を有する装置 - Google Patents

表面実装部品を支持する内部層を有する装置

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JPH09512954A
JPH09512954A JP7523545A JP52354595A JPH09512954A JP H09512954 A JPH09512954 A JP H09512954A JP 7523545 A JP7523545 A JP 7523545A JP 52354595 A JP52354595 A JP 52354595A JP H09512954 A JPH09512954 A JP H09512954A
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スタンフォード ダブリュ.ジュニア. クレーン
マリア エム. ポーチュオンド
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ザ パンダ プロジェクト
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Abstract

(57)【要約】 絶縁材からなる複数の層からなる多層基板と、少なくとも1つの導電性リード又はワイヤを有するデバイスと、からなる装置であって、前記層の少なくとも1つにおいては少なくとも1つのウエルが形成され、前記ウエルは前記多層基板の外側表面から前記多層基板の内部表面にまで伸長し、導電性コンポーネントが前記多層基板の内部表面上のウエル内に形成され、前記導電性リード又はワイヤは前記ウエルの中に伸長し、前記多層基板の内部表面上に設けられた導電性コンポーネントに直接的物理的接触をしていることを特徴とする装置。また、複数の絶縁材からなる層からなる多層基板であって、少なくとも1つのウエルが前記層の少なくとも1つに形成され、前記ウエルが前記多層基板の外側表面から内部表面に延びており、前記多層基板の内部表面上の前記ウエル内に設けられた導電性コンポーネントを有する多層基板を形成するステップと、デバイスから延びる少なくとも1つの導電性リード又はワイヤを前記ウエルに挿入して前記リード又はワイヤが前記多層基板の内部表面上に設けられて導電性コンポーネントに直接物理的接触をなすようにするステップと、からなることを特徴とする装置の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】 表面実装部品を支持する内部層を有する装置発明の背景 発明の分野 本発明は、部品のリード又はワイヤの如き導電部分から多層基板の内部層へ電 気信号を伝送する方法及び装置に関し、特に、ビア(via)、メッキ貫通孔等を 用いることなくかかる信号の伝送又は導通をなす技術に関する。 また、本発明は、上記した如き機能を実行するに適した多層基板を製造する方 法に関する。関連技術の説明 プリント配線基板(PCB)の如きインターフェース表面上に半導体パッケー ジ、抵抗、キャパシタ、インダクタ、コネクタ、等の電気・電子部品を搭載する 種々の方法が知られている。より広く知られている方法としては、メッキ貫通孔 (PTH)法及び表面実装技術(SMT)法である。 図1に示したように、PTH法においては、部品実装が部品 102のリード 101 をPCB 104に設けられたPTH 103に挿通せしめた後、該リードをハンダ付け して該リードをPTHに接触した状態に固定するハンダ付処理をなすことによっ て行なわれる。このPTH法は、単層及び複数層基板の双方について用いられ得 る。 一方、図2(a)ないし2(d)に示された如く、SMT法においては、部品 102の各リード 101がPCB中のPTHの中に延在するようにハンダ付けするの ではなく、パッドとして知られているPCB 104の表面上の導電部分にハンダ付 けされるのである。また、図2(d)に示す如く、部品 102がリードのないチッ プキャリアである場合、部品102 の導電部分がパッド上にハンダ付けされる。ハ ンダジョイント 105が、図2(a)−2(c)のリード付きチップキャリアの各 リード、又は図2(d)のリード無しチップキャリアの各導通部分をPCB 104 に対して固定した状態に維持するのである。かかるSMT法においては、リード 付きチップキャリアの各リード 101は、図2(a)に示した如き“かもめ型翼( Gullwing)”形状、図2(b)に示した如き“J−リード”形状、あるいは図2 (c)に示した如き“バット・リード(Butt Lead)”形状を取り得る。 図3において、従来の多層PCB 104の例が、説明の容易なように各層が分離 して示されている。図3の例においては、リード101aは、部品(図示せず)のP THリードであり、PCB 104に設けられたPTH 103中を延びてハンダ付けさ れてこのリードをPTHに固定するハンダジョイント 105が形成されている。P TH 103はPCB 104の全ての層を貫通している。図3の例において、リード10 1bは、PCB 104の上面に形成されたボンディングパッド 106に実装された部品 (図示せず)のSMTリードである。 ビアは、多層PCBの層間接続のために用いられる。ビアは、上記したPTH に類似した従来の部品であるが、ビアはリード等を受け入れる程には大きくない 。ビアは、多層PCBの層を貫通して層間の信号伝送を許容するのである。 図4においては、多層PCBのための3つのタイプのビアの従来例が示されて いる。図4において、ビア107aはPCB 104の全ての層を貫通するビアである。 ビア107bは、PCB 104の上面又は底面から伸長するものの全ての層を貫通しな いブラインドビアである。従来のブラインドビアの側面のみが通常の材料を用い てメッキされているが、底部は、メッキされずに絶縁性プリプレッグ(pre-preg )又はエポキシ樹脂材料によって充填されている。ビア107cは、PCB 104の内 部層にのみ貫通する埋め込みビアであり、PCBの上面又は底面に達していない 。 図4に示されたビアは、各層において穿孔し、形成された孔にメッキをして各 層を互いに積層するプロセスによって形成される1つの層の穿孔部が一方の面に おいてのみ別の層の非穿孔部に当接するように積層されたときブラインドビアが 形成される。また、埋込みビアは、1つの層の穿孔部が両側面において別の層の 非穿孔部に当接するように積層がされたとき形成される。図4に示したようなP CBを形成する製造プロセスは非常にコスト高である。 図5は、多層PCB 104の側面を示している。図5にお いて、部品(図示せず)のリード 101がPCBに設けられたPTH 103の中に延 在し、ハンダジョイント(図示せず)を形成してリード 101をPTH内に固定す べくハンダ付けされる。PTH 103は、図5に示したPCB 104の全ての層を貫 通している。図5においては、また、メッキされたビア 107がPCB 104の全て の層を貫通している。導電性トレース(trace)108a,108b,108c及び108dがPC B 104の種々の層に各々形成されており、いくつかのトレース(例えば、トレー ス 108a,108d)はビア 107及びPTH 103の間の導電路を提供する。ビア 107、 PTH 103及び各種トレースの故に、電気信号が、例えば、PTHリード 101、 PCB 104の上面に形成されたトレース108a及びPCB 104の1以上の内部層の 間において伝送される。 図6は、SMTパッド 106、メッキされたビア 107及び種々のレベルに設けら れたトレース 108a,108b,108c 及び108dを備えた多層PCB 104の一部側面図で ある。図6において、部品(図示せず)のSMTリー ド101がPCBの上面に設 けられたボンディングパッド 106上に搭載されている。図6において部品(図示 せず)のSMTリード 101は、PCBの最上面上に設けられたボンディングパッ ド 106にマウントされている。PCBの上面に設けられた導電性トレース108aは 、ボンディングパッド 106とビア 107とを接続して、SMTリード 101とPCB の他のいろいろのレベルにあるトレースとの間の電気信号の伝送を許容する。 例えば、図6に示した構成においては、SMTリード 101とPCB 104の底面に 設けられたトレース108dとの間の電気信号の伝送を許容する。ここで注意すべき ことは、PCB 104の内部層に接続されるSMTリードの各々のために1つのト レース及び1つのビアが必要となっている点である。従って、PCBの種々のレ ベルにおいて、広い領域が犠牲になっているのである。 図7は、多層PCB 104の従来例を示す部分的斜視図である。この図において は、基板の各層が説明の容易さのために分離して示されている。図6において示 したPCBと同様に、図7に示したPCBもSMTボンディングパッド106、メ ッキされたビア 107、及びトレース108a,108b が種々の層において設けられてい る。図7において、部品(図示せず)のSMTリード 101がボンディングパッド 106にマウントされている。 本願発明者が承知している従来のPCBはその表面及び内部層を十分に活用し ていない。現状の商業的製造技術によれば、0.006 インチ巾のトレース及び許容 誤差を考慮してPCBの1インチ長当り80個のトレースが許される。半導体パ ッケージ等の密度が高くなるに従って、設計者にとってPCBの表面と内部層と の間の効率的信号伝送が困難となる。現状においては、ビアに対して伸長して内 部層に接続されるトレースを用いて内部層への信号伝送がなされている。これら のビア及び関連するトレースはかなりの 領域を占有するので信号経路の密度を低減し、かつ複雑化させる。そして、単位 長及び面積当りの多数のコンタクトを有するより進んだ部品を用いるとき、更に 問題が大きくなる。 高密度内部接続技術は、現在のところ、トレース、PTH、ビア及びライン間 隔のサイズを小さくすることによってなされんとしている。換言すれば、高密度 化をなすために、従来技術においては、より狭いトレースをより接近させてPC Bを製造していた。この高密度化の試みは製造歩どまりを小さくし、かつ必要な 最大許容誤差の故にコストを高くしてしまう。 従来のビアは、PCB内の各層間の信号伝達を可能にしているものの、種々の 電気的及び機械的問題を生じている。例えば、多数のビアを設けることによって 、信号面、パワー面及び接地面に対して不要な容量を加えてしまう。更に、ビア は、多層PCBにおいて、多数の穿孔作業を必要とし、その結果、コスト高を招 来しかつ歩どまりを低減させる。