JP3947634B2 - 高速cmos画像列相関二重サンプリング回路 - Google Patents

高速cmos画像列相関二重サンプリング回路 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、CMS画像に関し、特にCMS画像において用いられる相関二重サンプリング回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
現在、固体画像センサは、自己走査ダイオードアレイ、電荷注入デバイス(ID)アレイ、電荷結合デバイス(CCD)アレイの実質的に3つの異なる技術から形成される。これらの3つの技術はどれも半導体プロセスによるのであるが、これには集積度の向上を制限するような固有の制限がある。固体画像センサの技術は、その製造にCMS処理を使用できるところまで発展している。CMS技術を使用することによって集積度を高くでき、アナログおよびデジタル回路の双方を同じシリコンチップ内にセンサアレイとして組み込むことができる。さらに、集積度が高くなることにより、解像度を高くでき、高速化できる。通常の使用中は、個々のチャネルを表す何百という異なる信号がセンサアレイの出力に同時に存在する。これらの信号は処理を行ってデジタル信号に変換する必要がある。しかし、プロセスのばらつき(これらのデバイスの製造に使用するどのプロセスにも存在し、排除することができない)により、各列専用の種々の回路間でオフセットが生じ、「列パターンノイズ」や「固定パターンノイズ」といわれるものが生じてしまう。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
10ビット解像度、毎秒24フレームといった高解像度および高速度が望まれる撮像システムでは、どの大型画像アレイについてもアナログ−デジタル変換を行う前に「固定パターンノイズ」を除去する必要がある。一般に、従来の装置では、固定パターンノイズを除去するのにセンサ内の各列について二重サンプリング回路を使用する。これらの従来の相関二重サンプリング回路では、すべての列について二重サンプリング回路を割当てるため、電力の損失が大きくなり、速度は遅く、固定パターンノイズは部分的にしか除去されず、各列について二重サンプリングを与えるために必要なシリコン面積が大きくなり、付加的な回路を形成するのにプロセスが複雑になり、コストが高くなるといった欠点がある。
【0004】
上述のことより、シリコンおよび電力を大量に必要とすることなく、CMS環境においてCDSを行うのに使用できる方法および装置が当該分野で必要とされていることが明らかであろう。以下に説明するように、本発明によってこれらのおよび他の問題が解決される。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、新規な列相関二重サンプリング(CDS)回路であって、第1のサンプリング回路を各列に配置して第2のサンプリング回路は種々の列間で共有することにより二重サンプリングを行い、それによって従来の装置に比べて、必要なシリコン空間がはるかに小さく、製造が安価で、電力の損失が小さく、高速で動作し、固定パターンノイズの除去を向上し、必要な製造工程が少ない回路に関する。
【0006】
本発明のCDS回路は、従来の装置と比べて、種々の設計パラメータ、例えば、小型、70%の速度上昇、電力損失の低減、そしてより重要なことには固定パターンノイズの大幅な除去といった設計パラメータを満足させることを意図したものである。リセットクロック、信号クロック、および列選択クロックを含む標準制御クロック以外の制御クロックは必要としない。これらの標準クロックは、半導体ベースの撮像素子を使用するどの撮像アレイの応用でも一般に必要とされるものであり、比較的単純なデジタル制御回路で供給できる。本発明で実現するCDS回路は、毎秒3000万サンプルと速い速度で動作でき、電力の損失は(1200列アレイで)13mW未満である。本発明は、固定パターンノイズをほぼ100%まで除去する能力を備える。
【0007】
