JPS5813079A - イメ−ジセンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 最近、入力インピーダンスが高く電圧駆動形の特長を保
ちながら、出力電流が電圧の増加と共に次第に増加し、
三極管と同様に不飽和形の電流電圧特性を示すと共に、
大出力、低歪、低雑音特性を有する静電誘導トランジス
タ（　Ｓｔａｔｉｃ　Ｉｎｄｕｃ−ｔｉｏｎ　　Ｔｒａ
ｎ８１ａｔＯｒ　；以下頭文字をとってＳ工Ｔと称する
）を用いたＳＩＴイメージセンサが開発されている。

第１図ＡおよびＢはＳＩＴイメージセンサの１つのセル
の一例の構成を示す断面図およびその等価回路図を示す
ものである。このセルは読出し用ＳＩＴ／，ホトトラン
ジスタコおよびリセット用・、１； ＳＩＴＪから成秦増幅機能を有する裏面照射形のもので
ある．第１図ムおよびＢにおいて、ホトトラ　　Ｉ。

ンジスタコの透明電極ダに１領域ｊが空乏化するに十分
な正のバイアス電圧Ｖｓ（＋３を印加した状態・で、透
明電極ダを通して光が入射すると、これにより励起され
た電子−ホール対のうち、電子はバイアス電圧Ｖｓ（＋
３によって透明電極亭側に吸収源れるが、ホールはバイ
アス電圧Ｖ，（＋）による電界によって空乏化されたｉ
領域５を通って点ａの針領域６に蓄えられる。とのＰ＋
領域乙に蓄積されるホール量は入射光量に直接比例する
。ここで、ホール電荷量をＱｐｓＰ＋領域乙の容量をＯ
ｆ，ホトトランジスタコを構成するダイオードコーｌ　
のビル・ドインポテンシャルをΔｂｉとすれば、点ｂす
なわち読出し用ＳＩＴ／のドレインの電位ｖｂは、ｖｂ
一Ｑｐ１０ｆ＋Δｂｉとなる。この電位■ｂは読出しラ
イン７を介して読出し用ＳＩ’Ｉ’／を導通させること
によりビットラインｔから読出すことができる。ま・た
、この電位ｖｂは点ａのＰ＋領域６に蓄えられたホーμ
が流出しない限り、すなわちこのＰ＋領域６をソースと
するリセット用ＳＩＴＪ・のゲートがリフレッシュライ
ン９を介して励起されない限り、非破壊読出しすること
ができると共に、次の読出しにおいては前の読出し後か
ら入射した光情報を重畳して読出すことができる。

＃！コ図は従来のＳＩＴイメージ七ンサの構成を示すも
のである。このＳＩＴイメージセンサはｌｌｉ図に示し
たセルを同一半導体基体にマトリック状眸多敷配列し、
各走査線（行）上のセルの読出し用ＢＩＴ　／のゲート
およびリセット用Ｓ工Ｔ　ｊのゲー）を共通の画室走査
線Ｗ−１−ｗ−ｎおよびリフレッシュラインＲ−１〜Ｒ
−ｎにそれぞれ接続して、これら垂直走査ｍｗ−１〜Ｗ
−ｎおよびリフレッシュラインＲ−’１−Ｒ−ｎを垂直
走査回路およびリセツＦ信号発生回路／／に接続し、各
走査線の同□−列の読出し用ＳＩＴ　ｉのソースを列毎
に共通の水平走査１１１Ｂ−１−Ｂ−ｍに接続して、こ
れら水平走査１１Ｂ−Ｉ　ＮＢ−ｍを水平走査回路およ
びビデオ信号出力回路１２に接続したものである。この
ＳＩＴイメージセンサにおいては、垂直走査５Ｗ−１−
Ｗ−Ｈに順次パルスを供給すると共に、この垂直走、査
パルスの期間中に水平走査線Ｂ−１〜Ｂ−ｍを走査する
ことによりシリアルな画像情報を得ることができる。