なお、ここで、“穿孔作業”という術語は、こ こでは基板層の数のビア数倍を記述するために用いられる。またビアは、可能な 信号経路数を減少させ、更に、部品リードの配置に用いられ得るPCB表面の広 さを低減させてしまう。 多層PCBにおいて、ビアを用いることによって信号経路選択自由度(routea bility)が悪影響を受ける。このことは、PCBの層数が増大するにつれて特に 問題となる。 例えば、ビアが貫通する各PCB層に対し、ビアそのものに対するスペースに加 えて、各レベルにおいてビアを他の導電性素子に接続するために必要なトレース のためにもスペースが必要となるのである。更に、各ビアは電気信号の伝送を確 実にするために必要な導電性メッキの故にサイズが大きくなる。また、他の部品 、パッド及び他のトレースの間のトレースクリアランスが、更に、密度を低減さ せる。 上記したことから明らかなように、従来のPCBは多数のレベルに導電性素子 を担うものの、トレース、ライン、特に、PTH及びメッキされたビアの許容ス ペースに対する制限の故にPCBの導電性についての密度が制限される。従って 、従来のPCBは、既存のまたは将来の半導体及びコンピュータ技術の要請に応 えるには十分ではない。 既存のPCB及び他のインターフェース技術は既に現状の半導体及びコンピュ ータ技術の進歩に歩調を合わせることが出来ていない。また、コンピュータ及び マイクロプロセッサの速度は上昇を続けており、スペース効率及び信号経路選択 自由度が益々重要になって来ており、より効率的な接続特性を備えた多層基板が 必要とされている。上記したPCBは、現在及び企図された半導体及びコンピュ ータに関する要請に応えられない。発明の概要 従って、本発明の目的は、高密度を達成するべく表面及び内部層を有効に用い 得る多層基板を提供することである。 この多層基板は、多層PCB、セラミック多層基板又はその他の多層基板である 。 本発明の他の目的は、多層基板内に設けられるビアを用いるのではなく、リー ド、ワイヤ等を用いて電気信号を直接多層基板の内部層に供給する多層基板を提 供することである。 本発明の更に他の目的は、SMT‐コンパチブルな内部層を有し半導体パッケ ージ内の複数層を含む多層基板を提供することである。 本発明の更に他の目的は、より小さい容量を有し、より短い信号経路を有し、 より広い部品搭載領域を有し、改善された信号経路選択自由度を有する多層基板 を提供することである。 本発明の更なる目的は、より高い製造歩止りを有し、かつより低い製造コスト の多層基板を提供することである。 本発明の更なる目的は、上記したような特性を有する多層基板を製造しかつ使 用する方法を提供することである。 上記した及び他の目的は、複数の絶縁材からなる層を含む多層基板であって、 該層の少なくとも1つに設けられて該多層基板の外側表面から内側表面に達する 少なくとも1つのウエル(well)と、該多層基板の内部層に設けられたウエル内 に設けられる導電性部品と、を含む多層基板と;該ウエルに挿通される少なくと も1つの導電性リードまたはワイヤを有し該多層基板の内側表面上に設けられる 導電 性部品に直接物理的に接触するデバイスと、からなる装置を用いることによって 達成される。また、本発明による装置の製造方法は、絶縁材からなる複数の層を 含む多層基板であって、少なくとも1つの層に少なくとも1つのウエルを有し、 該ウエルは該多層基板の外側表面から内部表面に延在し、該多層基板の内部表面 のウエル内に導電性部品が形成されているような多層基板を形成するステップと 、部品の少なくとも1つの導電性リードまたはワイヤを該リードまたはワイヤが 該多層基板の内部表面に設けられた導電性素子に直接物理的に接触するように該 ウエル内を伸長せしめるステップと、からなる。 ここで、上記した概要の説明及び次の詳細な説明は単なる例示であって本発明 を制限するものではない。また、添付の図面は明細書の一部を構成するものであ り、本発明の実施例を示し、全体の説明と共に本発明の原理を説明するのに用い られる。図面の簡単な説明 図1は、従来のPTH技術の特徴を示す側面図である。 図2(a)は、ガルウィング形状のリードを有するリード付きチップキャリア に用いる従来のSMT手法を示す側面図である。 図2(b)は、Jリード形状のリードを有するリード付きチップキャリアに用 いる従来のSMT手法を示す側面図である。 図2(c)は、バット‐リード形状のリードを有するリード付きチップキャリ アに用いる従来のSMT手法を示す側面図である。 図2(d)は、リードのないチップキャリアに用いる従来のSMT手法を示す 側面図である。 図3は、説明の容易さの為に分離して示されている層に対してPTH及びSM T技術を用いる従来の多層PCBの一部斜視図である。 図4は、従来のビア技術の特徴を示す側面図である。 図5は、PTH及びビア技術を用いる従来の多層PCBの一部側面図である。 図6は、SMT及びビア技術を用いる従来の多層PCBの一部側面図である。 図7は、SMT及びビア技術を用いる従来の多層PCBの一部斜視図である。 図8は、本発明によって多層基板の内部層にSMT実装されるリード又はワイ ヤとウエルを示す一部斜視図であって、説明の容易さのために各層は分離して示 されている図である。 図9は、本発明によって形成されて環状リングを備えたウエル及び多層基板の 内部層にSMT実装されるリード又はワイヤを示す一部側面図であって各層が説 明の容易さのために分離して示されている図である。 本発明によって形成された多層基板の一部側面図であっ て、環状リング、導電性メッキ及びボンディングパッドへのリード及び/又はワ イヤの半田付けを示している図である。 図11(a)、本発明によって形成された多層基板の内側にSMT実装される リード又はワイヤとメッキされたウエルとを示す一部斜視図であって、各層は、 説明の容易さのために分離して示している図である。 図11(b)は、本発明による外側及び内側環状リングによって囲まれたウエ ル及び多層基板の内部層にSMT実装されたリード又はワイヤを示す一部斜視図 であって、説明の容易さのために各層を分離して示した図である。 図12(a)は、本発明によってメッキされたウエルを有する多層基板の製造 方法における最初のステージの例を示す図である。 図12(b)は、本発明によってメッキされたウエルを有する多層基板の製造 方法における第2のステージの例を示す図である。 図12(c)は、本発明によってメッキされたウエルを有する多層基板の製造 方法における第3のステージの例を示す図である。 図13は、本発明によってメッキされたウエルを有する多層基板の製造のため に実行される例示的ステップを示すフローチャートである。 図14(a)は、本発明によってメッキ付きウエルを有 する多層基板を製造する方法における第1のステージの例を示す図である。 図14(b)は、本発明によってメッキ付きウエルを有する多層基板の製造方 法における第2のステージの例を示す図である。 図14(c)は、本発明によって、メッキされたウエルを有する多層基板の製 造方法における第3のステージの例を示す図である。 図15は、本発明によってメッキされたウエルを有する多層基板を製造する為 に実行さるべき例示的ステップを示すフローチャートである。 図16(a)は、本発明によってメッキされていないウエルを有する多層基板 を製造する方法における第1のステージの例を示す図である。 図16(b)は、本発明によってメッキされていないウエルを有する多層基板 の製造方法における第2ステージの例を示す図である。 図16(c)は、本発明によってメッキされていないウエルを有する多層基板 の製造方法における第3のステージの例を示す図である。 図17は、本発明によってメッキされていないウエルを備えた多層基板の製造 の為に実行さるべき例示的ステップを示すフローチャートである。 図18(a)は、本発明によってメッキされていないウ エルを有する多層基板の製造方法における第1ステージの例を示す図である。 図18(b)は、本発明によってメッキされていないウエルを有する多層基板 の製造方法における第2ステージの例を示す図である。 図18(c)は、本発明によってメッキされていないウエルを有する多層基板 の製造方法における第3ステージの例を示す図である。 図19は、本発明によってメッキされていないウエルを有する多層基板を製造 する為に実行さるべき例示的ステップを示すフローチャートである。 図20は、半田付け前の本発明による多層基板の一部斜視図であって、各層が 説明の容易さのために分離して示されている図である。 図21は、説明の容易さのために示されていない半田によってラミネート(積 層)された後の本発明による多層基板の一部斜視図である。 図22は、本発明によって形成される多層基板の種々の層にSMT実装される 異なる長さのウエル及びリードを示す一部側面図である。 図23(a)は、本発明によって形成される多層基板にマウントされる複数の 受容タイプの電気的接続素子の一部斜視図である。 図23(b)は、図23(a)に示した電気的接続素子 の別の一部斜視図である。 図23(c)は、図23(a)において示された電気的接続素子の別の一部斜 視図である。 図24は、図23に示されたような受容タイプの電気的接続素子に組み合うよ うに形成された突出タイプの電気的接続素子の複数の一部斜視図である。 図25は、本発明によって形成された多層基板にSMT実装されるコーナー部 を有するリードの脚部の斜視図である。 図26(a)は、本発明による多層基板と共に用いられるように形成された突 出の電気的接続素子の一部斜視図である。 図26(b)は、本発明による多層基板と共に用いられるように形成された突 出タイプの電気的接続素子の一部側面図である。 図27(a)は、本発明によって形成された半導体ダイキャリアの側面図であ る。 図27(b)は、図27(a)の半導体ダイキャリアであって、この半導体ダ イキャリアに取り込まれた多層基板の種々の層にSMT実装される異なる長さの ウエル及びリードを示す図である。実施例の説明 本発明は、PCB、多層セラミック又はフラットフレキシブルケーブル(FF C)のような多層基板であって、1 以上のワイヤ又は素子リード又は足を用いて多層基板の内部層に直接アクセスす る多層基板を提供するものである。ワイヤ又は部品リード又は足を用いて多層基 板の内部層におけるトレース等に直接アクセスすることにより従来必要とされた トレース、クリアランス及びビアが不要となり、多層基板の接点密度を増加させ て、現状のあるいは将来の半導体又は電子パッケージの密度を増大させるに有利 となる。 