JPH09205588A - 光電変換装置 - Google Patents
光電変換装置Info
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- JPH09205588A JPH09205588A JP8010336A JP1033696A JPH09205588A JP H09205588 A JPH09205588 A JP H09205588A JP 8010336 A JP8010336 A JP 8010336A JP 1033696 A JP1033696 A JP 1033696A JP H09205588 A JPH09205588 A JP H09205588A
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 59
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G15/00—Apparatus for electrographic processes using a charge pattern
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/60—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
- H04N25/65—Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to reset noise, e.g. KTC noise related to CMOS structures by techniques other than CDS
-
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- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
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- Electronic Switches (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光信号蓄積と信号出力を同時に行う１次元又
は２次元の光電変換装置において、センサ部のリセット
ノイズを除去し、ランダムノイズを低減する。 【解決手段】 光センサ１と、該光センサのリセット手
段２と、上記光センサのリセット時のノイズ信号を保持
するノイズ信号保持手段（４，５，６、６’）と、同一
の上記リセット後に上記光センサが蓄積した信号から上
記保持しておいたノイズ信号を用いてノイズを除去する
ノイズ信号除去手段（７〜１６）と、を有することを特
徴とする光電変換装置。
は２次元の光電変換装置において、センサ部のリセット
ノイズを除去し、ランダムノイズを低減する。 【解決手段】 光センサ１と、該光センサのリセット手
段２と、上記光センサのリセット時のノイズ信号を保持
するノイズ信号保持手段（４，５，６、６’）と、同一
の上記リセット後に上記光センサが蓄積した信号から上
記保持しておいたノイズ信号を用いてノイズを除去する
ノイズ信号除去手段（７〜１６）と、を有することを特
徴とする光電変換装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光電変換装置に関
し、例えばファクシミリ、デジタル複写機あるいはＸ線
撮像装置等の読み取りを行う一次元及び二次元の光電変
換装置に関し、特に光センサのリセット動作に起因する
ランダムノイズの除去に関するものである。
し、例えばファクシミリ、デジタル複写機あるいはＸ線
撮像装置等の読み取りを行う一次元及び二次元の光電変
換装置に関し、特に光センサのリセット動作に起因する
ランダムノイズの除去に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ファクシミリ、デジタル複写機等
の画像読取系や、ビデオカメラ、ディジタルカメラ等の
撮像デバイスとして、主にＣＣＤが用いられてきたが、
近年、ＭＯＳトランジスタやバイポーラトランジスタの
増幅機能を画素単位で有する、いわゆる増幅型の光電変
換装置の開発も盛んに行なわれている。
の画像読取系や、ビデオカメラ、ディジタルカメラ等の
撮像デバイスとして、主にＣＣＤが用いられてきたが、
近年、ＭＯＳトランジスタやバイポーラトランジスタの
増幅機能を画素単位で有する、いわゆる増幅型の光電変
換装置の開発も盛んに行なわれている。
【０００３】増幅型光電変換装置において、高感度化を
実現する為には、ノイズの除去が重要となるが、このノ
イズ除去に関して、従来、いくつかの提案が為されてい
る。 ［従来例１］図６は、バイポーラトランジスタを光セン
サとして各画素に有する１次元の光電変換装置の回路
図、及びそのタイミングチャートである（テレビジョン
学会誌Vol.47,No.9(1993)pp.1180より) 。
実現する為には、ノイズの除去が重要となるが、このノ
イズ除去に関して、従来、いくつかの提案が為されてい
る。 ［従来例１］図６は、バイポーラトランジスタを光セン
サとして各画素に有する１次元の光電変換装置の回路
図、及びそのタイミングチャートである（テレビジョン
学会誌Vol.47,No.9(1993)pp.1180より) 。
【０００４】この光電変換装置の動作を以下に説明す
る。スタートパルス（ＳＰ）が入力されると、蓄積容量
ＣTS，ＣTNがリセットされ、続いてセンサノイズを含む
光信号をＣTSに転送する。
る。スタートパルス（ＳＰ）が入力されると、蓄積容量
ＣTS，ＣTNがリセットされ、続いてセンサノイズを含む
光信号をＣTSに転送する。
【０００５】その後、光センサのリセット動作を行な
い、そのセンサノイズを含む暗時の出力をＣTNに転送す
る。再びセンサをリセットして蓄積動作に入る。それと
同時に１チップ目のシフトレジスタが走査を開始し、Ｃ
TS，ＣTNのデータをそれぞれ１チップ目の共通出力線で
あるＣHS，ＣHNに容量分割にて出力する。出力された信
号は、それぞれボルテージフォロワを介して差動アンプ
に入力され、ＩＣの出力としてセンサノイズのない信号
が得られる。