本発明のこれらのおよび他の特徴および利点は、以下を備える相関二重サンプリングユニットによって提供される。すなわち、前記ユニットは、一連の行および列に配置された複数の光検出器を有する画像センサと、行アドレス回路と、列アドレス回路と、前記列に電気的に接続される第1サンプルホールド回路であって、基準値を示す入力基準信号と前記列が出力する信号とを合成した検出信号を出力する確定段階で動作した後に、前記入力基準信号を出力する出力段階で動作する第1サンプルホールド回路と、前記各列を各列に対する前記第1サンプルホールド回路に作用するように接続する転送回路と、複数の前記第1サンプルホールド回路のうち指定された1つに電気的に接続される第2サンプルホールド回路であって、当該指定された第1サンプルホールド回路が出力する前記検出信号と基準値を示す出力基準信号との差である差信号を求めて保持し、当該指定された第1サンプルホールド回路が出力する前記入力基準信号と当該保持した差信号とを合成し撮像信号として出力する第2サンプルホールド回路と、を備える。また、本発明に係るCMOS撮像素子においては、複数の前記第1サンプルホールド回路の各々に備えられる線形利得増幅器と、接続される前記第1サンプルホールド回路が前記出力段階で動作することによって現在信号が読み出されている列についての前記線形利得増幅器および現在信号が読み出されている当該列の次に信号が読み出され、接続される前記第1サンプルホールド回路が前記確定段階で動作する列についての前記線形利得増幅器を、信号伝達が可能な状態にするイネーブル回路と、をさらに備え、前記イネーブル回路は、前記線形利得増幅器を信号伝達が可能な状態にすることで、当該線形利得増幅器を備える前記第1サンプルホールド回路を指定し、指定した前記第1サンプルホールド回路を前記第2サンプルホールド回路に電気的に接続する構成とすることが好適である。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1は、信号シリコンチップ上のCMOSベースの画像センサ5である本発明の好適な実施形態を示している。画像センサ5は、複数の行および列に配置された画素アレイ1を有し、その行および列は行選択回路2および列選択回路3によって個々に選択可能である。各列の画素は、相関二重サンプリング回路(CDS)10によって二重サンプリングされる。包括的に、第1サンプリング回路6および第2サンプリング回路7が相関二重サンプリングユニット10を構成する。列の画素は、まず、各列について第1サンプリング回路が1つという割合で配置された複数の第1サンプリング回路によってサンプリングされる。第1サンプリング回路によって初期サンプリングが行われてから、第2サンプリング回路によって各列出力の第2サンプリングが行われる。
【0009】
図2は、相関二重サンプリング回路(以下、CDSとする)10の概略図であり、各奇数および偶数列のための第1サンプリング回路6及び第2サンプリング回路7の1つを示す。奇数列用第1クランプ回路11および偶数列用第1クランプ回路12は同一のものであり、それぞれ奇数列用第2クランプ回路21および偶数列用第2クランプ回路22と動作する。図2は、図示の目的のために奇数および偶数第1クランプ回路11,12を1つずつしか示していない。第1サンプリング回路6は、各列について第1クランプ回路11が1つの割合で設けられる。好適な実施形態では、奇数列に対して第2クランプ回路21を1つだけ、偶数列に対して第2クランプ回路22を1つだけ使用しているが、第1クランプ回路と第2クランプ回路の数の組合わせは数多く可能であり、図2は好適な実施形態を図示するのにすぎないことに留意されたい。奇数および偶数列に対して第2クランプ回路21,22をこのように選択する理由についてはさらに後述する。
【0010】
ここで図1と図2を合わせて参照して、アドレスされた各列の行を行選択回路2により特定すると、画像センサ1からの信号がCDS10に供給される。アドレス指定された画素行全体が、その蓄積された光発生電荷を第1サンプリング回路6に転送させ、ここでそのそれぞれの電荷に対して列ごとにアドレスできる。各列は第1クランプ回路を有しており、第1クランプ回路が1,2,3,…,n−1,n個(nは画像センサ1における列の数)あるように、第1クランプ回路と関連付けされている。図2の第1クランプ回路11,12は第1サンプリング回路6を表しており、第1クランプ回路11,12のみが図示されているが、上述のように、列の数と同じ数の第1クランプ回路が存在する。画素に蓄積された電荷を表す電気信号が、選択された行からCDS10の第1クランプ回路11,12内のノードVinnおよびVinn-1に出力され、これらの信号をサンプリングして保持(サンプルホールド)する。
