JP2000287130A - 増幅型固体撮像装置 - Google Patents

増幅型固体撮像装置

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JP2000287130A
JP2000287130A JP11093045A JP9304599A JP2000287130A JP 2000287130 A JP2000287130 A JP 2000287130A JP 11093045 A JP11093045 A JP 11093045A JP 9304599 A JP9304599 A JP 9304599A JP 2000287130 A JP2000287130 A JP 2000287130A
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line
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Yasushi Watanabe
恭志 渡辺
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 増幅型固体撮像装置において、読み出し速度
を大幅に増大できる固定パターンノイズ抑圧構造を提供
する。 【解決手段】 複数の増幅型光電変換素子が画素として
マトリクス状に配列された画素領域と、画素領域の画素
列毎に設けられ各画素の画素信号と基準信号とを伝送す
る垂直信号線と、複数本の水平信号線と、各垂直信号線
の画素信号と基準信号とをペアにして複数本の水平信号
線に順次伝送する水平走査回路と、複数本の水平信号線
を順次スイッチングすることにより、その複数本の水平
信号線から画素信号と基準信号とを含むペア信号を1本
の共通信号線に選択的に取り込む選択スイッチと、1本
の共通信号線に伝送されるペア信号中の画素信号と基準
信号との差信号を得る差信号検出回路とで構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、増幅型固体撮像
装置に関し、さらに詳しくは、画素毎の固定パターンノ
イズ(FNP)を抑圧するとともに、水平信号線の負荷
容量を低減した増幅型固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】固体撮像装置(2次元イメージセンサ)
として、各画素で発生した信号電荷そのものを読み出さ
ず、画素内で電圧または電流信号に変換・増幅した後、
その電圧または電流信号を走査回路により読み出す、増
幅型固体撮像装置(一般にCMOSイメージセンサと呼
ばれている)が知られている。この増幅型固体撮像装置
の画素は、光電変換部と増幅部とが平面的に配置された
横型と、これらが立体的に配置された縦型に分類され
る。
【0003】横型の例として、図8に示すAPS型が知
られている(S.K.Mendis, et al.,“A 128 × 128 CMOS
Active Pixel Image Sensor for Highly Integrated I
maging Systems ”, IEDM '93-583〜586, Dec. 1993参
照)。図8において、光電変換部101で発生した信号
電荷は、トランジスタ102を介してトランジスタ10
3のゲートに移され電圧信号となる。トランジスタ10
3ではインピーダンス変換(電流増幅)され、画素選択
スイッチ104を介して信号Vsig が読み出される。信
号読み出し後、トランジスタ103のゲートに蓄積した
信号電荷は、リセットトランジスタ105によりVD
排出される。
【0004】縦型の例としては、図9に示すCMD型が
知られている(中村ほか、「ゲート蓄積型MOSフォト
トランジスタ イメージセンサ」,テレビジョン学会誌
Vol. 41, No.11, pp.1047〜1053, 1987参照)。図9に
おいて、トランジスタ111では、光電変換により発生
した信号電荷がゲート下のチャネル部に蓄積する。次い
でゲートに読み出し電圧(φX)を印加することによ
り、信号電荷によるトランジスタ111の特性変化が出
力信号Vsig として読み出される。すなわち、トランジ
スタ111では光電変換と増幅及び画素選択が行われ
る。リセット動作は、ゲートに読み出し時より十分高い
電圧(φR)を印加することにより、信号電荷が基板へ
排出されて達成される。
【0005】図8及び図9に示した増幅型固体撮像装置
の画素は、図10に示すような共通の模式図で表すこと
ができる。ここで、画素131は、光電変換、増幅、読
み出し及びリセット動作を行う。読み出しは信号線φX
により、リセットは信号線φRにより制御される。画素
131からは増幅された信号Vsig が出力される。
【0006】上記増幅型固体撮像装置用の画素を用い
て、2次元イメージセンサを構成した例を図11に示
す。ここで画素131は図10と同じ内容を表す。2次
元画素領域140は、画素131が2次元的に配列され