第２図に示すＳＩＴイメージセンサは、各イメ−から、
従来のＣＯＤイメージ虫ンサやＭｏＳイメージセンサに
比べ極めて高感度である。しかしながら、００Ｄイメー
ジ七ンサやＭｏＳイメージセンサにおいては、画像情報
は積分された電荷を画素毎に並列的に取出すかあるいは
転送して読出すので、各セルは続出し即リセットされる
が、ＳＩＴイメージ七ンサにおいては積分された電荷は
非破壊的に取り出されるため、積分開始に先立って各セ
ルのりセット操作を行なう必要がある。そこで、第２図
に示す従来のＳＩＴイメージセンナにおいては、１７レ
ームの画像情報を得る毎にリフレッシュラインＲ−１〜
Ｒ−ｎに同時にリセットパルスを供給して全でのセルを
同時にリセットするか、あるいはリフレッシュラインＲ
−Ｉ　ＮＲ−ｎに順次リセットパルスを供給し゛て走゛
査線毎にリセットするよう、にしている。し云し、全セ
ルあるいは走査線毎のセルを同時にり≧レトしても、シ
リアルな画像管　　　　１報を得る場合には、各七／Ｌ
／（走査線毎のリセットの場合には同一走査線上の各セ
ル）においてリセットから読出しまでの露光時間すなわ
ち積分時間が異なるため、画素によって明るさのむらす
なわち輝度むらが生じ、また動きのある被写体について
は７し′−ム内の位置によりぼけ具合が興なるという不
具合がある。このような不具合はＳＩＴイメージ七ンサ
を構成するセル数が多くなればなる程、読出し所要時間
が長くなるため着しくなる。

また、第一図から明らかなように従来のＳＩＴイメージ
七ンサにおいては読出し用の配線、すなわち垂直および
水平走査線Ｗ−１〜ｗ−ｎおよびＢ　゛−１−−Ｂ−ｍ
に加えてリセット用の配線すなわちリフレッシュライン
Ｒ−１〜Ｒ−ｎが必要となるため製造が困難であると共
に集積度が低くなる不具合がある。

更にまた、特にＳＩＴイメージセンサにおいては読出し
用ＳＩＴ　／のスイッチングによるスパイクノイズ等が
画像情報に混入してＳ／Ｎを低下させる不具合がある。

本発明の目的は上述した不具合を解決し、個々のセルの
積分時間が一定となるように適切に構成することにより
高忠実度の画像情報が得られるようにしたイメージセン
サを提供し−ようとするものである。

本発明のイメージセンナは、入射光を光電変換し、それ
に対応した電気量を積分する感光部、この感光部での積
分情報を読出すための読出しスイッチおよび感光部の積
分動作をリセットするためのリセットスイッチを有する
半導体イメージセルを多数個配列して成る半導体イメー
ジセルアレイと、この半導体イメージセルアレイの各々
の半導体イメージセルにおける積分時間が同一となるよ
うに、ある半導体イメージセルの読出しスイッチと、当
該半導体イメージセルから走査線上で一定の半導体イメ
ージセル数を隔てた半導体イメージセルのリセットスイ
ッチとを同時または一定の時間関係で駆動しで前記多数
個の半導体イメージセルから画素情報を順次読出すと共
にこれらを順次りセットする走査手段とを具えることを
特徴とするものである。

また、本発明の目的は内部配線が簡単で、したがって高
集積度で容易に製造できると共に、上述したと同様高忠
実度の画像情報が得られるよう適切に構成したイメージ
センサを提供しようとするものである。

本発明のイメージセンサは、入射光を光電変換し、それ
に対応した電気量を積分する感光部、この感光部での積
分情報を読出すための読出しスイッチおよび感光部の積
分動作をリセットするためのリセットスイッチを有する
半導体イメージセルを多数個配列して成る半導体イメー
ジセルアレイを具え、この半導体イメージセルアレイの
各走査線上の半導体イメージセルの読出しスイッチおよ
びリセットスイッチを第１の走査手段の共通の信号ライ
ンに接続すると共に、第一の走査手段のそれぞれの読出
し兼リセットラインに接続し、各半導体イメージセルに
おける積分時間が同一となるように１、ある半導体イメ
ージセルの読出しと、当該半導体イメージセルから走査
線上で一定の半導体イメージセル数を隔てた半導体イメ
ージ、セルのりセットとを同時に行なって前記多数個の
半導体イメージセルから画素情報を順次読出すと共にこ
れらを順次リセットするよう構成したことを特徴とする
ものである。