【0011】
ここで図3のタイミング図を参照すると、図2に示されるCDS10と関連して使用されるクロック信号が示される。これらのクロック信号は、ノードVinnおよびVinn-1にある信号に対して約3ボルトのCMOSクロックレベルを使用してCDS10に対するサンプリング基準を与える。CDS10で使用する基準とは、(1)その画素の基準値となる各画素のリセット値と、(2)その同じ画素の実際の信号レベル、である。第1クランプ回路11,12の各々にはコンデンサCsが設けられて、それぞれノードVinnおよびVinn-1の信号を表す電荷を蓄積する。リセット値は、サンプルホールドリセット信号Φshrがその行のすべての画素に与えられた後、各画素の基準として得られる。サンプルホールドリセット信号Φshrはまた、アクティブハイクロックとしてスイッチS1,S2の各々に与えられて、スイッチS1,S2を閉じる。n個の第1クランプ回路(2つの第1クランプユニット11,12のみが図示されている)の各々でスイッチS1を閉じると、現在Vinノードにある信号がコンデンサCsのVinノードに隣接した側に与えられる。スイッチS2を閉じると、コンデンサCsの反対側がそれに印加される基準電圧Vrefを有することとなり、コンデンサCsにかかる電圧が、任意の画素のリセット後、Vref‐Vinに等しくなる。図2において、スイッチS1,S2,S3,S4,SaおよびSbは従来のトランジスタの構成であることを理解されたい。
【0012】
引き続き図2と図3をあわせて参照すると、第1クランプ回路11,12の各々に対してスイッチS3が設けられる。S3は、そのそれぞれの列が選択されたときのみに閉じるものである。例えば、Φcol_n(好適な実施形態においてはアクティブハイクロック信号)がS3に与えられると、n番目の列のS3スイッチが閉じ、n番目の列が選択されたことを示す。その列が選択されていなければ、S3は開いたままであって、基準信号Vrefが線形利得増幅器41の入力に達することがないようにする。第1クランプ回路11,12は、それぞれ信号Vinn,Vinn-1の初期サンプリングを行う。信号Vinn,Vinn-1は、サンプリングされてから、PMOSソースフォロワを含む線形利得回路の第1段の入力に供給される。線形利得増幅器の第2段は、NMOSソースフォロワである。
【0013】
どの画素のリセット電圧レベルも以下のようにしてまずコンデンサCsに蓄積される。すなわち、リセット信号、クロックΦshrをスイッチS1およびS2に与えて、これらのスイッチを閉じ、リセット電圧レベルがコンデンサCsの一方側に与えられ、コンデンサCsのPMOSソースフォロワ入力と同じノードの側をVrefの直流電圧にクランプする。すると、Csにかかる電圧はVref−Vshrとなる。クロックΦshrはローとなり、スイッチS1およびS2が開き、コンデンサCsは、それにかかる電圧はVref−Vshrのままで、フローティング(浮動)状態となる。信号クロックΦshsがスイッチS4に与えられて(図3参照)スイッチS4を閉じ、その画素の信号電圧レベルがコンデンサCsの入力ノードに与えられる。
【0014】
通常の動作においては、列N−1が読み出されているとき、第1クランプユニット12は、いわゆる「出力」段階とされ、第1クランプユニット12と関連する第2クランプユニット22に出力する。列N−1が出力段階にあるとき、スイッチS3を閉じることによって、VrefがPMOSソースフォロワ52の入力に与えられる。また、第2クランプ回路22の出力側のスイッチSdを開くことにより、Vrefが出力バッファ75に与えられるのを阻止する。これにより、すでに第2クランプ回路に蓄積されている電荷を出力バッファ75に与えることが可能となる。
【0015】