い、そのセンサノイズを含む暗時の出力をＣTNに転送す
る。再びセンサをリセットして蓄積動作に入る。それと
同時に１チップ目のシフトレジスタが走査を開始し、Ｃ
TS，ＣTNのデータをそれぞれ１チップ目の共通出力線で
あるＣHS，ＣHNに容量分割にて出力する。出力された信
号は、それぞれボルテージフォロワを介して差動アンプ
に入力され、ＩＣの出力としてセンサノイズのない信号
が得られる。
【０００６】なお、ここでいうセンサリセットノイズと
は、各画素の光センサとなるバイポーラトランジスタの
ｈFEや、ベース／コレクタ間容量Ｃbcのバラツキに起因
するＦＰＮ（Fixed Pattern noise)を指す。すなわち、
ｈFEやＣbcのバラツキにより、φＥＲＳによるエミッタ
リセット後のエミッタ電位が、画素ごとにばらつく為、
それが通常の読み出しにおいては、オフセットとして現
われるが、この方式により、そのオフセットが除去でき
るため、ＦＰＮが低減できる。
は、各画素の光センサとなるバイポーラトランジスタの
ｈFEや、ベース／コレクタ間容量Ｃbcのバラツキに起因
するＦＰＮ（Fixed Pattern noise)を指す。すなわち、
ｈFEやＣbcのバラツキにより、φＥＲＳによるエミッタ
リセット後のエミッタ電位が、画素ごとにばらつく為、
それが通常の読み出しにおいては、オフセットとして現
われるが、この方式により、そのオフセットが除去でき
るため、ＦＰＮが低減できる。
【０００７】［従来例２］また、他の従来例として、特
開平１−１５４６７８号公報には、図７及び図８に示す
ような固体撮像装置が提案されている。
開平１−１５４６７８号公報には、図７及び図８に示す
ような固体撮像装置が提案されている。
【０００８】同図において、入射光によって生じ、各ホ
トダイオード１０１に蓄積された信号電荷の出力は、次
の手順で行われる。装置の出力の水平帰線期間の始め
に、次ぎに読み出すべき水平方向一列のホトダイオード
１０１が選択されると、その一列に対応したリセット線
１０６がオン、オフし、リセットスイッチ１０３による
リセットを行った後、次いでドレイン線１０７がオンす
ると、この一列の各画素アンプ１０４はソースフォロア
のドライバトランジスタとして動作する。このときの各
ソースフォロアの出力は、信号電荷の無い場合のアンプ
出力であり、ゲート線１１６がオン、オフすることによ
って、この出力電圧はゲートスイッチ１０９を介して蓄
積容量１１１へと記憶される。
トダイオード１０１に蓄積された信号電荷の出力は、次
の手順で行われる。装置の出力の水平帰線期間の始め
に、次ぎに読み出すべき水平方向一列のホトダイオード
１０１が選択されると、その一列に対応したリセット線
１０６がオン、オフし、リセットスイッチ１０３による
リセットを行った後、次いでドレイン線１０７がオンす
ると、この一列の各画素アンプ１０４はソースフォロア
のドライバトランジスタとして動作する。このときの各
ソースフォロアの出力は、信号電荷の無い場合のアンプ
出力であり、ゲート線１１６がオン、オフすることによ
って、この出力電圧はゲートスイッチ１０９を介して蓄
積容量１１１へと記憶される。
【０００９】次いで、この水平方向一列に対応した垂直
ゲート線１０５がオン、オフし、信号電荷が各画素アン
プ１０４のゲートに加わると、各ソースフォロアの出力
は、信号電荷の量に対応した値をとる。ここでゲート線
１１７をオン、オフすることによってこの出力電圧はこ
こでゲートスイッチ１１０を介して蓄積容量１１２へと
記憶される。
ゲート線１０５がオン、オフし、信号電荷が各画素アン
プ１０４のゲートに加わると、各ソースフォロアの出力
は、信号電荷の量に対応した値をとる。ここでゲート線
１１７をオン、オフすることによってこの出力電圧はこ
こでゲートスイッチ１１０を介して蓄積容量１１２へと
記憶される。
【００１０】水平帰線期間内の動作は以上であり、水平
走査出力期間内には、水平レジスタ１２２が各画素に対
応する水平ゲートスイッチ１１３、１１４を順次開閉走
査することにより、蓄積容量１１１、１１２に蓄えられ
ていたソースフォロア出力電荷は水平信号線１２０より
順次出力される。
走査出力期間内には、水平レジスタ１２２が各画素に対
応する水平ゲートスイッチ１１３、１１４を順次開閉走
査することにより、蓄積容量１１１、１１２に蓄えられ
ていたソースフォロア出力電荷は水平信号線１２０より
順次出力される。
【００１１】蓄積容量１１１、１１２に蓄えられていた
出力電荷は、１個の画素アンプ１０４についての、リセ
ット時と信号電荷入力時の両者の場合の出力を時間的に
連続して得たものであり、さらにこれら両出力の差分を
とることにより、複数のソースフォロアの入力オフセッ
トばらつきに起因する雑音、及びソースフォロアの１／
ｆ雑音を容易に抑圧することができる。
出力電荷は、１個の画素アンプ１０４についての、リセ
ット時と信号電荷入力時の両者の場合の出力を時間的に
連続して得たものであり、さらにこれら両出力の差分を
とることにより、複数のソースフォロアの入力オフセッ
トばらつきに起因する雑音、及びソースフォロアの１／
ｆ雑音を容易に抑圧することができる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来例では、光電変換手段のリセット時に生ずるリセ
ットノイズを除去することができないという解決すべき
課題があった。
た従来例では、光電変換手段のリセット時に生ずるリセ
ットノイズを除去することができないという解決すべき
課題があった。
【００１３】このリセットノイズとは、光センサをリセ
ットする度にリセットされた電位がゆらぐもので、ラン
ダムノイズとして現われる。
ットする度にリセットされた電位がゆらぐもので、ラン
ダムノイズとして現われる。
【００１４】例えば、ｐｎ接合を有するホトダイオード
において、光生成キャリアＱP をホトダイオード部の容
量ＣPDに蓄積し、電圧に変換する場合、光生成キャリア
による光信号電圧ＶP は、 ＶP ＝ＱP ／ＣPD ・・・・・（１） となる。一方リセットノイズＶN は、 ＶN ＝√（ｋＴ／ＣPD） ・・・・・（２） （ｋ：ボルツマン定数、Ｔ：温度（ｋ）） となる為、Ｓ／Ｎ比は、 ＶP ／ＶN ＝ＱPD・√（１／（ｋＴＣPD）） ・・・・・（３） となる。