た領域である。画素131の読み出し動作は第1垂直走
査回路141からの信号143により制御され、リセッ
ト動作は第2垂直走査回路142からの信号144によ
り制御される。画素の出力信号(画素信号)は、垂直信
号線145を通して、各垂直信号線毎に設けられた相関
2重サンプリング(CDS)回路150へ導かれ、読み
出し時の信号とリセット時の信号の差分が出力される。
このため各画素毎の閾値のバラつきはキャンセルされ、
画素毎のFPNが抑圧される。
【0007】CDS回路150からの信号はアンプ(コ
ラムアンプ)155に導かれ、そのアンプ155の入力
側に信号が保持される。アンプ155で増幅された信号
は、水平走査回路160からの信号161により制御さ
れ、読み出しスイッチ156を介して、水平信号線16
4へ導かれる。読み出しスイッチ156は水平方向に順
次選択されるため、各アンプ155からの信号が順次水
平信号線164に出力される。水平信号線164からの
信号はアンプ169に導かれ、ここで増幅されて、信号
線170に出力信号OSとして出力される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図11
に示した増幅型固体撮像装置では、水平方向の画素数が
増大すると、読み出しが急激に困難となる。これを図1
1で示した回路及びそのタイミングチャートである図1
2により説明する。水平走査回路160のクロックφC
の周期をTとすると、読み出しパルスφH(j)は、パ
ルスφH(j+1),パルスφH(j+2),パルスφH
(j+3),……というように、幅T,間隔Tで順次シ
フトし、読み出しスイッチ156を駆動する。ここで、
水平方向の画素数が増大し、水平読み出しクロックの速
度が速くなると、期間Tが短くなるとともに、水平信号
線164に接続される読み出しスイッチ156の数が増
大するため、水平信号線164の負荷容量も増大する。
このため、アンプ155は、より短い期間Tの間により
負荷の大きい信号線164を駆動しなければならず、画
素数の増大に伴い急激に駆動が困難となる。また、読み
出しスイッチ156のオン抵抗を低減することも必要と
なるが、その場合読み出しスイッチ156のサイズを大
きくする必要が生じ、水平信号線164の負荷容量はさ
らに増大し、いっそう駆動を困難にする。
【0009】以上の問題点を改善するため、水平信号線
を複数とし、並列に読み出しを行う増幅型固体撮像装置
が特開平5−328224号公報に記載されている。こ
の装置の回路ブロックを図13に、その回路のタイミン
グチャートを図14に示す。図13において、垂直信号
線145は4本を1組とし、CDS回路150を経由し
た後、読み出しスイッチ156及びアンプ155を介し
て、4本の水平信号線164−1〜水平信号線164−
4に順次接続されている。なおCDS回路150は、ク
ランプパルスφC1及びサンプルホールドパルスφS1によ
り駆動され、画素毎のバラつき等が抑圧された、実効的
な信号成分を出力する。
【0010】この回路では、読み出しスイッチ156は
4本組の内、奇数番目どうし、及び偶数番目どうしが共
通に接続され、水平走査回路160からのパルスφ
H(1),φH(2),φH(3),……により駆動され
る。パルスφHは図14に示すように、クロック周期を
Tとすると、パルス幅が2Tで、間隔Tでシフトする。
このため、4本の水平信号線S1 ,S2 ,S3 ,S4
は、垂直信号線からの信号O1 ,O2 ,O3 ,O4 ,…
…が図14に示すように出力される。各水平信号線は、
パルスφS及び反転パルスバーφSで駆動されるスイッチ
167−1及びスイッチ167−2を介して2本ずつ束
ねられ、2つの出力OUT1及び出力OUT2となる。
これを図14に示す。以上の手法により、各垂直信号線
のアンプ155は期間2Tの間に読み出せばよいため、
時間的余裕が生じる。また水平信号線の負荷容量は図1
1で示した回路の1/4に低減するため、駆動の負担が
軽くなる。このため、高速駆動が容易となる。
【0011】しかしながら、図13及び図14で示した
方法は以下のような問題がある。まず、各水平信号線間
ではオフセットレベルや容量値などの特性に若干のバラ
つきがある。このため、出力信号OUT1及び出力信号
OUT2内で、合成前の2つの信号間のバラつきが残
る。さらに、最終的な出力信号がOUT1,OUT2と
2つに別れているため、その後、さらに合成の信号処理
が必要となり、処理が複雑となるとともに、この場合も
2信号間のバラつきの問題が避けて通れない。
【0012】本発明は以上の問題点に鑑みなされたもの
で、複数本の水平信号線を用いて、水平の読み出し速度
を大幅に高めることができ、かつ水平信号線間の信号の
バラつきを除去して、高速で高品位の画像を得ることが
可能な、特に優れた固定パターンノイズ抑圧を高速で達
成する増幅型固体撮像装置を提供することを目的とす
る。
【0013】
【課題を解決するための手段】この発明は、複数の増幅
型光電変換素子が画素としてマトリクス状に配列された