次に読み出すべき列は列Nであり、いわゆる「確定」段階に入る。確定段階では、第1クランプ回路11のS2は開いたままとされ、第1クランプ回路11のコンデンサCsの出力がその蓄積した電荷をPMOSソースフォロワ51の入力に与えることが可能となる。列Nの線形利得増幅器41におけるNMOSソースフォロワ61は、列バス60、即ち出力1で使用される金属線をプリチャージして、金属線に固有の寄生容量Cpを克服する。本発明においてより重要なのは、確定段階においてスイッチSaは開いたままとされ、第2クランプ回路21を出力バッファ75から分離し、スイッチScは閉じられて、Vrefを第2クランプ回路21の出力側に与えることである。このように、線形利得増幅器41のNMOSソースフォロワ61が出力バス出力701をプリチャージするとき、第2クランプ回路21のコンデンサはその出力側においてVrefに関してプリチャージされる。これらの設計パラメータを簡単にするために、デジタル論理回路31,32は現在読み出している列および次に読み出す列の両方の線形利得増幅器を可能化(イネーブル)する。したがって、列N−1が出力段階にあり、列Nが確定段階にあるとき、NORゲート31,32を介して(列N−1およびNの)列選択信号Φcol_n-1,Φcol_nをデコードすることにより、列N−1およびNの線形利得増幅器41,42が可能化される。デジタル論理回路は、現在読み出されている列と次に読み出すべき列の状態を使用して、現在読み出されている列と次に読み出されるべき列の線形利得増幅器がイネーブルされている状態にする。各列についてこの基本機構を繰り返し、CDSのスループットを増大する。
【0016】
上述のように、Φshrクロックが発生した後、コンデンサCsにかかる電圧はVref−Vshrである。スイッチS1,S2,S3,およびS4は開いたままであり、コンデンサCsはフローティング状態、つまり、コンデンサに蓄積された電荷には損失経路がないため、Q1=Cs *(Vref−Vshr)と変化のない状態である。従って、クロックΦshsがスイッチS4に与えられた後、コンデンサCsの出力側での電圧の値をVxで表すとし、Vinノードで受ける信号電位がVsigとすると、電荷Q2=Cs*(Vx−Vsig)は、Q1=Cs *(Vref−Vshr)の電荷と等しくなる。これは、フローティングコンデンサCsに蓄積された電荷が、コンデンサCsのPMOS入力側のノードがフローティング状態であるために、一定のままであるからである。したがって、各PMOSソースフォロワの入力に存在する電位レベルは、Vx=Vref−Vshr+VsigまたはVref−(Vshr−Vsig)である。
【0017】
線形利得回路41,42は、少なくとも1つのPMOSソースフォロワ回路51,52と、少なくとも1つのNMOSソースフォロワ61,62を備え、レベルシフトおよび電圧利得補償を与える。好適な実施形態では、線形利得増幅器41,42が使用するPMOSソースフォロワ51,52は、トランジスタゲート容量によって起こる信号エラーを低減する小型P型トランジスタを備え、NMOSソースフォロワ61,62は、大型N型トランジスタを備えて、列出力70,71の大きな容量性負荷を駆動するバッファとして機能し、これらの出力70,71と第2クランプ回路21,22をプリチャージ、駆動する。CDS10の構成を変える場合には、設計パラメータが様々であるため、これとは異なる設計を使用してもよいことを理解されたい。例えば、本発明の好適な実施形態では、奇数および偶数列に対してそれぞれ第2クランプ回路21,22を1つずつしか使用していないが、第2クランプ回路の数を多くするような構成とした場合には、駆動する必要のある容量性負荷が小さくなり、設計上考慮すべき点も異なる。このような設計上の変更等は当業者には明らかであろう。本発明では線形利得増幅器を使用しているが、線形利得増幅器だけでなく、別の増幅器の使用も考えられ、好適な実施形態の一部はその不可欠な要素ではないことを理解されたい。
【0018】
上述のように、Φcol(N-1)がハイである間、列N−1が出力段階にあり、列Nは確定段階にあって、列N−1および列Nの双方の線形利得増幅器41,42が可能化される。しかし、スイッチS3は、出力段階にある列である列N−1のみについて可能化され、PMOSソースフォロワ52の入力をVref電位レベルとし、出力62バスへの電圧出力が以下の式のようになる。
【0019】
【数1】
V(出力62)=β・γ・Vref+γ・Δp+△N・・・(1)
ここで、βはPMOSソースフォロワの電圧利得、γはNMOSソースフォロワの電圧利得、ΔpおよびΔNは、それぞれPMOSおよびNMOSソースフォロワに関するオフセットである。オフセットΔpおよびΔNは、プロセスに依存するDC値であって、トランジスタによって最大20%変動し、このことが、コンデンサCSを用いてリセット値に対する電圧差を蓄積する主な理由である。