例えば、本発明は、ラミネーション処理を用いて形成される全ての多層基板に 応用が可能である。例えば、本発明はFR4等からなる絶縁層を有するPCBを 含む絶縁性及び導電性層を有する全ての多層基板に応用可能である。多層基板の 内部層への直接アクセスは半導体チップの様な部品のリード又は足を用いて達成 されて、更に、例えばチップにワイヤボンディングされるワイヤ、あるいはチッ プから切り取られるワイヤ、あるいはチップのためのボンディングワイヤ等のワ イヤを用いることもできる。どのようなリード、ワイヤ又は類似の導電構造が多 層基板の内部層への直接アクセスをなすために用いられ得る。 本発明によれば、メッキされるかあるいはメッキされないウエルを設けること によって多層基板の内部層への直接アクセスが得られる。このウエルには電気的 又は電子的部品のワイヤ又はリードが挿通されて、ウエルの底部においてSMT コンパチブルボンディングパッドあるいはウエル の底部における層に沿って延びる回路素子への接触をなすのである。もしウエル がメッキされているならば、ウエルの側面において層又はウエルの側面における 層において延在する一以上の回路素子への接触が達成される。従来のPCB技術 においては、SMT部品よりもマウントの難しいPTH部品を用いかつPCBを 貫通するPTH部品を用いて接続がなされるので、どの層においても接触は他の 層の全ての基板スペースを用いるのである。このことは、限定された利点を提供 する一方で回路設計を複雑にするのである。ところが、本発明においては、PC B又は他の多層基板の層に別々に穿孔されているのである。よって、多層基板の 各層が組合わされたとき、多層基板内にウエルが形成され、各ウエルは接触が望 まれるレベルにおいて底を持つことになり、ビアや関連するトレースの必要性を 除くのである。このようにして、ウエルの底より下の層は邪魔されずに回路がウ エルの底より高い方のレベルの接触によって悪影響を受けることなく低い方の層 において回路を引き回すことができるのである。 以下において、添付図面を参照して本発明についてより詳しく説明する。便宜 上、各図面において同様な参照符が本発明の同様な部分を指し示すために用いら れる。 図8は、本発明による多層基板10を示す一部斜視図であり、この基板の各層 は説明の便宜のために分離して示されている。基板10は、例えばPCB又は他 の多層基板で あり得る。導電性構造11は半導体パッケージのような電気又は電子部品(図示 せず)からのワイヤ又はリードであり、基板10に固定される。基板10は上方 の絶縁層12a、内側の絶縁層12b及び12c、並びに下方の絶縁層12dを 含んでいる。図8において、内部層の最も下の層12cはその上に形成されたS MTコンパチブル導電性ボンディングパッド13のみならず、ボンディングパッ ドに接続した導電性トレース14を有する。上方層12a及び最上内部層12b に孔が設けられて上方表面12aから最下内部層12cに達するウエル15が形 成される。導電性構造11はウエル15の中を延在し、ボンディングパッド13 に半田付けされて半田ジョイント(18においては示されていない)を形成し、 導電性構造11を最下内部層12cに固着する。この半田ジョイントはリード1 1をボンディングパッド13に直接接触をさせるのである。 図8の多層基板10は4つの絶縁層を有するものとして示されているが、本発 明によれば、多層基板は4以上又は4より少ない数の絶縁層を有することができ ることに注意すべきである。また、図8の基板10は上方層12aを貫通して形 成されたウエルを有するものとして示されているが、本発明によればウエルは下 方層12dを貫通して設けられてリード、ワイヤ等の導電性構造が基板の下側か ら挿入され得るようになすことができることに注意すべきである。 本発明によれば、図8に示した如く、基板10の表面と電気信号の方向付けの ための選択された内部層12cとの間に存在する層だけがウエル15を有するの である。従って、ウエル15の底部より下側(例えば下方層12d)の各層は邪 魔されずに回路がこのウエルに影響を受けることなく引き回され得る。 図9は、本発明による多層基板10の一部斜視図であり、説明の容易さのため に基板の各層が分離されて示されている。図9からの解るように環状リング16 が層12aの上面上に受けるウエル15のまわりに形成されているが、この環状 リングは任意である。この環状リング16は導電性材料からなり、絶縁層12a の上面に形成されたトレース14aに接続している。導電性構造11は環状リン グ16を貫通して内部層12cに形成されたボンディングパッドに接触する。こ のボンディングパッドは内部層12c上に設けられたトレース14bに接続して いる。導電性構造11を多層基板10に半田付けすることは図10を参照して以 下に説明される。 図10は、ワイヤ又は部品リードのような導電性構造を本発明によってウエル 内に固着又は半田付けする種々の方法について示している。図9において、3つ の導電性構造11a,11b及び11cが示されている。導電性構造11aはま っすぐなリード又はワイヤであり、導電性構造11bはまっすぐなリード又はワ イヤであり、導電性構造1 1cは屈曲したリードまたはワイヤである。これらの導電性構造11a,11b ,11cの各々は対応するウエル15a,15b及び15c内に固着されている 。ウエル15aはメッキされていない部分に配置されたメッキ部分を含んでいる 。ウエル15aはメッキされない通路を上下に有するブラインドビアのように形 成され、従って、上方及び下方の部分をメッキするために必要とするコストが除 去される。ウエル15bは図9において示されたウエルと似ており、環状リング 16が層12aの上面においてウエルの周りに形成されている。しかしながら、 図9のウエルとは異なり、ウエル15bはその長さに亘ってメッキされウエルの 底部に配置されるボンディングパッドを有さない。ウエル15cは図8に示され たウエルとそれが環状リングを有さない点において似ている。 リード又はワイヤ11aがメッキされた部分とメッキされない部分を有するウ エル15a内に下記の如く固定される。ウエル15aの孔が種々の絶縁層におい て設けられかつ各層が互いに積層されたのち、リード又はワイヤ11aがこのウ エルに挿通されてウエルの底に設けられたボンディングパッド13aに直接的物 理的接触をなすのである。そしてリード又はワイヤ11aがウエル15aのメッ キ部分及びボンディングパッド13aに半田付けされて、リード又はワイヤをウ エルのめっき部分又はボンディングパッドに固着する導電性半田ジョイントを形 成する。かかる半 田付けはリード又はワイヤ11aをボンディングパッド13aに直接的物理的接 触を維持するようになすのである。 リード又はワイヤ11bが環状リング16と対応するメッキされたウエル15 b内に次の如く固着される。種々の絶縁層においてウエル15bの為の孔が形成 されて各層が互いに積層された後、リード又はワイヤ11bがこのウエルに挿通 されて環状リング16及びメッキ層に半田付けされてリード又はワイヤを環状リ ング及びメッキ層に固着する導電性の半田ジョイントが形成される。 リード又はワイヤ11cが、以下に述べるように、メッキされていないウエル 15cの中に固定される。ウエル15cの為の孔が種々の絶縁層において設けら れ、これらの層が互いに積層された後リード又はワイヤ11cがこのウエルに挿 通されて、ウエルの底部にあるボンディングパッド13cに直接的物理的接触を なすのである。その後、リード又はワイヤ11cがボンディングパッド13cに 半田付けされて、リード又はワイヤ11cをボンディングパッド13cに固定す る導電性半田ジョイント17cを形成するのである。半田ジョイント17cは図 10に示したようにウエル15cを完全に埋めることもできるし、ウエル15c の下方の部分のみを埋めるようにすることもできる。 図11(a)は、本発明による多層基板10の一部斜視図であり、説明の容易 さのために各層は分離して示されている。図11(a)においては、ウエル15 がPTHと同 様な対応にて導電性材料18によってメッキされている。しかしながら、図11 (a)のこのメッキされたウエルはPTHとは異なり、基板10の全ての層に亘 って存在しているのではない。そうではなくて、このメッキされたウエルは下方 層12dの上方にある内部層12cにその底を有するのであり、ウエル15の下 の各層はこのウエルによって影響を受けず、このウエルの影響なしに回路を引き 回すことが可能である。メッキしたウエルを用いることについて、ウエル15の 全体に亘って導電性半田材を充填してリードまたはワイヤ11、環状リング16 、ボンディングパッド13、導電性材18及び内側及び外側層トレース14a, 14b,14cの間の接続をなすことができる。場合によってはメッキされたウ エル15の一部だけに導電性半田材を充填してリードまたはワイヤ11及び上記 した素子のいずれかとの間の接続をなすこともできる。 図11(b)は、本発明による多層基板10の一部斜視図であり、説明の容易 さのために各層は分離して示されている。図11(b)において、ウエル15は メッキされていないが、上方層12aの上面においてウエル15のまわりに環状 リング16aが形成され層12bの上面におけるウエルのまわりに環状リング1 6bが形成されている。図11(b)においては示されていないが、環状リング 16a及び16bは層12a及び12bの上面ではなく下面に形成することもで きる。ウエル15の通過する層の各々各 に環状リングを設けることもでき、あるいはウエルの通過する層のうちのいくつ かの層にのみ環状リングを設けることもできる。また、環状リングの孔の大きさ はいろいろである。例えば、図11(b)において示したように、環状リング1 6aの孔は環状リング16bの孔より大である。しかしながら環状リング16a の孔の方が環状リング16bの孔よりも小さくすることもできる。また、図11 (b)のウエル15全体にわたって導電性半田材を充填してリード又はワイヤ1 1と、環状リング16a,16bとボンディングパッド13と、内側及び外側ト レース14a,14b,14cとの間の接続をなすことができる。さらには、図 11(b)のウエル15の一部にのみ導電性半田材を充填してリード又はワイヤ 11と上記した素子のいずれかのみとの間の接続をなすこともできる。 図11(a)のウエル15のようにメッキされたウエルは本発明による以下に 述べる方法あるいは他の方法によって製造され得る。