において、光生成キャリアＱP をホトダイオード部の容
量ＣPDに蓄積し、電圧に変換する場合、光生成キャリア
による光信号電圧ＶP は、 ＶP ＝ＱP ／ＣPD ・・・・・（１） となる。一方リセットノイズＶN は、 ＶN ＝√（ｋＴ／ＣPD） ・・・・・（２） （ｋ：ボルツマン定数、Ｔ：温度（ｋ）） となる為、Ｓ／Ｎ比は、 ＶP ／ＶN ＝ＱPD・√（１／（ｋＴＣPD）） ・・・・・（３） となる。
【００１５】従って、（３）式より、Ｓ／Ｎ比を上げる
為には、光センサの蓄積容量ＣPDをできるだけ小さくす
ることが望ましいが、現実的には限界がある。一方、光
電変換装置の高精細化、高速化に伴い、信号電荷ＱP
は、減少する方向になる為、このリセットノイズを除去
することは、光電変換装置の高Ｓ／Ｎ化の重要なポイン
トとなる。
為には、光センサの蓄積容量ＣPDをできるだけ小さくす
ることが望ましいが、現実的には限界がある。一方、光
電変換装置の高精細化、高速化に伴い、信号電荷ＱP
は、減少する方向になる為、このリセットノイズを除去
することは、光電変換装置の高Ｓ／Ｎ化の重要なポイン
トとなる。
【００１６】しかしながら、従来例１において、図６の
タイミングチャートに示されるように、センサリセット
を２回行なっており、読み出される光信号とノイズ信号
は、異なるセンサリセットによるものとなっている。即
ち、２回目のセンサリセット後に蓄積動作と光信号読み
出し動作を行ない、この２回目のセンサリセット時に発
生したセンサノイズＮ’を含む読み出し信号Ｓ＋Ｎ’か
ら、１回目のセンサリセットで発生したセンサノイズＮ
を差し引くことで、センサノイズを除去しようとするた
め、センサリセットノイズの√２倍のランダムノイズが
発生することになる。
タイミングチャートに示されるように、センサリセット
を２回行なっており、読み出される光信号とノイズ信号
は、異なるセンサリセットによるものとなっている。即
ち、２回目のセンサリセット後に蓄積動作と光信号読み
出し動作を行ない、この２回目のセンサリセット時に発
生したセンサノイズＮ’を含む読み出し信号Ｓ＋Ｎ’か
ら、１回目のセンサリセットで発生したセンサノイズＮ
を差し引くことで、センサノイズを除去しようとするた
め、センサリセットノイズの√２倍のランダムノイズが
発生することになる。
【００１７】また、従来例２においても、リセットスイ
ッチ１０３によるリセット時にはゲートスイッチ１０９
は閉じている状態で行なうため、ホトダイオード１０１
のリセットと、リセットスイッチ１０３によるリセット
は、異なるリセット動作になるため、従来例１と同様に
リセットに起因するランダムノイズは、完全に除去でき
ない。
ッチ１０３によるリセット時にはゲートスイッチ１０９
は閉じている状態で行なうため、ホトダイオード１０１
のリセットと、リセットスイッチ１０３によるリセット
は、異なるリセット動作になるため、従来例１と同様に
リセットに起因するランダムノイズは、完全に除去でき
ない。
【００１８】また従来例２において、ゲートスイッチ１
０９を設けない例も開示されているが、この場合も同様
にセンサリセットに起因するランダムノイズが発生して
しまうという問題があるということが開示されている。
０９を設けない例も開示されているが、この場合も同様
にセンサリセットに起因するランダムノイズが発生して
しまうという問題があるということが開示されている。
【００１９】すなわち、従来技術において、ＦＰＮの改
善は可能となったが、いぜんとして光センサのリセット
動作に起因するランダムノイズに対しては、改善されて
いない。
善は可能となったが、いぜんとして光センサのリセット
動作に起因するランダムノイズに対しては、改善されて
いない。
【００２０】［発明の目的］本発明の目的は、光信号蓄
積と信号出力を同時に行なう１次元又は２次元の光電変
換装置において、センサ部のリセット動作に起因するラ
ンダムノイズを低減することにある。
積と信号出力を同時に行なう１次元又は２次元の光電変
換装置において、センサ部のリセット動作に起因するラ
ンダムノイズを低減することにある。
【００２１】
【課題を解決する為の手段および作用】本発明は、上記
課題を解決するための手段として、光信号蓄積中に信号
出力を行なう光電変換装置において、光電変換手段と、
該光電変換手段のリセット手段と、上記光電変換手段の
リセット時のノイズ信号を保持するノイズ信号保持手段
と、同一の上記リセット後に上記光電変換手段が蓄積し
た信号から上記保持しておいたノイズ信号を用いてノイ
ズを除去するノイズ信号除去手段と、を有することを特
徴とする光電変換装置を提供するものである。
課題を解決するための手段として、光信号蓄積中に信号
出力を行なう光電変換装置において、光電変換手段と、
該光電変換手段のリセット手段と、上記光電変換手段の
リセット時のノイズ信号を保持するノイズ信号保持手段
と、同一の上記リセット後に上記光電変換手段が蓄積し
た信号から上記保持しておいたノイズ信号を用いてノイ
ズを除去するノイズ信号除去手段と、を有することを特
徴とする光電変換装置を提供するものである。
【００２２】また、１次元又は２次元状に配列された複
数の光電変換手段と、上記光電変換手段をリセットする
リセット手段と、上記リセット直後のノイズ信号電荷を
読み出すノイズ信号読み出し手段と、光信号蓄積後の光
信号電荷を読み出す光信号読み出し手段と、上記ノイズ
信号読み出し手段のノイズ信号と光信号読み出し手段の
光信号を順次走査する走査手段と、上記走査手段によ
り、上記ノイズ信号読み出し手段、及び光信号読み出し
手段から、信号を読み出すと同時に、上記光電変換手段
部で光信号蓄積を行なう光電変換装置において、上記リ
セット直後のノイズ信号を、少なくとも前記同一のリセ
ット後の上記光信号を上記光信号読み出し手段に読み出
す前まで保持するノイズ信号保持手段と、上記リセット
直後のノイズ信号と、上記同一のリセット後の上記光信
号との差分を出力する手段と、を有することを特徴とす
る光電変換装置、を、その手段とするものである。
数の光電変換手段と、上記光電変換手段をリセットする
リセット手段と、上記リセット直後のノイズ信号電荷を
読み出すノイズ信号読み出し手段と、光信号蓄積後の光
信号電荷を読み出す光信号読み出し手段と、上記ノイズ
信号読み出し手段のノイズ信号と光信号読み出し手段の