【0020】
Φcol(N-1)がハイであり、列N−1が出力段階にあって、上記(1)式で表される電位が出力62バスに与えられる間、スイッチSbは、列アドレスバスの最下位ビットであるDec_0によって閉じられ、第2クランプ回路22で蓄積された電荷が、第2クランプ回路22内のコンデンサから出力バッファ75に読み出されており、以下の式によって表される出力をもたらす。
【0021】
【数2】
V(出力)=Vref+β・γ・[Vshr(N−1)−Vsig(N−1)]・・・(2)
列N−1が上式(1)及び(2)における関係によって表されるような出力段階にある時、同時に、列Nは確定段階にあって、列出力62バスのバスラインにおける固有寄生容量CPをプリチャージするとともに、選択される準備のできているN−1列画素信号で蓄積された電荷を表す、コンデンサCSに蓄積された初期クランプ信号で容量性第2クランプ回路21をプリチャージする。第2クランプ回路21内のクランプコンデンサに蓄積された電荷は次式によって表される。
【0022】
【数3】
Q=C・{Vref−β・γ・Vref+β・γ・[Vshr(N)−Vsig(N)]−γ・△p−△N}・・・(3)
確定段階において、列Nの第1クランプ回路11のスイッチS2およびS3は開いたままであり、PMOSソースフォロワ51の入力ノードがコンデンサCSにかかる電圧降下のレベルでフローティングする状態とする。これは、Vref−Vshr+Vsigであって、上述のように、これはクロックΦshrおよびΦshsの発生後にセットされる電位レベルである。NMOSソースフォロワ61は、チャネル出力70バスを次式で表される電圧レベルに駆動する。
【0023】
【数4】
V(出力)=βγ・[Vrefー(Vrst(N)−Vsig(N)]+γ・△p+△N・・・(4)
ここで、上述の列Nの場合と同様に、βおよびγはNMOSおよびPMOSソースフォロワの電圧利得、Δp,ΔNは、NMOSおよびPMOSソースフォロワのオフセットである。
【0024】
次のサイクルで、列Nが出力段階となり、Φcol_Nが「ハイ」となって、列Nおよび列(N+1)が選択される。N番目の列が出力段階となり、(N+1)番目の列が確定段階となる。Saスイッチが第2クランプ回路21を選択し、第2クランプ回路21内の内部コンデンサに蓄積された電荷を出力バッファ75に与え、次式によって表されるCDS10の出力電圧を生成する。
【0025】
【数5】
V(出力)=Vref+β・γ・[Vshr(N)−Vsig(N)]・・・(5)
上記(5)式によって表される出力を与えるのと同時に、列N+1の第2クランプ回路22のコンデンサは、次式に従って充電される。
【0026】
【数6】
Q=C・{Vref−β・γ・[Vshr(N+1)−Vsig(N+1)]−γ・△p−△N}・・・(6)
上述のように、各列の各画素が出力バッファ75を介して単一のアナログ−デジタルコンバータに出力する。従来のCMOSベースの画像形成装置は、アナログ−デジタルコンバータに大きなシリコン空間を使用していた。従来装置では、一般に各列ごとに設けられる第2クランプ回路に対してさらに空間が必要であった。本発明は第2クランプ回路の数を大きく減らすだけでなく、設けられるアナログ−デジタルコンバータを1つだけにすることを可能にする。ある行のすべての列の画素が出力されると、次の行が選択され、その列の画素が上述のように出力される。
【0027】
上述のように、好適な実施形態では線形利得増幅器41,42は大型トランジスタNMOSソースフォロワ61,62と小型トランジスタベースのPMOSソースフォロワ51,52を使用する。好適な実施形態では出力バッファ75もまた、大型トランジスタNMOSソースフォロワであって、第2クランプ回路21,22内で蓄積された電荷から生成された電圧で1mAの電流を発生することができる。CDS10のタイミングは、PMOSソースフォロワ51,52の入力に与えられる初期クランプ電荷がそのそれぞれの第2クランプ回路21,22に20ナノ秒以内に達するようにされる。第2クランプ回路21,22内に保持される電荷は、(出力段階において)5ナノ秒以内に出力バッファの出力に達する。出力バッファ75で得られる信号ベースの電流は、好適な実施形態では25ナノ秒の間有効である。この結果、選択された第2クランプ回路(21または22)から出力バッファ75を介した合計遅延が30ナノ秒となり、好適な実施形態で考慮している3000万サンプルのサンプリング周波数と一致する。コンデンサCSおよび容量性第2クランプ回路21,22には、漏れ電流をのぞいて放電経路がなく、これらの回路に蓄積された電荷はすべて、基準電圧Vrefが与えられてコンデンサにかかる電圧をリセットしない限り、保持されることが当業者には理解されるであろう。従って、好適な実施形態では上述のようなタイミングとしているが、当業者には数多くのタイミング構成が容易に明らかになるであろう。