更に本発明の目的は、上述したスパイクノイズ等のノイ
ズ成分を有効に除去し、高忠実度でしかもＳ／Ｈの高い
画像情報が得られるよう適切に構成したイメージセンサ
を提供しようとするものであるＯ 本発明のイメージセンサは、入射光を光電変換し、それ
に対応した電気量を積分する感光部、この感゛先部での
積分情報を読出すための読出しスイッチおよび感光部の
積分動作をリセットするためのりセットスイッチを有す
る半導体イメージセルを多数個配列して成る半導体イメ
ージセルアレイと、この半導体イメージセルアレイの各
々の半導体イメージセルにおける積分時間が同一となる
ように、ある半導体イメージセルの読出しスイッチｊ、
、 と、当該半導体イメージセルから走査線上で一定の半導
体イメージセル数を隔てた半導体イメージ　　　（゛セ
ルの読出しスイッチおよびリセットスイッチとを同時に
駆動して前記多数個の半導体イメージセルから画素情報
を順次読出すと共にこれらを順次リセットする走査手段
と、前記読出しスイッチやよびリセットスイッチの双方
が同時に駆動される半導体イメージセルからリセット状
態でのノイズ成分を続出し、このノイズ成分に基いて前
記読出しスイッチのみが駆動される半導体、イメージセ
ルから読出した画素情報を補正する手段とを具えること
を特徴とするものである。

以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第３図は本発明のイメージセンサの一例の＃Ｉ成を示す
線図であり、　ＢＩＴイメージセンサを示すものである
。本例では同一半導体基体に多数のＳＩＴイメージセル
をマトリックス状に二次元的に配列して形成する。個々
のＳＩＴイメージセルは２個のリセット用５ＩＴ３−１
および３−２を具える点以外は第１図ＡおよびＢに示す
ものと同一であり、第１図に示す符号と同一符号は同一
の作用を我すものを表わす。個々のセルにおいて、一方
のリセット用ＳＩ’！’３”−１は第１図と同様にホト
トランジスターの戸領域６（第１図参照）をソースとし
、ドレインは接地する。このリセット用５ＩＴ３−１の
ゲートは他方のリセット用５ＩＴ３−４のドレインに接
続し、この５ＩＴ３−２のゲートを続出し用５ＩＴＩの
ゲートに共通に接歳する。本例では走査線方向に並ぶセ
ルの読出し用５ＩＴ１のゲートおよびリセット用５ＩＴ
３−２のゲートを、垂直走査回路１３のそれぞレノ垂直
走査Ｍ　（ｍ　Ｊ　図ｒＧｊＷ−（ｋ−１）　、Ｗ−ｋ
　。

Ｗ−（ｋ＋ｘ）　、　Ｗ−（ｋ＋２）のみを示すンに共
通に接続し、各走査線の同一列の読出し用５ＩＴＩのソ
ースは列毎の共通の読出しライン（第３図ではＸ−（ｊ
−１）　。

Ｘ−１、Ｘ−（７＋１）　、　Ｘ−（ｌ＋２）のみを示
？）に共通←接続すると共に、これら読出しラインの各
々を８ＩＴ１４−（ノー１）および１５−（ノー１）　
、　１４−ノおよび１５−７゜１４−（ｌ＋１）および
１５−（ｌ＋１）　、　１４−（ｌ＋２）および１５−
（ｌ＋２）のドレイン−ソース通路を経て画素情報読出
しラインｌ≦およびノイズ成分続出しライン１７にそれ
ぞれ接続する。これら画素情報読出しラインｌ≦および
ノイズ成分読出しライン１７は差動増幅器／Ｉの非反転
入力端子および反転入力端子にそれぞれ接続する。また
、各走査線の同一列のリセット用５ＩＴ３−２のソース
は列毎の共通のリフレッシュライン（第３図ではＲ−（
ｊ（）　、　Ｒ−１、Ｒ−（ｌ＋１）　＃Ｒ−（）＋２
）のみを示す）に共通に接続し、これらリフレッシュラ
インの各々を５ＩＴ１９−（ｊ−１３、１Ｑ−１。