光信号を順次走査する走査手段と、上記走査手段によ
り、上記ノイズ信号読み出し手段、及び光信号読み出し
手段から、信号を読み出すと同時に、上記光電変換手段
部で光信号蓄積を行なう光電変換装置において、上記リ
セット直後のノイズ信号を、少なくとも前記同一のリセ
ット後の上記光信号を上記光信号読み出し手段に読み出
す前まで保持するノイズ信号保持手段と、上記リセット
直後のノイズ信号と、上記同一のリセット後の上記光信
号との差分を出力する手段と、を有することを特徴とす
る光電変換装置、を、その手段とするものである。
【００２３】［作用］本発明によれば、ノイズの保持手
段を設けることにより、センサリセット時に発生したノ
イズを保持した後、そのまま、光信号の蓄積動作と読み
出し動作を行ない、同一のセンサリセットにおけるノイ
ズと光信号の差分をとることができるため、センサリセ
ット時に生ずるランダムノイズの完全な除去が可能とな
る。
段を設けることにより、センサリセット時に発生したノ
イズを保持した後、そのまま、光信号の蓄積動作と読み
出し動作を行ない、同一のセンサリセットにおけるノイ
ズと光信号の差分をとることができるため、センサリセ
ット時に生ずるランダムノイズの完全な除去が可能とな
る。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。
基づいて詳細に説明する。
【００２５】［第１の実施形態］図１は、本発明の第１
の実施形態に係る光電変換装置の回路図及びそのタイミ
ングチャートである。
の実施形態に係る光電変換装置の回路図及びそのタイミ
ングチャートである。
【００２６】本実施形態の光電変換装置は、図に示すよ
うに、光電変換手段となるホトダイオード１と、ＭＯＳ
トランジスタ３，３’と、該光電変換手段のリセット手
段となるＭＯＳスイッチ２と、上記光電変換手段のリセ
ット時のノイズ信号を保持するノイズ信号保持手段とな
るＭＯＳトランジスタ４，６，６’と容量（ＣM ）５
と、同一の上記リセット後に上記光電変換手段が蓄積し
た信号から上記保持しておいたノイズ信号を用いてノイ
ズを除去するノイズ信号除去手段（７〜１６）と、を有
することを特徴とする光電変換装置である。
うに、光電変換手段となるホトダイオード１と、ＭＯＳ
トランジスタ３，３’と、該光電変換手段のリセット手
段となるＭＯＳスイッチ２と、上記光電変換手段のリセ
ット時のノイズ信号を保持するノイズ信号保持手段とな
るＭＯＳトランジスタ４，６，６’と容量（ＣM ）５
と、同一の上記リセット後に上記光電変換手段が蓄積し
た信号から上記保持しておいたノイズ信号を用いてノイ
ズを除去するノイズ信号除去手段（７〜１６）と、を有
することを特徴とする光電変換装置である。
【００２７】また、上記リセット直後のノイズ信号電荷
を読み出すノイズ信号読み出し手段としてのＭＯＳスイ
ッチ７，容量（ＣTN）９と、光信号蓄積後の光信号電荷
を読み出す光信号読み出し手段としてのＭＯＳスイッチ
８，容量（ＣTS）１０と、上記ノイズ信号読み出し手段
のノイズ信号と上記光信号読み出し手段の光信号を順次
走査する走査手段となるシフトレジスタ１３と、上記走
査手段により、上記ノイズ信号読み出し手段（７，
９）、及び光信号読み出し手段（８，１０）から、信号
を読み出すと同時に、上記光電変換手段で光信号蓄積を
行なう光電変換装置において、上記リセット直後のノイ
ズ信号を、前記同一のリセット後蓄積された上記光信号
を上記光信号読み出し手段（８，１０）に読み出す前ま
で保持するノイズ信号保持手段（４，５，６，６’）
と、上記保持しておいたリセット直後のノイズ信号と、
上記同一のリセット後の上記光信号との差分を出力する
手段となるバッファアンプ１４，１４’，及び差動アン
プ１５と、を有することを特徴とする光電変換装置であ
る。
を読み出すノイズ信号読み出し手段としてのＭＯＳスイ
ッチ７，容量（ＣTN）９と、光信号蓄積後の光信号電荷
を読み出す光信号読み出し手段としてのＭＯＳスイッチ
８，容量（ＣTS）１０と、上記ノイズ信号読み出し手段
のノイズ信号と上記光信号読み出し手段の光信号を順次
走査する走査手段となるシフトレジスタ１３と、上記走
査手段により、上記ノイズ信号読み出し手段（７，
９）、及び光信号読み出し手段（８，１０）から、信号
を読み出すと同時に、上記光電変換手段で光信号蓄積を
行なう光電変換装置において、上記リセット直後のノイ
ズ信号を、前記同一のリセット後蓄積された上記光信号
を上記光信号読み出し手段（８，１０）に読み出す前ま
で保持するノイズ信号保持手段（４，５，６，６’）
と、上記保持しておいたリセット直後のノイズ信号と、
上記同一のリセット後の上記光信号との差分を出力する
手段となるバッファアンプ１４，１４’，及び差動アン
プ１５と、を有することを特徴とする光電変換装置であ
る。
【００２８】ここで、ＭＯＳトランジスタ６，６’、及
び３，３’は、各々ＭＯＳソースフォロアを形成してい
る。
び３，３’は、各々ＭＯＳソースフォロアを形成してい
る。
【００２９】また、バッファアンプ１４，１４’の入力
１６，１６’が共通出力線であり、バッファアンプ１
４，１４’及び差動アンプ１５以外は、ビット分有する
ことになる。
１６，１６’が共通出力線であり、バッファアンプ１
４，１４’及び差動アンプ１５以外は、ビット分有する
ことになる。
【００３０】また、本実施形態においては、図に示す部
分を全て、同一半導体基板上に形成している。
分を全て、同一半導体基板上に形成している。
【００３１】以下、タイミングチャートを参照しなが
ら、本実施形態の動作及び構成を説明する。
ら、本実施形態の動作及び構成を説明する。
【００３２】まず、スタートパルスＳＰが入力される
と、最初に、光信号、及びノイズ信号蓄積用の容量ＣTS
１０及びＣTN９がリセットされる。
と、最初に、光信号、及びノイズ信号蓄積用の容量ＣTS
１０及びＣTN９がリセットされる。
【００３３】続いて、駆動パルスφＴＮをＯＮし、容量
ＣM ５に保持されていたノイズ信号を容量ＣTN９に読み
出す。この時、容量ＣM ５から読み出されるノイズ信号
は、前のフィールドにおいて、センサがリセットされた
直後のノイズ信号である。容量ＣTN９にノイズ信号が読
み出された後、駆動パルスφＴ１をＯＮし、光信号を容