画素領域と、画素領域の画素列毎に設けられ各画素の画
素信号と基準信号とを伝送する垂直信号線と、複数本の
水平信号線と、各垂直信号線の画素信号と基準信号とを
ペアにして複数本の水平信号線に順次伝送する水平走査
回路と、複数本の水平信号線を順次スイッチングするこ
とにより、その複数本の水平信号線から画素信号と基準
信号とを含むペア信号を1本の共通信号線に選択的に取
り込む選択スイッチと、1本の共通信号線に伝送される
ペア信号中の画素信号と基準信号との差信号を得る差信
号検出回路とを備えてなる増幅型固体撮像装置である。
【0014】この発明の増幅型固体撮像装置によれば、
水平信号線を複数本用い、これらの水平信号線から並列
に信号を読み出すため、水平方向読み出し速度を遅くで
き、また各水平信号線当たりの負荷容量が低下するた
め、全体での読み出し速度を高めても、十分駆動が可能
となる。
【0015】さらに、並列駆動される水平信号線は、最
後に1本の共通信号線にまとめられ、ここで各水平信号
線成分毎に画像信号と基準信号との間で差分が取られる
から、各水平信号線が有する固有の特性によって、水平
信号線間に信号のバラつきが生じたとしても、この水平
信号線間の信号のバラつきを除去することができ、水平
1線読み出しと同様の信号が得られる。これにより、特
に優れた固定パターンノイズ抑圧を高速で達成する増幅
型固体撮像装置を得ることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】この発明において、水平信号線を
n(nは2以上の整数)本にした場合には、垂直信号線
の連続するn本を1組としその1組内のn本の垂直信号
線がn本の水平信号線に一対一で対応するように、垂直
信号線が水平信号線に接続することが望ましい。この場
合、水平信号線は2本又は3本とすることが適切であ
る。
【0017】各垂直信号線の信号を複数本の水平信号線
に順次伝送するのは、垂直信号線と水平信号線との間に
読み出しスイッチを設け、その読み出しスイッチを、水
平走査回路により、垂直信号線の画素信号と基準信号と
がペアで読み出されるように順次開閉することにより行
うことができる。
【0018】垂直信号線にはアンプを設けることが望ま
しく、これにより、垂直信号線の信号を確実に水平信号
線に伝えることができる。水平信号線と選択スイッチと
の間には、サンプルホールド回路とバッファアンプを設
けることが望ましく、これにより、水平方向での高速動
作を確実に行うことができる。選択スイッチは、公知の
スイッチング回路で構成することができる。
【0019】画素信号が増幅型光電変換素子の受光時の
信号であり、基準信号が増幅型光電変換素子のリセット
時の信号であってもよく、また、画素信号が増幅型光電
変換素子の受光時とリセット時の差信号であり、基準信
号が一定電位の信号であってもよい。
【0020】共通信号線には、クランプ回路とサンプル
ホールド回路を設け、このクランプ回路とサンプルホー
ルド回路で、共通信号線で伝送される画素信号と基準信
号とのペア信号の内、一方の信号、例えば画素信号をク
ランプし、他方の信号、例えば基準信号をサンプルホー
ルドすることにより、画素信号と基準信号との差信号を
得ることが望ましい。クランプ回路は、各水平信号線に
直列に接続したコンデンサと、共通信号線に設けた反転
アンプと、その反転アンプの入出力間に設けた短絡スイ
ッチから構成することができる。これにより、1線にま
とめられた共通信号線の信号を高速でCDS動作させ、
垂直信号線毎に設けられたアンプの特性による信号のバ
ラつきの他、水平信号線間の信号のバラつきも高速でキ
ャンセルすることが可能となる。
【0021】以下、図面に示す実施の形態に基づいてこ
の発明を詳述する。なお、これによってこの発明が限定
されるものではない。図1は本発明による増幅型固体撮
像装置の一実施形態を示す回路ブロック図である。この
図において、153は第1垂直信号線、154は第2垂
直信号線、157は垂直信号線導通スイッチ、155は
アンプ、156は読み出しスイッチ、160は水平走査
回路、161は水平走査信号線、162はOR回路、1
63はOR回路信号線、164は水平信号Vsr1 と水平
信号Vsr2 を伝達する2本の水平信号線、165は2つ
のサンプルホールド回路、166は2つのバッファアン
プ、167は2つの選択スイッチ、168はCDS回
路、169はバッファアンプ、170はセンサ信号OS
を出力するセンサ信号線である。なお、以下では便宜
上、信号線をその信号線に流れる信号名で識別すること
もある。
【0022】本実施形態の増幅型固体撮像装置において
は、後ほど詳述するが、図11で示した、光電変換、増
幅、読み出し及びリセット動作を行う複数の画素をマト
リクス状に配列した2次元画素領域が設けられている。
この2次元画素領域からは、画素の列毎に1本の垂直信
号線が引き出されており、その垂直信号線から、画素の
読み出し時(受光時)の信号と、リセット時の信号が得
られるようになっている。
【0023】アンプ155は、垂直信号線毎に設けられ