また、おおまかに説明すれ ば、メッキされたウエルはビア製造技術の下でコアとして両端処理されたクラッ ドインシュレータを用いて所望の層の間に設けることができる。また、導電性ボ ンディングパッドは電気的接続が必要な層の表面に形成することができる。 図12(a),12(b)及び12(c)、並びに図13に示したフローチャ ートを参照して、メッキ付きウエルの形成方法について説明する。本発明による メッキ付きウ エルの第1の製造方法において、まず、複数の平坦な絶縁シートが選択される( 図13のステップS1)。これらの絶縁シートは、多層基板の上方絶縁層12a 、内部絶縁層12b及び下方絶縁層12cを形成するために用いられる。好まし くは、これらの絶縁シートはFR4、テフロン(商標)、セラミックまたは他の 絶縁材であって多層基板の各層を製造するに適した材料によって形成される。多 層基板としては、FFC、多層セラミックコンダクタ、PCBあるいは別の基板 が考えられる。 図12(a)からも明らかなように、上方及び下方層12a及び12cはその 両面において金属材料19によって被覆され得る。一方において内部層12bは 金属被覆されないプリプレッグ層であって、積層を容易にする材料によって含浸 させられている。金属材料19は銅、銀、又は他の導電性材料からなる。金属材 料19は、上記したボンディングパッドあるいはトレースのような導電素子を形 成するために用いられる。 図13のステップS2において、例えば、図12(a)の被覆された層12( a)等の被覆層のうちの1つに孔20が設けられ、この孔は導電性材料18によ ってメッキされ、エッチング等によって、例えば、図12(b)の被覆層12c のような1つの被覆層においてボンディングパッド13が形成される。図13に おけるステップS3において孔21が被覆されないプリプレッグ絶縁層12bに おい て形成される。この孔21は、図12(b)に示されているように孔20とボン ディングパッド13との間に存在する。プリプレッグ層12bの孔21は被覆層 12aに設けられたメッキ付き孔21よりも大きいことが好ましい。孔21の直 径は次のファクタを考慮して定められる。すなわち積層工程におけるプリプレッ グ材の粘度(これは用いられるエポキシ樹脂材の特性によって予め定められる) 、メッキ付き孔20の毛細管現象、及び積層温度である。 層全体に亘ってプリプレッグ材が与えられた絶縁層12bを用いないで、絶縁 層は選択的にプリプレッグされ得る。すなわち絶縁層12bの一部(例えば孔2 1が設けられた部分)はプリプレッグ材が設けられず残りの部分にのみプリプレ ッグ材が与えられ得る。また、孔21が設けられる層12bの部分にはプリプレ ッグ材を与えないで積層の際に孔にプリプレッグ材が侵出することを防止し、層 12aに設けられる孔20及び層12bに設けられる対応する孔21が同じサイ ズに形成され得る。プリプレッグ材料によって被覆された絶縁層12bを用いる かわりに、絶縁層12bはテフロン又はその他のドライシート粘着性を有する絶 縁材(両面テープのような材料)をその上面又は下面に設けることができる。ド ライシート粘着性は積層工程における加熱を必要とせず、プリプレッグ材料の浸 出を回避することもでき、層12aにおける孔20及びこれに対応する層12b の孔21が同一のサイズたり得る。各ウエルの ための孔は基板複数基板の上方(または下方)層において穿孔される。各ウエル について、複数基板の表面と信号が転送されるべく選択される内部層の間に存在 する層についてのみ孔が開けられる。上記した孔を穿孔しかつボンディングパッ ド、トレース及びその他の導電性素子を形成した後、絶縁シートは図13のステ ップS4において互いに積層されて本発明による図12(c)に示したような多 層基板を形成する。この積層工程において、プリプレッグ材料が用いられた層1 2bが用いられているとき、プリプレッグ層12bを含む積み上げられた層に高 い温度が与えられる。このとき、層12bが選択的にプリプレッグ材料によって 被覆されていない場合、ウエルの領域にプリプレッグ材が相当流れ込む。しかし ながら、この流れ込みはボンディングパッド13を覆うものではない。こうして 得られたメッキ付きウエル15が図12(c)において示されている。次に、図 14(a),図14(b),及び図14(c)並びに図15のフローチャートを 参照して第2のメッキ付きウエルの形成方法について説明する。この方法におけ るステップS1及びS2は既に説明した第1のメッキ付きウエルの形成方法にお けるステップS1及びS2に等しい。換言すれば、図15のステップS1は図1 4(a)に示したように複数の絶縁シートを選択する工程を含み、図15のステ ップS2は金属被覆された層の1つ(例えば、図14(a)のクラッド層12c )に孔20を開ける工程 を含んでおり、さらにこの孔に導電材18をメッキし、エッチングを施して別の クラッド層(例えば、図14(b)のクラッド層12a)にボンディングパッド 13を形成する。 図15のステップS3においては、図14(b)において示したように、孔2 0とボンディングパッド13との間に存在する非クラッドプリプレッグ絶縁層1 2(b)に孔21を設ける。この第2のメッキ付きウエル形成方法におけるプリ プレッグ層12bの孔21は最初のメッキ付き形成方法の孔21とは違ってクラ ッド層12cに設けられるメッキ付き孔20と同じサイズになされるのが好まし い。 図15のステップS4においては、(例えばスクリーニングによって)図14 (b)に示すように導電性接着剤22によって孔21を塞ぐのである。この導電 性接着剤22は積層工程においては流れにくくかつ種々の層を互いに結合するの である。 図15のステップS5においては、絶縁シートが互いに積層されて、図14( c)に示すように本発明による多層基板を形成する。積層工程において、導電性 接着剤は次の2つの作用をなす。すなわち、この接着剤はプリプレッグがウエル に流れ込むのを防止しかつメッキ付きウエル15と内部層ボンディングパッド1 3との間の電気的接続を確実にする。得られたメッキ付きウエル15が図14( c)に示されている。 第1のメッキ付きウエル形成方法においては層が完全にプリプレッグされるが 、この第2の方法においては層12bが選択的にプリプレッグされあるいはドラ イシート接着剤が利用される。 図8のウエル15のように非メッキウエルは次のような方法あるいはその他の 製造方法によって形成される。すなわち、非メッキウエルのためには、ウエルの 形成さるべき各絶縁層が個々に穿孔され、電気的接触の望まれる内部層において ボンディングパッドが形成される。 図16(a),図16(b)及び図16(c)並びに図17のフローチャート を参照して非メッキウエルの第1の形成方法を説明する。この第1の非メッキウ エル形成方法によれば、複数の平坦な絶縁シートがまず選択される(図17のス テップS1)。これらの絶縁シートは上方絶縁層12a、内側絶縁層12b,1 2c,12d、及び下方絶縁層12eを形成するために用いられる。 図16(a)に示したように、絶縁層12a,12c及び12eはそれらの両 面において金属材料19によってクラッディング(被覆)されており、その一方 で、12b,及び12dはクラッディングされずに積層をなすに相応しい材料に よって含浸されたプリプレッグ層、選択的にプリプレッグされた層、またはドラ イシート接着剤が施された絶縁層である。この材料19は環状リング、ボンディ ングパッド及びトレース等の導電性素子を形成するのに用いら れる。 図17のステップS2によれば、例えば図16(a)のクラッド層12aのよ うなクラッド層の1つに孔20が設けられ、エッチング等の処理がなされて、例 えば、図16(b)におけるクラッド層12cのような別のクラッド層において ボンディングパッド13及びトレース14が形成される。図17のステップS3 において、図16(b)に示したように孔20及び内部層のパッディング13と の間に存在するクラッディングされていない絶縁層12bに設けられる。この絶 縁層12bの孔21は好ましくはクラッド層12aに設けられた孔20よりも大 きく形成され、あるいは絶縁層12bが選択的にプリプレッグされたか又はドラ イシート接着剤が施された場合には同じサイズであってもよい。孔21の直径は 次の要素によって決定される。すなわち、予め用いられるエポキシ樹脂の特性に よって決定される積層の際のプリプレッグ材の粘度、及び孔20の毛細管作用、 及び積層温度である。 メッキ付きウエルの場合と同様に、メッキなしウエルの為の孔が多層基板の上 方(又は下方)層において設けられる。各ウエルについて、多層基板の表面及び 信号の方向付けのために選択された内部層との間に存在する層についてのみ穿孔 がなされる。 穴の形成、及びボンディングパッド、トレース、及び同様な導電性素子の形成 の後、絶縁シートが図17のステッ プS4において互いに積層されて図16(c)に示すような本発明による多層基 板が形成される。この積層工程において、層12b及び12dがプリプレッグ材 によって施されている場合、高い温度がこのプリプレッグ層12b及び12dを 含む積み上げられた層に与えられる。この場合、絶縁層12bが選択的にプリプ レッグ処理されていない時はウエル領域にプリプレッグ材がある程度流れ込むが 、これは内側のボンディングパッド13を覆う程ではない。こうして得られる非 メッキウエル15が図16(c)に示されている。 図18(a)、図18(b)及び図18(c)並びに図19のフローチャート を参照して非メッキウエルの第2の形成方法を説明する。この非メッキウエルの 第2の方法におけるステップS1及びS2は上記した非メッキウエルの第1の形 成方法におけるS1及びS2と各々等しい。換言すれば、図19のステップS1 は図18(a)に示したように複数の絶縁シートを選択する工程を含んでいる。 また、図19のステップS2は、例えば図18(a)のクラッディングされた層 すなわちクラッド層12eのようなクラッド層の1つに孔20を形成する工程及 びエッチングを施して例えば図18(b)のクラッド層12cのような別のクラ ッド層の1以上に1以上のトレース14を形成する工程を含んでいる。 図19のステップS3において、図18(b)に示され たように、孔21が孔20及び内部層ボンディングパッド13との間にあるクラ ッディングされていないプリプレッグされた絶縁層に設けられる。この第2の非 メッキウエル形成方法におけるプリプレッグ層12dにおける孔21は、第1の 非メッキウエル形成方法の孔21とは異なり、層12bがその全面に亘ってプリ プレッグ材が施されたものであるとき、好ましくは、クラッディングされた層1 2eに設けられた孔20と同じサイズである。 