量ＣM ５に読み出し、更に駆動パルスφＴＳをＯＮして
容量ＣTS１０に光信号を読み出す。
ＣM ５に保持されていたノイズ信号を容量ＣTN９に読み
出す。この時、容量ＣM ５から読み出されるノイズ信号
は、前のフィールドにおいて、センサがリセットされた
直後のノイズ信号である。容量ＣTN９にノイズ信号が読
み出された後、駆動パルスφＴ１をＯＮし、光信号を容
量ＣM ５に読み出し、更に駆動パルスφＴＳをＯＮして
容量ＣTS１０に光信号を読み出す。
【００３４】その後、駆動パルスφＲをＯＮしてセンサ
リセットを行ない、続いて駆動パルスφＴ１をＯＮし、
センサリセット直後の信号を、ノイズ信号として容量Ｃ
M ５に読み出し、センサは、蓄積を開始する。
リセットを行ない、続いて駆動パルスφＴ１をＯＮし、
センサリセット直後の信号を、ノイズ信号として容量Ｃ
M ５に読み出し、センサは、蓄積を開始する。
【００３５】そして、センサが蓄積を行なうのと同時
に、容量ＣTS１０、容量ＣTN９に保持された光信号、及
びノイズ信号は、順次、共通出力線に出力され、最終的
には、光信号とノイズ信号が、不図示の差分回路等によ
り差分され、正味の光信号として出力されることにな
る。
に、容量ＣTS１０、容量ＣTN９に保持された光信号、及
びノイズ信号は、順次、共通出力線に出力され、最終的
には、光信号とノイズ信号が、不図示の差分回路等によ
り差分され、正味の光信号として出力されることにな
る。
【００３６】従って、本発明においては、タイミングチ
ャート中に示すのセンサリセットに対するノイズ信号
は、蓄積期間中、容量ＣM ５に保持され（Ａ）、光信号
を読み出す前に容量ＣTN９に入力される（Ａ’）。従っ
て、の同一のセンサリセットに対するノイズ信号
（Ａ’）と、光信号（Ｂ’）の差分を正味の光信号とし
て出力することができるため、センサリセットノイズを
完全に除去することが可能となる。
ャート中に示すのセンサリセットに対するノイズ信号
は、蓄積期間中、容量ＣM ５に保持され（Ａ）、光信号
を読み出す前に容量ＣTN９に入力される（Ａ’）。従っ
て、の同一のセンサリセットに対するノイズ信号
（Ａ’）と、光信号（Ｂ’）の差分を正味の光信号とし
て出力することができるため、センサリセットノイズを
完全に除去することが可能となる。
【００３７】また、ノイズ除去手段としては、上述した
実施形態に限定されることはなく、例えば、クランプ回
路等を用いることも可能である。
実施形態に限定されることはなく、例えば、クランプ回
路等を用いることも可能である。
【００３８】また、特願６１−２１９６６６号に開示さ
れているように、差分回路としては、センサ信号を保持
する回路と基準信号を保持する回路と、それらの差信号
を出力する差動アンプを用いることもできる。 ［第２の実施形態］図２は、本発明の第２の実施形態を
示す回路図及びタイミングチャートである。
れているように、差分回路としては、センサ信号を保持
する回路と基準信号を保持する回路と、それらの差信号
を出力する差動アンプを用いることもできる。 ［第２の実施形態］図２は、本発明の第２の実施形態を
示す回路図及びタイミングチャートである。
【００３９】本実施形態では、バイポーラトランジスタ
１’による光電変換手段を用いた点が、第１の実施形態
とは異なる。本実施形態でも、点線で囲った部分がノイ
ズ信号保持手段となり、その構成は第１の実施形態と同
じである。
１’による光電変換手段を用いた点が、第１の実施形態
とは異なる。本実施形態でも、点線で囲った部分がノイ
ズ信号保持手段となり、その構成は第１の実施形態と同
じである。
【００４０】以下、タイミングチャートに沿って、動作
を説明する。
を説明する。
【００４１】不図示のスタートパルスが入力されると、
まず、駆動パルスφＣＲがＯＮし、光信号蓄積用容量Ｃ
TS１０及びノイズ信号蓄積用容量ＣTN９がリセットされ
る。
まず、駆動パルスφＣＲがＯＮし、光信号蓄積用容量Ｃ
TS１０及びノイズ信号蓄積用容量ＣTN９がリセットされ
る。
【００４２】次に、駆動パルスφＴＮをＯＮしてノイズ
信号を容量ＣTN９に読み出す。
信号を容量ＣTN９に読み出す。
【００４３】次に、駆動パルスφＴ１をＯＮして光信号
を容量ＣM ５に読み出す。
を容量ＣM ５に読み出す。
【００４４】次に、駆動パルスφＴＳをＯＮして光信号
を容量ＣTS１０に読み出す。
を容量ＣTS１０に読み出す。
【００４５】次に、駆動パルスφＢＲＳをＯＮして、バ
イポーラトランジスタ１’のベースをＶBBにクランプリ
セットし、更に、駆動パルスφＥＲＳをＯＮすること
で、センサリセットを行なう。
イポーラトランジスタ１’のベースをＶBBにクランプリ
セットし、更に、駆動パルスφＥＲＳをＯＮすること
で、センサリセットを行なう。
【００４６】次に、駆動パルスφＴ１をＯＮして、セン
サリセット時に発生したノイズ信号を容量ＣM ５に入力
する。その後、センサの蓄積動作を行なう。
サリセット時に発生したノイズ信号を容量ＣM ５に入力
する。その後、センサの蓄積動作を行なう。
【００４７】そして、センサが蓄積を行なうのと同時
に、容量ＣTS１０、容量ＣTN９に保持された光信号、及
びノイズ信号は、順次、共通出力線に出力され、最終的
には、光信号とノイズ信号が、差分回路１５により差分
され、正味の光信号として出力されることになる。
に、容量ＣTS１０、容量ＣTN９に保持された光信号、及
びノイズ信号は、順次、共通出力線に出力され、最終的
には、光信号とノイズ信号が、差分回路１５により差分
され、正味の光信号として出力されることになる。
【００４８】従って、本発明においても、センサリセッ
トに対するノイズ信号は、蓄積期間中、容量ＣM ５に保
持され、光信号を読み出す前に容量ＣTN９に入力され
る。従って、同一のセンサリセットに対するノイズ信号
と、光信号の差分を正味の光信号として出力することが
できるため、センサリセットノイズを完全に除去するこ
とが可能となる。
トに対するノイズ信号は、蓄積期間中、容量ＣM ５に保
持され、光信号を読み出す前に容量ＣTN９に入力され
る。従って、同一のセンサリセットに対するノイズ信号
と、光信号の差分を正味の光信号として出力することが
できるため、センサリセットノイズを完全に除去するこ
とが可能となる。
【００４９】なお、ノイズ保持用の容量ＣM ５は、無く