ており、アンプ155には、第1垂直信号線153と第
2垂直信号線154との2本の信号線が垂直信号線導通
スイッチ157を介して接続されている。画素からアン
プ155に至るまでの第1の回路例を図3に示し、第2
の回路例を図4に示す。
【0024】図3及び図4において、131は光電変
換、増幅、読み出し及びリセット動作を行う増幅型光電
変換素子からなる画素、140は画素がマトリクス状に
配列された2次元画素領域、141は画素の受光時の読
み出し動作を制御する第1垂直走査回路、142は画素
のリセット動作を制御する第2垂直走査回路、143は
読み出し走査信号線、144はリセット走査信号線、1
45は画素の読み出し時の信号とリセット時の信号を出
力する垂直信号線、149は共通基準信号線、150は
CDS回路、151,152はメモリである。
【0025】第1の回路において、2次元画素領域14
0は、図11の2次元画素領域140と同じものであ
る。この第1の回路では、垂直信号線145に、一対の
メモリ151,152を接続している。メモリ151は
画素の読み出し時の信号を保持し、メモリ152は画素
のリセット時の信号を保持する。これらのメモリに保持
された信号は、各々第1垂直信号線153及び第2垂直
信号線154を通り、垂直信号線導通スイッチ157を
介してアンプ155に与えられる。
【0026】第2の回路においても、2次元画素領域1
40は、図11の2次元画素領域140と同じものであ
る。この第2の回路例では、図11と同様に、CDS回
路150からの信号が第1垂直信号線153を通り、垂
直信号線導通スイッチ157を介してアンプ155に与
えられる。第1垂直信号線153の信号は、画素の読み
出し時の信号とリセット時の信号の差分の信号であり、
画素毎のFPNが抑圧された信号である。図11と異な
るのは、共通基準信号線149を設けて、この共通基準
信号線149に基準電源から一定電位Vref の信号を与
え、この信号を第2垂直信号線154から垂直信号線導
通スイッチ157を介してアンプ155に与えているこ
とである。
【0027】画素131からアンプ155に至るまでの
回路は、第1の回路と第2の回路とのいずれの回路を用
いていもよい。なお、以下では、第1垂直信号線153
からアンプ155に入る信号を画素信号と呼び、第2垂
直信号線154からアンプ155に入る信号を基準信号
と呼ぶ。
【0028】図2は図1の回路のタイミングを示すタイ
ミングチャートである。以下、図1と図2を交えて説明
を行う。図1で示したアンプ155は、上述したよう
に、垂直信号線毎に設けられており、このアンプ155
には画素信号と基準信号が、パルスφH(j),φH(j
+1),……で駆動される垂直信号線導通スイッチ15
7を介して与えられる。垂直信号線145は、連続する
2本毎に1組とされ、各組の内、奇数番目の垂直信号線
145に対応するアンプ155からの信号は、読み出し
スイッチ156を介して第1の水平信号線Vsr1 へ導か
れ、偶数番目の垂直信号線145に対応するアンプ15
5からの信号は、読み出しスイッチ156を介して第2
の水平信号線Vsr2 へ導かれる。
【0029】画素信号と基準信号は、垂直信号線導通ス
イッチ157の作用により、アンプ155を介して、読
み出しスイッチ156がオンしている期間の前半と後半
に、それぞれ分けて出力される。画素信号と基準信号は
いずれが前半であってもよいが、以下においては、画素
信号が前半である場合について説明する。
【0030】図1の水平走査回路160からは、幅及び
シフト量が共にTとなるパルス列、φH(j),φH(j
+1),……が順次出力される。これらパルス列の内、
前後に隣接するパルスどうしがOR回路162により合
成され、図2に示すように、φY(j),φY(j+
1),φY(j+2),……となって、読み出しスイッ
チ156に与えられる。このため、読み出しスイッチ1
56では期間2Tの間オンするが、前後の垂直信号線1
45間で読み出しスイッチ156は、期間Tだけ重なっ
てオンすることになる。このため、水平信号線Vsr1
は奇数番目垂直信号線に対応する信号のみが2T周期
で、かつ前半T期間と後半T期間に画素信号S 1と基準
信号S2が連続して得られる。
【0031】同様に、水平信号線Vsr2 には偶数番目垂
直信号線に対応する信号のみが2T周期で、かつ前半T
期間と後半T期間に画素信号S1と基準信号S2が連続し
て得られる。
【0032】また、水平信号線Vsr1 の1垂直信号線に
対応する信号の内の後半の基準信号S2と、水平信号線
sr2 の隣接する1垂直信号線に対応する信号の内の前
半の画素信号S1とは、期間Tだけ重なって得られる。
【0033】以上の動作により、1線読み出しの場合に
比べ、アンプ155が駆動しなければならない水平信号
線容量は半分に低減し、かつ読み出し期間は2倍に増大
するため、高速駆動が容易となる。
【0034】図1に示すように、水平信号線Vsr1 及び
水平信号線Vsr2 からの信号は、各々サンプルホールド