図19のステップS4においては、例えばスクリーニングによって、図18( b)において示したように導電性接着剤22によって孔21を充填する。この導 電性接着剤は積層工程においては余り流れず、しかしながら種々の層を互いにし っかりと結合させる。 図19のステップS5においては、絶縁シートが積層すなわちラミネートされ て図18(c)に示すように本発明による多層基板を形成する。この積層工程に おいては、導電性接着剤22が次の2つの機能をなすのである。すなわち、この 接着剤はプリプレッグ材料がウエルに流れ込むことを防止しかつボンディングパ ッド13とウエル13に挿通されるリードとの間の電気的導電度を確実にするの である。第1の非メッキウエル形成方法において絶縁層がその全体に亘ってプリ プレッグされるのではなく、孔21を有する層は第2の非メッキウエル形成方法 において選択的にプリプレッグされてドライシート接着剤を用いる。 例えば図9に示したような環状リング16を伴なう非メッキウエル15のよう に組合わせの仕方は次の点を除いて同じである。金属層19から導電素子を形成 するステップの間に上方(又は下方)層において環状リングがウエルのまわりに エッチング等によって形成されるのである。 図20は本発明による多層基板10の一部斜視図であり、多層基板の層12a ,12b,12c及び12dが説明の容易さのために分離して示されている。図 20において示したように、プリプレッグされた内側絶縁層12bにおける孔2 1は内部層のボンディングパッド13の領域よりも大きくなっており、積層工程 において絶縁材が流れることを許容するものの、ウエルを充填したりボンディン グパッドを覆ったりする程には流れないようにしている。 図21は積層後の本発明による多層基板10の一部斜視図である。図21に示 したように、プリプレッグ材はある程度積層工程において流れるもののボンディ ングパッド13を覆うものではない。図21のウエル15の導電性メッキ18は 多層基板10の種々のレベルにおいてトレース14a,14b及び14cに結合 しているように示されている。 ここで注目すべきは、本発明による製造方法の全てにおいて、積層工程と半田 工程を順に行うのではなく、積層工程及び半田工程が同時になされ得ることであ る。例えば、種々の層が互いに隣接して配置され、リード又はワイヤの 如き導電性構造が各ウエル内に配置されて加圧及び加熱が同時になされて、多層 基板の層を積層して各ウエル内の導電構造を同時に半田付け(ソルダリング)を なすのである。 本発明による多層基板は、例えば、PCB、FFC、多層セラミック導体、半 導体パッケージ内の多層基板、または別な多層基板であってもよい。本発明によ る多層基板の製造が完了したとき、リード付き部品がウエル内に部品のリードを 挿通することによって多層基板上に実装され、各リードが対応するウエルに環状 リングのあるところにおいて、ボンディングパッドに及び/又はウエルのための 導電性メッキに半田付けされるのである。ここで、本発明による多層基板は既に 設計された回路構成又はリード付き部品を迂回するように設計され、あるいは本 発明による回路構成又はリード付き部品は既に設計された多層基板を迂回するよ うに設計することができる。いずれの場合においても得られる多層基板回路構成 及び部品は従来の多層基板及びPCBからは得られない利点を提供するのである 。 上記した方法及びフローチャートは本発明による多層基板が製造されかつ電気 及び/又は電子部品又はワイヤにマッチングすることを示すものである。ここで 、同様な目的を達成するための別な方法を考えてみる。例えば、積層工程の前に 孔、環状リング、ボンディングパッド、トレース、PTH、メッキ付きウエル等 の形成が設計者及び/又は製造者の要望に応じていかなる可能な順番でなすこと もでき るのである。よって、例えば、本発明によれば、エッチングをなす前に絶縁層に 孔を形成するより孔の形成の前にエッチングをなすことができるのである。 上記したことによれば、本発明による多層基板に実装するためのワイヤ又はリ ードは半導体素子からのリード又は半導体パッケージからのリード抵抗、キャパ シタ、インダクタ、コネクタ等の電気・電子部品からのリード又はそのようなデ バイスに接続されたワイヤであってもよいのである。図22からも明らかなよう に、半導体パッケージ23の如きリード付き部品の各々は多層基板の異なる層へ のSMTマウンティング接続のための異なる長さのリードを持つことができる。 図22に示したように異なる長さのリードは半導体パッケージ23からの側面か ら伸長することもできるが、また、PGAタイプパッケージにおける如くパッケ ージの底面から下方に向って延びることもできる。さらに、各部品についてリー ドのいくつかはウエル内にマウントされるが、別のリードは基板の上面において SMTリードとしてマウントされることもある。 図22のリード付き部品23は、部品23の側面から延びるリード11a,1 1b,11cを備えている。リード11aは屈曲した脚部を有し、これは多層基 板の上方層12aに設けられたボンディングパッド13aにSMT法を用いて半 田付けされている。リード11bはまっすぐな脚部を有し、これはウエル15b に挿通され、多層基板の内 部層12bに設けられたボンディングパッド13bにSMT法を用いて半田付け されており、さらに、上方層12aに設けられた環状リング16に半田付けされ ている。半田ジョイント17bはウエル15b内のリード11bを保持し、リー ド11b、環状リング16及びボンディングパッド13bの間の導電性を維持し ている。リード11cはウエル15cに挿通されたまっすぐな部分を有し、この 部分は多層基板の下方層12cに設けられたボンディングパッド13cにSMT 法を用いて半田付けされている。半田ジョイント17cはリード11cをウエル 15cに維持し、リード11c及びボンディングパッド13cの間の導電性接触 を提供する。図22には図示されていない導電性トレースは環状リング16及び ボンディングパッド13a,13b,及び13cに接続して基板の導電性素子の 間の信号の伝達を許容する。 ここで、本願と同日に出願されて、各々、「予め形成された半導体チップキャ リア」及び「高密度外部インターフェースをなす半導体チップキャリア」と題す るスタンフォード W.クレーン ジュニア他による米国特許出願を参照しこれ らを本明細書の開示に取り込む。これらの関連出願において開示された半導体ダ イキャリア平面上にはないSMTコンパチブル脚部を伴うリードを有するように 形成された場合に、本発明による多層基板上に搭載されるのに適している。この 点に関し、上記した関連特許出願におい て開示された半導体ダイキャリアは、例えば本発明によって構成される多層基板 の種々の層にSMT実装され得る。換言すれば、多層基板の種々のレベルにおけ るSMT実装は上記した特許出願において開示された半導体ダイキャリアに適用 可能である。かかる半導体ダイキャリアが本発明による多層基板上に実装される 対応は、例えば、図22の内容及びこれに対応する説明から理解できる。 本発明はリード又はワイヤを有する部品すなわちデバイス及びPCB、FFC 、多層セラミックス、半導体パッケージ内に用いられている多層基板等を含む全 ての多層基板に用いられ得る。本発明により多層基板に搭載するためのリードは 突出型の電気接続部品、受容型電気的接続部品、半導体パッケージを受容するソ ケット等からのリードであり得る。本発明によれば、突出型電気的接続部品は対 応する受容型電気的接続部品内の受け入れ部に対応したプラグ部品である。同様 に受容型電気的接続部品は対応する突出型電気的接続部品を受け入れるようにな されたプラグ部品である。突出型及び受容型電気的接続部品において、電気的接 続は各突出型電気的接続部品を対応する受容型電気的接続部品に挿入することに よってなされる。このような挿入は突出型及び受容型電気的接続部品の導電部分 を互いに接触させて電気信号がこの接続部品を通して伝送されるのである。 ひとまとめに図23と称される図23(a)、図23 (b)及び図23(c)は、例えばPCBの多層基板10の異なる部分的斜視図 であり、本発明によって複数の受容型電気的接続部分24を有している。図23 においては、基板の各層は説明の容易さのために分離して示されている。図23 には示されていない絶縁基板内において受容型電気的接続部品24の各リード1 1が多層基板10にマウントされる前に接続されている。この絶縁基板はリード 11を互いに絶縁してリード11の互いの位置関係を維持する。この絶縁基板は 基板に接触するリードの部分より上方であって、リードの屈曲部よりも下方に位 置している。 図23(a)は多層基板上にマウントされた2つの受容型電気的接続部品24 を示しており、各々は、例えば、4本のリード11を有する。図23(a)にお いて、左側の4本のリードが受容型電気的接続部品の最初の1つを形成し、右側 の4本のリードが第2番目の受容型電気的接続部品を形成する。図23(b)及 び図23(c)は第1の受容型電気的接続コンポーネントすなわち図23(a) において示した左側の電気的接続コンポーネントの前面及び後面図である。 図23において、第1の受容型電気的接続コンポーネントの第1リード11は ウエル15を貫通して多層基板10の内側絶縁層12cに設けられたボンディン グパッドにSMT実装される。第1受容型電気的接続コンポーネントの第2及び 第3リード11は各々のウエル15を貫通して多 層基板10の内側絶縁層12bに設けられたボンディングパッドにSMT実装さ れる。第1受容型電気的接続コンポーネントの第4リードはウエルに関係するこ となく最上の絶縁層12aの上面上に設けられたボンディングパッド13にSM T実装される。図23において第2又は右側の受容型電気的接続コンポーネント の4つの全てのリードは最上絶縁層12aの上面に設けられたボンディングパッ ド13に結合している。既に説明した構成と同様に図23の構成におけるウエル の使用は、多層基板の種々の相関の信号伝送の形態にフレキシビリティを与える 一方、ウエル15の通らない下方の絶縁層12d等の下方の層に対しては何らの 影響を与えないのである。 図24は一対の突出型電気的接続コンポーネント25が図23に示した受容型 電気的接続コンポーネント24に挿入され得る状態にあることを示している。各 突出型電気的接続コンポーネント25は複数の導電性コンタクト又はポスト26 を含み、これらのポスト26の間には絶縁性バットレス(Buttress)27が配置 されている。