ても良く、その場合は、配線や素子の寄生容量を容量Ｃ
M ５の代わりとして利用することができる。
ても良く、その場合は、配線や素子の寄生容量を容量Ｃ
M ５の代わりとして利用することができる。
【００５０】また、本実施形態においては、差動アンプ
１５以外を、同一半導体基板に形成している。 ［第３の実施形態］図３は、本発明の第３の実施形態に
係る光電変換装置の回路図及びそのタイミングチャート
である。
１５以外を、同一半導体基板に形成している。 ［第３の実施形態］図３は、本発明の第３の実施形態に
係る光電変換装置の回路図及びそのタイミングチャート
である。
【００５１】図において、１はホトダイオードであり、
点線で囲った部分は、本発明の特徴となるノイズ信号保
持手段であり、ノイズ信号を保持するための容量ＣM ５
と、ＭＯＳトランジスタ・スイッチ４、１６、１７と、
ＭＯＳトランジスタのソースフォロア回路６，６’とか
ら構成されている。また、光信号蓄積用容量ＣTS１０及
びノイズ信号蓄積用容量ＣTN９を有している。
点線で囲った部分は、本発明の特徴となるノイズ信号保
持手段であり、ノイズ信号を保持するための容量ＣM ５
と、ＭＯＳトランジスタ・スイッチ４、１６、１７と、
ＭＯＳトランジスタのソースフォロア回路６，６’とか
ら構成されている。また、光信号蓄積用容量ＣTS１０及
びノイズ信号蓄積用容量ＣTN９を有している。
【００５２】以下、タイミングチャートを参照しなが
ら、本実施形態の動作及び構成を説明する。
ら、本実施形態の動作及び構成を説明する。
【００５３】まず、不図示のスタートパルスＳＰが入力
されると、最初に、駆動パルスφＣＲがＯＮされて光信
号蓄積用の容量ＣTS１０、及びノイズ信号蓄積用の容量
ＣTN９がリセットされる。
されると、最初に、駆動パルスφＣＲがＯＮされて光信
号蓄積用の容量ＣTS１０、及びノイズ信号蓄積用の容量
ＣTN９がリセットされる。
【００５４】続いて、駆動パルスφＴ２をＯＮし、この
ＯＮ期間中に駆動パルスφＴＮをＯＮし、ノイズ信号を
容量ＣTN９に入力する。
ＯＮ期間中に駆動パルスφＴＮをＯＮし、ノイズ信号を
容量ＣTN９に入力する。
【００５５】次に、駆動パルスφＲ２をＯＮして、ソー
スフォロア６，６’をリセットする。
スフォロア６，６’をリセットする。
【００５６】次に、駆動パルスφＴ１をＯＮして、光信
号を容量ＣM ５に入力する。
号を容量ＣM ５に入力する。
【００５７】続いて、駆動パルスφＴ２をＯＮし、この
ＯＮ期間中に駆動パルスφＴＳをＯＮし、光信号を容量
ＣTS１０に入力する。
ＯＮ期間中に駆動パルスφＴＳをＯＮし、光信号を容量
ＣTS１０に入力する。
【００５８】その後、駆動パルスφＲ１及び駆動パルス
φＲ２をＯＮしてセンサリセット及びソースフォロアリ
セットを行ない、続いて駆動パルスφＴ１をＯＮし、セ
ンサリセット直後の信号を、ノイズ信号として容量ＣM
５に読み出し、センサは、蓄積動作を開始する。
φＲ２をＯＮしてセンサリセット及びソースフォロアリ
セットを行ない、続いて駆動パルスφＴ１をＯＮし、セ
ンサリセット直後の信号を、ノイズ信号として容量ＣM
５に読み出し、センサは、蓄積動作を開始する。
【００５９】そして、センサが蓄積を行なうのと同時
に、容量ＣTS１０、容量ＣTN９に保持された光信号、及
びノイズ信号は、順次、共通出力線に出力され、最終的
には、光信号とノイズ信号が、不図示の差分回路により
差分され、正味の光信号として出力されることになる。
に、容量ＣTS１０、容量ＣTN９に保持された光信号、及
びノイズ信号は、順次、共通出力線に出力され、最終的
には、光信号とノイズ信号が、不図示の差分回路により
差分され、正味の光信号として出力されることになる。
【００６０】従って、本発明においても、センサリセッ
トに対するノイズ信号は、蓄積期間中、容量ＣM ５に保
持され、光信号を読み出す前に容量ＣTN９に入力され
る。従って、同一のセンサリセットに対するノイズ信号
と、光信号の差分を正味の光信号として出力することが
できるため、センサリセットノイズを完全に除去するこ
とが可能となる。 ［第４の実施形態］図４は、本発明の第４の実施形態を
示す回路図であり、図５は、そのタイミングチャートで
ある。本実施形態では、前述した本発明の光電変換素子
の複数個を２次元状に配列して、水平シフトレジスタ
Ｈ．Ｓ．Ｒ．及び垂直シフトレジスタＶ．Ｓ．Ｒ．を接
続した画像読取装置を示すものである。
トに対するノイズ信号は、蓄積期間中、容量ＣM ５に保
持され、光信号を読み出す前に容量ＣTN９に入力され
る。従って、同一のセンサリセットに対するノイズ信号
と、光信号の差分を正味の光信号として出力することが
できるため、センサリセットノイズを完全に除去するこ
とが可能となる。 ［第４の実施形態］図４は、本発明の第４の実施形態を
示す回路図であり、図５は、そのタイミングチャートで
ある。本実施形態では、前述した本発明の光電変換素子
の複数個を２次元状に配列して、水平シフトレジスタ
Ｈ．Ｓ．Ｒ．及び垂直シフトレジスタＶ．Ｓ．Ｒ．を接
続した画像読取装置を示すものである。
【００６１】図に示すように、各画素は、光電変換手段
としてのホトダイオードと、ノイズ信号保持手段とし
て、ＭＯＳトランジスタスイッチ４３とソースフォロア
とされたＭＯＳトランジスタ４４とを持ち、ＭＯＳトラ
ンジスタ４４のゲート容量を前述したノイズ保持用容量
として用いている。
としてのホトダイオードと、ノイズ信号保持手段とし
て、ＭＯＳトランジスタスイッチ４３とソースフォロア
とされたＭＯＳトランジスタ４４とを持ち、ＭＯＳトラ
ンジスタ４４のゲート容量を前述したノイズ保持用容量
として用いている。
【００６２】また、複数個の画素に対して１個ずつの前
述した光信号蓄積用容量ＣTS及びノイズ信号蓄積用容量
ＣTNが接続されている。
述した光信号蓄積用容量ＣTS及びノイズ信号蓄積用容量
ＣTNが接続されている。
【００６３】以下、タイミングチャートを参照しなが
ら、本実施形態の動作及び構成を説明する。
ら、本実施形態の動作及び構成を説明する。
【００６４】まず、不図示のスタートパルスＳＰが入力
されると、最初に、光信号、及びノイズ信号蓄積用の容
量ＣTS及び容量ＣTNがリセットされる。
されると、最初に、光信号、及びノイズ信号蓄積用の容