１９−（！、＋Ｌ）　、　１９−（７＋２）のドレイン
−ソース通路を。ア、ヤツ　、信。、イツ、、接”。・
ア、。。。、ヤット信号ライン〃はリセットパルス発生
回路１の出力端子に接続する。本例では、走査線方向の
走しラインｎに接続するＳＩＴのゲートと、当該読出し
ラインに綴紐されているセルのリセット用５ＩＴ３−２
のソースが共通に接続されるり一７−レツシユラインを
リセット信号ラインＸに接続するＳＩＴのゲートと、次
の読出しラインを画素情報読出しライン／ｊに接続する
ＳＩＴのゲートとを共Ｈにそれぞれ接続し、これらを水
平走査回路ｎのそれぞれの水平走査線（第３図ではＢ−
１、Ｂ−（ｌ＋１）β−（７＋２）のみを示す】に接続
する。すなわち、５ＩＴ１５−（４−１）　。

５ＩＴ１９−（ｊ−１）および５ＩＴ１４−７のそれぞ
れのゲートを水平走査線Ｂ−ｔに、５ＩＴ１４−７　、
５ＩＴ１９−ｌおよび５ＩＴ１４−（１＋ｚ　）のそれ
ぞれのゲートを水平走査線Ｂ−（ｌ＋１）に、また５Ｉ
Ｔｌｆ５−（）＋１）　、　５ＩＴ１９−（ｌ＋１）お
よび１９ＩＴ１４−（１４−２）のそれぞれのゲートを
水平走査線Ｂ−（ｌ＋２）に接続する。

第３図に示すＳＩＴイメージセンサにおいて、今垂直走
査＠　Ｗ−におｉび水平走査線Ｂ−（ｌ＋１）のみ力・
（ 励起されているとする。垂直走査線Ｗ−ｋが励起される
ことによって、この走査線につながる全てσ）セルの読
出し用５ＩＴ１およびリセット用５ＩＴ３−２が励起状
態となる。また水平走査線Ｂ−（ｊ＋ｘ）が励起される
ことによって、５ＩＴ１５−７　、１９−Ｉ！　、　１
４−（ｌ、＋１）を介して続出しラインＸ−ｔ　、リフ
レッシュラインＲ−７、読出しフィンＸ−（ｌ＋１）を
選択されるから、垂直方向に番目で水平方向！および（
ｌ＋１）番目のＳＩＴイメージセルｎおよび２−のコつ
のみが読出し状態になると共に、　ＳＩＴイメージ七ル
セル同時にり７レツシユラインＲ−１が選択されるから
、リセットしながらの読出し状態となる。したがって１
８ＩＴイメージ方ル２４Ｉからは読出しラインＸ−（ｌ
＋１）。

５ＩＴＩ５−（！＋ｘ）および画素情報読出しラインｌ
ぶを経てセル２ダの画素情報が差動増輻蕎ｌｌの非反転
入力端子に供給され、またＳＩＴイメージセルｎはリセ
ットパルス発生回路１からリセット信号ライン〃。

５ＩＴ１９−ノおよびリフレッシュラインＲ−７を経て
供給されるリセットパルスによりりフレッシュ（リセッ
ト）されるから、リセット状゛態でのノイズ成分が読出
しラインＸ−１、５ＩＴ１５−Ｊおよびノーイス成分読
出しライン１７を経て差動増幅器ｎの反転入力端子に供
給される。なお、この状態では上記２つのＳＩＴイメー
ジセルｎおよび２ダ以外の垂直走査線Ｗ−ｋに接続され
るＳＩＴイメージ七ルセルそれぞれのセルに接続される
読出しラインおよびりフレッシュラ９インが選択されな
いから、読出しおよびリセットされることな・（入射光
を積分し続けることに、その順次の垂直走査の間に水平
走査回路〃により水平走査線を順次走査する。

第３図に示すＳＩＴイメージセンサによれば、あるセル
の画素情報の読出しと同時に前のセルのリセットを行な
うようにしたから、すなわち各セルのりセットをそのセ
ルの画素情報の読出し直後に行なって直ちに積分を開始
するようにしたから、全てのセルを繰返し走査する場合
には各セルにおける積分時間を同一にすることができる
と共に、走査の無駄時間がなくセンサとしての感度を最
大限にひき出すことができる。したがって高感度でかつ
高忠実度の画像情報を得ることができる。