図24から明らかなようにコンタクト26及びバットレス27は電 気的絶縁基板28に付着せしめられる。基板28及びバットレス27は、導電性 コンタクト26を互いに絶縁して異なる電気信号が各コンタクトに供給され得る ようになっている。好ましくは、バットレス27及び基板28(図24には示し ていないが、受容型電気的接続コンポーネントのための 絶縁基板)のための材料はモールドされても縮まない絶縁材である。例えば、ホ クストセラニーズ(Hoechst Celanese)社の商標であるベクトラ(VECTRA)と称 される液晶ポリマである。 突出型電気的接続コンポーネントは対応する受容型電気的接続コンポーネント によって受け入れられるとき、各リード11がコンタクト26に接触して、各リ ード11及び対応するコンタクト26の間の電気信号の伝送をなすのである。図 24は、受容型電気的接続コンポーネント24の多層基板10への搭載を示して いるが、突出型電気的接続コンポーネントも、同様に、受容型電気的接続コンポ ーネントの代わりに多層基板に搭載されて同様な効果を達成する。 コンタクト26の脚部は基板28のバットレス27が植設された側の反対の側 に植設されている。かかる脚部は半導体パッケージ、ケーブル又は他のインター フェース面に直接インターフェースするように構成されている。突出型電気的接 続端子がそれ自身で半導体パッケージまたはダイキャリアの一部をなす場合、そ のパッケージ又はキャリアは本発明による多層基板10にプラギング(Plugging )され得る。本発明において用いられ得る種々のタイプの脚部が既に述べた「高 密度外部インターフェースを可能にする半導体チップキャリア」及び「高密度電 気的接続システム」と各々題し、本願の基礎出願と同日に提出された米国特許 出願(第08/208,691号及び第08/209,219号)及び「高密度電気的接続システム」 と題する米国特許出願(1992年12月1日出願)において開示されており、これ らの関連特許出願は本願発明者と同一の発明者よるものであり、本願明細書に組 み入れられる。更に、本願発明に用いられ得る種々の電気的接続コンポーネント 及び種々の組合わされてかつ変形された電気的接続コンポーネントの構成がこれ らの関連出願において開示されている。 本発明によって多層基板にSMT実装される各リード11の部分については種 々の変形が可能である。図22からも明らかなように、多層基板の上方層にSM T実装される各リードの部分はコーナを有する形態を有することができ、多層基 板の内部層にSMT実装される各リードの部分はまっすぐな形状を有することが できる。図25は脚部の別なタイプを示しており、このタイプは大きさのバラツ キに対する許容度を与える付加的な弾性を与える構造である。図22及び25に 示した脚部の形状は、例えば図23の受容型電気的接続コンポーネント24のよ うな単一のコンポーネントの種々のリードのために共に用いることもでき、ある いは、単一のコンポーネントの全てのリードにこれらの単一の形状に従って形成 されることもできる。図22及び25のリード形状の脚部は多層基板の外側層及 び内部層にSMT実装される全てに用いられ得る。上記した如く、本発明によっ て、多層基板10にSMT実装されるリード1 1は突出型電気的接続コンポーネントのコンタクトに対応する。なお、この場合 、突出型電気的接続コンポーネントは多層基板上にマウントされ対応する受容型 電気的接続コンポーネント内の受け入れコンダクタから伸長している。突出型電 気的接続コンポーネントは、多層基板10からまっすぐに延びる事もでき、ある いは、図26(a)及び26(b)(以下においては図26と総称する)におい て示されているように、多層基板10に対して直角に位置付けされるように向け られることもできる。 図26(a)は、突出型電気的接続コンポーネント25において終端する屈曲 リード11の一部斜視図であり、図26(b)は図26(a)において示された 形状の一部側面図である。図26に示した形状においては、リードの各々は多層 基板10からまっすぐに伸びる垂直部と、該多層基板に対して平行に位置する水 平部とを有する。図26(b)から最も明らかなように、リード11の垂直部は 多層基板の種々の層上にSMT実装を許すように異なる長さを有している。リー ド11の水平部は多層基板10に対して直角に位置した基板29にまで伸長する 。このような構成はスペース効率を増大し、かつ、多層基板のコンポーネントの 冷却にも寄与し、さらには各信号経路を短くすることもできる。これらの水平部 分は、また、多少の弾性を許容して大きさのバラツキに対してより許容度を与え て完全なインターフェース系を形成する。 上記した説明においては、本発明を多層基板全般に亘って関係するものとして 説明したが、上記説明においては例えばPCBのような特定の種類の多層基板に ついて説明した。しかしながら、PCBについて説明した本発明の特徴の全ては 例えばFFC、多層セラミックコンダクタ、半導体パッケージ内に用いられる多 層基板の他のタイプの多層基板にも用いられ得ることに注意すべきである。例え ば、本発明は、セラミック、プラスチック(フレックス回路における如く)また は他のラミネーションによって製造される絶縁材からなる多層基板にも適用され 得る。従って、PCB、多層セラミック、半導体パッケージ内で用いられるよう に設計される多層セラミックコンダクタ等の多層基板は全て本発明の範囲に入る のである。 図27(a)は本発明による半導体第キャリア30の側面図である。 図27(b)は図27(a)において丸印によって囲まれた半導体ダイキャリ ア30の部分の側面図である。半導体ダイキャリアに関する詳細は上述した「高 密度外部インターフェースを可能にする半導体チップキャリア」と題する本願の 基礎出願と同日出願の米国特許出願第08/208,691号から理解され得る。 半導体ダイキャリア30はワイヤボンディング、テープ自動ボンディング(TAB )または制御崩壊(controlled collapse)ダイコネクション(C4)ボンディン グ技術によ って多層基板10にマウントされた半導体ダイ31を有する。多層基板10は例 えばセラミック層12a,12b,12c,12d及び12eを有する多層セラ ミックコンダクタである。ウエル15はメッキされたり、環状リングを備えてメ ッキされなかったり、環状リングなしでかつメッキなしであったりするが、多層 基板10に形成される。ボンディングパッド13が各ウエルの中で多層基板10 の内部層において設けられる。 半導体ダイキャリア30は複数の突出型電気的接続コンポーネント25を有し 、これらのコンポーネントの各々は、図23に示された受容型電気的接続コンポ ーネント24のような対応する受容型電気的接続コンポーネントにプラギングさ れる。このようにして半導体ダイキャリアは、PCB又は多層基板であって、受 容型電気的接続コンポーネントを有する基板にプラギングされる。半導体ダイキ ャリア30の突出型電気的接続コンポーネント25の各々は複数のリード11を 有する。各リード11の脚部は対応するウエル15に挿通されてこのウエル内に 形成されたボンディングパッド13に直接的物理的接触をなす。各リード11の 脚部は対応するボンディングパッド13に半田付けされて、各ウエル15は部分 的にあるいは全体として半田によって充填され得る。トレース14は多層基板1 0の層状に形成されて突出型電気的接続コンポーネント25のリード11及び半 導体ダイ31の導電部の間の電気信号の伝送を 許容する。図27(a)及び27(b)からも明らかなように本発明の特徴であ る多層基板及びリード付きコンポーネントの組合せは、PCBまたは半導体パッ ケージ又は他の部品がマウントされた他の多層基板のみならず、半導体パッケー ジ等の部品内の多層基板にも適用され得る。よって、本発明は多層基板のインタ ーフェース技術の多くのレベルにおいて利点及び大なる成果を提供し得るのであ る。 上述した如く、本発明は、多層基板インターフェース技術の従来例に対して有 利である。かかる有利さの中に、多層基板の表面及び内部層を十分に活用できる 点、より改善された回路ルート選択自由度及び現在のみならず将来にわたる半導 体及びコンピュータ技術のニーズに沿うような装置を提供できる点が挙げられる 。また、従来例に対して本発明によって与えられる有利な点は半導体及びコンピ ュータ技術において現在生じている急速な進歩に十分対応している点である。 本発明の範囲及び精神を離れることなく開示されたプロセス及び製品において 種々の変形が当業者にとっては明らかである。本発明の他の実施例はここに開示 した内容を考慮すれば当業者にとっては自明である。さらに、開示した実施例は 単なる例示と考えられ以下の特許請求の範囲で特定される本発明の真の範囲及び 精神に沿うものである。
【手続補正書】特許法第184条の8 【提出日】1996年5月2日 【補正内容】 明細書(翻訳文) 表面実装部品を支持する内部層を有する装置発明の背景 発明の分野 本発明は、部品のリード又はワイヤの如き導電部分から多層基板の内部層へ電 気信号を伝送する方法及び装置に関し、特に、ビア(via)、メッキ貫通孔等を 用いることなくかかる信号の伝送又は導通をなす技術に関する。 また、本発明は、上記した如き機能を実行するに適した多層基板を製造する方 法に関する。関連技術の説明 DE−A19 36 899 は、複数の絶縁層(I1,I2)によって分離された複数 の導電層を含む多層基板を含む装置を開示している。1つのウエル(D)が基板 内に形成されて、導電層の1つへの接続のために電気デバイス(B)の単一のリ ードを受け入れる。図1−5に示すように、該リードは電気的接続さるべき導電 層を貫通している。しかし乍ら、開示された実施例は表面実装技術とは両立せず 1つのウエル内での複数のリードについても示していない。プリント配線基板( PCB)の如きインターフェース表面上に半導体パッケージ、抵抗、キャパシタ 、インダクタ、コネクタ、等の電気・電子部品を搭載する種々の方法が知 られている。より広く知られている方法としては、メッキ貫通孔(PTH)法及 び表面実装技術(SMT)法である。 図1に示したように、PTH法においては、部品実装が部品 102のリード 101 をPCB 104に設けられたPTH 103に挿通せしめた後、該リードをハンダ付け して該リードをPTHに接触した状態に固定するハンダ付処理をなすことによっ て行なわれる。このPTH法は、単層及び複数層基板の双方について用いられ得 る。 とPCB 104の底面に設けられたトレース108dとの間の電気信号の伝送を許容す る。