量ＣTS及び容量ＣTNがリセットされる。
【００６５】続いて、駆動パルスφＴＮをＯＮし、ノイ
ズ信号をＭＯＳトランジスタ４４のゲート容量から容量
ＣTNに読み出し、更に駆動パルスφＴＳをＯＮして容量
ＣTSに光信号を読み出す。
ズ信号をＭＯＳトランジスタ４４のゲート容量から容量
ＣTNに読み出し、更に駆動パルスφＴＳをＯＮして容量
ＣTSに光信号を読み出す。
【００６６】その後、駆動パルスφＲをＯＮしてセンサ
リセットを行ない、続いて駆動パルスφＴ１をＯＮし、
センサリセット直後の信号を、ＭＯＳトランジスタ４２
のソースフォロアを介してＭＯＳトランジスタ４４のゲ
ート容量に読み出し、センサは、蓄積を開始する。
リセットを行ない、続いて駆動パルスφＴ１をＯＮし、
センサリセット直後の信号を、ＭＯＳトランジスタ４２
のソースフォロアを介してＭＯＳトランジスタ４４のゲ
ート容量に読み出し、センサは、蓄積を開始する。
【００６７】そして、センサが蓄積を行なうのと同時
に、容量ＣTS、容量ＣTNに保持された光信号、及びノイ
ズ信号は、順次、共通出力線に出力され、最終的には、
光信号とノイズ信号が、不図示の差分回路により差分さ
れ、正味の光信号として出力されることになる。
に、容量ＣTS、容量ＣTNに保持された光信号、及びノイ
ズ信号は、順次、共通出力線に出力され、最終的には、
光信号とノイズ信号が、不図示の差分回路により差分さ
れ、正味の光信号として出力されることになる。
【００６８】従って、本発明においては、センサリセッ
トに対するノイズ信号は、蓄積期間中、ＭＯＳトランジ
スタ４４のゲート容量に保持され、光信号を読み出す前
に容量ＣTNに入力される。従って、同一のセンサリセッ
トに対するノイズ信号と、光信号の差分を正味の光信号
として出力することができるため、センサリセットノイ
ズを完全に除去することが可能となる。
トに対するノイズ信号は、蓄積期間中、ＭＯＳトランジ
スタ４４のゲート容量に保持され、光信号を読み出す前
に容量ＣTNに入力される。従って、同一のセンサリセッ
トに対するノイズ信号と、光信号の差分を正味の光信号
として出力することができるため、センサリセットノイ
ズを完全に除去することが可能となる。
【００６９】また、本実施例のようなエリアセンサ等に
おいては、開口率を向上させる為に、ホトダイオード４
０として、例えば、アモルファスシリコンのような光導
電膜を半導体基板上に積層して用いても良い。
おいては、開口率を向上させる為に、ホトダイオード４
０として、例えば、アモルファスシリコンのような光導
電膜を半導体基板上に積層して用いても良い。
【００７０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ノイズの保持手段を持ったことにより、１回目のセンサ
リセット時に発生したノイズを保持した後、そのまま、
光信号の蓄積動作と読み出し動作を行ない、１回目のリ
セットにおけるノイズと光信号の差分をとることができ
るため、センサリセットノイズの完全な除去ができる。
ノイズの保持手段を持ったことにより、１回目のセンサ
リセット時に発生したノイズを保持した後、そのまま、
光信号の蓄積動作と読み出し動作を行ない、１回目のリ
セットにおけるノイズと光信号の差分をとることができ
るため、センサリセットノイズの完全な除去ができる。
【００７１】すなわち、本発明においては、センサリセ
ットに対するノイズ信号は、蓄積期間中、ノイズ信号保
持手段に保持され、光信号を読み出す前に容量ＣTNに入
力される。従って、センサリセットに対するノイズ信号
と、光信号の差分を正味の光信号として出力することが
できるため、センサリセットノイズを完全に除去するこ
とが可能となる。
ットに対するノイズ信号は、蓄積期間中、ノイズ信号保
持手段に保持され、光信号を読み出す前に容量ＣTNに入
力される。従って、センサリセットに対するノイズ信号
と、光信号の差分を正味の光信号として出力することが
できるため、センサリセットノイズを完全に除去するこ
とが可能となる。
【図１】本発明の第１の実施形態の回路図及びその動作
を示すタイミングチャートである。
を示すタイミングチャートである。
【図２】本発明の第２の実施形態の回路図及びその動作
を示すタイミングチャートである。
を示すタイミングチャートである。
【図３】本発明の第３の実施形態の回路図及びその動作
を示すタイミングチャートである。
を示すタイミングチャートである。
【図４】本発明の第４実施形態の回路図である。
【図５】本発明の第４実施形態の回路の動作を示すタイ
ミングチャートである。
ミングチャートである。
【図６】従来例１の回路図及びその動作を示すタイミン
グチャートである。
グチャートである。
【図７】従来例２の回路図である。
【図８】従来例２の回路図である。
１ 光センサ（ホトダイオード） １’ 光センサ（バイポーラトランジスタ） ２，３，３’，４，６，６’，７，８，１１，１２ Ｍ
ＯＳトランジスタ ５ ノイズ信号保持用容量ＣM ９ ノイズ信号蓄積用容量ＣTN １０ 光信号蓄積用容量ＣTS １３ シフトレジスタ １４，１４’ バッファアンプ １５ 差動アンプ １６，１６’ 共通出力線 ４０ ホトダイオード ４２，４３，４４，４５，４６ ＭＯＳトランジスタ １０１ ホトダイオード １０３ リセットスイッチ １０４ 画素アンプ １０５ 垂直ゲート線 １０６ リセット線 １０７ ドレイン線 １０９，１１０ ゲートスイッチ １１１，１１２ 蓄積容量 １１３，１１４ 水平ゲートスイッチ １１６ ゲート線 １１７ ゲート線 １２０ 水平信号線 １２２ 水平レジスタ
ＯＳトランジスタ ５ ノイズ信号保持用容量ＣM ９ ノイズ信号蓄積用容量ＣTN １０ 光信号蓄積用容量ＣTS １３ シフトレジスタ １４，１４’ バッファアンプ １５ 差動アンプ １６，１６’ 共通出力線 ４０ ホトダイオード ４２，４３，４４，４５，４６ ＭＯＳトランジスタ １０１ ホトダイオード １０３ リセットスイッチ １０４ 画素アンプ １０５ 垂直ゲート線 １０６ リセット線 １０７ ドレイン線 １０９，１１０ ゲートスイッチ １１１，１１２ 蓄積容量 １１３，１１４ 水平ゲートスイッチ １１６ ゲート線 １１７ ゲート線 １２０ 水平信号線 １２２ 水平レジスタ
Claims (11)