また、リセットおよび読出し状態にある順次のセルから
それぞれスパイクノイズ等を含むリセット状態でのノイ
ズ成分および画素情報を読出し。

これらをそれぞれ差動増幅器／ｌに供給して画素情報か
らノイズ成分を除去するようにしたから、纏の高い画像
情報を得ることができる。

なお、第３図に示すイメージセンサにおいてはリフレッ
シュラインの選択を読出しラインの選択と同じ水平走査
回路Ｕを用いて行なうようにしたが、必らずしもその必
要はなく、リフレッシュラインの選択用水平走査回路を
水平走査回路ｎを設けた側とは反対側に新たに配置して
もよＣ）。この場合には、当然リセットパルス発生回路
Ｉもりフレッシュライン選択用水平走査回路の側に配置
して、読出し用回路とリセット用回路とを位置の上で分
離する。

第参図は本発明のイメージセンサの他の例の構成を示す
１１図であり、ＢＩＴイメージ七ンセン示すものである
。このＳＩＴイメージセンサは各列毎のＳＩ？イメージ
セルの読出し用ＳＩ’ｌ’ｌのソースおよびリセット用
５ＩＴ３−Ｊ！のソースを共通の読出し兼リフレッシュ
ライン（第４図では！’−（ｊ−ｘ）　、　Ｘ’−１゜
！’−（ｊ＋ｘ）　、　！’−（ｌ＋５り　（ＤＪｐｔ
ｔ示ｔ　）　ＧＣ＋ｔＬソｔＬ接続し、これら各々の続
出し兼リフレッシュラインを５ＸＴｓニー（７−１）お
よび３５！−（ｊ−１）　、　３１−！および３２−１
　、３ｌ−（ｌ＋１）およびｓｇ−（ｊ＋ｘ）　、　３
ｌ−（ｌ＋２）および３ｇ−（ｌ＋２）のドレインソー
ス通路を経て画素情報読出しライン１１およびリセット
信号ラインＩにそれぞれ接続して、画素情報読出ライン
１６から信号検出回路３３を経てシリアルな画像情報を
得るようにした点のみが第３図に示すものと異なるもの
であり第３図に示す符号と同一符号は同一作用を成すも
のを表わす。

、”・、・、・ 第参図に示すＳＩＴイメージ七ンセンおいては、ｊ。

例えば垂直走査１ＩＷ−におよび水平走査１１１！Ｂ−
（７＋１）のみが励起されると、ＢＩＴ　３Ｂ−１およ
び３ｌ−（ｌ＋１）を介して読出し兼リフレッシュライ
ンｘＩ−！およＵ　Ｘ’　−（ｊ＋ｘ）が選択されるか
ら、ＳＩＴイメージセル２４Ｉからは読出し兼リフレッ
シュラインＸ’　−（ｌ＋１）、ＳＩＴ　ｓｚ　−（ｌ
＋ｘ）　、ａｉｉ素情１１読出しライン１４および信号
検出回路３３を経て画素情報が読出され、また既に画素
情報の読出しを終了しりＳＩＴイメージ七ルセルリセッ
トノずルス発生回路１からのりセットパルスにより、リ
セット信号ラインｘ、　ＳＩＴ　３ｊ！　−１および読
出し兼リフレッシュラインｘ’　−ｔを介してリセット
される。したがって、第３図の場合と同様全てのセルを
繰返し走査する場合には各セルにおける積分時間を同一
にすることができると共に、走査の無駄時間がなくセン
ナとしての感度を最大限にひき出すことができ、高感度
でかつ高忠実度の画像情報を得ることができる。