ここで注意すべきことは、PCB 104の内部層に接続されるSMTリードの 各々のために1つのトレース及び1つのビアが必要となっている点である。従っ て、PCBの種々のレベルにおいて、広い領域が犠牲になっているのである。 図7は、多層PCB 104の従来例を示す部分的斜視図である。この図において は、基板の各層が説明の容易さのために分離して示されている。図6において示 したPCBと同様に、図7に示したPCBもSMTボンディングパッド 106、メ ッキされたビア 107、及びトレース108a,108b が種々の層において設けられてい る。図7において、部品(図示せず)のSMTリード 101がボンディングパッド 106にマウントされている。 本願発明者が承知している従来のPCBはその表面及び内部層を十分に活用し ていない。現状の商業的製造技術によれば、0.015 センチメートル(0.006 イン チ)巾のトレース及び許容誤差を考慮してPCBの1センチメートル当り 31.5 個(1インチ長当り80個)のトレースが許される。半導体パッケージ等の密度 が高くなるに従って、設計者にとってPCBの表面と内部層との間の効率的信号 伝送が困難となる。現状においては、ビアに対して伸長して内部層に接続される トレースを用いて内部層への信号伝送がなされている。これらのビア及び関連す るトレースはかな りの領域を占有するので信号経路の密度を低減し、かつ複雑化 T法を用いて半田付けされており、さらに、上方層12aに設けられた環状リン グ16に半田付けされている。半田ジョイント17bはウエル15b内のリード 11bを保持し、リード11b、環状リング16及びボンディングパッド13b の間の導電性を維持している。リード11cはウエル15cに挿通されたまっす ぐな部分を有し、この部分は多層基板の下方層12cに設けられたボンディング パッド13cにSMT法を用いて半田付けされている。半田ジョイント17cは リード11cをウエル15cに維持し、リード11c及びボンディングパッド1 3cの間の導電性接触を提供する。図22には図示されていない導電性トレース は環状リング16及びボンディングパッド13a,13b,及び13cに接続し て基板の導電性素子の間の信号の伝達を許容する。 ここで、本願と同日に出願されて、各々、「予め形成された半導体チップキャ リア」及び「高密度外部インターフェースをなす半導体チップキャリア」と題す るスタンフォード W.クレーン ジュニア他による米国特許出願を参照する。 これらの関連出願において開示された半導体ダイキャリア平面上にはないSMT コンパチブル脚部を伴うリードを有するように形成された場合に、本発明による 多層基板上に搭載されるのに適している。この点に関し、上記した関連特許出願 において開示された半導体ダイキャリアは、例えば本発明によって 92年12月1日出願)において開示されており、これらの関連特許出願は本願発 明者と同一の発明者よるものである。更に、本願発明に用いられ得る種々の電気 的接続コンポーネント及び種々の組合わされてかつ変形された電気的接続コンポ ーネントの構成がこれらの関連出願において開示されている。 本発明によって多層基板にSMT実装される各リード11の部分については種 々の変形が可能である。図22からも明らかなように、多層基板の上方層にSM T実装される各リードの部分はコーナを有する形態を有することができ、多層基 板の内部層にSMT実装される各リードの部分はまっすぐな形状を有することが できる。図25は脚部の別なタイプを示しており、このタイプは大きさのバラツ キに対する許容度を与える付加的な弾性を与える構造である。図22及び25に 示した脚部の形状は、例えば図23の受容型電気的接続コンポーネント24のよ うな単一のコンポーネントの種々のリードのために共に用いることもでき、ある いは、単一のコンポーネントの全てのリードにこれらの単一の形状に従って形成 されることもできる。図22及び25のリード形状の脚部は多層基板の外側層及 び内部層にSMT実装される全てに用いられ得る。上記した如く、本発明によっ て、多層基板10にSMT実装されるリード11は突出型電気的接続コンポーネ ントのコンタクトに対応する。なお、この場合、突出型電気的接続コンポーネン ト ネントの組合せは、PCBまたは半導体パッケージ又は他の部品がマウントされ た他の多層基板のみならず、半導体パッケージ等の部品内の多層基板にも適用さ れ得る。よって、本発明は多層基板のインターフェース技術の多くのレベルにお いて利点及び大なる成果を提供し得るのである。 上述した如く、本発明は、多層基板インターフェース技術の従来例に対して有 利である。かかる有利さの中に、多層基板の表面及び内部層を十分に活用できる 点、より改善された回路ルート選択自由度及び現在のみならず将来にわたる半導 体及びコンピュータ技術のニーズに沿うような装置を提供できる点が挙げられる 。また、従来例に対して本発明によって与えられる有利な点は半導体及びコンピ ュータ技術において現在生じている急速な進歩に十分対応している点である。 特許請求の範囲(翻訳文) 1. 多層基板(11)であって、 少なくとも上方層(12a)及び下方層(12d)を含む絶縁材からなる複数の層(12 a-12d)と、 前記層の少なくとも1つに形成されて前記多層基板の外側表面から前記多層基 板の内部表面に達する少なくとも1つのウエル(15)と、を有し、 前記多層基板の内部表面上において各ウエル(15)内に設けられた表面実装 コンパチブルボンディングパッド(13)を有し、電気的接続コンポーネント( 24,25)のリード(11,26)が前記ウエル(15)の各々に設けられて 前記ボンディングパッド(13)に当接していることを特徴とする多層基板。 2. 請求項1の多層基板であって、前記電気的接続コンポーネントは突出型電 気的接続コンポーネント(25)であることを特徴とする多層基板。 3. 請求項2記載の多層基板であって、前記突出型電気的接続コンポーネント は複数のリード(26)及び前記リードを支持する絶縁バットレス(27)を含 むことを特徴とする多層基板。 4. 請求項3記載の多層基板であって、前記絶縁バットレス(27)は前記絶 縁材(10)の前記上方層(12a)の表面に垂直に突出していることを特徴とす る多層基板。 5. 請求項3記載の多層基板であって、前記絶縁バットレス(27)は絶縁材 (10)からなる前記上方層(12a)の表面に平行に突出していることを特徴とす る多層基板。 6. 請求項1記載の多層基板であって、前記電気的接続コンポーネントは受容 型電気的接続コンポーネント(24)であることを特徴とする多層基板。 7. 請求項1記載の多層基板であって、前記受容型電気的接続コンポーネント は突出型電気的接続コンポーネント(25)を受け入れるようになされた4つの リード(11)を含むことを特徴とする多層基板。 8. 複数の導電リード(11)及び電気信号を担う多層構造(10)を含む半 導体ダイパッケージ(30)であって、前記多層構造(10)は絶縁材からなる 複数の層(12a-12d)を有し、各層は第1の面及び反対側の第2の面を有し、 前記リード(11)の各々について、前記層の少なくとも1つを貫通し前記層 の1つの表面において底部閉塞されたウエル(15)を有し、前記ウエル(15 )は底をなす層を貫通せず、前記リード(11)の各々は対応するウエル(15 )に挿通されて前記ウエル(15)内に形成された導電性ボンディング構造(1 3)に電気的に接続されていることを特徴とする半導体ダイパッケージ。 9. 請求項8記載の半導体ダイパッケージであって、前記多層構造(10)は 多層セラミックコンダクタであるこ とを特徴とする半導体ダイパッケージ。 10. 請求項8記載の半導体ダイパッケージであって、前記ウエル(15)の各 々はある深さを有するが全てのウエルが同じ深さを有さないことを特徴とする半 導体ダイパッケージ。 11. 請求項8記載の半導体ダイパッケージであって、前記半導体ダイキャリア パッケージ(30)内に搭載された半導体ダイ(31)を更に有することを特徴 とする半導体ダイパッケージ。 12. 請求項11記載の半導体ダイパッケージであって、前記多層構造(10) は前記半導体ダイ(30)及び前記リード(11)の間に電気信号を伝送するこ とを特徴とする半導体ダイパッケージ。 13. 請求項8記載の半導体ダイパッケージであって、前記導電性ボンディング 構造(13)の各々は対応するウエル(15)の底部に形成されていることを特 徴とする半導体ダイパッケージ。 14. 請求項8記載の半導体ダイパッケージであって、前記ウエル(15)の少 なくとも1つは導電材料によってメッキされていることを特徴とする半導体ダイ パッケージ。 15. 請求項14記載の半導体ダイパッケージであって、前記多層構造の外側表 面上において少なくとも1つのウエル(15)をのまわりに形成された導電性環 状リング(16)をさらに有することを特徴とする半導体ダイパッケー ジ。 16. 請求項8記載の半導体ダイパッケージであって、前記ウエル(15)の少 なくとも1つはメッキされていないことを特徴とする半導体ダイパッケージ。 17. 請求項16記載の半導体ダイパッケージであって、前記多層構造の外側表 面上において前記ウエル(15)の少なくとも1つのまわりに形成された導電性 環状リング(16)を有することを特徴とする半導体ダイパッケージ。 18. 請求項8記載の半導体ダイパッケージであって、前記ウエル(15)の各 々を充填する半田を有することを特徴とする半導体ダイパッケージ。 19. 請求項8記載の半導体ダイパッケージであって、前記リード(11)はリ ード群に分けられて、前記リードの各群はプラギング(着脱自在接続)可能な電 気的接続コンポーネント(25)を形成するように用いられていることを特徴と する半導体ダイパッケージ。 20. 請求項19記載の半導体ダイパッケージであって、半導体ダイキャリアパ ッケージのプランギング可能な電気的接続コンポーネント(25)の各々は基板 に搭載された対応するプランギング可能な電気的接続コンポーネントにプランギ ング自在に接続されていることを特徴とする半導体ダイパッケージ。 21. 請求項19記載の半導体ダイパッケージであって、前記プランギング可能 な電気的接続コンポーネント(25) の各々は、前記電気的接続コンポーネントのリード(11)がまわりに配置され た絶縁バットレス(27)をさらに有することすることを特徴とする半導体ダイ パッケージ。 22. 請求項8記載の半導体ダイパッケージであって、前記パッケージの外側表 面から突出する複数の個別の絶縁バットレス(25)をさらに有することを特徴 とする半導体ダイパッケージ。 