回路165へ導かれ、共通のパルスφS3によって周期T
でサンプルホールドされる。
【0035】サンプルホールド回路165からの信号
は、それぞれバッファアンプ166を介して、水平信号
st1 と水平信号Vst2 として、選択スイッチ167へ
導かれる。選択スイッチ167は公知のスイッチング回
路で構成する。選択スイッチ167は、図2に示すよう
に、水平信号線Vsr1 側ではSwa、水平信号線Vsr2
ではSwbと、周期Tで交互に動作する。これにより選択
スイッチ167からは、水平信号線Vsr1 からの信号と
水平信号線Vsr2 からの信号が周期Tで交互に出力さ
れ、共通信号Vsuを得る。すなわち共通信号Vsuでは、
2本の水平信号線V sr1 ,Vsr2 からの信号が各々画素
信号S1と基準信号S2とのペアのまま、1本の共通信号
線に統合されている。
【0036】共通信号Vsuでは、周期Tの内、前半が画
素信号S1、後半が基準信号S2となる。共通信号Vsu
CDS回路168へ導かれ、画素信号S1の期間でクラ
ンプパルスφc2が印加されクランプ動作された後、基準
信号S2の期間でサンプルホールドパルスφs2が印加さ
れサンプルホールド動作される。
【0037】これにより、CDS回路168からは、画
素信号S1と基準信号S2との差分信号VSHが出力され
る。この差分信号VSHはバッファアンプ169で増幅さ
れ、バッファアンプ169からセンサ信号OSとして出
力される。
【0038】差分信号VSHは、画素信号S1と基準信号
2との差分であるため、どのアンプ155を経由して
きた信号であっても、また、どの水平信号線を経由して
きた信号であっても、伝送経路に固有のFNPが抑圧さ
れた信号となる。
【0039】以上の動作により、2線読み出しをしてい
るにもかかわらず、1線読み出しと同様のCDS動作が
可能となり、アンプ155間の信号のバラつきが除去さ
れるのみでなく、水平信号線の2線間の信号のバラつき
も除去される。さらに、前述したように高速駆動が容易
となるという利点もある。なお、図1中、破線で示した
選択スイッチ167及びCDS回路168を含むスイッ
チCDS回路180については、後ほど詳述する。
【0040】図5は本発明による増幅型固体撮像装置の
他の実施形態を示す回路ブロック図である。本実施形態
の回路は、図1で示した回路と比較して、垂直信号線が
3本単位の組となり、これに対応して水平信号線が3本
となっている点で異なっている。他は同じである。
【0041】図6は図5の回路のタイミングを示すタイ
ミングチャートである。以下、図5と図6を交えて説明
を行う。図5で示したアンプ155は、上述したよう
に、垂直信号線毎に設けられており、このアンプ155
には画素信号と基準信号が与えられる。垂直信号線14
5は、連続する3本毎に1組とされ、各組の内、1番目
の垂直信号線145に対応するアンプ155からの信号
は、読み出しスイッチ156を介して第1の水平信号線
sr1 へ導かれ、2番目の垂直信号線145に対応する
アンプ155からの信号は、読み出しスイッチ156を
介して第2の水平信号線Vsr2 へ導かれ、3番目の垂直
信号線145に対応するアンプ155からの信号は、読
み出しスイッチ156を介して第3の水平信号線Vsr3
へ導かれる。
【0042】なお、図1の場合と同様、画素信号と基準
信号は、垂直信号線導通スイッチ157及びアンプ15
5を介して、読み出しスイッチ156がオンしている期
間の前半と後半に、それぞれ分けて出力される。画素信
号と基準信号はいずれが前半であってもよいが、以下に
おいては、画素信号が前半である場合について説明す
る。
【0043】図5の水平走査回路160からは、幅が
1.5T、シフト量がTとなる2系統のパルス列、φHA
(j),φHA(j+1), ……、及びφHB(j),φHB
(j+1), ……が順次出力される。φHB系列のパルス
はφHA系列のパルスに対して1.5T遅延している。こ
れらパルス列の内、φHA(j)とφHB(j),φHA(j
+1)とφHB(j+1),……のように、パルスφHA
パルスφHBがOR回路162により合成され、図6に示
すように、φY(j),φY(j+1), φY(j+2),
……となって、読み出しスイッチ156に与えられ
る。このため、読み出しスイッチ156では期間3Tの
間オンするが、前後の垂直信号線145間で読み出しス
イッチ156は、期間2Tだけ重なってオンすることに
なる。このため、水平信号線Vsr1 には3本組中1番目
の垂直信号線に対応する信号のみが3T周期で、かつ前
半1.5T期間と後半1.5T期間に画素信号S1と基
準信号S2が連続して得られる。
【0044】同様に、水平信号線Vsr2 には3本組中2
番目の垂直信号線に対応する信号のみが3T周期で、か
つ前半1.5T期間と後半1.5T期間に画素信号S1
と基準信号S2が連続して得られる。さらに、水平信号
線Vsr3 には3本組中3番目の垂直信号線に対応する信
号のみが3T周期で、かつ前半1.5T期間と後半1.