またー、各列毎の読出しラインとリフレッシュラインと
を共通にしたから、配線が°簡単となり、したがって容
易に製造することができると井に集積度を高めることが
できるＯ なお、第４図に示すＳＩＴイメージ七ンセンおいては、
続出し用のＳＩＴ　５ｌ−（ｊ−ｘ）　、　３１−１　
、５ｚ−（ｌ＋１）　、　ｓｚ　−（ｔ＋ｇ）およびリ
セット用のＳＩＴ　３２−　（ｊ−１）　、　３２−１
　、３２−　（ｌ＋１）　、　３２−　（１４２）を同
じ水平走査回路ｎを用いて駆動するようにしたが、リセ
ット用のＢＩＴ　、リセット信号ライン〃およびリセッ
トパルス発生回路Ｉのリセット用回路を水平走査回路ｎ
を設けた側とは反対側に設けると共にこの反対側には更
にリセット用のＳＩＴを駆動するための走査回路を設け
て、続出し用回路とリセット用回路とを空間的に分離し
てもよい０第！図は本発明のイメージセンナの更に他の
例の構成を示す線図であり、ＳＩＴイメージ七ンセン示
すものである。このＳＩ’ｌ”イメージセンサは水平走
査回路ｎの各々の水平走査線の励起によって駆動される
７ｔ２−ティングドレインのＳＩＴ　（第５図では４１
−　（ｊ−１）　、　４１−　Ｉｔ　、　４１−　（ｌ
＋１）のみを示す）を設け、これらＳＩＴのソースをノ
イズ成分読出ライン１７を経て差動増幅器ＩＩの反転入
力端子に接続し、この差動増幅器ｎの非反転入力端子に
画素情報読出しライン１６を接続してシリアルな画像情
報を得るようにした点が第ダ図に示すものと興なるもの
であり、第参図に示す符号と同一符号は同一作用を成す
ものを表わす。このように構成すれば、画像情報読出し
時にフローナイングドレインのＳＩＴからスパイクノイ
ズを発生させることができるから第り図における効果に
加え、画素情報読出し時のスパイクノイズ等をキャンセ
ルしたＳ／Ｎの高い画像情報を得ることができる。

なお、この場合も第参図において説明したと同□゛様に
、リセット用のＳＩＴ　、　リセット信号ライン〃およ
びリセットパルス発生回路Ｉのリセット用回路を水平走
査回路〃を設けた側とは反対側に設けると弁にこの反対
側には更にリセット用のＳＩＴを駆動するための走査回
路を設けて、読出し用回路とリセット用回路とを空間的
に分離してもよい。

１１ 以に説明したように、本発明によれば、個々の−・　。

イメージセルにおける積分時間を完全に一致させること
ができる。したがって積分時間のＭ興による輝度むらや
ぼけむらがなくなり、フレーム内金体の画質を一様にす
ることができ、良好な画像を得ることができる。また各
イメージセルのりセットはそのセルからの画素情報の読
取直後にリセットされて直ちに積分を開始するから、無
駄時間がなくセンサとしての感度を最大限に引き出すこ
とができる◎さらに各イメージセルのリセット選択線を
極力読出し選択線と共用するようにしたから、配線、構
造が大幅に簡単化され、したがって高密度のイメージセ
ンサを容易に製造することができる。さらにまた、画素
情報の読出し時にリセットされたイメージセルからノイ
ズ成分を続出し、これを画素情報からキャンセルするよ
うに−したからＳ／Ｈの良好な画像情報を得ることかで
きる。

以上のように本発明を利用することにより、特にＳＩＴ
イメージセンサにおいてはそれが本質的に有する増幅作
用と相俟って、高感度、大画素数、高性能のイメージ′
±、ンサを実現することができる。

なお、本発明はＳｌ’ｌ’イ、−ジ４：、？。みならず
、　　　１種々の半導体イメージセンサに適用すること
かできる。また、画素情報の読出しとリセットとをそれ
ぞれ同時に行なう走査線上の２個のセルは順次のセルに
限らすｌｆＢまたは複数個のセル数を隔てたもの同志で
もよい。