- 【請求項１】 光信号蓄積中に信号出力を行なう光電変
換装置において、 光電変換手段と、 該光電変換手段のリセット手段と、 上記光電変換手段のリセット時のノイズ信号を保持する
ノイズ信号保持手段と、 同一の上記リセット後に上記光電変換手段が蓄積した信
号から上記保持しておいたノイズ信号を用いてノイズを
除去するノイズ信号除去手段と、 を有することを特徴とする光電変換装置。 - 【請求項２】 １次元又は２次元状に配列された複数の
光電変換手段と、 上記光電変換手段をリセットするリセット手段と、 上記リセット直後のノイズ信号電荷を読み出すノイズ信
号読み出し手段と、 光信号蓄積後の光信号電荷を読み出す光信号読み出し手
段と、 上記ノイズ信号読み出し手段のノイズ信号と上記光信号
読み出し手段の光信号を順次走査する走査手段と、 上記走査手段により、上記ノイズ信号読み出し手段、及
び光信号読み出し手段から、信号を読み出すと同時に、
上記光電変換手段で光信号蓄積を行なう光電変換装置に
おいて、 上記リセット直後のノイズ信号を、前記同一のリセット
後蓄積された上記光信号を上記光信号読み出し手段に読
み出す前まで保持するノイズ信号保持手段と、上記保持
しておいたリセット直後のノイズ信号と、上記同一のリ
セット後の上記光信号との差分を出力する手段と、を有
することを特徴とする光電変換装置。 - 【請求項３】 上記ノイズ信号保持手段は、少なくとも
ＭＯＳトランジスタを有することを特徴とする請求項２
記載の光電変換装置。 - 【請求項４】 上記ノイズ信号保持手段は、少なくと
も、ＭＯＳソースフォロアと、ＭＯＳトランジスタスイ
ッチとから構成されることを特徴とする請求項３記載の
光電変換装置。 - 【請求項５】 上記ノイズ信号保持手段は、少なくとも
ＭＯＳソースフォロアと、ＭＯＳトランジスタスイッチ
と、容量手段とから構成されることを特徴とする請求項
４記載の光電変換装置。 - 【請求項６】 上記光電変換手段は、少なくともホトダ
イオードとＭＯＳトランジスタを有することを特徴とす
る請求項２記載の光電変換装置。 - 【請求項７】 上記光電変換手段は、少なくともホトダ
イオードとＭＯＳソースフォロアを有することを特徴と
する請求項６記載の光電変換装置。 - 【請求項８】 上記光電変換手段は、少なくともバイポ
ーラトランジスタを有することを特徴とする請求項２記
載の光電変換装置。 - 【請求項９】 光信号蓄積期間と読み出し期間の少なく
とも一部が、同時に行なわれることを特徴とする請求項
２記載の光電変換装置。 - 【請求項１０】 上記光電変換手段、上記ノイズ信号保
持手段、上記ノイズ信号除去手段が、同一半導体基板上
に形成されていることを特徴とする請求項１記載の光電
変換装置。 - 【請求項１１】 上記光電変換手段と、上記ノイズ信号
保持手段と、上記ノイズ信号読み出し手段と、上記光信
号読み出し手段とを同数有し、かつ同一半導体基板上に
形成されていることを特徴とする請求項２記載の光電変
換装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01033696A JP3774499B2 (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 光電変換装置 |
| US08/786,183 US6538693B1 (en) | 1996-01-24 | 1997-01-21 | Photoelectric conversion apparatus having reset noise holding and removing units |
| TW086100632A TW359057B (en) | 1996-01-24 | 1997-01-21 | Photoelectric converting apparatus |
| KR1019970001941A KR100206099B1 (ko) | 1996-01-24 | 1997-01-23 | 광전변환장치 |
| CN97102142A CN1097381C (zh) | 1996-01-24 | 1997-01-24 | 光电转换设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01033696A JP3774499B2 (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 光電変換装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006008660A Division JP4236271B2 (ja) | 2006-01-17 | 2006-01-17 | 光電変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09205588A true JPH09205588A (ja) | 1997-08-05 |
| JP3774499B2 JP3774499B2 (ja) | 2006-05-17 |
Family
ID=11747364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01033696A Expired - Fee Related JP3774499B2 (ja) | 1996-01-24 | 1996-01-24 | 光電変換装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6538693B1 (ja) |
| JP (1) | JP3774499B2 (ja) |
| KR (1) | KR100206099B1 (ja) |
| CN (1) | CN1097381C (ja) |
| TW (1) | TW359057B (ja) |
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11312822A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Seiko Instruments Inc | イメージセンサー |
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