5T期間に画素信号S1と基準信号S2が連続して得られ
る。
【0045】以上の動作により、1線読み出しの場合に
比べ、アンプ155が駆動しなければならない水平信号
線容量は1/3に低減し、かつ読み出し期間は3倍に増
大するため、高速駆動が容易となる。
【0046】図5に示すように、水平信号線Vsr1 、水
平信号線Vsr2 及び水平信号線Vsr 3 からの信号は、各
々サンプルホールド回路165へ導かれ、各々パルスφ
S3(1),パルスφS3(2),パルスφS3(3)によっ
て周期1.5Tでサンプルホールドされる。
【0047】サンプルホールド回路165からの信号
は、それぞれバッファアンプ166を介して、選択スイ
ッチ167へ導かれる。選択スイッチ167は、図6に
示すように、水平信号線Vsr1 側ではSwa、水平信号線
sr2 側ではSwb、水平信号線Vsr3 側ではSwcと、周
期Tで順次に動作する。これにより選択スイッチ167
からは、水平信号線Vsr1 からの信号と、水平信号線V
sr2 からの信号と、水平信号線Vsr3 からの信号が、周
期Tで順次出力され、共通信号Vsuを得る。すなわち共
通信号Vsuでは、3本の水平信号線Vsr1 ,Vsr2 ,V
sr3 からの信号が各々画素信号S1と基準信号S2とのペ
アのまま、1本の共通信号線に統合されている。
【0048】共通信号Vsuは、以下、図2と同様に、周
期Tの内、前半が画素信号S1、後半が基準信号S2とな
る。共通信号VsuはCDS回路168へ導かれ、画素信
号S1の期間でクランプパルスφc2が印加されクランプ
動作された後、基準信号S2の期間でサンプルホールド
パルスφs2が印加されサンプルホールド動作される。
【0049】これにより、CDS回路168からは、画
素信号S1と基準信号S2との差分信号VSHが出力され
る。この差分信号VSHはバッファアンプ169で増幅さ
れ、バッファアンプ169からセンサ信号OSとして出
力される。
【0050】以上の動作により、3線読み出しをしてい
るにもかかわらず、1線読み出しと同様のCDS動作が
可能となり、アンプ155間の信号のバラつきが除去さ
れるのみでなく、水平信号線の3線間の信号のバラつき
も除去される。さらに、前述したように高速駆動が容易
となるという利点もある。
【0051】図1及び図5では、選択スイッチ167及
びCDS回路168を含むスイッチCDS回路180を
簡略的に示したが、次に、その具体的な回路構成を説明
する。なお、ここでは図1の場合について述べるが、図
5の場合も水平信号線が2本から3本に変わる以外は同
様である。
【0052】図7は図1のスイッチCDS回路180の
具体例を示し、図7(a)は回路図、図7(b)は入出
力の関係を示すグラフである。スイッチCDS回路18
0は上述したように、選択スイッチ167とCDS回路
168を含む回路である。選択スイッチ167の動作に
ついてはすでに説明したので、ここではCDS回路16
8について重点的に説明する。このCDS回路168
は、画素信号と基準信号との差分を得るための回路であ
り、機能的には差信号検出回路として位置付けられる回
路である。図7(a)において、2本の水平信号線毎に
設けられたバッファアンプ166からの第1の水平信号
st1 及び第2の水平信号Vst2 は、各々クランプコン
デンサ171及び選択スイッチ167を介して1本の共
通信号線中の共通信号Vsuとなり、反転アンプ172に
入力される。反転アンプ172の入出力端は、クランプ
パルスφc2で開閉制御される短絡スイッチ173で結合
されている。
【0053】クランプパルスφc2のオンにより反転アン
プ172の入出力端を短絡すると、図7(b)に示すよ
うに、アンプ特性により定まる特定電位Vcpに固定され
る。これがクランプ電位を与える。
【0054】ここで、図2に示すタイミングのように、
まず、選択スイッチSWa がオンの期間では、第1の水
平信号Vst1 の画像信号S1の期間においてクランプパ
ルスφc2がオンすることにより、画像信号S1レベルを
クランプする。
【0055】次いで、クランプパルスφc2のオフにより
反転アンプ172が増幅動作状態となり、選択スイッチ
SWa がオンの期間で第1の水平信号Vst1 の基準信号
2の期間になると、画素信号S1と基準信号S2との変
化量ΔVinに対応した出力信号変化ΔVout が反転アン
プ172から得られる。
【0056】これをサンプルホールドスイッチ174に