23. 請求項22記載の半導体ダイパッケージであって、前記リード(11)は 群分けされて、前記リードの各群のリードは前記絶縁バットレス(27)の1つ のまわりに近接して配置されていることを特徴とする半導体ダイパッケージ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,DE, DK,ES,FR,GB,GR,IE,IT,LU,M C,NL,PT,SE),OA(BF,BJ,CF,CG ,CI,CM,GA,GN,ML,MR,NE,SN, TD,TG),AP(KE,MW,SD,UG),AM, AT,AU,BB,BG,BR,BY,CA,CH,C N,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,GB,GE ,HU,JP,KE,KG,KP,KR,KZ,LK, LR,LT,LU,LV,MD,MG,MN,MW,M X,NL,NO,NZ,PL,PT,RO,RU,SD ,SE,SG,SI,SK,TJ,TT,UA,UG, UZ,VN 【要約の続き】 にするステップと、からなることを特徴とする装置の製 造方法。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1. 絶縁材からなる複数の層からなる多層基板と、少なくとも1つの導電性リ ード又はワイヤを有するデバイスと、からなる装置であって、 前記層の少なくとも1つにおいては少なくとも1つのウエルが形成され、前記 ウエルは前記多層基板の外側表面から前記多層基板の内側表面にまで伸長し、導 電性コンポーネントが前記多層基板の内側表面上のウエル内に形成され、 前記導電性リード又はワイヤは前記ウエルの中に伸長し、前記多層基板の内側 表面上に設けられた導電性コンポーネントに直接的物理的接触をしていることを 特徴とする装置。 2. 請求項1記載の装置であって、前記導電性コンポーネントは導電性ボンデ ィングパッドであることを特徴とする装置。 3. 請求項2記載の装置であって、前記導電性コンポーネントは、更に前記導 電性ボンディングパッド上に形成された導電性接着剤を含むことを特徴とする装 置。 4. 複数の絶縁材からなる層からなる多層基板であって、少なくとも1つのウ エルが前記層の少なくとも1つに形成され、前記ウエルが前記多層基板の外側表 面から内側表面に延びており、前記多層基板の内側表面上の前記ウエル内に設け られた導電性コンポーネントを有する多層基板を形成するステップと、 デバイスから延びる少なくとも1つの導電性リード又はワイヤを前記ウエルに 挿入して前記リード又はワイヤが前記多層基板の内側表面上に設けられて導電性 コンポーネントに直接物理的接触をなすようにするステップと、からなることを 特徴とする装置の製造方法。 5. 請求項4記載の方法であって、前記導電性コンポーネントは導電性ボンデ ィングパッドを含むことを特徴とする方法。 6. 請求項5記載の方法であって、前記導電性コンポーネントは、さらに、前 記導電性ボンディングパッド上に設けられた導電性接着剤を有することを特徴と する方法。 7. 多層基板であって、少なくとも上方層及び下方層を含む絶縁材からなる複 数の層と、前記層の少なくとも1つに設けられて、前記多層基板の外側表面から 内側表面に延びる少なくとも1つのウエルと、前記多層基板の前記内側表面上で 前記ウエル内に設けられたSMTコンパチブルボンディングパッドと、を有する ことを特徴とする多層基板。 8. 請求項7記載の多層基板であって、前記ウエルが前記多層基板の上方表面 から内部表面にまで伸長していることを特徴とする多層基板。 9. 請求項7記載の多層基板であって、前記ウエルが前記多層基板の底部表面 から内部表面にまで伸長していることを特徴としている多層基板。 10. 請求項7記載の多層基板であって、コンポーネント からの導電性リード又はワイヤが前記ウエルに挿通されて前記ボンディングパッ ドに半田付けされていることを特徴とする多層基板。 11. 請求項7記載の多層基板であって、さらに、前記多層基板の外側表面上の 前記ウエルのまわりに形成された導電性環状リングを有することを特徴とする多 層基板。 12. 請求項11記載の多層基板であって、コンポーネントから延びる導電性リ ード又はワイヤが前記ウエル内に挿通されて前記環状リングに半田付けされてい ることを特徴とする多層基板。 13. 請求項12記載の多層基板であって、前記コンポーネントのリード又はワ イヤは前記環状リング及びボンディングパッドに半田付けされていることを特徴 とする多層基板。 14. 請求項7記載の多層基板であって、前記ウエルはその長さ方向に亘って導 電性材料によってメッキされていることを特徴とする多層基板。 15. 請求項14記載の多層基板であって、コンポーネントからの導電性リード 又はワイヤはウエル内に挿入されて導電性メッキ材料に半田付けされていること を特徴とする多層基板。 16. 請求項7記載の多層基板であって、電気的接続コンポーネントのリードが 各ウエルの中にマウントされていることを特徴とする多層基板。 17. 請求項16記載の多層基板であって、前記導電性接続コンポーネントは突 出型導電性接続コンポーネントであることを特徴とする多層基板。 18. 請求項16記載の多層基板であって、前記電気的接続コンポーネントは受 容型電気的接続コンポーネントであることを特徴とする多層基板。 19. 請求項7記載の多層基板であって、前記多層基板は半導体ダイキャリアパ ッケージ内に収納されていることを特徴とする多層基板。 20. 多層基板を製造する方法であって、 少なくとも1つの上方層及び下方層を含むように絶縁材からなる複数の層を配 置するステップと、前記層の少なくとも1つにおいて、前記多層基板の外側表面 から内部表面に延びる少なくとも1つのウエルを形成するステップと、 前記多層基板の内部層上のウエル内にSMTコンパチブルボンディングパッド を形成するステップと、からなることを特徴とする方法。 21. 請求項20記載の多層基板製造方法であって、前記ウエル形成ステップは 、前記多層基板の最上表面から前記多層基板の内部表面に至るウエルを形成する ステップを含むことを特徴とする方法。 22. 請求項20記載の多層基板製造方法であって、前記ウエル形成ステップは 、前記多層基板の最下表面から前記多層基板の内部表面に至るウエルを形成する ステップを含 むことを特徴とする方法。 23. 請求項20記載の多層基板製造方法であって、更に、前記ウエルに挿入さ れて前記ボンディングパッドに達するコンポーネントの導電性リード又はワイヤ を半田付けするステップを含むことを特徴とする方法。 24. 請求項20記載の多層基板製造方法であって、前記多層基板外側表面のウ エルのまわりに導電性環状リングを生成するステップを含むことを特徴とする方 法。 25. 請求項24記載の多層基板製造方法であって、さらに、前記ウエル内に挿 入される前記リード又はワイヤを前記環状リングに半田付けするステップを含む ことを特徴とする方法。 26. 請求項25記載の多層基板製造方法であって、さらに、前記ウエルに挿通 されるリード又はワイヤを前記環状リング及び前記ボンディングパッドに半田付 けするステップを含むことを特徴とする方法。 27. 請求項20記載の多層基板製造方法であって、さらに、前記ウエルをその 長さに亘って導電材料によってメッキするステップを含むことを特徴とする方法 。 28. 請求項27記載の多層基板製造方法であって、前記コンポーネントからの 導電性リード又はワイヤであって、前記ウエル内に挿通されるリード又はワイヤ を導電性メッキ材に半田付けする工程を含むことを特徴とする方法。 29. 請求項20記載の多層基板製造方法であって、電気 的接続コンポーネントからの少なくとも1つのリードを各ウエルに挿通するステ ップを更に有することを特徴とする方法。 30. 請求項29記載の多層基板製造方法であって、前記導電性接続コンポーネ ントは突出型電気的接続コンポーネントであることを特徴とする方法。 31. 請求項29記載の多層基板製造方法であって、前記電気的接続コンポーネ ントは受容型電気的接続コンポーネントであることを特徴とする方法。 32. 請求項20記載の多層基板製造方法であって、前記多層基板を半導体ダイ キャリアパッケージ内に収納するステップをさらに有することを特徴とする方法 。 33. 複数の絶縁材からなる層からなる多層基板と、少なくとも1つの導電性リ ード又はワイヤを有するデバイスと、からなる装置であって、 前記層の少なくとも1つにおいて少なくとも1つのウエルが形成され、前記ウ エルは前記多層基板の外側表面から前記多層基板の内部に向って伸長し、前記ウ エルには導電性コンポーネントが形成され、 前記導電性リード又はワイヤは前記多層基板の一部のみに亘ってウエル内にお いて伸長し、電気信号が前記導電性コンポーネント及び前記リードの間において 伝送されうることを特徴とする装置。 34. 請求項33記載の装置であって、前記リード又はワ イヤは前記ウエルに設けられた導電性コンポーネントに直接的物理的接触をなし ていることを特徴とする装置。 35. 請求項33記載の装置であって、前記導電性コンポーネントは前記多層基 板の内部層上に設けられ、前記ウエルの閉塞端部を画定し、前記リード又はワイ ヤは前記ウエルの閉塞端を定める内部層上に設けられた導電性コンポーネント及 びウエル内のいずれかに設けられた導電性コンポーネントにも半田付けされてい ることを特徴とする装置。 36. 装置の製造方法であって、 絶縁材からなる複数の層からなる多層基板であって、前記層の内の少なくとも 1つに少なくとも1つのウエルが形成され、前記ウエルが前記多層基板の外側表 面から前記多層基板の内部表面に向って伸長し、前記ウエル内に導電性コンポー ネントが形成された多層基板を形成するステップと、デバイスの少なくとも1つ の導電性リード又はワイヤを前記多層基板の一部のみにおいて前記ウエル内に伸 長させて、電気信号を前記導電性コンポーネント及び前記リード又はワイヤの間 において伝送可能としたことを特徴とする方法。 37. 請求項36記載の製造方法であって、前記リード又はワイヤは前記ウエル 内に設けられた導電性コンポーネントに直接的物理的接触をなしていることを特 徴とする方法。 38. 請求項36記載の製造方法であって、前記導電性コンポーネントは前記ウ エルの閉塞端を特定する前記多層基 板の内部層に形成されていることを特徴とする方法。
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