【0028】
ここで詳細に説明した好適な実施形態では、CMOS電源電圧は3−3.3ボルトのオーダであり、Vrefは、約1.8ボルトとしている。Vrefのこの値は、ここで開示したように、線形利得増幅器内のPMOSソースフォロワの入力に適切な量のレベルシフトを与えるように考えられている。従来の他のCMOS装置は5ボルトの電源を備え、将来のCMOS装置の電源電圧は1.5−1.6ボルトのオーダであり、本発明の実施形態によるとCMOS装置においてVrefは0.8−0.9ボルトであって、PMOSソースフォロワを構成するのに使用するトランジスタのサイズはそれによって変動することが容易に理解されるであろう。
【0029】
これまで、発明者がもっとも好適と考える実施形態を詳細に説明してきたが、当業者には数々の変形が明らかであり、本発明の範囲は前掲の特許請求の範囲によるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の好適な実施形態による画像センサの図である。
【図2】 本発明のCDSの概略図である。
【図3】 本発明で使用する制御クロックの図である。
【図4】 本発明による出力波形の図である。
【符号の説明】
1 画素、2 行選択回路、3 列選択回路、5 画像センサ、6 第1サンプリング回路、7 第2サンプリング回路、10 相関二重サンプリング回路(CDS)、11,12 第1クランプ回路、21,22 第2クランプ回路、31,32 デジタル論理回路、41,42 線形利得増幅器、51,52 PMOSソースフォロワ、60 列バス、61,62 NMOS ソースフォロワ、75 出力バッファ。

Claims (2)

  1. 相関二重サンプリングユニットを有するCMOS撮像素子であって、
    一連の行および列に配置された複数の光検出器を有する画像センサと、
    行アドレス回路と、
    列アドレス回路と、
    前記列に電気的に接続される第1サンプルホールド回路であって、基準値を示す入力基準信号と前記列が出力する信号とを合成した検出信号を出力する確定段階で動作した後に、前記入力基準信号を出力する出力段階で動作する第1サンプルホールド回路と、
    前記各列を各列に対する前記第1サンプルホールド回路に作用するように接続する転送回路と、
    複数の前記第1サンプルホールド回路のうち指定された1つに電気的に接続される第2サンプルホールド回路であって、当該指定された第1サンプルホールド回路が出力する前記検出信号と基準値を示す出力基準信号との差である差信号を求めて保持し、当該指定された第1サンプルホールド回路が出力する前記入力基準信号と当該保持した差信号とを合成し撮像信号として出力する第2サンプルホールド回路と、
    を備えることを特徴とするCMOS撮像素子。
  2. 請求項1に記載のCMOS撮像素子であって、
    複数の前記第1サンプルホールド回路の各々に備えられる線形利得増幅器と、
    接続される前記第1サンプルホールド回路が前記出力段階で動作することによって現在信号が読み出されている列についての前記線形利得増幅器および現在信号が読み出されている当該列の次に信号が読み出され、接続される前記第1サンプルホールド回路が前記確定段階で動作する列についての前記線形利得増幅器を、信号伝達が可能な状態にするイネーブル回路と、
    をさらに備え
    前記イネーブル回路は、前記線形利得増幅器を信号伝達が可能な状態にすることで、当該線形利得増幅器を備える前記第1サンプルホールド回路を指定し、指定した前記第1サンプルホールド回路を前記第2サンプルホールド回路に電気的に接続することを特徴とするCMOS撮像素子。
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