よりサンプルホールドすることにより、第1の水平信号
st1 の画像信号S1と基準信号S2との差を増幅した出
力信号ΔVout をホールドコンデンサ175にホールド
する。
【0057】同様に、選択スイッチSWb がオンの期間
においても、第2の水平信号Vst2の画像信号S1の期間
においてクランプパルスφc2がオンすることにより、画
像信号S1レベルをクランプする。
【0058】次いで、クランプパルスφc2のオフにより
反転アンプ172が増幅動作状態となり、選択スイッチ
SWb がオンの期間で第2の水平信号Vst2 の基準信号
2の期間になると、画素信号S1と基準信号S2との変
化量ΔVinに対応した出力信号変化ΔVout が反転アン
プ172から得られる。
【0059】これをサンプルホールドスイッチ174に
よりサンプルホールドすることにより、第2の水平信号
st2 の画像信号S1と基準信号S2との差を増幅した出
力信号ΔVout をホールドコンデンサ175にホールド
する。
【0060】ホールドコンデンサ175にホールドされ
た、第1の水平信号Vst1 の画像信号S1と基準信号S2
との差を増幅した出力信号ΔVout と、第2の水平信号
st 2 の画像信号S1と基準信号S2との差を増幅した出
力信号ΔVout は、それぞれ画素信号S1と基準信号S2
との差分信号VSHとして出力される。
【0061】本実施態様の増幅型固体撮像装置によれ
ば、水平信号線をn本設け、各水平信号線に対し、n画
素分の水平走査を行う期間に1画素分の画素信号と1画
素分の基準信号との2つの信号を伝達させ、n本の水平
信号線の信号をスイッチングにより1本のラインに順次
取り出し、その取り出した信号に含まれる画素信号と基
準信号との差分信号を得るようにしたので、以下のよう
な利点がある。
【0062】すなわち、水平信号線をn本並列に読み出
すため、水平方向読み出し速度を1/nに遅くでき、ま
た各水平信号線当たりの負荷容量が1/nに低下するた
め、全体での読み出し速度を高めても、十分駆動が可能
となる。さらに、n本並列駆動される水平信号線は、最
後に1本の共通信号線にまとめられ、ここで各水平信号
線成分毎に画素信号と基準信号との間で差分が取られる
から、n本の水平信号線間で生ずる信号のバラつきが除
去される。つまり、水平1線読み出しと同様の信号が得
られる。
【0063】さらに、クランプ回路とサンプルホールド
回路とによるCDS回路を水平信号線に設けることによ
り、1線にまとめられた共通信号線の信号を高速でCD
S動作させ、水平信号線毎の固有の特性による信号のバ
ラつきの除去だけでなく、垂直信号線毎に設けられたア
ンプの固有の特性による信号のバラつきも高速でキャン
セルすることが可能となる。以上の理由により本発明の
実用上の効果は絶大である。
【0064】
【発明の効果】この発明によれば、複数本の水平信号線
を用い、画素信号と基準信号とをペアにして複数本の水
平信号線に伝送し、水平信号線から画素信号と基準信号
とを含むペア信号を1本の共通信号線に選択的に取り込
み、ペア信号中の画素信号と基準信号との差信号を得る
ようにしたので、高速駆動が容易となるとともに、伝送
経路毎の固定パターンノイズが抑圧された信号を得るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の増幅型固体撮像装置の回
路ブロック図である。
【図2】本発明の一実施形態の増幅型固体撮像装置の回
路のタイミングを示すタイミングチャートである。
【図3】本発明の一実施形態の増幅型固体撮像装置の画
素からアンプに至るまでの第1の回路例である。
【図4】本発明の一実施形態の増幅型固体撮像装置の画
素からアンプに至るまでの第2の回路例である。
【図5】本発明の他の実施形態の増幅型固体撮像装置の
回路ブロック図である。
【図6】本発明の他の実施形態の増幅型固体撮像装置の
回路のタイミングを示すタイミングチャートである。
【図7】本発明の一実施形態の増幅型固体撮像装置のス
イッチCDS回路の具体例を示す回路図及び入出力の関
係を示すグラフである。
【図8】従来の増幅型固体撮像装置の横型の画素配置の
例を示す回路図である。
【図9】従来の増幅型固体撮像装置の縦型の画素配置の
例を示す回路図である。
【図10】従来の増幅型固体撮像装置の画素の模式図で
ある。
【図11】従来の増幅型固体撮像装置の回路ブロック図
である。