【図面の簡単な説明】

第７図ムおよびＢはＳＩＴイメージ七ルセル例の構成を
示す断面図およびその等価回路図、第一図は従来のイメ
ージセンサの構成を示すＳ図、第３図、第＃図および第
３図は本発明に係るｓ工Ｔイメージセンナの３つの例の
構成をそれぞれ示す線図である。 １８０．読出し用Ｓｌ’ｌ’　、コ・・・萬水トトラン
ジスタ、Ｊ、！−／、Ｊ−２・・・リセット用ＳＩＴ　
、　／Ｊ・・・垂直走査回路、／４・・・画素情報読出
しライン、／７・・・ノイズ成分続出しライン、ｌｌ・
・・差動増幅器、Ｘ・・・リセット信号ライン、ｇａｔ
ｅリセットパルス発生回路、ｎ・・・水平走査回路、＃
　、　２４１・・・ＳＩＴイメージセル、３３・・・信
号検出回路、ｗ　−（ｋ−ｚ）　、　ｗ　−ｈ　、　ｗ
　−（ｋ＋１）　、　Ｗ　−（ｋ＋２）　＝　垂を走査
線°、Ｘ　−（ｊ−１）。 ｘ−１，ｘ−（ｌ＋１）、ｘ−（ｌ＋２）・・・読出し
ライン、Ｒ−（ｌ−１）　、　Ｒ−１、Ｒ−（ｚ＋ｘ）
　ｔ　Ｒ−（１÷２）・・・リフレッシュライン、Ｂ−
１、Ｂ−（７＋１）ｓＢ−（ｌ＋２）　・・−水平走査
線、Ｘ’　−（ｊ−１）　、　Ｘ’　−１、Ｘ’−（’
＋ｌ）　ｅ　Ｘ’　−（Ａｕｇ）・・・読出し兼リフレ
ッシュライン。 特許出願人　　オリンパス光学工業株式会社第１図 （Ａ） ＣＢ） 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　入射光を光電変換し、それに対応した電気量を積分
   する感光部、この感光部での積分情報を読出すための読
   出しスイッチおよび感光部の積分動作をリセットするた
   めのリセットスイッチを有する半導体イメージセルを多
   数個配列して成る半導体イメージ七ルアレイと、この半
   導体イメージセルアレイの各々の半導体イメージ七ルに
   おける積分時間が同一となるように、ある半導体イメー
   ジセルの読出しスイツ、チと、当該半導体イメージセル
   から走査線上で一定の半導体イメージセル数を隔てた半
   導体イメージセルのリセットスイッチとを同時または一
   定の時間関係で駆動して前記多数個の半導体イメージセ
   ルから画素情報を順次読出すと共にこれらを順次リセッ
   トする走査手段とを具えることを特徴とするイメージセ
   ンサ。 ２　入射光を光電変換し、それに対応した電気量を積分
   する感光部、この感光部での積分情報を読出すための読
   出しスイッチおよび感光部の積分動作をリセットするた
   めのリセットスイッチを有する半導体イメージセルを多
   数個配列して成る半導体イメージ°セルアレイを具え、
   この半導体イメージセルアレイの各走査線上の半導体イ
   メージセルの読出しスイッチおよびリセットスイッチを
   第１の走査手段の共通の信号ラインに接続すると共に、
   第２の走査手段のそれぞれの読出し兼リセットラインに
   接続し、各半導体イメージ七ルにおける積分時間が同一
   となるように、ある半導体イメージセルの読出しと、当
   該半導体イメージセルから走査線上で一定の半導体イメ
   ージセル数を隔て°た半導体イメージセルのリセットと
   を同時に行なって前記多数個の半導体イメージ七ルから
   画素情報を順次読出すと共にこれらを順次リセットする
   よう構成したことを特徴とするイメージセンサ。 ＆　入射光を光電変換し、それに対応した電気・量を積
   分する感光部、この感光部での積分情報を読出すための
   読出しスイッチおよび感、先部の積分動作をリセットす
   るためのリセットスイッチを有する半導体イメージセル
   を多数個配列して成る半導体イメージセルアレイと、こ
   の半導体イメージセルアレイの各々の半導体イメージセ
   ルにおける積分時間が同一となるように、ある半導体イ
   メージセルの読出しスイッチと、当該半導体イメージセ
   ルから走・・査線上で一定の半導体イメージセル数を隔
   てた半導体イメージセルの読出しスイッチおよびリセッ
   トスイッチとを同時に駆動して前記多数個の半導体イメ
   ージセルから画素情報を順次読出すると共にこれらを順
   次リセットす・る走査手段と、前記読晶しスイッチおよ
   びリセットスイッチの双方〃ｉ同時に駆動される半導体
   イ、−，ヤ、ヵ１．．″″ｉ・□：１１ヤツ、４、アア
   。ノイズ成分を読出し、このノイズ成分に基いて前記読
   出しスイッチのみが駆動される半導体イメージセルから
   読出した画素情報を補正する手段とを具えることを特徴
   とするイメージセンサ。