【図12】図11に示した従来の増幅型固体撮像装置の
回路のタイミングを示すタイミングチャートである。
【図13】垂直信号線を4本組とした従来の増幅型固体
撮像装置の回路ブロック図である。
【図14】図13に示した従来の増幅型固体撮像装置の
回路のタイミングを示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
131 画素 140 2次元画素領域 141 第1垂直走査回路 142 第2垂直走査回路 143 読み出し走査信号線 144 リセット走査信号線 145 垂直信号線 149 共通基準信号線 150,168 CDS回路 151,152 メモリ 153 第1垂直信号線 154 第2垂直信号線 155 アンプ 156 読み出しスイッチ 157 垂直信号線導通スイッチ 160 水平走査回路 161 水平走査信号線 162 OR回路 163 OR回路信号線 164 水平信号線 165 サンプルホールド回路 166,169 バッファアンプ 167 選択スイッチ 170 センサ信号線

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の増幅型光電変換素子が画素として
    マトリクス状に配列された画素領域と、 画素領域の画素列毎に設けられ各画素の画素信号と基準
    信号とを伝送する垂直信号線と、 複数本の水平信号線と、 各垂直信号線の画素信号と基準信号とをペアにして複数
    本の水平信号線に順次伝送する水平走査回路と、 複数本の水平信号線を順次スイッチングすることによ
    り、その複数本の水平信号線から画素信号と基準信号と
    を含むペア信号を1本の共通信号線に選択的に取り込む
    選択スイッチと、 1本の共通信号線に伝送されるペア信号中の画素信号と
    基準信号との差信号を得る差信号検出回路とを備えてな
    る増幅型固体撮像装置。
  2. 【請求項2】 複数本の水平信号線がn(nは2以上の
    整数)本の水平信号線であり、 垂直信号線の連続するn本を1組としその1組内のn本
    の垂直信号線がn本の水平信号線に一対一で対応するよ
    うに、垂直信号線が水平信号線に接続されてなる請求項
    1記載の増幅型固体撮像装置。
  3. 【請求項3】 nが2である請求項2記載の増幅型固体
    撮像装置。
  4. 【請求項4】 nが3である請求項2記載の増幅型固体
    撮像装置。
  5. 【請求項5】 垂直信号線と水平信号線との間に読み出
    しスイッチが設けられ、 水平走査回路が、その読み出しスイッチを、垂直信号線
    の画素信号と基準信号とがペアで読み出されるように順
    次開閉することにより、各垂直信号線の信号を複数本の
    水平信号線に順次伝送する請求項1記載の増幅型固体撮
    像装置。
  6. 【請求項6】 垂直信号線にアンプが設けられてなる請
    求項1記載の増幅型固体撮像装置。
  7. 【請求項7】 水平信号線と選択スイッチとの間に、サ
    ンプルホールド回路とバッファアンプが設けられてなる
    請求項1記載の増幅型固体撮像装置。
  8. 【請求項8】 画素信号が増幅型光電変換素子の受光時
    の信号であり、基準信号が増幅型光電変換素子のリセッ
    ト時の信号である請求項1記載の増幅型固体撮像装置。
  9. 【請求項9】 画素信号が増幅型光電変換素子の受光時
    とリセット時の差信号であり、基準信号が一定電位の信
    号である請求項1記載の増幅型固体撮像装置。
  10. 【請求項10】 共通信号線にクランプ回路とサンプル
    ホールド回路が設けられ、このクランプ回路とサンプル
    ホールド回路で、共通信号線で伝送される画素信号と基
    準信号とのペア信号の内、一方の信号をクランプし他方
    の信号をサンプルホールドすることにより、ペア信号中
    の画素信号と基準信号との差信号が得られてなる請求項
    1記載の増幅型固体撮像装置。
  11. 【請求項11】 クランプ回路が、各水平信号線に直列
    に接続されたコンデンサと、共通信号線に設けられた反
    転アンプと、その反転アンプの入出力間に設けられた短
    絡スイッチから構成される請求項10記載の増幅型固体
    撮像装置。
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